JP2020053958A - Cleaning apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光、電磁波などの物理量を検出する検出素子の検出面を清掃する清掃装置及び清掃装置の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a cleaning device for cleaning a detection surface of a detection element that detects a physical quantity such as light and electromagnetic waves, and a control method for the cleaning device.
光、電磁波などを検出する検出素子の検出面はゴミが付着することで誤検出を起こすことが課題となっている。例えば受光素子である光電変換器が並んだ撮像素子を有するデジタルカメラでは、撮像素子の撮像面を定期的に清掃することで、得られる画像の画質の低下を防いでいる。しかし、ユーザーが自ら撮像面を清掃すると誤って傷つけてしまう可能性があるため、メーカー等が運営するサービス店に持ち込んで専用の作業者に依頼するのが一般的であった。しかし、専用の作業者でも熟練度の差等により、清掃の作業精度にバラツキがある。そこで、特許文献1では、カメラに接続して風圧や粘着シートでの拭き取りによって撮像面の表面を清掃する装置が開示されている。
The problem is that erroneous detection is caused on the detection surface of the detection element that detects light, electromagnetic waves, and the like due to the attachment of dust. For example, in a digital camera having an imaging element in which photoelectric converters as light receiving elements are arranged, the imaging surface of the imaging element is periodically cleaned to prevent deterioration in the quality of an obtained image. However, if the user cleans the imaging surface by himself / herself, there is a possibility that the user may inadvertently damage the imaging surface. Therefore, it is common to bring the camera to a service shop operated by a manufacturer or the like and request a dedicated worker. However, even a dedicated operator has a variation in cleaning accuracy due to a difference in skill level or the like. Therefore,
しかしながら、上述の特許文献では、検出面のゴミを取り除くために清掃装置をどのように制御するかについて十分な開示がなかった。また検出面に付くゴミを除去するという課題は撮像素子に限らず、物理量を検出する検出面を備えた検出素子全般に共通する課題であり、同様に清掃装置が求められている。 However, the above-mentioned patent documents did not sufficiently disclose how to control the cleaning device to remove dust on the detection surface. Further, the problem of removing dust attached to the detection surface is not limited to the image pickup device, but is a problem common to all detection devices having a detection surface for detecting a physical quantity. Similarly, a cleaning device is required.
そこで本発明の目的は、検出面を備えた検出素子の検出面に付くゴミの除去に適切に対応することができる清掃装置を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide a cleaning device that can appropriately cope with removal of dust attached to a detection surface of a detection element having a detection surface.
上記目的を達成するために、本発明は、検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う拭き清掃手段と、前記拭き清掃手段と導通することで前記清掃手段と電位を等しくする導通部材と、を有し、前記拭き清掃手段と前記導通部材が導通することで、前記検出面と前記拭き清掃手段が同電位となることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a cleaning device for cleaning a detection element having a detection surface, wherein the cleaning device performs wiping cleaning in a state of contacting the detection surface, and is electrically connected to the wiping cleaning device. And a conducting member that makes the cleaning unit and the cleaning unit have the same potential, and the detection surface and the wiping cleaning unit have the same potential by conducting the wiping cleaning unit and the conduction member. I do.
また、本発明は、検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、前記検出面に接触しながら清掃する拭き具と、前記拭き具を巻き取る巻き取り機構と、前記拭き具を巻き取り方向に折り返し、前記検出面に前記拭き具の折り返し部を接触させる芯材と、前記拭き具の折り返し部で前記拭き具の動きを規制するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は前記芯材に対して巻き取り側に巻き取り口を備え、前記拭き具の幅より前記ガイド部材の巻き取り口の開口幅は狭く形成されることを特徴とする。 Further, the present invention is a cleaning device for cleaning a detection element provided with a detection surface, a wiping device for cleaning while contacting the detection surface, a winding mechanism for winding the wiping device, and a winding device for winding the wiping device. A wrapping member that folds back in the removing direction and makes the wrapping portion of the wiping tool contact the detection surface, and a guide member that regulates the movement of the wiping tool at the wrapping portion of the wiping device, wherein the guide member is provided with the core. A take-up port is provided on the take-up side with respect to the material, and an opening width of the take-up port of the guide member is narrower than a width of the wiping tool.
本発明によれば、検出面を備えた検出素子の検出面に付くゴミの除去に適切に対応することができる。 According to the present invention, it is possible to appropriately cope with the removal of dust attached to the detection surface of the detection element having the detection surface.
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、図中で共通する部分には同一の符号を付す。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the same reference numerals are given to the common parts in the drawings.
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、図中で共通する部分には同一の符号を付す。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the same reference numerals are given to the common parts in the drawings.
図1(a)〜(c)は、本実施形態に係る清掃装置の一例としての清掃装置100を示している。本実施形態では、デジタルカメラに備えられたCMOSセンサー等で構成された撮像素子の撮像面を清掃するための清掃装置として例示する。
1A to 1C show a
図1(a)は清掃装置100の外観図である。清掃装置100は金属シャーシからなる本体1、清掃対象である検出装置(本実施形態ではカメラ)を固定する固定部2、種々の情報を表示する表示部7を有する。表示部7は清掃装置と通信可能な別体として構成されていても構わない。
FIG. 1A is an external view of the
図1(b)は清掃装置100の内部の構成を示す図である。可動台座6には確認部3と第1の清掃部4、第2の清掃部5が一体に備わっており、可動台座6が三次元方向に並進および回転を行って各部の位置を適宜変更可能としている。特に、各部が固定部2の位置、即ちカメラ200装着後の撮像素子表面(検出面)に対して接近、退避が可能なように、可動台座6は上下方向に並進可能な並進機構を有する。
FIG. 1B is a diagram illustrating an internal configuration of the
固定部2は本体1の外装面に配置されるリング状の金属部材から成り、本実施形態では清掃対象となるカメラが通常使用時に交換レンズを着脱するカメラマウントが装着・固定可能な構造になっている。固定部2はさらに電気接続端子を備えて装着されるカメラとの通信も可能である。また固定部2は、清掃装置100による清掃の様子をモニタリングする際の光量の確保のためにリング状の照明を備えており、第1の清掃部4、第2の清掃部5による検出素子の清掃時には清掃対象である検出素子(カメラの撮像素子)に光を照射する。また、固定部2は装着される外部機器の種類に応じて特に接続部分の適切な形状(機構)が異なるため、本体1に対して着脱可能に構成され、接続が想定される外部機器に合わせて交換されてもよいし、接続が想定される外部機器の種類の分だけ設けられてもよい。さらに、機種に依らずカメラを固定可能な汎用的な固定機構として設けられていてもよい。
The
本実施形態では、装着対象であるカメラのいわゆるカメラマウントにおける接続端子を利用してカメラの装着を検知する。すなわち、固定部2の接続端子がカメラマウントの接続端子と電気的に接続したことに応じて清掃装置100にカメラが装着されたことを検知する。
In the present embodiment, the mounting of the camera is detected by using a connection terminal in a so-called camera mount of the camera to be mounted. That is, it is detected that the camera is attached to cleaning
第1の清掃部4は検出素子表面に対して非接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においてはエアーを噴射し、風圧でゴミを吹き飛ばす。 The first cleaning unit 4 is a cleaning device that performs non-contact cleaning on the surface of the detection element. In the present embodiment, the first cleaning unit 4 blows air and blows off dust by wind pressure.
