JP2020047530A - プラズマ照射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1端子と第2端子とを着脱する際に第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制したプラズマ照射装置を提供する。【解決手段】プラズマ照射装置1は、第1端子46が設けられたプラズマ発生部を有し、第1端子に印加された電力に基づいてプラズマ発生部にて発生したプラズマ及びプラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、第1端子に着脱可能な第2端子25と、第1端子及び第2端子が互いに接触している第1接触状態P11のときに第1端子と第2端子との間に電力を印加し、第1端子及び第2端子が、互いに離間している第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに第1端子と第2端子との間に電力を印加しない供給部60と、を備える。【選択図】図5
Description
本発明は、プラズマ照射装置に関する。
従来、例えば、歯科治療等の医療を用途とするプラズマ照射装置が知られている。
プラズマ照射装置は、創傷等の患部にプラズマ又は活性ガスを照射することで、患部を治癒する。前記活性ガスは、プラズマ照射装置内でプラズマによって発生させられる。
プラズマ照射装置は、創傷等の患部にプラズマ又は活性ガスを照射することで、患部を治癒する。前記活性ガスは、プラズマ照射装置内でプラズマによって発生させられる。
例えば、特許文献1は、歯科治療を行うプラズマジェット照射装置を開示している。前記プラズマジェット照射装置は、プラズマジェット照射手段を有する照射器具を備えている。前記プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと、活性種と、を被照射物に照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。
特許文献2は、照射器具内部で活性ガス(活性種)を発生させ、その活性ガスをノズルから吐出して患部に照射するプラズマ照射装置を開示している。前記活性ガスは、例えば、活性酸素や活性窒素等である。
特許文献2は、照射器具内部で活性ガス(活性種)を発生させ、その活性ガスをノズルから吐出して患部に照射するプラズマ照射装置を開示している。前記活性ガスは、例えば、活性酸素や活性窒素等である。
しかしながら、この種のプラズマ照射装置では、プラズマ発生部でプラズマ及び活性ガスの少なくとも一方を発生するには、プラズマ発生部に例えば1万V(ボルト)程度の高い電圧を印加する必要がある。この高い電圧を伝送する経路を構成する第1端子及び第2端子を着脱すると、第1端子と第2端子との間に火花(スパーク)が発生する恐れがある。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、第1端子と第2端子とを着脱する際に第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制したプラズマ照射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明のプラズマ照射装置は、第1端子が設けられたプラズマ発生部を有し、前記第1端子に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、前記第1端子に着脱可能な第2端子と、前記第1端子及び前記第2端子が互いに接触している第1接触状態のときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加し、前記第1端子及び前記第2端子が、互いに離間している第1離間状態と前記第1接触状態との間で切り替わるときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加しない供給部と、を備えることを特徴としている。
本発明のプラズマ照射装置は、第1端子が設けられたプラズマ発生部を有し、前記第1端子に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、前記第1端子に着脱可能な第2端子と、前記第1端子及び前記第2端子が互いに接触している第1接触状態のときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加し、前記第1端子及び前記第2端子が、互いに離間している第1離間状態と前記第1接触状態との間で切り替わるときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加しない供給部と、を備えることを特徴としている。
この発明によれば、第1端子及び第2端子が第1接触状態のときには、供給部により、第1端子と第2端子との間に電力が印加される。そして、第1端子に電力が印加されたプラズマ発生部から、プラズマ及び活性ガスの少なくとも一方が吐出される。
一方で、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第1端子と第2端子との間に電力を印加しないため、第1端子と第2端子とを着脱する際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
一方で、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第1端子と第2端子との間に電力を印加しないため、第1端子と第2端子とを着脱する際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
また、上記のプラズマ照射装置において、前記供給部は、前記第1端子及び前記第2端子が、前記第1接触状態から前記第1離間状態に切り替わるよりも前に、前記第1端子と前記第2端子との間の電力の印加を停止してもよい。
この発明によれば、第1端子及び第2端子が第1接触状態から第1離間状態に切り替わる際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。
この発明によれば、第1端子及び第2端子が第1接触状態から第1離間状態に切り替わる際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。
また、上記のプラズマ照射装置において、前記プラズマ発生部には第3端子が設けられ、前記プラズマ発生部は、前記第1端子と前記第3端子との間に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生した前記プラズマ及び前記活性ガスの少なくとも一方を吐出し、前記第3端子に着脱可能な第4端子を備え、前記供給部は、前記第1端子及び前記第2端子が前記第1接触状態であり、かつ前記第3端子及び前記第4端子が互いに接触している第2接触状態のときに、前記第1端子及び前記第3端子を介して、前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加し、前記第3端子及び前記第4端子が互いに離間している状態を第2離間状態としたときに、前記第1端子及び前記第2端子が前記第1離間状態と前記第1接触状態との間で切り替わるときに前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加しないこと、及び、前記第3端子及び前記第4端子が前記第2離間状態と前記第2接触状態との間で切り替わるときに前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行ってもよい。
この発明によれば、第1端子から第4端子が第1、第2接触状態のときには、供給部により、第1端子及び第3端子を介して、第2端子と第4端子との間に電力が印加される。そして、第1端子と第3端子との間に電力が印加されたプラズマ発生部から、プラズマ及び活性ガスの少なくとも一方が吐出される。
