JP2020056885A - 光学装置及びレーザレーダ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
neff:実効屈折率
nc:クラッド屈折率
Λ:回折格子18のピッチ
λ:波長
k0=2π/λ
k0ncsinθ=k0neff + q(2π/Λ)
q:0、±1、±2等の整数
12、14 回折格子
16 クラッド
18 回折格子
20 レーザ光
22、24、26 出射光
28 所定位置
30 特異点
32 高効率範囲
34 吸収層
36 光学装置
36−1〜36−8 導波路部分
36A 第1回折格子
36B 第2回折格子
38 半導体薄膜
40 光偏向素子
42、42−1〜42−8 導波路
48A、48B ヒータ
50 第1Si層
52 第1SiO2層
54 第2Si層
56 フォトレジスト
58 第2SiO2層
60 SiN層
62 フォトレジスト
64 第3SiO2層
100 光学装置
102、110、112、114 回折格子
120 光学装置
122、124 回折格子
130 フォトダイオード
132N N電極
132P P電極
134 Ge吸収層
136 シリコン導波路
138 SiO2基板
142E、142M 導波路
Claims (8)
- 所定位置から入射した光が伝搬され、かつ、前記光を屈折させて第1面から外界に出射するように構成された第1回折格子を有する第1層と、
前記第1回折格子と所定距離で並行して配設されると共に前記第1回折格子を構成する物質よりも高屈折率な物質で構成され、前記第1回折格子の前記第1面と逆側の第2面から出射された光を反射し、かつ、前記第1層を介して前記外界に出射するように構成された第2回折格子を有する第2層と、を備え、
前記第1回折格子と前記第2回折格子との間隙及び周囲を、前記第1回折格子の構成物質よりも低屈折率な物質で被覆した光学装置。 - 前記第2回折格子の格子ピッチは、前記第1回折格子のピッチ以下の所定範囲である請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1回折格子のピッチが0.88μm〜1.2μmであり、前記第2回折格子のピッチが0.58μm〜0.80μmである請求項2に記載の光学装置。
- 前記第2回折格子のピッチは、前記第1回折格子のピッチと略同じである請求項2に記載の光学装置。
- 前記第1回折格子のパターンは、前記所定位置を中心とした同心楕円に係る楕円弧状に形成された、中屈折率部材を、所定のピッチで並べたものであり、
前記第2回折格子のパターンは、前記所定位置を中心とした同心楕円に係る楕円弧状に形成された、高屈折率部材を、所定のピッチで並べたものである請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第1回折格子のパターンは、前記所定位置を中心とした同心楕円に係る円弧状に形成された、中屈折率部材を、所定のピッチで並べたものであり、
前記第2回折格子のパターンは、前記所定位置を中心とした同心楕円に係る円弧状に形成された、高屈折率部材を、所定のピッチで並べたものである請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第1回折格子の物質は、SiN及びGaNのいずれかのであり、前記第2回折格子の物質は、Si、GaAs、InGaAsP、InGaAs、AlGaAs及びSiGeのいずれかであり、前記被覆する物質はSiO2である請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学装置を、レーザ光を外界に出射すると共に、該出射した光が対象物で反射されて生じた反射光を受信する光アンテナとして用いるレーザレーダ装置。
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JP2018186733A JP7159763B2 (ja) | 2018-10-01 | 2018-10-01 | 光学装置及びレーザレーダ装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024111186A1 (en) * | 2022-11-25 | 2024-05-30 | Furuno Electric Co., Ltd. | Measurement chip, measuring device and measuring method |
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US20020158193A1 (en) * | 2001-02-12 | 2002-10-31 | Abdurrahman Sezginer | Overlay alignment metrology using diffraction gratings |
US20090154871A1 (en) * | 2007-12-17 | 2009-06-18 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor integrated circuits including grating coupler for optical communication and methods of forming the same |
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-
2018
- 2018-10-01 JP JP2018186733A patent/JP7159763B2/ja active Active
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---|---|
JP7159763B2 (ja) | 2022-10-25 |
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