第2の清掃部5は検出素子表面に対して接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては拭き具を用いた拭き清掃でゴミをからめとる。
The
図1(c)は清掃装置100の背面の構成を示す図である。制御部10はCPUを含むコンピュータからなり、清掃装置100全体の動作制御を司るものであり、各部からの情報の処理や各部に対する指示を行う。
FIG. 1C is a diagram illustrating a configuration of a back surface of the
エアーフィルタ11は第1の清掃部4に用いるエアーが吸入口12を介して外部のポンプ等から注入されたとき、エアーに存在するゴミや油分を低減するフィルターであり、フィルターを通ったエアーは第1の清掃部4に供給される。エアーフィルタ11がなければ、エアーに含まれるゴミを検出素子の検出面に吹き付けてしまう可能性もある。圧力計13は注入されるエアーの圧力を計測、表示する。使用者は圧力計13の示す圧力を見て随時適切な圧力に調整できる。
The
電源14は清掃装置100全体に電源を供給している。また、インターフェース(本実施形態では固定部2の電気接続端子、通信部17など)を介して外部機器に給電を行う機能を備えていてもよい。
The
図2は、清掃対象となる検出素子である撮像素子を有する装置の一例としてのカメラ200である。本実施形態では、カメラ200はレンズ交換式のデジタル一眼レフカメラである。カメラ通信部24は、カメラ固定部23にてカメラに固定されることで外部機器と電気的に接続された状態で通信を行う。外部機器がレンズである場合、不図示のカメラ制御部によってレンズ制御を行うとともに、レンズおよびカメラ200の各種情報のやり取りを行う。撮像素子22は被写体光を受光し電気信号に変換することで、デジタル画像データを生成する。本実施形態ではCMOSセンサーが用いられるが、その他にもCCD型、CID型等様々な形態が考えられる。さらに、受光素子に限らず、X線などの電磁波を検出する検出素子など、素子表面で検出を行う機能を有する検出素子であれば、いずれの形態の検出素子も本清掃装置の清掃対象となりうる。また、撮像素子22はフォトダイオードの上にカバーガラス、IRカットフィルター、LPF等を厚み方向に重ねた構造であり、本清掃装置はその最表面を清掃対象としている。
FIG. 2 shows a
撮像素子22は静電気が帯電するのを防ぐため、撮像素子表面30をカメラ200と同電位となるように接続させる構成となっており、カメラ固定部23も同様に同電位となるよう接続されている。
The
次に図1(b)、図2を参照して、本実施形態に係る清掃装置と本実施形態に係る検出装置であるカメラとの接続構成について説明する。 Next, a connection configuration between the cleaning device according to the present embodiment and a camera that is a detection device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
カメラ200は、カメラ固定部23を清掃装置の固定部2に接続することにより固定される。制御部10は、後述する通信部17とカメラ通信部24を介してカメラ制御部21と通信を行うことでカメラ200の制御を行うことができる。例えば清掃装置100はカメラ機種判定やカメラ200側のミラー、シャッターを動かす撮像動作などの制御を行うことができる。
The
また、カメラ固定部23を介して、カメラ200から、第2の清掃部5の先端芯部56まで導通される。これにより、撮像素子22と第2の清掃部5との電位差が生じなくなり、静電力により除去済みのゴミがカメラ200側へと引き寄せられることなく清掃できる。
In addition, conduction is provided from the
図1(b)では、第2の清掃部5が固定部2の方向に向けられている。可動台座6が上下に並進する並進機構を有することで、第2の清掃部5は固定部2のリング中央を通り、カメラ200が物理的に接続された状態で撮像素子22に近接することができる。
In FIG. 1B, the
また、可動台座6は取り付けられた部材を回転させる回転機構を有し、その回転軸の周りの異なる位相の位置で確認部3、第1の清掃部4、第2の清掃部5が配されている。この回転機構により、第2の清掃部5と同様に確認部3、第1の清掃部4においても、各部の正面を固定部2に(すなわち撮像素子22の撮像素子表面に)対向する位置に回転駆動させることができる。
The
また、可動台座6の回転機構は、後述する各部の清掃シーケンスにおいて、各部の清掃部を検出面に対する傾き(角度)を制御するためにも用いられる。すなわち、制御部10の制御に従って、第1の清掃部4が撮像素子22の検出面にエアーを噴出する際の、噴出口の傾きを制御したり、第2の清掃部5が検出面を拭き清掃する際の、拭き具(及び芯材)の傾きを制御したりする。以上のように、可動台座6の並進機構と回転機構によって、制御部10は各部を固定部2、すなわち検出素子の検出面に対向させたり、接近、退避させたりするなど、検出面に対する距離を制御することが可能となっている。
The rotating mechanism of the
確認部3は照明を備え、制御部10の指示に従って対象に照明光を照射する。本実施形態では部材の先端にLEDが搭載されており、近接させた状態で撮像素子22を照射して、このとき撮像素子22の素子表面(センサー面)を撮像することで、面の汚れの状態を確認する画像を取得することに用いられる。以下に示す実施形態では撮像素子22の撮像機能を利用してセンサー面の画像を取得しているが、本発明はこれに限らず、確認部3自身が撮像素子など何らかのセンサーを有して検出素子表面の状態を確認できる情報が取得できてもよい。また、本実施形態では、確認部3は第1の清掃部4、第2の清掃部5とともに可動台座6に装着されているが、例えば固定部2の近傍などに固定されて設置されていてもよい。このように設置すると、各清掃部の清掃の実行時にも照射、撮像可能になる。また、第1の清掃部4、第2の清掃部5の清掃部材(噴射口、芯材の先端の拭き具)近傍に確認部3として照明およびまたは撮像素子をそれぞれ設けてもよい。
The
第1の清掃部4は検出素子表面に対して非接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては筒状の部材の先端(噴射口)からエアーを噴射することで、近接した撮像素子22の表面についたゴミを風圧により吹き飛ばす。さらに、本実施形態では、撮像素子22の表面に付いているゴミを除電して剥離しやすくするために、第1の清掃部4はエアーを帯電させ除電機能をもたせるイオナイザーを有している。しかし、こうした除電機能がなくエアーの吹きかけのみでも一定の効果はあるので、イオナイザーが必ずしも必要なわけではない。
The first cleaning unit 4 is a cleaning device that performs non-contact cleaning on the surface of the detection element. In the present embodiment, the first cleaning unit 4 ejects air from a tip (injection port) of a cylindrical member to approach the detection element. Dust on the surface of the
第2の清掃部5は検出素子表面に対して接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては芯材の主に先端に取り付けられた拭き具を用いた拭き清掃で、近接した撮像素子22の表面を直接なぞることでゴミをからめとる。拭き具は,例えば超極細繊維の布、ペーパー、テープなどが用いられ、かつ巻き取り式で第2の清掃部5が接触、移動し拭き清掃を行うと共に、新しい拭き具が清掃面に接触するように構成されている。さらに本実施形態では必要に応じて、油汚れを落とすための溶剤を拭き具に浸けて清掃を行うことも出来る構成になっている。第1の清掃部4および第2の清掃部5のいずれに関しても、それぞれ非接触式の清掃機具、接触式の清掃機具であれば、その具体的な構成は特に限定されない。
The
図3は本実施形態にかかる清掃装置100及びカメラ200の主要な電気的構成を示すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating main electrical configurations of the
清掃装置100は電源14から供給される電力で動作し、電源SW15で電源のオンオフを切替える。表示部7は清掃装置100およびカメラ200の各種情報、動作の状態やユーザー操作による設定やユーザー操作の誘導など、制御部10からの指示に応じて各種の情報を表示する。
The
入力部8は、装着されるカメラに応じて適切な動作を行うために、メモリ16に記憶された、あるいは通信部17や他の通信経路を介して取得した、外部機器の情報が入力される。また、ユーザー操作による各種の指示情報も入力部8に入力される。本実施形態では、外部機器の情報として接続されるカメラ200の機種情報やスペックに関する情報を、入力部8を介して取得するものとする。
The
測定部9は例えばレーザ距離計等から成り、接続されているカメラ200の撮像素子22の位置(座標、撮像素子までの距離など)やサイズを測定する。装着されるカメラの機種情報が定まり、対応する清掃プログラムがメモリに記憶されている状況であれば、必ずしも測定部9を設けて位置やサイズを測定する必要はない。清掃装置100の本体1に内蔵されたCPUを含むコンピュータからなる制御部10は、清掃装置100の動作制御を司るものであり、各部からの情報の処理や各部に対する指示を行う。
The measuring
固定部2に設けられた接続端子は、固定部2にカメラ固定部23が装着されることで、カメラマウントの接続端子と電気的に接続したことを検知し、制御部10はカメラ200の接続を検知する。
The connection terminal provided on the fixing
通信部17は検出素子を有する検出装置との通信を行う。本実施形態では、USBの企画に対応する接続端子であり、接続ケーブルを介してカメラ200側のカメラ通信部24と電気的に接続される。清掃装置100、カメラ200が共に電源ONの状態で接続ケーブルが通信部17、カメラ通信部24の各端子に接続されると、通電し通信が確立される。清掃装置100とカメラ200の通信方法としてはこれに限らず、有線LAN、HDMI(登録商標)、無線LAN(Wi−Fi、Bluetooth(登録商標)、BLE(Bluetooth Low Energy))など公知の通信方法が適用可能である。
The
次に清掃装置100に着脱可能に接続されるカメラ200の構成例を説明する。カメラ制御部21はマイクロコンピュータであり、撮像素子22の動作制御および撮影画像の記憶やデータ通信など、カメラ200全体の制御を司るものである。
Next, a configuration example of the
撮像素子22は、カメラマウントの設けられた開口部から接近可能な位置に配され、通常は撮影レンズが装着された状態で被写体からの光束を受光するフォトダイオードでなる検出面を有する。撮像素子22で受光された光束は電気信号に変換されて画像データを出力する。
The
ミラー25はカメラ200にとって撮像素子22よりも被写体側、光軸上に位置し、撮像素子22への光を、撮像素子22以外の不図示のセンサーや光学式ビューファインダーなどに反射または分光する。ミラー25は撮像素子22の清掃時には撮像素子22の光軸上から少なからず退避させる必要がある。本実施形態では、カメラ200が撮像素子22の露光時にミラー25を光軸から退避させる機構を利用して、清掃時に清掃装置100からの部材が撮像素子22に近接できる程度に、ミラー25を光軸から退避させておくものとする。本実施形態では、検出装置であるカメラ200はミラー25を有するデジタル一眼レフカメラであるが、光学ファインダーを持たずミラーを持たない、いわゆるミラーレス一眼カメラであっても本発明は適用できる。