一方で、供給部は、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに第2端子と第4端子との間に電力を印加しないこと、及び、第3端子及び第4端子が第2離間状態と第2接触状態との間で切り替わるときに第2端子と第4端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、第1,第3端子と第2,第4端子とを着脱する際に、第1,第3端子と第2,第4端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
一方で、供給部は、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに第2端子と第4端子との間に電力を印加しないこと、及び、第3端子及び第4端子が第2離間状態と第2接触状態との間で切り替わるときに第2端子と第4端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、第1,第3端子と第2,第4端子とを着脱する際に、第1,第3端子と第2,第4端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
本発明のプラズマ照射装置によれば、第1端子と第2端子とを着脱する際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
(第1実施形態)
以下、本発明に係るプラズマ照射装置の第1実施形態を、図1から図7を参照しながら説明する。
本実施形態のプラズマ照射装置は、プラズマジェット照射装置又は活性ガス照射装置である。
プラズマジェット照射装置は、プラズマを発生させる。プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと、活性種と、を被照射者(被照射物)に直接照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。活性種としては、活性酸素種や活性窒素種を例示できる。活性酸素種としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル等を例示できる。活性窒素種としては、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。
一方で、活性ガス照射装置は、プラズマを発生させる。活性ガス照射装置は、活性種を含む活性ガスを被照射者に照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。
以下、プラズマ照射装置が活性ガス照射装置である場合を例にとって説明する。
以下、本発明に係るプラズマ照射装置の第1実施形態を、図1から図7を参照しながら説明する。
本実施形態のプラズマ照射装置は、プラズマジェット照射装置又は活性ガス照射装置である。
プラズマジェット照射装置は、プラズマを発生させる。プラズマジェット照射装置は、発生したプラズマと、活性種と、を被照射者(被照射物)に直接照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。活性種としては、活性酸素種や活性窒素種を例示できる。活性酸素種としては、ヒドロキシルラジカル、一重項酸素、オゾン、過酸化水素、スーパーオキシドアニオンラジカル等を例示できる。活性窒素種としては、一酸化窒素、二酸化窒素、ペルオキシナイトライト、過酸化亜硝酸、三酸化二窒素等を例示できる。
一方で、活性ガス照射装置は、プラズマを発生させる。活性ガス照射装置は、活性種を含む活性ガスを被照射者に照射する。前記活性種は、プラズマ中の気体又はプラズマ周辺の気体とプラズマとが反応して生成される。
以下、プラズマ照射装置が活性ガス照射装置である場合を例にとって説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置1は、照射器具10と、供給ユニット20と、ガス供給部30と、連結部材40と、電力供給部(供給部)60(図5参照)と、制御部70と、を備えている。
照射器具10は、照射器具10内で発生した活性ガスを吐出する。
供給ユニット20は、照射器具10に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する。プラズマ発生用ガスとしては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等の希ガス;窒素;等を例示できる。これらのガスは、1種単独で供給されてもよいし、2種以上を組み合わせて供給されてもよい。
プラズマ発生用ガスは、窒素を主成分とすることが好ましい。ここで、窒素を主成分とするとは、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量が50体積%超であることをいう。
供給ユニット20は、照射器具10に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する。プラズマ発生用ガスとしては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等の希ガス;窒素;等を例示できる。これらのガスは、1種単独で供給されてもよいし、2種以上を組み合わせて供給されてもよい。
プラズマ発生用ガスは、窒素を主成分とすることが好ましい。ここで、窒素を主成分とするとは、プラズマ発生用ガスにおける窒素の含有量が50体積%超であることをいう。
供給ユニット20は、ガス供給部30を収容している。ガス供給部30は、プラズマ発生用ガスを収容している。
連結部材40は、ガス管路41と、電気配線42と、を備えている。
ガス管路41は、照射器具10と供給ユニット20とを連結している。電気配線42は、照射器具10と供給ユニット20とを連結している。
本実施形態において、ガス管路41と電気配線42とは、各々独立しているが、ガス管路41と電気配線42とは一体でもよい。
連結部材40は、ガス管路41と、電気配線42と、を備えている。
ガス管路41は、照射器具10と供給ユニット20とを連結している。電気配線42は、照射器具10と供給ユニット20とを連結している。
本実施形態において、ガス管路41と電気配線42とは、各々独立しているが、ガス管路41と電気配線42とは一体でもよい。
図1に示すように、ガス管路41は、供給ユニット20から照射器具10にプラズマ発生用ガスを供給する経路である。ガス管路41は、照射器具10に接続されている。
ガス管路41の材料は特に制限はなく、公知のガス管に用いる材料を適用できる。ガス管路41の材料としては、例えば、樹脂製の配管、ゴム製のチューブ等を例示でき、可撓性を有する材料が好ましい。
ガス管路41の材料は特に制限はなく、公知のガス管に用いる材料を適用できる。ガス管路41の材料としては、例えば、樹脂製の配管、ゴム製のチューブ等を例示でき、可撓性を有する材料が好ましい。
電気配線42は、供給ユニット20から照射器具10に電力を供給する配線である。
電気配線42の材料は特に制限はなく、公知の電気配線に用いる材料を適用できる。電気配線42の材料としては、絶縁材料で被覆した金属製の導線等を例示できる。図5に示すように、電気配線42は、第1導線42a及び第3導線42bを備えている。
電気配線42の材料は特に制限はなく、公知の電気配線に用いる材料を適用できる。電気配線42の材料としては、絶縁材料で被覆した金属製の導線等を例示できる。図5に示すように、電気配線42は、第1導線42a及び第3導線42bを備えている。
電気配線42における供給ユニット20に接続された端部には、配線側コネクタ44が固定されている。例えば、配線側コネクタ44は、コネクタ本体45と、第1端子46と、第3端子47と、を備えている。