The
遮光部材26は撮像素子22よりもカメラ200にとって被写体側に位置し、撮像時に撮像素子22への光を遮光するシャッターの役割を有する。
The
次に図4を用いて、清掃装置100の各種動作シーケンスを説明する。
Next, various operation sequences of the
図4(a)は確認部3を用いて清掃対象の検出素子表面の状態(汚れの状態、清掃状態)を確認するための確認シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部10は清掃装置100が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置100は本確認シーケンスが始まる段階では、既にカメラ200がカメラ固定部23及び固定部2によって清掃装置100に固定され、カメラ通信部24と固定部2の通信部を介してカメラ200と通信が確立された状態となっている。
FIG. 4A is a flowchart illustrating a confirmation sequence for confirming the state (dirt state, cleaning state) of the surface of the detection element to be cleaned using the
まず制御部10は可動台座6を制御することで確認部3を固定部2の方向へ向け、さらに固定部2およびカメラ固定部23を通過するように移動させ、確認部3の先端を撮像素子22に近づける(S100)。撮像素子22近傍において、確認部3は先端に設けられたLED等の点光源の発光により撮像素子22を照射する(S101)。照明の形態としては点光源に限らず適用可能だが、点光源であれば均一な光が各素子に入射されやすいので検出面の状態をほぼ同じ条件で計測でき好ましい。
First, the
上記照明が照射された状態で、制御部10は通信部17およびカメラ通信部24を介してカメラ制御部21に信号を送り、撮像素子22に撮像動作を行わせ(S102)、撮影画像を取得する(S103)。取得した画像は通信部17を介してメモリ16に記録されるとともに、表示用画像に変換されて表示部7に表示される(S104)。このとき制御部10は、撮像され記録された画像から、例えば特異点検出などの公知の画像解析により撮像素子表面の状態とゴミや汚れの情報を検出し、画像と合わせて表示部7に表示する。本実施形態ではさらにこれらの情報をもとに撮像面の初期状態の確認、清掃後の清掃完了判定、清掃前後の比較提示などを行う。本実施形態では何かしらの清掃後の確認シーケンスにおいては、清掃前後の比較提示を表示部7に行い、ユーザーに清掃の効果や残存するゴミについて知らしめることができる。画像記録後、確認部3は撮像素子22の近傍から退避して(S105)、確認シーケンスは終了する。
In the state where the illumination is emitted, the
図4(b)は第1の清掃部4を用いて検出素子表面を非接触式の清掃方法で清掃する第1の清掃シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部10は清掃装置100が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置100は本第1の清掃シーケンスが始まる段階では、既にカメラ200がカメラ固定部23及び固定部2によって清掃装置100に固定され、カメラ通信部24と通信部17を介してカメラ200と通信が確立された状態となっている。
FIG. 4B is a flowchart illustrating a first cleaning sequence for cleaning the surface of the detection element by the non-contact cleaning method using the first cleaning unit 4. The
まず制御部10は可動台座6を制御することで第1の清掃部4を固定部2の方向へ向け、さらに固定部2およびカメラ固定部23を通過するように移動させ、第1の清掃部4の清掃に用いる部分(先端)を撮像素子22に近づける(S110)。その後、第1の清掃部4は撮像素子22の近傍において、先端の噴射口からエアーを噴出する(S111)。
First, the
図6はステップS111における第1の清掃部4の清掃方法を説明するイメージ図である。図6(a)は撮像素子22の撮像素子表面30を正面から見た図、図6(b)は撮像素子22の撮像素子表面30を側面から見るとともに第1の清掃部4が撮像素子表面30に近づいてエアーを噴出している様子を説明する図である。
FIG. 6 is an image diagram illustrating a method of cleaning the first cleaning unit 4 in step S111. 6A is a diagram of the
図6(a)に示す通り、制御部10は可動台座6を制御して撮像素子22の表面30に対して移動軌跡31のように第1の清掃部4を動かしながら、エアーを噴出させる。また、図6(b)に示す通り、移動中第1の清掃部4は進行方向33に対してエアーが噴出されるように制御されている。移動軌跡31は撮像素子22の中央部から螺旋を描くように外側へ広がる形で設定されている。このような軌跡をとることにより、撮像素子表面30に付着しているゴミを撮像素子22の外に飛ばすことができるとともに、一度飛ばしたゴミが撮像素子表面30に再付着することを抑制することができる。さらに、第1の清掃部4を進行方向33にエアーが噴出するように傾けて移動させることで、より撮像素子外に排出する効果を得ることができるとともに、撮像素子表面30の端部近傍に位置する遮光部材を避けて稼働させることもできる。
As shown in FIG. 6A, the
このように、第1の清掃部4は、噴出したエアーによって撮像素子22の撮像素子表面30についた比較的大きな固形ゴミ、埃などのゴミを表面から除去することができる。ここで、例えば撮像素子表面30に大きな固形ゴミがついた状態で、第2の清掃部5が行うように撮像素子表面30をなぞるように清掃を行うと、ゴミを引きずることで表面を傷つける可能性がある。これに対して第1の清掃部4のように非接触にゴミを除去する方法では、ゴミを撮像素子表面30に引きずらず、キズを付けにくいという効果がある。
As described above, the first cleaning unit 4 can remove relatively large dust such as solid dust and dust attached to the
また本実施形態では、第1の清掃シーケンスを通して、第1の清掃部4が撮像素子22の撮像素子表面30に接触しないように制御部10が可動台座6を制御している。これにより撮像素子22の撮像素子表面30を傷つける可能性をさらに減らすことができる。エアー噴出を行った後、第1の清掃部4は撮像素子22の近傍から退避して(S112)、第1の清掃シーケンスは終了する。
In the present embodiment, the
図4(c)は第2の清掃部5を用いて検出素子の表面に対して接触式の清掃を行う第2の清掃シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部10は清掃装置100が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置100は、本第2の清掃シーケンスが始まる段階では、既にカメラ200がカメラ固定部23及び固定部2によって清掃装置100に固定され、カメラ通信部24と固定部2の通信部を介してカメラ200と通信が確立された状態となっている。
FIG. 4C is a flowchart illustrating a second cleaning sequence for performing contact-type cleaning on the surface of the detection element using the
まず制御部10は可動台座6を制御することで第2の清掃部5を固定部2の方向へ向け、さらに固定部2およびカメラ固定部23を通過するように移動させ、第2の清掃部5の清掃に用いる部分(先端)を撮像素子22に近づける(S120)。ここで、拭き掃除の際に油汚れ等を取り除くための溶剤を用いる場合には、可動台座6を制御して他の回動位置に設けられた溶剤の入った容器に第2の清掃部5の先端を浸けてから、固定部2の方向へ向ける。その後、第2の清掃部5は撮像素子22の近傍において、先端を撮像素子22に接触させ、先端に取り付けられた拭き具(布、ペーパー等)で撮像素子22の表面を拭取る(S121)。
First, the
図7はステップS121における第2の清掃部5の清掃方法を説明するイメージ図である。図7(a)は撮像素子22の撮像素子表面30を正面から見た図、図7(b)は撮像素子22の撮像素子表面30を側面から見るとともに第2の清掃部5が撮像素子表面30と接触して先端の拭き具で撮像素子表面30を拭き取る様子を説明する図である。
FIG. 7 is an image diagram illustrating a method of cleaning the
図7(a)に示す通り、制御部10は可動台座6を制御して撮像素子22の表面30に対して第2の清掃部5を動かしながら、先端の拭き具により拭き取り清掃を行わせる。第2の清掃部5は、図7(a)に示す通り、第1の移動軌跡40と第2の移動軌跡41のように清掃領域を一部重複させながら順次走査されて拭き取り清掃を行う。さらに、第1の清掃エリア42、第2の清掃エリア43を重複させることで拭き残しを防ぐ。また各清掃エリアでは拭き残しを防ぎ、かつゴミを撮像素子表面30外に追い出すために、基本的に同一方向に拭くのが望ましい。図7(b)では、第1の清掃エリア42内を清掃方向44で拭き清掃する様子を示している。このとき第2の清掃部5は、清掃方向44に対して垂直な面から清掃方向44と同じ方向に傾けて撮像素子表面30に接触する。図7(c)では、第2の清掃エリア43内を清掃方向44で拭き清掃する様子を示している。このとき第2の清掃部5は、清掃方向44に対して垂直な面から清掃方向44と反対側に傾けて撮像素子表面30に接触する。また第1の移動軌跡40から、第2の移動軌跡41に移動する際や、第1の清掃エリア42から、第2の清掃エリア43に移動する際などは、一度第2の清掃部5を撮像素子表面30から離反させてから次の清掃開始位置に移動させる。すなわち、第2の清掃部5を第1の清掃エリア42内の最後の移動軌跡の終了位置で撮像素子表面30から離反させたうえで、次の清掃開始位置まで第2の清掃部5を移動させている。また、撮像素子表面30の端部の画素が遮光部材等で隠れている場合、図7(b)のように傾けて走査することで、第2の清掃部5が遮光部材等と接触することなく隅まで拭き清掃を行うことができる。
As shown in FIG. 7A, the
以上の手順で行うことにより、第2の清掃部5は、撮像素子22の表面についたゴミや粘着性の高い油などの汚れを表面から除去することができる。第2の清掃部5は清掃後、撮像素子22の近傍から退避して(S122)、第2の清掃シーケンスを終了する。
By performing the above procedure, the
次に図5のフローチャート図を参照して、本実施形態に係る清掃シーケンス全体の流れについて説明する。本フローは、例えば電源SW15が操作されることにより電源をONされたことや、入力部8から清掃工程の開始指示を受信したことなどに応じて開始する。制御部10は本フローにおいて各動作を行う、あるいは各動作の指示を各部に行う。
Next, the flow of the entire cleaning sequence according to the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. This flow is started, for example, when the power is turned on by operating the