コネクタ本体45は、樹脂等の電気的な絶縁性を有する材料で所定の方向に延びる軸状に形成されている。この例では、コネクタ本体45は直方体状であるが、コネクタ本体45の形状はこれに限定されず、円柱状等でもよい。
コネクタ本体45には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつ外部に露出する第1外面45a、第2外面45bが形成されている。第1外面45a及び第2外面45bは、コネクタ本体45における互いに反対側となる面である。第1外面45aと第2外面45bとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。
電気配線42は、コネクタ本体45の前記所定の方向における第1の側の端部に固定されている。
第2外面45bにおける、前記所定の方向における第1の側とは反対の第2の側の端部には、前記第2の側に向かうに従い漸次、第1外面45aに近づくように傾斜した傾斜面45cが形成されている。
コネクタ本体45は、樹脂等の電気的な絶縁性を有する材料で所定の方向に延びる軸状に形成されている。この例では、コネクタ本体45は直方体状であるが、コネクタ本体45の形状はこれに限定されず、円柱状等でもよい。
コネクタ本体45には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつ外部に露出する第1外面45a、第2外面45bが形成されている。第1外面45a及び第2外面45bは、コネクタ本体45における互いに反対側となる面である。第1外面45aと第2外面45bとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。
電気配線42は、コネクタ本体45の前記所定の方向における第1の側の端部に固定されている。
第2外面45bにおける、前記所定の方向における第1の側とは反対の第2の側の端部には、前記第2の側に向かうに従い漸次、第1外面45aに近づくように傾斜した傾斜面45cが形成されている。
第1端子46及び第3端子47は、コネクタ本体45の第1外面45aに固定されている。端子46,47における外部に露出する接触面は、それぞれ前記所定の方向に延びている。端子46,47は、導電性を有する材料で形成されている。
端子46,47の間は、電気的に絶縁されている。端子46,47は、それぞれの接触面が第1外面45aに面一になるように配置されている。
第1端子46には電気配線42の第1導線42aが電気的に接続され、第3端子47には第3導線42bが電気的に接続されている。
端子46,47の間は、電気的に絶縁されている。端子46,47は、それぞれの接触面が第1外面45aに面一になるように配置されている。
第1端子46には電気配線42の第1導線42aが電気的に接続され、第3端子47には第3導線42bが電気的に接続されている。
図3は、照射器具10における軸線に沿う面の断面(縦断面)図である。
図3に示すように、照射器具10は、長尺状のカウリング11と、カウリング11内に位置するプラズマ発生部12と、カウリング11の先端から突出するノズル16と、を備えている。
カウリング11は、円筒形の胴体部11bと、胴体部11bの先端を塞ぐヘッド部11aとを備えている。なお、胴体部11bは、円筒形に限らず、四角筒、六角筒、八角筒等の多角筒形でもよい。
図3に示すように、照射器具10は、長尺状のカウリング11と、カウリング11内に位置するプラズマ発生部12と、カウリング11の先端から突出するノズル16と、を備えている。
カウリング11は、円筒形の胴体部11bと、胴体部11bの先端を塞ぐヘッド部11aとを備えている。なお、胴体部11bは、円筒形に限らず、四角筒、六角筒、八角筒等の多角筒形でもよい。
胴体部11bの材料は、特に制限はないが、絶縁性を有する材料が好ましい。胴体部11bは、電気絶縁性の材料のみで形成されてもよいし、電気絶縁性の材料とその表面に金属材料の層を有する多層構造でもよい。
絶縁性の材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等を例示できる。熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂(ABS樹脂)等を例示できる。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂等を例示できる。
金属材料としては、ステンレス、チタン、アルミニウム等が挙げられる。
胴体部11bの大きさは、特に制限はなく、手指で把持しやすい大きさとすることができる。
胴体部11bは、外周面に操作スイッチ11e(操作部)を備えている。なお、操作スイッチ11eは、照射器具10に設けられず、供給ユニット20に設けられたり、フットスイッチとして設けられたりしてもよい。
絶縁性の材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等を例示できる。熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂(ABS樹脂)等を例示できる。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂等を例示できる。
金属材料としては、ステンレス、チタン、アルミニウム等が挙げられる。
胴体部11bの大きさは、特に制限はなく、手指で把持しやすい大きさとすることができる。
胴体部11bは、外周面に操作スイッチ11e(操作部)を備えている。なお、操作スイッチ11eは、照射器具10に設けられず、供給ユニット20に設けられたり、フットスイッチとして設けられたりしてもよい。
ヘッド部11aは、先端に向かい漸次窄んでいる。即ち、本実施形態におけるヘッド部11aは、円錐形である。なお、ヘッド部11aは、円錐形に限らず、四角錘、六角錘、八角錘等の多角錘形でもよい。
ヘッド部11aは、管軸O1方向に延びる第1の活性ガス流路11cを内部に有している。管軸O1は、胴体部11bの管軸である。
ヘッド部11aは、先端に嵌合孔11dを有している。嵌合孔11dは、ノズル16を受け入れる孔である。嵌合孔11dの内径は、第1の活性ガス流路11cの内径よりも大きい。ノズル16は、ヘッド部11aに着脱可能になっている。
ヘッド部11aの材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、絶縁性を有しなくてもよい。ヘッド部11aと胴体部11bとの材料は、同じでもよく、異なってもよい。
ヘッド部11aの材料は、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス等の金属を例示できる。
ヘッド部11aは、管軸O1方向に延びる第1の活性ガス流路11cを内部に有している。管軸O1は、胴体部11bの管軸である。
ヘッド部11aは、先端に嵌合孔11dを有している。嵌合孔11dは、ノズル16を受け入れる孔である。嵌合孔11dの内径は、第1の活性ガス流路11cの内径よりも大きい。ノズル16は、ヘッド部11aに着脱可能になっている。
ヘッド部11aの材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、絶縁性を有しなくてもよい。ヘッド部11aと胴体部11bとの材料は、同じでもよく、異なってもよい。
ヘッド部11aの材料は、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス等の金属を例示できる。
図3及び図4に示すように、プラズマ発生部12は、管状誘電体13(誘電体)と、内部電極14と、外部電極15とを備えている。
管状誘電体13は、管軸O1方向に延びる円筒状の部材である。管状誘電体13は、管軸O1方向に延びるガス流路13aを内部に有している。ガス流路13aと第1の活性ガス流路11cとは連通している。なお、管軸O1は、管状誘電体13の管軸と同じである。
管状誘電体13の材料としては、公知のプラズマ装置に使用する誘電体材料を適用できる。管状誘電体13の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、合成樹脂等を例示できる。管状誘電体13の誘電率は低いほど好ましい。
管状誘電体13は、管軸O1方向に延びる円筒状の部材である。管状誘電体13は、管軸O1方向に延びるガス流路13aを内部に有している。ガス流路13aと第1の活性ガス流路11cとは連通している。なお、管軸O1は、管状誘電体13の管軸と同じである。
管状誘電体13の材料としては、公知のプラズマ装置に使用する誘電体材料を適用できる。管状誘電体13の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、合成樹脂等を例示できる。管状誘電体13の誘電率は低いほど好ましい。
管状誘電体13は、内部に内部電極14を備えている。内部電極14は、管軸O1方向に延びる略円柱状の部材である。内部電極14は、管状誘電体13の内面と離間している。
内部電極14は、管軸O1方向に延びる軸部と、軸部の外周面のねじ山とを備える。軸部は、中実でもよいし、中空でもよい。中でも、軸部は中実が好ましい。軸部が中実であれば、加工が容易であり、かつ機械的な耐久性を高められる。
内部電極14のねじ山は、軸部の周方向に周回する螺旋状のねじ山である。内部電極14の形態は、雄ねじと同様の形態である。
内部電極14は、外周面にねじ山を有することにより、ねじ山先端部の電界が局所的に強くなり、放電開始電圧が低くなる。このため、低電力でプラズマを生成し、維持できる。
なお、内部電極14は、外周面にねじ山等の凹凸を有しなくてもよい。即ち、内部電極14は、外周面に凹凸を有しない円柱の部材でもよい。
内部電極14は、管軸O1方向に延びる軸部と、軸部の外周面のねじ山とを備える。軸部は、中実でもよいし、中空でもよい。中でも、軸部は中実が好ましい。軸部が中実であれば、加工が容易であり、かつ機械的な耐久性を高められる。
内部電極14のねじ山は、軸部の周方向に周回する螺旋状のねじ山である。内部電極14の形態は、雄ねじと同様の形態である。
内部電極14は、外周面にねじ山を有することにより、ねじ山先端部の電界が局所的に強くなり、放電開始電圧が低くなる。このため、低電力でプラズマを生成し、維持できる。
なお、内部電極14は、外周面にねじ山等の凹凸を有しなくてもよい。即ち、内部電極14は、外周面に凹凸を有しない円柱の部材でもよい。
内部電極14の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用できる金属を適用できる。内部電極14の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。
管状誘電体13の外周面の一部には、内部電極14に沿う外部電極15を備えている。外部電極15は、管状誘電体13の外周面に沿って周回する環状の電極である。
外部電極15の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。外部電極15の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。
外部電極15の材料は、導電材であれば特に制限はなく、公知のプラズマ装置の電極に使用する金属を適用できる。外部電極15の材料としては、ステンレス、銅、タングステン等の金属、カーボン等を例示できる。
図4に示すように、管状誘電体13と内部電極14と外部電極15とは、管軸O1を中心として同心円状に位置している。
本実施形態において、内部電極14の外周面と外部電極15の内周面とは、管状誘電体13を挟んで互いに対向している。
本実施形態において、内部電極14の外周面と外部電極15の内周面とは、管状誘電体13を挟んで互いに対向している。
例えば、前述の第1導線42aは、操作スイッチ11eを介して内部電極14に電気的に接続されている。第3導線42bは、外部電極15に電気的に接続されている。すなわち、プラズマ発生部12には、導線42a,42bを介して端子46,47が接続されている。
プラズマ発生部12は、カウリング11から離脱可能である。プラズマ発生部12は、例えば、カウリング11から管軸O1方向に引き抜かれる。例えば、カウリング11をヘッド部11aと胴体部11bとに分解した後、プラズマ発生部12が、胴体部11bに対して前側に引き抜かれるようにプラズマ発生部12を構成してもよい(なお、管軸O1方向に沿ってヘッド部11a側を前側とする)。
例えば、プラズマ発生部12が破損した場合などには、カウリング11からプラズマ発生部12を離脱させた後、新たなプラズマ発生部12をカウリング11に装着することができる。このとき、新たなプラズマ発生部12は、カウリング11に対して管軸O1方向に差し込むことができる。
例えば、プラズマ発生部12が破損した場合などには、カウリング11からプラズマ発生部12を離脱させた後、新たなプラズマ発生部12をカウリング11に装着することができる。このとき、新たなプラズマ発生部12は、カウリング11に対して管軸O1方向に差し込むことができる。
図3に示すように、ノズル16は、嵌合孔11dに嵌合する台座部16aと、台座部16aから突出する照射管16bと、を備えている。照射管16bは、管軸O1に対して傾斜している。台座部16aと照射管16bとは一体になっている。
ノズル16は、その内部に、第2の活性ガス流路16cを有している。第2の活性ガス流路16cは、ノズル16の前側の端部で開口している。第2の活性ガス流路16cと、ヘッド部11aの第1の活性ガス流路11cとは、互いに連通している。
ノズル16の材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、導電性を有してもよい。ノズル16の材料としては、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性及び耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス鋼等の金属を例示できる。
ノズル16は、その内部に、第2の活性ガス流路16cを有している。第2の活性ガス流路16cは、ノズル16の前側の端部で開口している。第2の活性ガス流路16cと、ヘッド部11aの第1の活性ガス流路11cとは、互いに連通している。
ノズル16の材料は、特に制限はなく、絶縁性を有してもよいし、導電性を有してもよい。ノズル16の材料としては、耐摩耗性、耐腐食性に優れる材料が好ましい。耐摩耗性及び耐腐食性に優れる材料としては、ステンレス鋼等の金属を例示できる。
図1に示すような供給ユニット20は、照射器具10に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する。
供給ユニット20は、ガス供給部30を収容する筐体21を備えている。例えば、筐体21は、外形が直方体の箱状に形成されている。筐体21は、ガス供給部30を離脱可能に収容する。これにより、筐体21に収容されたガス供給部30内のプラズマ発生用ガスがなくなったとき、ガス供給部30を交換することができる。
供給ユニット20は、ガス供給部30を収容する筐体21を備えている。例えば、筐体21は、外形が直方体の箱状に形成されている。筐体21は、ガス供給部30を離脱可能に収容する。これにより、筐体21に収容されたガス供給部30内のプラズマ発生用ガスがなくなったとき、ガス供給部30を交換することができる。
ガス供給部30は、プラズマ発生部12にプラズマ発生用ガスを供給する。ガス供給部30は、内部にプラズマ発生用ガスが収容された耐圧容器である。図2に示すように、ガス供給部30は、筐体21内に配置された配管35に対して着脱可能に装着されている。配管35は、ガス供給部30とガス管路41とを接続している。