制御部10は、固定部2に設けられた接続端子により、固定部2にカメラ200のカメラ固定部23が装着、固定されたことを検知する(S200)。次に、制御部10は、通信部17とカメラ通信部24とが電気的に接続されたことを検知し、これをトリガとして清掃装置100とカメラ200との間で通信を確立する(S201)。
The
次に、制御部10は、清掃対象である検出素子の検出素子情報を取得する(S202)。検出素子情報としては例えば、撮像素子22の位置やサイズ、材質や撮像素子22を清掃する妨げになる部材の位置等の情報を取得する。これらの情報は、カメラ200より通信にて取得しても良いし、カメラ200から取得されるカメラの機種情報に基づいて、予めメモリ16に記憶されたデータベースから上記検出素子情報を読み出してもよい。また、入力部8を介してユーザー入力により検出素子情報あるいはカメラ200の機種情報を取得してもよい。また、確認部3に撮像素子22の状態を検出するセンサーが設けられた実施形態である場合には、本ステップにおいて、確認部3により検出される例えば画像などの情報に基づいて上記検出素子情報を取得する。
Next, the
ステップS203では、制御部10はステップS202で得られた撮像素子22の検出素子情報に基づいて制御情報を決定する。具体的には撮像素子22の位置、サイズ情報に基づいて、可動台座6を用いて確認部3、第1の清掃部4、第2の清掃部5をそれぞれ進退させる際の駆動幅を決定し、検出面との距離を制御する。また、第1の清掃部4のエアー噴射位置や噴射の強さ、第2の清掃部5の拭き清掃の範囲や、拭き具へ付ける溶剤の有無なども決定する。ここで本実施形態では、第1の清掃部4、第2の清掃部5の少なくともいずれかを用いた複数の清掃コースを用意しており、ユーザーは汚れの状態や作業時間等を考慮して、例えば表示部7に表示される複数の候補の中から清掃コースを選択することが出来る。コースとしては例えば以下のようなものを用意する。以下、本実施例ではコース1が選択されたものとして後続のフローを説明するが、他のコースを選択した場合には、選択されたコースに不要なステップは適宜省略(何も動作を行わずに通過)すればよい。また、設定可能なコースとしてはもちろんこの限りではなく、ユーザーにより各種シーケンスを自由に設定して作成されるコースを設けてもよい。
In step S203, the
コース1.第1の確認シーケンス→第1の清掃シーケンス→第2の清掃シーケンス→第1の清掃シーケンス→第2の確認シーケンス
コース2.第1の確認シーケンス→第1の清掃シーケンス→第2の清掃シーケンス→第2の確認シーケンス
コース3.第1の確認シーケンス→第2の清掃シーケンス→第1の清掃シーケンス→第2の確認シーケンス
コース4.第1の確認シーケンス→第1の清掃シーケンス→第2の確認シーケンス
コース5.第1の確認シーケンス→第2の清掃シーケンス→第2の確認シーケンス
コース6.第1の確認シーケンス
ステップS204では、制御部10は各種シーケンスを撮像素子22に実行するために、カメラ制御部21にミラー25のアップとシャッター26の開放を指示する信号を送信する。ミラーアップとシャッター開放の指示信号を受信したカメラ制御部21は、ミラー25をアップさせシャッター26を開放した後、動作が完了した旨を伝える信号を制御部10に送信し、これを受信した制御部10は次のステップに進む。ただし、上述したミラーレス一眼カメラなど、カメラの機種によっては本ステップを行わずとも撮像素子22が遮蔽されず清掃可能な状態の機種もあり、その場合本ステップ及び後述するステップS211は不要である。
In step S204, the
ステップS205では、制御部10が図4(a)に示した確認シーケンスを、清掃を行う前の第1の確認シーケンスとして行う。ステップS206では、制御部10は図4(b)に示した、第1の清掃部4を用いた第1の清掃シーケンスを行う。第1の清掃シーケンスが終了した後、ステップS207では、制御部10は図4(c)に示した第2の清掃部5を用いた第2の清掃シーケンスを行う。ここで、第1の清掃シーケンスを第2の清掃シーケンスの前に行うのは、第2の清掃部5による拭き掃除の際に撮像素子表面30に付着した大きなゴミが引きずられて表面が傷つくことを防ぐために事前に第1の清掃シーケンスで大きなゴミを除去するためである。
In step S205, the
第2の清掃シーケンスが終了した後、ステップS208では、制御部10は第1の清掃部4による第1の清掃シーケンスを再び行う。シーケンス内の動作はステップS206と同じでもよいし、異ならせてもよい。ここで、第1の清掃シーケンスを第2の清掃シーケンスの後に行っているのは、第2の清掃部5による拭き掃除の際に拭き具の繊維が撮像素子表面30に残ったり、撮像素子表面30外へ押し出したゴミが周辺に残ったりするからである。第1の清掃シーケンスを第2の清掃シーケンスの後に行うことで、それらのゴミを吹き飛ばしてきれいにすることができる。
After the second cleaning sequence is completed, in step S208, the
ステップS208の第1の清掃シーケンスが終わると、ステップS209では図4(a)に示した清掃後の第2の確認シーケンスを行う。清掃前の第1の確認シーケンスとの違いは、ステップS104にて表示部7に清掃前後の画像およびゴミ個数などの状態を比較可能に表示できることである。ステップS210では、ステップS209で取得した清掃後の画像情報に基づいてゴミ個数が規定値をクリア(規定値を下回る)しているかを判定する(S210)。ここで規定値をクリアしていなければ、ステップS206に戻り、再度清掃を行う。このとき、一度各清掃シーケンスを経たにもかかわらず取れていないゴミを除去するため、清掃における各種パラメータを変更して再度各清掃シーケンスを行うとよい。例えば、第1の清掃部4ではエアーの強度を前回より強くする、イオナイザーによる帯電の程度を前回より強くする、噴射時間を前回より長くする、移動範囲を前回より広げる等が考えられる。また、第2の清掃部5では、前回の清掃で溶剤を浸けていなければ溶剤を拭き具に浸ける、撮像素子表面30への接圧を前回より強くする、などが考えられる。
When the first cleaning sequence in step S208 ends, in step S209, a second confirmation sequence after cleaning shown in FIG. 4A is performed. The difference from the first confirmation sequence before the cleaning is that the image before and after the cleaning and the state such as the number of dust can be displayed on the
ステップS210にて規定値をクリアしていれば、ステップS211に進み、制御部10はカメラ制御部21にミラー25のダウンとシャッター26の閉鎖を指示する信号を送信する。ミラーダウンとシャッター閉鎖の指示信号を受信したカメラ制御部21は、ミラー25をダウンさせシャッター26を閉じた後、動作が完了した旨を伝える信号を制御部10に送信し、受信した制御部10は清掃シーケンスを終了する(S211)。
If the specified value has been cleared in step S210, the process proceeds to step S211 and the
ここで、本実施形態ではステップS210で清掃の状態を確認するために撮像素子22に残存するゴミの個数を検出しているが、これに限らず、画像から解析可能な撮像素子22の状態を示すものであれば、他の解析結果を基準に用いてもよい。また、本実施形態では、ゴミの個数が規定値をクリアするまで繰り返し各清掃シーケンスを行う例を示したが、ゴミの個数などの清掃の結果を表示部7に表示するだけで、特に繰り返しフローを設けなくてもよい。
Here, in the present embodiment, the number of dusts remaining on the
以上の通り、本実施形態では、物理量を検出する検出素子の検出面に対して風圧(噴射)で清掃を行う第1の清掃部による清掃を行った後に、接触して拭き清掃を行う第2の清掃部による清掃を行う。これにより、検出面につく複数種類のゴミを適切に除去することができる。さらに拭き清掃の後に再度非接触の清掃を行うことで拭き清掃時の拭き具の繊維や清掃し損ねたゴミ、検出面周辺のゴミを除去することができる。また、清掃の前あるいは後あるいは前後で検出面を撮像し検出面の画像を得ることで、清掃前あるいは後あるいは前後の検出面の状態を確認することができる。このとき検出面を照射する光源は点光源とすることで、被写界深度のより深い、ゴミをより認識しやすい画像を取得することが出来るので、検出面に残存するゴミを視認あるいは検出しやすい。また、検出面を撮像した画像を解析することでゴミの状態を分析することができ、ゴミの個数を示したり、ゴミの視認性をあげる表示を行ったりすることが可能となる。 As described above, in the present embodiment, after the first cleaning unit that cleans the detection surface of the detection element that detects a physical quantity by wind pressure (jetting) is used, the second cleaning unit that performs wiping cleaning by contacting the first cleaning unit. Cleaning by the cleaning unit. Thereby, a plurality of types of dust on the detection surface can be appropriately removed. Further, by performing the non-contact cleaning again after the wiping cleaning, it is possible to remove the fibers of the wiping tool, the garbage that has failed to be cleaned, and the garbage around the detection surface during the wiping cleaning. In addition, by imaging the detection surface before, after, or before and after cleaning and obtaining an image of the detection surface, the state of the detection surface before, after, or before and after cleaning can be confirmed. At this time, by using a point light source as a light source for irradiating the detection surface, an image with a deeper depth of field and easier to recognize dust can be obtained, so that dust remaining on the detection surface can be visually recognized or detected. Cheap. In addition, the state of dust can be analyzed by analyzing an image obtained by imaging the detection surface, and the number of dust and the display for improving the visibility of dust can be displayed.