配管35には、電磁弁31、圧力レギュレータ32、及び流量コントローラ33が取り付けられている。
配管35には、電磁弁31、圧力レギュレータ32、及び流量コントローラ33が取り付けられている。
電磁弁31が開状態となると、ガス供給部30から配管35及びガス管路41を介して照射器具10にプラズマ発生用ガスが供給される。図示の例では、電磁弁31は、弁開度が調節できる構成ではなく、開閉の切り替えのみができる構成である。なお電磁弁31は、弁開度が調節できる構成であってもよい。
圧力レギュレータ32は、電磁弁31とガス供給部30との間に配置されている。圧力レギュレータ32は、ガス供給部30から電磁弁31に向かうプラズマ発生用ガスの圧力を低下(プラズマ発生用ガスを減圧)させる。
圧力レギュレータ32は、電磁弁31とガス供給部30との間に配置されている。圧力レギュレータ32は、ガス供給部30から電磁弁31に向かうプラズマ発生用ガスの圧力を低下(プラズマ発生用ガスを減圧)させる。
流量コントローラ33は、電磁弁31とガス管路41との間に配置されている。流量コントローラ33は、電磁弁31を通過したプラズマ発生用ガスの流量(単位時間当たりの供給量)を調整する。流量コントローラ33は、プラズマ発生用ガスの流量を、例えば3L/minに調整する。
配管35のガス供給部30側の端部には、継手34が設けられている。継手34には、ガス供給部30が着脱可能に装着されている。ガス供給部30を継手34に着脱させることで、電磁弁31、圧力レギュレータ32、及び流量コントローラ33(以下、「電磁弁31等」という。)を筐体21に固定したまま、ガス供給部30を交換することができる。
この場合、交換前のガス供給部30、交換後のガス供給部30のいずれについても共通の電磁弁31等を使用することができる。なお電磁弁31等は、ガス供給部30に固定され、ガス供給部30と一体的に筐体21から離脱可能であってもよい。
この場合、交換前のガス供給部30、交換後のガス供給部30のいずれについても共通の電磁弁31等を使用することができる。なお電磁弁31等は、ガス供給部30に固定され、ガス供給部30と一体的に筐体21から離脱可能であってもよい。
図5に示すように、筐体21には筐体側コネクタ23が取付けられるとともに、電力供給部60が内蔵されている。
筐体側コネクタ23は、コネクタ本体24と、第2端子25と、第4端子26と、を備えている。コネクタ本体24は、筐体21に形成された開口(符号省略)に取付けられている。コネクタ本体24は、筐体21の外面から配線側コネクタ44のコネクタ本体45に対応する形状に凹んでいる。コネクタ本体24には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつコネクタ本体24内に露出する第1内面24a、第2内面24bが形成されている。第1内面24a及び第2内面24bは、コネクタ本体24における互いに対向する内面である。第1内面24aと第2内面24bとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。第1内面24aと第2内面24bとの距離は、配線側コネクタ44の第1外面45aと第2外面45bとの距離よりも長い。
筐体側コネクタ23は、コネクタ本体24と、第2端子25と、第4端子26と、を備えている。コネクタ本体24は、筐体21に形成された開口(符号省略)に取付けられている。コネクタ本体24は、筐体21の外面から配線側コネクタ44のコネクタ本体45に対応する形状に凹んでいる。コネクタ本体24には、それぞれが前記所定の方向に延び、かつコネクタ本体24内に露出する第1内面24a、第2内面24bが形成されている。第1内面24a及び第2内面24bは、コネクタ本体24における互いに対向する内面である。第1内面24aと第2内面24bとは、前記所定の方向に直交する方向に互いに離間している。第1内面24aと第2内面24bとの距離は、配線側コネクタ44の第1外面45aと第2外面45bとの距離よりも長い。
第2端子25及び第4端子26は、コネクタ本体24の第1内面24aに固定されている。端子25,26におけるコネクタ本体24内に露出する接触面は、それぞれ前記所定の方向に延びている。端子25,26は、導電性を有する材料で形成されている。端子25,26の間は、電気的に絶縁されている。
端子25,26の前記所定の方向の長さ、及び端子46,47の前記所定の方向の長さは、互いに同程度である。
端子25,26の前記所定の方向の長さ、及び端子46,47の前記所定の方向の長さは、互いに同程度である。
配線側コネクタ44のコネクタ本体45の先端面が、コネクタ本体24の凹部の底面に接触しているときには、配線側コネクタ44の第1端子46は筐体側コネクタ23の第2端子25に接触し、配線側コネクタ44の第3端子47は筐体側コネクタ23の第4端子26に接触している。以下では、
第1端子46及び第2端子25が互いに接触している状態を、第1接触状態P11と言う。第3端子47及び第4端子26が互いに接触している状態を、第2接触状態P21と言う。
一方で、図7に示すように、コネクタ本体24内からコネクタ本体45を引き抜くことにより、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44を取り外し、端子25,26から端子46,47を離間させることができる。以下では、第1端子46及び第2端子25が互いに離間している状態を、第1離間状態P12と言う。第3端子47及び第4端子26が互いに離間している状態を、第2離間状態P22と言う。
第1端子46、第3端子47は、第2端子25、第4端子26に着脱可能である。
第1端子46及び第2端子25が互いに接触している状態を、第1接触状態P11と言う。第3端子47及び第4端子26が互いに接触している状態を、第2接触状態P21と言う。
一方で、図7に示すように、コネクタ本体24内からコネクタ本体45を引き抜くことにより、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44を取り外し、端子25,26から端子46,47を離間させることができる。以下では、第1端子46及び第2端子25が互いに離間している状態を、第1離間状態P12と言う。第3端子47及び第4端子26が互いに離間している状態を、第2離間状態P22と言う。
第1端子46、第3端子47は、第2端子25、第4端子26に着脱可能である。
図5に示すように、筐体21内において、第2内面24bにおける筐体21の開口から離間した端部には、収容部28が形成されている。収容部28は、コネクタ本体24内と連通している。
電力供給部60は、電力を出力可能な電力供給源61と、接触検出部62と、を備えている。
電力供給源61は、例えば、100V(ボルト)の家庭用電源等の電源(不図示)と接続される。電力供給源61は、入力された電圧を、例えば1万V程度の高い電圧に昇圧する。電力供給源61は、符号を省略した出力端子及び入力端子を備えている。電力供給源61は、昇圧した電圧による電力を出力端子から出力する。
電力供給源61は、例えば、100V(ボルト)の家庭用電源等の電源(不図示)と接続される。電力供給源61は、入力された電圧を、例えば1万V程度の高い電圧に昇圧する。電力供給源61は、符号を省略した出力端子及び入力端子を備えている。電力供給源61は、昇圧した電圧による電力を出力端子から出力する。
電力供給源61の入力端子には、Highの状態(電圧が高い)又はLowの状態(電圧が低い)の信号が入力される。電力供給源61から電力が出力されるのは、入力端子にHighの状態の信号が入力されたときだけである。
電力供給源61と第2端子25とは、第2導線64aにより電気的に接続されている。電力供給源61と第4端子26とは、第4導線64bにより電気的に接続されている。
電力供給源61は制御部70に接続され、制御部70により制御される。