さらに複数の清掃シーケンスが可能な複数の清掃部を備えた清掃装置であることで、検出素子を備えた検出装置の検出面に付く複数種類のゴミの除去に対応することができる。 Further, since the cleaning device includes a plurality of cleaning units capable of performing a plurality of cleaning sequences, it is possible to cope with removal of a plurality of types of dust attached to a detection surface of a detection device including a detection element.
図8を参照して、本実施の形態に係る第2の清掃手段5の構成について説明する。図8は第2の清掃部5の構成例を示している。地板80にゴミを拭き取るためのμファイバーを織り込んだ繊維テープ81、繊維テープ81を巻き取るための巻き取り部82、繊維テープ81を繰り出すための繰出部83、巻取量をコントロールするための歯車部84が取り付けられている。芯材85の先端には、金属で形成された先端芯部86が取り付けられ、弾性部材87は芯材85を駆動方向に付勢する。振動子88は先端芯部86に振動を付与する。ローラ89は金属製の部品であり、芯材85に当接して芯材85の駆動方向を律する。ガイド部材90は、繊維テープ81の動きを規制する部材であり、樹脂で成型されている。振動子88は圧電素子やアクチュエータにより振動を発生させることで、清掃動作時にZ方向の微小振動を先端芯部86に与えることで繊維テープ81と撮像素子表面30との摩擦力を低減し、滑らかな清掃動作を可能とする。また振動子88の振動によって繊維テープ81、ガイド部材90、先端芯部86との摩擦力も低減されるため、繊維テープ81の巻取りの際にも滑らかな巻取りを行うことが可能となる。
With reference to FIG. 8, the configuration of the
ここで第2の清掃部5の清掃時の動作の詳細を説明する。まず、歯車部84が繊維テープ81を噛み込みながら巻き取り、繰出部83から未使用の繊維テープ81を引き出して先端芯部86にて清掃に用いられる。使用済みの繊維テープ81は巻取部82に巻き取られる。繊維テープ81はガイド部材90によって動きが規制され、先端芯部86に繊維テープ81が掛かる状態を維持しながら巻き取られる。清掃が開始されると、先端芯部86に張られた繊維テープ81を、撮像素子22に押し当ててゴミの拭き取り動作を行う。この時、芯材85は押し当て方向(図中Z方向)にスライド動作することが可能となっており、弾性部材87を押しつぶしながら適切な押圧により清掃を行う。弾性部材87によって適切な押圧力が撮像素子表面30にかかるため、撮像素子22を傷つけてしまうことなく、ゴミの除去が可能となる。また、芯材85には可動中も金属ローラ89が当接されており、金属ローラ89を介して固定部2と芯材85との導通が確保されている。拭き取り動作中は芯材85上に取り付けられた振動子88が芯材85を加振することで、押し当てられた繊維テープ81と撮像素子表面30との摩擦を軽減させ、繊維テープ81が撮像素子表面30に引っかかることなく、滑らかに清掃することが可能となる。
Here, the operation of the
ここで固定部2と芯材85が導通されている理由とその効果について説明する。第2の清掃部5と撮像素子表面30(撮像素子22)に電位差があると、一度取り除いたゴミが静電力により再度撮像素子表面へと吸い寄せられてしまうという課題がある。加えて、接触式の清掃はゴミの除去能力が高い反面、往復して拭き取り作業を行うため、撮像面上に静電気が溜まりやすいという課題もある。撮像面に静電気が生じると、空気中に舞うゴミも引き寄せてしまう可能性もある。そこで本実施形態では、固定部2と芯材85が同電位となるように導通することで、固定部2(導通部材)の電位、すなわちグランドの電位とすることで、同じくグランドの電位になっている撮像素子22との電位差をなくすように構成している。これにより第2の清掃部5と撮像素子表面30の電位差が限りなく小さいため、ゴミが撮像素子表面30に吸い寄せられてしまうのを防ぐことができる。
Here, the reason why the fixing
さらに本実施形態では、第1の清掃部4によるエアー清掃の際にもイオナイザーによってイオン化されたエアーを撮像素子表面30に吹きつける。これにより撮像素子表面30が除電されるので、何らかの理由で撮像素子表面30が帯電してゴミを吸い寄せてしまうこと、後の第2の清掃部5による清掃時に表面と清掃部との間に電位差が生じてしまうことを防いでいる。
Furthermore, in the present embodiment, the air ionized by the ionizer is also blown onto the
次に図9を参照して、第2の清掃部5の撮像素子表面30に接近する先端部位の構成について説明する。図9(a)に示すのは、第2の清掃部5の、撮像素子表面30に接近する先端部位の詳細構成を示した斜視図である。また図9(b)、(c)は横からの側面図および側断面図である。繊維テープ81はガイド部材90でそのXY方向を、先端芯部86でZ方向の動きを規制される。
Next, with reference to FIG. 9, the configuration of the distal end portion of the
図9(b)、(c)に示すように、ガイド部材90には繊維テープ81の繰り出し口90aと巻き取り口90bがあり、先端芯部86を挟んで両者は反対側に位置する。繊維テープ81の繰り出し口90aは、ガイド部材90に入れられた切り込みによる開口で形成されている。繊維テープ81が矢印95の方向に巻き取られ移動することで、ここから繊維テープ81をガイド部材90と先端芯部86で挟み込み始め、繊維テープ81のXY方向の動きを規制し始める。
As shown in FIGS. 9B and 9C, the
繊維テープ81の巻き取り口90bは、ガイド部材90に入れられた切り込みによる開口で形成されている。ガイド部材90の先端の開口90cから巻き取り口90bまで、繊維テープ81をガイド部材90と先端芯部86で挟みこみ、繊維テープ81が巻き取られる際のXY方向の動きを規制している。巻き取り口90bは繰り出し口90aよりも開口90cに近い位置に形成される。これによって清掃時に、より撮像素子表面30に近いところで繊維テープ81のXY方向の動きが規制できる。
The take-up
ガイド部材90の先端は1つの開口90cを有しており、先端芯部86を挟んで巻き取り口90b側と繰り出し口90a側に二分される。先端芯部86は金属板を折り曲げて作成されており、折り曲げのR部形状86aが清掃時に撮像素子22と向かいあうように構成されている。R部形状86aのような形状とすることで、繊維テープ81が巻き取られて移動する際に、先端芯部86の端に引っ掛かってしまうことを防止している。また先端芯部86を芯材85に固定する固定端とは逆側の端は、折り曲げた後、先端を巻き取り口90b側に配置することでも、繊維テープ81の引っ掛かりを防止している。
The distal end of the
図10は開口90cをZ方向から観察した図であり、説明のため繊維テープ81は省略している。図10に示すように開口90cの形状は、繰り出し口90a側から巻き取り口90b側に近づくにつれ、そのX方向の開口幅が狭くなるように連続面90dで形成されている。特に巻き取り口90b側のX方向寸法は、繊維テープ81のX方向の幅よりも狭く、繰り出し口90a側のX方向寸法は繊維テープ81のX方向の幅よりも広く設定されている。
FIG. 10 is a view in which the
図11(a)は第2の清掃部5の先端部位を巻き取り口90b側より観察した図である。開口90cで繊維テープ51が繰り出し口90a側から巻き取り口90b側へ侵入する際、巻き取り口90b側のX方向寸法が自身の幅より狭く設定されている。このため、繊維テープ81は左右の端(両端)を芯材側に折り込む形で、すぼまって巻き取り口90bに侵入していく。
FIG. 11A is a diagram in which the distal end portion of the
図11(b)は図11(a)の破線部での断面を図の矢印方向から観察した図である。図11(b)のように繊維テープ81の左右端が折り込まれることで、X方向に繊維テープ81が移動しようとすると、左右端に生まれる反発力で中心に繊維テープ81の軌道が戻される。これにより、第2の清掃部5によって撮像素子表面30を清掃する際に、繊維テープ81がX方向の片側に寄ることなく、軌道を安定させて清掃することが可能である。
FIG. 11B is a view of a cross section taken along a broken line in FIG. When the left and right ends of the
また繊維テープ81がX方向で片側に寄ってしまうことが抑制されているため、撮像素子表面30に対して繊維テープ81の接触部を平行にできる。さらに撮像素子表面30に対して圧力を均等に掛けられるため、左右端を折り込まない場合に比べて拭きムラの少ない清掃が可能である。
Further, since the
また、繊維テープ81はガイド部材90の連続面90dに沿って折り込まれていくので、繊維テープ81が開口90cで繰り出し口90a側から巻き取り口90b側へ侵入する際に、ガイド部材90に引っ掛かってしまうことが防止できる。
In addition, since the
折り込まれた繊維テープ81の左右端は巻き取り口90bから出ると、折り込みを戻し、フラットになってから歯車部84へ巻き取られる。
When the left and right ends of the folded
また、図7に示したように、第2の清掃部5は、撮像素子表面30に繊維テープ81を接触させながら、撮像素子22の長手方向に進行するよう移動し、撮像素子22の表面を拭き取る。この時、各種の大きさの撮像素子に対応するため、繊維テープ81の幅は、清掃装置100に装着可能な撮像装置の有する撮像素子の中で最小のものに対して、有効画素範囲の短手方向の長さと同じか、より短く設定されていることが好ましい。
As shown in FIG. 7, the
一方、清掃時間短縮のためには、一回の動作で拭き取れる範囲が広い方が好ましい。そのため繊維テープ81の幅は、上記の最小の撮像素子に対して、有効画素領域の短手方向寸法を3で除した値よりも大きいものが好適である。
On the other hand, in order to shorten the cleaning time, it is preferable that the range that can be wiped off by one operation is wide. Therefore, it is preferable that the width of the
これにより、図7の第1の清掃エリア42、第2の清掃エリア43を少なくともそれぞれ3回の拭き取り動作で有効画素全領域の清掃を完了することができる。
Thus, cleaning of the entire effective pixel area can be completed by wiping the
図12を参照して、本実施の形態に係る第2の清掃部5の清掃時の接触角度について説明する。図12(a)には繊維テープ81の使用済み面81bが撮像素子表面30に対向する場合を、図12(b)には繊維テープ81の未使用面81aが撮像素子表面30に対向する場合をそれぞれ示す。