電力供給源61と第2端子25とは、第2導線64aにより電気的に接続されている。電力供給源61と第4端子26とは、第4導線64bにより電気的に接続されている。
電力供給源61は制御部70に接続され、制御部70により制御される。
接触検出部62は、いわゆる機械的な方式により端子46,47,25,26の接触を検出するセンサであり、支持部62aと、接触部62bと、を備えている。
支持部62aは、収容部28の内面に固定されている。支持部62aには、図示しないリミットスイッチ及び付勢部材が内蔵されている。リミットスイッチは、支持部62aに対する接触部62bの位置に応じて、Highの状態又はLowの状態の信号を出力する。リミットスイッチは、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている。
接触部62bは、リミットスイッチに接続されている。接触部62bは、コネクタ本体45の第2外面45bに接触した状態で、付勢部材により第2外面45bに向かって付勢されている。
コネクタ本体24の凹部の底面と接触部62bとの前記所定の方向のピッチは、端子46,47,25,26の前記所定の方向の長さよりも短い。
支持部62aは、収容部28の内面に固定されている。支持部62aには、図示しないリミットスイッチ及び付勢部材が内蔵されている。リミットスイッチは、支持部62aに対する接触部62bの位置に応じて、Highの状態又はLowの状態の信号を出力する。リミットスイッチは、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている。
接触部62bは、リミットスイッチに接続されている。接触部62bは、コネクタ本体45の第2外面45bに接触した状態で、付勢部材により第2外面45bに向かって付勢されている。
コネクタ本体24の凹部の底面と接触部62bとの前記所定の方向のピッチは、端子46,47,25,26の前記所定の方向の長さよりも短い。
図5に示すように、筐体側コネクタ23と配線側コネクタ44とが接続されていて、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21のときには、接触部62bは付勢部材の付勢力に抗して支持部62a側に押し込まれている。このとき、リミットスイッチは、Highの状態の信号を出力する。
電力供給部60は、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21のときに、第1端子46及び第3端子47を介して、第2端子25と第4端子26との間に電力を印加する。
電力供給部60は、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21のときに、第1端子46及び第3端子47を介して、第2端子25と第4端子26との間に電力を印加する。
図2に示すような制御部70は、情報処理装置を用いて構成される。すなわち、制御部70は、バスで接続されたCPU(Central Processor Unit)、メモリ、及び補助記憶装置を備える。制御部70は、プログラムを実行することによって動作する。
制御部70は、例えば、供給ユニット20に内蔵されていてもよい。制御部70は、照射器具10及び供給ユニット20を制御する。
制御部70は、例えば、供給ユニット20に内蔵されていてもよい。制御部70は、照射器具10及び供給ユニット20を制御する。
制御部70には、照射器具10の操作スイッチ11eが電気的に接続されている。操作スイッチ11eが操作されると、操作スイッチ11eから制御部70に電気信号が送られる。制御部70が前記電気信号を受け付けると、制御部70は電磁弁31及び流量コントローラ33を作動させ、かつ内部電極14と外部電極15との間に電圧を印加する。
本実施形態では、操作スイッチ11eが押釦であり、例えば医師等の使用者が操作スイッチ11eを1回押したときに、制御部70が前記電気信号を受け付ける。
すると制御部70が、電磁弁31を所定の時間、開放して電磁弁31を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ33に調整させ、かつ内部電極14と外部電極15との間に電圧を所定の時間、印加する。その結果、ガス供給部30からプラズマ発生部12に一定量のプラズマ発生用ガスが供給され、照射器具10から活性ガスが一定時間(例えば、数秒から数十秒程度、本実施形態では30秒)、継続して吐出される。
すると制御部70が、電磁弁31を所定の時間、開放して電磁弁31を通過したプラズマ発生用ガスの流量を流量コントローラ33に調整させ、かつ内部電極14と外部電極15との間に電圧を所定の時間、印加する。その結果、ガス供給部30からプラズマ発生部12に一定量のプラズマ発生用ガスが供給され、照射器具10から活性ガスが一定時間(例えば、数秒から数十秒程度、本実施形態では30秒)、継続して吐出される。
次に、以上のように構成された活性ガス照射装置1の使用方法について説明する。
なお、活性ガス照射装置1を使用する被照射物としては、例えば、細胞、生体組織、生物個体等を例示できる。
生体組織としては、各器官(内蔵等)、体表や体腔の内面を覆う上皮組織、歯周組織(歯肉、歯槽骨、歯根膜、セメント質等)、歯、骨等を例示できる。活性ガスの照射によって処理可能な疾患及び症状としては、例えば、歯肉炎、歯周病等の口腔内の疾患、皮膚の創傷等を例示できる。
生物個体としては、哺乳類(ヒト、犬、猫、豚等)、鳥類、魚類等を例示できる。
標識組成物を塗布する領域(塗布領域)は、治療対象となる領域である。即ち、塗布領域は、患部の一部又は全部の領域、患部を含む広範囲の領域である。
以下では、被照射物が犬であり、犬の歯周組織の治療をする場合を例にとって説明する。
なお、活性ガス照射装置1を使用する被照射物としては、例えば、細胞、生体組織、生物個体等を例示できる。
生体組織としては、各器官(内蔵等)、体表や体腔の内面を覆う上皮組織、歯周組織(歯肉、歯槽骨、歯根膜、セメント質等)、歯、骨等を例示できる。活性ガスの照射によって処理可能な疾患及び症状としては、例えば、歯肉炎、歯周病等の口腔内の疾患、皮膚の創傷等を例示できる。
生物個体としては、哺乳類(ヒト、犬、猫、豚等)、鳥類、魚類等を例示できる。
標識組成物を塗布する領域(塗布領域)は、治療対象となる領域である。即ち、塗布領域は、患部の一部又は全部の領域、患部を含む広範囲の領域である。
以下では、被照射物が犬であり、犬の歯周組織の治療をする場合を例にとって説明する。
獣医師等である使用者は、例えば台の上に犬を載せる。このとき、犬の口を開いた状態にしておく。予め、端子46,47,25,26は接触状態P11,P21になっている。
使用者は、照射器具10を手に持ち、照射器具10の操作スイッチ11eを押す。すると、電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、電力供給源61から端子25,26に接触している端子46,47、及び導線42a,42bを介して、照射器具10に電力が印加される。ガス供給部30から配管35及びガス管路41を介して、照射器具10にプラズマ発生用ガスが供給される。
照射器具10に供給したプラズマ発生用ガスは、プラズマ発生部12の管状誘電体13の後端部から管状誘電体13の内空部に流入する。プラズマ発生用ガスは、内部電極14と外部電極15とが対向する位置において電離し、プラズマが発生する。プラズマ発生部12は、端子46,47に供給された電力に基づいてプラズマ発生部12にて発生したプラズマを吐出する。
使用者は、照射器具10を手に持ち、照射器具10の操作スイッチ11eを押す。すると、電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、電力供給源61から端子25,26に接触している端子46,47、及び導線42a,42bを介して、照射器具10に電力が印加される。ガス供給部30から配管35及びガス管路41を介して、照射器具10にプラズマ発生用ガスが供給される。
照射器具10に供給したプラズマ発生用ガスは、プラズマ発生部12の管状誘電体13の後端部から管状誘電体13の内空部に流入する。プラズマ発生用ガスは、内部電極14と外部電極15とが対向する位置において電離し、プラズマが発生する。プラズマ発生部12は、端子46,47に供給された電力に基づいてプラズマ発生部12にて発生したプラズマを吐出する。
本実施形態においては、内部電極14と外部電極15とが、プラズマ発生用ガスの流れる方向と直交する向きに対向している。内部電極14の外周面と外部電極15の内周面とが対向する位置で発生したプラズマは、ガス流路13aと、第1の活性ガス流路11cとをこの順に通流する。この間、プラズマは、ガス組成を変化しつつ通流し、プラズマによってラジカル等の活性種を含む活性ガスが生じる。
照射器具10は、プラズマ及び活性ガス(以下、プラズマ等と言う)をノズル16の第2の活性ガス流路16cら外部に吐出する。
照射器具10は、プラズマ及び活性ガス(以下、プラズマ等と言う)をノズル16の第2の活性ガス流路16cら外部に吐出する。
使用者は、照射器具10のノズル16の先端部を犬の口に入れて、ノズル16の先端部を歯周組織に対向させる。歯周組織の所定の部分に一定時間、プラズマ等を当てて治療を行う。所定の部分の治療が終わったら、歯周組織の他の部分に一定時間、プラズマ等を当てる。こうして、犬の口内の歯周組織全体にわたって治療を行う。
治療中等において、使用者が電気配線42に引っ掛かる等の原因で、供給ユニット20の筐体側コネクタ23から電気配線42の配線側コネクタ44が引き抜かれる場合がある。
このとき、図6に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44が前記所定の方向に引き抜かれるに従い、接触検出部62の接触部62bがコネクタ本体45の第2外面45b及び傾斜面45cに接触した状態で移動し、付勢部材の付勢力により接触部62bは支持部62aから突出する。
このとき、図6に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44が前記所定の方向に引き抜かれるに従い、接触検出部62の接触部62bがコネクタ本体45の第2外面45b及び傾斜面45cに接触した状態で移動し、付勢部材の付勢力により接触部62bは支持部62aから突出する。
リミットスイッチはLowの状態の信号を出力し、電力供給源61は配線側コネクタ44の第2端子25と第4端子26との間の電力の印加を停止する。この時点では、端子46,47,25,26は接触状態P11,P21である。
すなわち、電力供給部60は、端子46,47,25,26が、接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わるよりも前に、端子46,47と端子25,26との間の電力の印加を停止する。
すなわち、電力供給部60は、端子46,47,25,26が、接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わるよりも前に、端子46,47と端子25,26との間の電力の印加を停止する。
そして図7に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44が完全に引き抜かれると、第1端子46と第2端子25とが離間し、第3端子47と第4端子26とが離間する。端子46,47,25,26は、接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わる。
電力供給源61による電力の印加が停止された後で端子46,47,25,26が離間状態P12,P22になるため、第1端子46と第2端子25との間、及び第3端子47と第4端子26との間に火花が発生するのが抑制される。
電力供給源61による電力の印加が停止された後で端子46,47,25,26が離間状態P12,P22になるため、第1端子46と第2端子25との間、及び第3端子47と第4端子26との間に火花が発生するのが抑制される。
一方で、供給ユニット20の筐体側コネクタ23に電気配線42の配線側コネクタ44を接続する場合には、以下の工程を行う。
すなわち、図6に示すように、筐体側コネクタ23に配線側コネクタ44を前記所定の方向に挿入していくと、第1端子46は第2端子25に接触し、第3端子47は第4端子26に接触する。端子46,47,25,26は、離間状態P12,P22から接触状態P11,P21に切り替わる。このとき、コネクタ本体45に傾斜面45cが形成されているため、接触検出部62の接触部62bが確実に傾斜面45cに接触させることができる。
すなわち、図6に示すように、筐体側コネクタ23に配線側コネクタ44を前記所定の方向に挿入していくと、第1端子46は第2端子25に接触し、第3端子47は第4端子26に接触する。端子46,47,25,26は、離間状態P12,P22から接触状態P11,P21に切り替わる。このとき、コネクタ本体45に傾斜面45cが形成されているため、接触検出部62の接触部62bが確実に傾斜面45cに接触させることができる。
図7に示すように、筐体側コネクタ23に配線側コネクタ44をさらに挿入していくと、接触検出部62の接触部62bがコネクタ本体45の第2外面45bに接触し、接触部62bは付勢部材の付勢力に抗して支持部62a側に押し込まれる。リミットスイッチはHighの状態の信号を出力し、電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加する。照射器具10は、プラズマ等をノズル16から外部に吐出する。
なお、電力供給部60は、第1端子46及び第2端子25が第1離間状態P12と第1接触状態P12との間で切り替わるときに、第2端子25と第4端子26との間に電力を印加しないこと、及び、第3端子47及び第4端子26が第2離間状態P22と第2接触状態P21との間で切り替わるときに、第2端子25と第4端子26との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。ここで言う第1端子46及び第2端子25が第1離間状態P12と第1接触状態P12との間で切り替わるときとは、例えば、第2端子25に対して離間していた第1端子46が、前記所定の方向に相対的に移動して第2端子25に接触を開始した位置(図7に示す位置Q)から、前記所定の方向の両側に所定の距離L1ずつとなる範囲内に位置していることを意味する。この場合、所定の距離L1は、例えば1cmであり、3cmであることがより好ましく、5cmであることがさらに好ましい
第3端子47及び第4端子26が第2離間状態P22と第2接触状態P21との間で切り替わるときについても、同様のこと意味する。
第3端子47及び第4端子26が第2離間状態P22と第2接触状態P21との間で切り替わるときについても、同様のこと意味する。
端子46,47,25,26が離間状態P12,P22で、かつ第2端子25と第4端子26との間に電力が印加されている状態から、端子46,47,25,26を接触状態P11,P21に切り替えると、端子46,47,25,26間に火花が発生する虞がある。このため、電力供給部60は、この切り替え時に電力を印加しないようにしている。
以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置1によれば、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21のときには、電力供給部60により、第1端子46及び第3端子47を介して、第2端子25と第4端子26との間に電力が印加される。そして、第1端子46と第3端子47との間に電力が印加されたプラズマ発生部12から、プラズマ等が吐出される。
一方で、電力供給部60は、