With reference to FIG. 12, the contact angle at the time of cleaning of
第2の清掃部5は撮像素子22の清掃にあたり、カメラ200に配設された例えばミラー25やシャッター26などの内部部品120を避けながら、撮像素子22のみを全面清掃する必要がある。そこで、芯材85に張られた繊維テープ81を挿入し、制御部10の指示に基づき可動台座6を用いて位置制御をしながら清掃を行う。この時、繊維テープ81の使用済み面81bが撮像素子22に近づくと、一度除去したゴミが零れ落ち、撮像素子22へと再付着するリスクが高まる。そこで、図12(a)に示すように、使用済み面51bが撮像素子22に対向する角度で清掃を行う場合は、角度θ1を大きくとり、撮像素子22と使用済み面81bの距離をできるだけ離しながら清掃を行う。一方、図12(b)に示すように未使用面81aが撮像素子22に対向する角度で清掃を行う場合は、ゴミの再付着の可能性は低いため、角度θ2を小さくとり、より摩擦で先端が引っかかりづらい角度で清掃を行う。このように、繊維テープ81と撮像素子22の位置関係を考慮してθ1>θ2となるように制御することで、ゴミの再付着リスクを軽減しつつ、最適な接触角度にて拭き取り作業を行うことができる。
In cleaning the
また、未使用面81aと使用済み面81bの成す角度は、90度からθ1を減じた角度よりも小さいことが好適である。そのような構成にすることで、撮像素子22の被写体側にカメラ200の一部である内部部品120がある場合、角度θ1や角度θ2だけ傾けることで、繊維テープ81は内部部品120の下に潜り込んで、撮像素子表面30を清掃することができる。
Further, it is preferable that the angle between the
以上のように、本実施形態では、接触式の拭き清掃を行う第2の清掃部5の清掃部(芯材85、繊維テープ81)と検出面(撮像素子表面30)をそれぞれグランドの電位で同電位にする。これにより、両者に電位差があった場合に生じる検出面へのゴミの吸い寄せを防止する。
As described above, in the present embodiment, the cleaning unit (the
また、検出面にはイオン化されたエアーで除電処理も行うことで、検出素子単体でも検出面が電化してゴミを吸い寄せることを防止している。 In addition, since the detection surface is also subjected to static elimination processing using ionized air, the detection surface of the detection element alone is prevented from being electrified and attracting dust.
ここで、清掃部と検出面を同電位にする方法は上記の実施形態で紹介した方法に限らない。例えば撮像素子表面30と芯材85を清掃している箇所とは別の部分で直接導通することで同電位にするようにしてもよい。
Here, the method of making the cleaning unit and the detection surface have the same potential is not limited to the method introduced in the above embodiment. For example, the same potential may be obtained by directly conducting electricity at a portion different from the portion where the
また、本実施形態では、拭き清掃を行う第2の清掃部5の先端の清掃部分(先端)の構成を工夫することで、清掃軌跡に対する清掃テープのずれを抑制し、拭き残しを低減している。具体的には、芯材と、芯材の側面に沿うように巻かれた拭き具に対して、
・繰り出しと巻き取りにガイドを設ける。
・金属製の芯材に対し、片面に繰り出し口、逆側の面に巻き取り口を設ける。
・テープ幅より巻き取り口は狭い。
・繰り出し口は巻き取り口より広い。
・巻き取り口は繰り出し口と連続面により一体的に形成される。
・巻き取り口出口のほうが繰り出し口入口より先端に近い。
・芯材は金属板を折り返して製作されており、折り返した端面は巻き取り口側に形成される。
のうち少なくとも1つの工夫を行うことで、上記効果を少なからず得ることができる。
Further, in the present embodiment, by devising the configuration of the cleaning portion (tip) at the tip of the
・ Provide guides for feeding and winding.
・ For the metal core material, a feeding port is provided on one side and a winding port is provided on the opposite side.
・ The winding opening is narrower than the tape width.
・ The feeding port is wider than the winding port.
-The winding port is formed integrally with the feeding port and the continuous surface.
・ The exit of the take-up port is closer to the tip than the entrance of the take-out port.
-The core material is manufactured by folding a metal plate, and the folded end surface is formed on the winding port side.
By at least devising at least one of the above effects, the above effects can be obtained to some extent.
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、装置のレイアウト、シーケンスの組み合わせを含むこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。 As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to these embodiments including a combination of a device layout and a sequence, and various modifications and changes are possible within the scope of the invention. .
(変形例1)
次に図13、図14を参照して、第2の清掃シーケンスのステップS121の清掃方法の他の例について説明する。なお、簡便化のために第1の実施形態と同様のところは説明を省略する。
(Modification 1)
Next, another example of the cleaning method in step S121 of the second cleaning sequence will be described with reference to FIGS. Note that, for the sake of simplicity, a description of the same parts as in the first embodiment will be omitted.
図13、図14は本実施例におけるステップS121での第2の清掃部5の清掃方法を説明するイメージ図である。図14(a)、(b)は撮像素子22の撮像素子表面30を正面から見た図である。図14(c)、(d)は撮像素子22の撮像素子表面30を側面から見るとともに第2の清掃部5が撮像素子表面30と接触して先端の拭き具で撮像素子表面30を拭き取る様子を説明する図である。
FIGS. 13 and 14 are conceptual diagrams illustrating a method of cleaning the
図14(a)において、140aは第1の清掃エリア、140bは第2の清掃エリア、141a、141b、142a、142bは第2の清掃部5が通過する移動軌跡の一部である。
In FIG. 14A,
図14(a)に示すように、移動軌跡141aの終了地点と、次に清掃する移動軌跡142aの終了地点は清掃方向44で異なった位置に制御されることで、所定距離以上離れた位置をとる。そして第1の清掃エリア140aが清掃終了した後、第2の清掃エリア140bの清掃が開始される。このとき図14(b)に示すように、第1の清掃エリア140aの各移動軌跡と所定量だけ重複する領域があるよう、移動軌跡141b、142bの清掃開始地点が決定され、清掃がなされる。
As shown in FIG. 14A, the end point of the
すなわち、制御部10は、第2の清掃部5が撮像素子表面30に接触した位置を開始位置として所定の進行方向に移動し、その後終了位置で離反するまでを1つの移動軌跡として、複数の移動軌跡で駆動させることで撮像素子表面30を清掃する。このとき、複数の移動軌跡において、撮像素子表面の端部を除く面内での移動軌跡の開始位置または終了位置が所定の距離以上離れるよう制御する。
In other words, the
図13に示す領域141、142は、第1の清掃エリア140aと第2の清掃エリア140bとで各移動軌跡が重複した領域であり、また第2の清掃部5が傾きを切り替えるために撮像素子表面30から離反し、再接触した位置でもある。
図7のように、各移動軌跡で、清掃方向44に対して同じ位置において第2の清掃部5を撮像素子表面30から離反させ、再度接触する制御を行うと、不連続な動作で発生するわずかな拭きむらが一直線上に並び、撮影画像上で見えてしまう可能性がある。
As shown in FIG. 7, when the
しかし図13のように第2の清掃部5の移動軌跡を制御することで、各移動軌跡上での不連続動作の位置を分散させ、拭きむらを視認しにくくすることができる。
However, by controlling the movement trajectory of the
また、図16に示すように、第2の清掃部5を清掃方向44へ移動させながら撮像素子表面30に近づけるよう制御することで、さらに拭きむらを視認しにくくすることができる。
In addition, as shown in FIG. 16, by controlling the
(変形例2)
さらに図15を参照して第2の清掃シーケンスのステップS121の清掃方法の他の例について説明する。なお、簡便化のために第1の実施形態と同様のところは説明を省略する。
(Modification 2)
Further, another example of the cleaning method in step S121 of the second cleaning sequence will be described with reference to FIG. Note that, for the sake of simplicity, a description of the same parts as in the first embodiment will be omitted.
変形例1と変形例2の違いは、第1の清掃エリア140aと第2の清掃エリア140bとで各移動軌跡が重複する領域、または第2の清掃部5が傾きを切り替えるために撮像素子表面30から離反し、再接触する位置の制御の仕方である。
The difference between the first modification and the second modification is that the
図15に示すように、撮像素子表面30の領域のうち、清掃方向44と直交する方向を6行の領域に、また清掃方向44と平行な方向で6列の同じ幅の領域に分けて、第2の清掃部5の傾きを切替える位置を制御する。150は第2の清掃部5の傾きの切替えが制限される領域である。
As shown in FIG. 15, in the area of the
図15での領域143、144は第1の清掃エリア140aと第2の清掃エリア140bとで各移動軌跡が重複した領域であり、また第2の清掃部5が傾きを切り替えるために撮像素子表面30から離反し、再接触した位置でもある。ここで、第2の清掃部5の傾きの切替え制御は、同一列で1回のみに制限されている。例えば、図15に示すように1行目は4列目で傾きを切り替えているため、他の行では4列目での傾きの切替えをしない。
The
このように制御することで、同一列に、不連続動作の位置が並ぶことがなく、拭きむらを視認しにくくすることができる。 By controlling in this manner, the positions of the discontinuous operation do not line up in the same row, and it is possible to make it difficult to visually recognize the uneven wiping.
またさらに言えば、ある行での傾きの切替えは、隣の行の切り替えた位置より少なくとも2列は離れた位置で行うよう制御する。例えば図15に示すように、2行目で6列目、4行目で1列目に切替えがなされるため、3行目の切替えは、3列目に制御されている。
このように制御することで、ある切替え位置近傍にほかの切替え位置が位置することがないため、さらに拭きむらを視認しにくくすることができる。
Furthermore, in other words, the switching of the inclination in a certain row is controlled to be performed at a position at least two columns away from the switched position of the adjacent row. For example, as shown in FIG. 15, the switching is performed on the sixth column in the second row and the first column in the fourth row, and thus the switching on the third row is controlled in the third column.
By controlling in this way, another switching position is not located near a certain switching position, so that it is possible to make it more difficult to visually recognize the uneven wipe.
なお変形例2では6行6列の領域に分割して制御したが、分割の仕方はこの限りではない。 In the second modification, control is performed by dividing the area into 6 rows and 6 columns. However, the manner of division is not limited to this.
(変形例3)
上に説明した実施形態の図12において、第2の清掃部5により繊維テープ81が撮像素子表面30に押圧された状態で、歯車部84が繊維テープ81を巻き取ると、繊維テープ81に張力が生じ、芯材85を弾性部材87の弾性力に抗して退避させる力が働く。清掃中に芯材85が撮像素子表面30より退避してしまうと、拭きむらとなってしまうが、巻き取らないと繊維テープ81が撮像素子表面30との摩擦力によりたるんでしまい、使用済み面が撮像素子表面30に再接触する問題があった。
(Modification 3)
In FIG. 12 of the embodiment described above, when the
そこで次に上述した問題に対して清掃中に繊維テープ81の巻取りをしても、拭きむらが起こりにくい本発明の構成の変形例を示す。
Therefore, next, a modification of the configuration of the present invention in which uneven wiping hardly occurs even when the
図17は、変形例3の第2の清掃部5のみを示した模式図である。なお、簡便化のため変形例3において説明が必要な部分のみ説明する。
FIG. 17 is a schematic diagram illustrating only the
80aは地板80上に一体となって形成されたスライドガイド部である。84は繊維テープ81の巻取量を滑りを防止しながら微小にコントロールするために地板80上に設けられた歯車部、85aは芯材85と一体となって移動可能に形成されたローラ支持部である。91および92はローラ支持部85a上で繊維テープ81の動きに沿って回転するローラ部品である。93は繊維テープ81が繰出部83から繰り出されたのちに、ローラ部品92へ向かう際の方向を規制する地板80上に設けられたローラ部品である。
次に図18および図19を参照して変形例3にかかる第2の清掃部5の清掃時の詳細な動作について説明する。
Next, a detailed operation of the
図19aは、第2の清掃部5が内部部品120との衝突を避けながら近傍を通過し、撮像素子表面30に接触し、押圧する際の動作を示している。なお簡便化のため、第2の清掃部5の撮像素子表面30に接触する部分のみを側面からのイメージ図として表現している。
FIG. 19A illustrates an operation when the
図18aには、繊維テープ81を撮像素子表面30に接触させただけの状態で、弾性部材87の弾性力で芯材85を介して繊維テープ81を撮像素子表面30に押圧する前の状態を示す。図18bには、押圧機構としての弾性部材87の弾性力で繊維テープ81を撮像素子表面30に押圧している状態を示す。第2の清掃部5の移動方向は清掃方向44の方向である。図18aに示す状態では、芯材85は弾性部材87の弾性力によってスライドガイド部80aに突き当たって保持されている。この時芯材85のスライド可能方向(押圧方向)であるZ方向に対して、ローラ部品91(規制部材)から歯車部84(規制部材)に向かって巻き取られる繊維テープ81の方向は、ほぼ直交している。また、ローラ部品93からローラ部品92に向かって巻き取られる繊維テープ81の方向も、同様にほぼ直交している。
FIG. 18A shows a state in which the
次に図18bに示すように、第2の清掃部5が撮像素子表面30に微小量近づくよう制御されると、芯材85は図18bのZ方向に図18aの状態からスライドして退避する。さらにそれに伴い、ローラ支持部85a上に設置されたローラ部品91、ローラ部品92も微小量だけ移動する。スライドガイド部80aによる芯材85の保持がなくなり、弾性部材87の弾性力により、繊維テープ81は芯材85を介して、撮像素子表面30に押し付けられる。この状態から、第2の清掃部5は撮像素子表面30の清掃を行う。
Next, as shown in FIG. 18B, when the
図19bは、図19aの動作の後、第2の清掃部5が撮像素子表面30に接触しながら内部部品120の下まで入り込み停止する動作を示している。この時、歯車部84は繊維テープ81の巻取りを行わず、繊維テープ81は第2の清掃部5に対して停止したまま、撮像素子表面30の清掃を行う。
FIG. 19B shows an operation in which the
次に図19cにおいて、歯車部84が駆動を開始し、繊維テープ81の巻取りを行う。その際、繊維テープ81は第2の清掃部5上を、矢印46で示す方向と速度で移動する。
Next, in FIG. 19C, the
次に図19dに示すように、第2の清掃部5が撮像素子表面30上を清掃方向44に移動しながら清掃する。その際、歯車部84は繊維テープ81の巻取りを矢印46の方向と速度で行い、常に新しい繊維テープ81の面で清掃を行う。この時、図18bに示すように、地板80と芯材85との間に働く繊維テープ81の張力は、ローラ部品91と歯車部84の間、そしてローラ部品92とローラ部品93との間に生じ、その方向は芯材85のスライド方向であるZ方向と略直交する。また繊維テープ81の巻取りが進んで巻取部82、および繰出部83の周囲に収納される繊維テープ81の外径が変化しても、歯車部84およびローラ部品93が繊維テープ81の方向を規制することにより、上記の張力方向は変化しない。そのため、繊維テープ81の張力によって芯材85を弾性部材87の方向へ移動させる力は微小であり、繊維テープ81の巻き取り状態に関わらず、常に一定の押圧力で芯材85を撮像素子表面30に押圧しながら清掃することが可能である。これにより、清掃中の拭きむらを低減することができる。
Next, as shown in FIG. 19D, the
図20は第2の清掃部5が撮像素子表面30を清掃する際の、各部材の移動速度と方向を表す図であり、矢印48は第2の清掃部5に対する撮像素子表面30の方向と移動速度を表す。図20に示すように、通常時は繊維テープ81の巻き取り方向を示す矢印46と、第2の清掃部5に対する撮像素子表面30の移動方向を示す矢印48が、撮像素子表面30と繊維テープ81の接触点において、同一方向であるように、清掃方向44が制御される。さらにその際、矢印46が示す、繊維テープ81が第2の清掃部5上を移動する速度よりも、矢印48が示す、第2の清掃部5の撮像素子表面30に対する移動速度が、速くなるよう制御される。このように制御することで、第2の清掃部5上の繊維テープ81で、撮像素子表面30上を引きずるように清掃することができ、撮像素子表面30上のゴミが繊維テープ81によって捕獲されやすくすることができる。清掃時の摩擦力が大きい撮像素子22を清掃する際は、矢印46と矢印48で示される移動速度の差を、通常時よりも小さく制御することで清掃時の摩擦抵抗の影響を軽減することができる。
FIG. 20 is a diagram illustrating a moving speed and a direction of each member when the
なお通常の清掃を行ったのち、図5のステップS210によって、清掃が不十分だと判断された場合、清掃方向を変更しても良い。その際は、図20の清掃方向44とは逆方向に第2の清掃部5を駆動する。しかし、繊維テープ81の巻き取り方向は通常時と同様のため、繊維テープ81の巻き取り方向を示す矢印46と、第2の清掃部5に対する撮像素子表面30の移動方向を示す矢印48が逆方向となる。このように制御することで、繊維テープ81のゴミの捕獲力を通常時より強化することができる。
After performing normal cleaning, if it is determined in step S210 in FIG. 5 that cleaning is insufficient, the cleaning direction may be changed. At that time, the
続いて図19eに示すように、第2の清掃部5は撮像素子表面30に対する傾きを切り替えるため、清掃方向44への移動を停止する。
Subsequently, as shown in FIG. 19E, the
次に図19fに示すように撮像素子表面30から離反する。図19eから図19fにかけて歯車部84は駆動を続け、撮像素子表面30から繊維テープ81が離反する際に、繊維テープ81の未使用面が供給され続けるよう制御される。このように制御することで、第2の清掃部5が清掃方向44への移動を停止した瞬間に捕獲したゴミが、離反時に撮像素子表面30上に残ってしまうことを防止できる。離反した後、歯車部84は駆動を停止し、繊維テープ81の巻取りを中断する。
Next, as shown in FIG. 19e to FIG. 19f, the
次に図19gに示すように第2の清掃部5の傾きの切替え動作を行った後、図19hに示すように、第2の清掃部5は歯車部84を駆動し、矢印47で示す方向と速度で繊維テープ81の移動を再開する。この時第2の清掃部5は清掃方向44に移動しつつ、撮像素子表面30に近づくよう制御される。
Next, after performing the switching operation of the inclination of the
図19iに示すように、第2の清掃部5は撮像素子表面30を再び押圧すると、清掃方向44に対して反対方向に傾きながら清掃を行う。
As shown in FIG. 19i, when the
このとき、繊維テープ81の移動速度は矢印46よりも矢印47のほうが速くなるよう制御すると、撮像素子表面30との摩擦が軽減し、より清掃に好適である。
At this time, if the movement speed of the
以上のように、変形例3の構成では拭き取り動作中も歯車部84が駆動し、繊維テープ81を巻き取りながら撮像素子表面30上を清掃するので、摩擦力で繊維テープ81がたるんでしまい、使用済み面が撮像素子表面30に再接触してしまうことを防止できる。
As described above, in the configuration of the third modification, the
(他の実施形態)
本発明の目的は以下のようにしても達成できる。すなわち、前述した各実施形態の機能を実現するための手順が記述されたソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、システムまたは装置に供給する。そしてそのシステムまたは装置のコンピュータ(またはCPU、MPU等)が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行するのである。
(Other embodiments)
The object of the present invention can also be achieved as follows. That is, a storage medium storing a program code of software in which a procedure for realizing the functions of the above-described embodiments is described is supplied to a system or an apparatus. Then, the computer (or CPU, MPU, or the like) of the system or apparatus reads out and executes the program code stored in the storage medium.
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体およびプログラムは本発明を構成することになる。 In this case, the program code itself read from the storage medium implements the novel function of the present invention, and the storage medium and the program storing the program code constitute the present invention.
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスクなどが挙げられる。また、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−RW、DVD−R、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ROM等も用いることができる。 Further, examples of a storage medium for supplying the program code include a flexible disk, a hard disk, an optical disk, and a magneto-optical disk. Further, a CD-ROM, a CD-R, a CD-RW, a DVD-ROM, a DVD-RAM, a DVD-RW, a DVD-R, a magnetic tape, a nonvolatile memory card, a ROM, and the like can be used.
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行可能とすることにより、前述した各実施形態の機能が実現される。さらに、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOS(オペレーティングシステム)等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した各実施形態の機能が実現される場合も含まれる。 Further, the functions of the above-described embodiments are realized by enabling the computer to execute the readout program codes. Further, an OS (Operating System) or the like running on the computer performs part or all of the actual processing based on the instructions of the program code, and the functions of the above-described embodiments are realized by the processing. Is also included.
更に、以下の場合も含まれる。まず記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれる。その後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部または全部を行う。 Further, the following case is also included. First, the program code read from the storage medium is written to a memory provided in a function expansion board inserted into the computer or a function expansion unit connected to the computer. Thereafter, based on an instruction of the program code, a CPU or the like provided in the function expansion board or the function expansion unit performs part or all of actual processing.
100 清掃装置
2 固定部
3 確認部
4 第1の清掃部
5 第2の清掃部
6 可動台座
7 表示部
8 入力部
9 測定部
10 制御部
14 電源
15 電源SW
16 メモリ
17 通信部
200 カメラ
21 カメラ制御部
22 撮像素子
23 カメラ固定部
24 カメラ通信部
REFERENCE SIGNS
16
Claims (18)
前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う拭き清掃手段と、
前記拭き清掃手段と導通することで前記清掃手段と電位を等しくする導通部材と、を有し、
前記拭き清掃手段と前記導通部材が導通することで、前記検出面と前記拭き清掃手段が同電位となることを特徴とする清掃装置。 A cleaning device for cleaning a detection element having a detection surface,
A wiping cleaning unit that performs wiping cleaning while in contact with the detection surface,
A conductive member that makes the cleaning unit and the electric potential equal by conducting with the wiping cleaning unit,
The cleaning device, wherein the detection surface and the wiping cleaning unit have the same potential by conducting the wiping cleaning unit and the conductive member.
前記エアー清掃手段はイオン化されたエアーを前記検出面に噴射することで、前記検出面を除電することを特徴とする請求項1または2に記載の清掃装置。 Having air cleaning means for cleaning the detection surface by air pressure,
3. The cleaning device according to claim 1, wherein the air cleaning unit discharges the detection surface by injecting ionized air onto the detection surface. 4.
前記検出面に接触しながら清掃する拭き具と、
前記拭き具を巻き取る巻き取り機構と、
前記拭き具を巻き取り方向に折り返し、前記検出面に前記拭き具の折り返し部を接触させる芯材と、
前記拭き具の折り返し部で前記拭き具の動きを規制するガイド部材と、を備え
前記ガイド部材は前記芯材に対して巻き取り側に巻き取り口を備え、前記拭き具の幅より前記ガイド部材の巻き取り口の開口幅は狭く形成されることを特徴とする清掃装置。 A cleaning device for cleaning a detection element having a detection surface,
A wiping tool for cleaning while contacting the detection surface,
A winding mechanism for winding the wiper;
A core material that folds the wiping tool in a winding direction and makes a folded portion of the wiping tool contact the detection surface,
A guide member for restricting the movement of the wiping tool at the folded portion of the wiping tool, wherein the guide member has a winding opening on a winding side with respect to the core material, and the width of the wiping tool increases the width of the guide member. A cleaning device, wherein an opening width of a winding opening is formed to be narrow.
前記検出面に接触した状態で移動することで拭き清掃を行う拭き清掃手段と、
前記清掃手段の前記検出素子表面に対する接触と離反を切り替え、かつ移動を制御することで前記拭き清掃手段による清掃を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記拭き清掃手段が前記検出面に接触した位置を開始位置として移動し、その後終了位置で離反するまでを1つの移動軌跡として、複数の移動軌跡で前記検出面を清掃し、前記複数の移動軌跡において、前記検出面の端部を除く前記検出面の中での前記開始位置または前記終了位置が所定の距離以上離れるよう前記拭き清掃手段による清掃を制御することを特徴とする清掃装置。 A cleaning device for cleaning a detection element having a detection surface,
A wiping cleaning unit that performs wiping cleaning by moving while being in contact with the detection surface,
Control means for controlling the cleaning by the wiping cleaning means by switching between contact and separation of the cleaning means with respect to the detection element surface, and controlling the movement,
The control means moves the position at which the wiping cleaning means contacts the detection surface as a start position, and thereafter, as one movement trajectory until the wiper is separated at an end position, cleans the detection surface with a plurality of movement trajectories, In the plurality of trajectories, cleaning by the wiping cleaning unit is controlled such that the start position or the end position on the detection surface excluding the end of the detection surface is separated by a predetermined distance or more. Cleaning device.
前記芯材と一体になって押圧方向に駆動するよう形成された少なくとも1つの第1の規制部材と、
前記第1の規制部材から前記拭き具の折り返し部とは逆側に配置された少なくとも1つの第2の規制部材と、を備え
前記第1の規制部材と前記第2の規制部材によって、前記拭き具の進行方向を前記芯材の押圧方向とは角度が異なるように変更可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の清掃装置。 A pressing mechanism for pressing the core against the detection surface,
At least one first regulating member formed so as to be driven in the pressing direction integrally with the core member;
At least one second restricting member disposed on the opposite side of the first restricting member from the turn-back portion of the wiping tool. The wiping is performed by the first restricting member and the second restricting member. The cleaning device according to any one of claims 1 to 10, wherein an advancing direction of the tool can be changed so as to be different in angle from a pressing direction of the core material.
前記検出面に接触した状態で移動することで拭き清掃を行う拭き清掃手段が、前記清掃手段の前記検出素子表面に対する接触と離反を切り替え、かつ移動することで前記拭き清掃を行う清掃ステップを有し、
前記清掃ステップでは、前記拭き清掃手段が前記検出面に接触した位置を開始位置として移動し、その後終了位置で離反するまでを1つの移動軌跡として、複数の移動軌跡で前記検出面を清掃し、前記複数の移動軌跡において、前記検出面の端部を除く前記検出面の中での前記開始位置または前記終了位置が所定の距離以上離れるよう前記拭き清掃手段による清掃を制御することを特徴とする清掃装置の制御方法。 A control method of a cleaning device for cleaning a detection element having a detection surface,
A wiping cleaning unit that performs wiping cleaning by moving while being in contact with the detection surface has a cleaning step of switching the contact and separation of the cleaning unit with the detection element surface and performing the wiping cleaning by moving. And
In the cleaning step, the position where the wiping cleaning unit contacts the detection surface is moved as a start position, and thereafter, the detection surface is cleaned with a plurality of movement trajectories until a separation at an end position is performed as one movement trajectory, In the plurality of trajectories, cleaning by the wiping cleaning unit is controlled such that the start position or the end position on the detection surface excluding the end of the detection surface is separated by a predetermined distance or more. Control method of cleaning device.
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