端子25,46が第1離間状態P12と第1接触状態P12との間で切り替わるときに第2端子25と前記第4端子26との間に電力を印加しないこと、及び、
端子26,47が第2離間状態P22と第2接触状態P21との間で切り替わるときに第2端子25と前記第4端子26との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、端子46,47と端子25,26とを着脱する際に、端子46,47と端子25,26との間に火花が発生するのを抑制することができる。
一方で、電力供給部60は、
端子25,46が第1離間状態P12と第1接触状態P12との間で切り替わるときに第2端子25と前記第4端子26との間に電力を印加しないこと、及び、
端子26,47が第2離間状態P22と第2接触状態P21との間で切り替わるときに第2端子25と前記第4端子26との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う。このため、端子46,47と端子25,26とを着脱する際に、端子46,47と端子25,26との間に火花が発生するのを抑制することができる。
電力供給部60は、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わるよりも前に、第2端子25と第4端子26との間の電力の印加を停止する。
従って、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わる際に、端子46,47と端子25,26との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。
従って、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わる際に、端子46,47と端子25,26との間に火花が発生するのをより確実に抑制することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図8から図10を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図8に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置2は、第1実施形態の活性ガス照射装置1の電力供給部60に代えて電力供給部80を備えている。電力供給部80は、電力供給部60の接触検出部62に代えて、接触検出部81を備えている。
次に、本発明の第2実施形態について図8から図10を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図8に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置2は、第1実施形態の活性ガス照射装置1の電力供給部60に代えて電力供給部80を備えている。電力供給部80は、電力供給部60の接触検出部62に代えて、接触検出部81を備えている。
本実施形態では、配線側コネクタ44Aのコネクタ本体45に、傾斜面45cに代えて突起45dが形成されている。突起45dは、コネクタ本体45の前記所定の方向における第2の側の端面に形成されている。突起45dの前記所定の方向の長さは、端子25,26,46,47の前記所定の方向の長さよりも短い。突起45dの先端は、コネクタ本体24の凹部の底面に接触している。
接触検出部81は、いわゆる光学的な方式により端子46,47,25,26の接触を検出するセンサであり、投光部81aと、受光部81bと、を備えている。
接触検出部81は、いわゆる光学的な方式により端子46,47,25,26の接触を検出するセンサであり、投光部81aと、受光部81bと、を備えている。
投光部81aは、例えば発光ダイオードであり、可視光線等の電磁波Lを、前記底面に沿って発する。なお、電磁波Lは可視光線以外にも赤外線等でもよいし、電磁波Lに代えて超音波等を用いてもよい。
受光部81bは、例えばフォトダイオードであり、電磁波Lを検出する。受光部81bは電磁波Lを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。一方で、受光部81bは電磁波Lを検出しないときに、Highの状態の信号を出力する。
投光部81aは、コネクタ本体24の凹部の底面に配置されている。受光部81bは、収容部28の内面に固定されている。投光部81a及び受光部81bは、コネクタ本体45の突起45dを挟むように配置されている。
受光部81bは、例えばフォトダイオードであり、電磁波Lを検出する。受光部81bは電磁波Lを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。一方で、受光部81bは電磁波Lを検出しないときに、Highの状態の信号を出力する。
投光部81aは、コネクタ本体24の凹部の底面に配置されている。受光部81bは、収容部28の内面に固定されている。投光部81a及び受光部81bは、コネクタ本体45の突起45dを挟むように配置されている。
筐体側コネクタ23に配線側コネクタ44Aが接続されている状態では、投光部81aが発する電磁波Lは突起45dに遮られるため、受光部81bは電磁波Lを検出しない。
受光部81bは、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている。
受光部81bは、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている。
次に、以上のように構成された活性ガス照射装置2の使用方法について、電力供給部80に重点をおいて説明する。
図9に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44Aが引き抜かれるに従い、配線側コネクタ44Aの突起45dが投光部81aと受光部81bとの間から移動し、受光部81bは電磁波Lを検出する。このとき、受光部81bは、Lowの状態の信号を出力し、電力供給源61は筐体側コネクタ23の第2端子25と第4端子26との間の電力の印加を停止する。この時点では、端子46,47,25,26は接触状態P11,P21である。
図9に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44Aが引き抜かれるに従い、配線側コネクタ44Aの突起45dが投光部81aと受光部81bとの間から移動し、受光部81bは電磁波Lを検出する。このとき、受光部81bは、Lowの状態の信号を出力し、電力供給源61は筐体側コネクタ23の第2端子25と第4端子26との間の電力の印加を停止する。この時点では、端子46,47,25,26は接触状態P11,P21である。
そして図10に示すように、筐体側コネクタ23から配線側コネクタ44Aが完全に引き抜かれると、第1端子46と第2端子25とが離間し、第3端子47と第4端子26とが離間し、端子46,47,25,26は接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わる。
一方で、供給ユニット20の筐体側コネクタ23に電気配線42の配線側コネクタ44Aを接続する場合には、上記と順序が逆の工程が行われる。その工程の間に、投光部81aから発せられた電磁波Lが突起45dに遮られて受光部81bが電磁波Lを検出しなくなることにより、受光部81bがHighの状態の信号を出力する。電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、照射器具10はプラズマ等をノズル16から外部に吐出する。
一方で、供給ユニット20の筐体側コネクタ23に電気配線42の配線側コネクタ44Aを接続する場合には、上記と順序が逆の工程が行われる。その工程の間に、投光部81aから発せられた電磁波Lが突起45dに遮られて受光部81bが電磁波Lを検出しなくなることにより、受光部81bがHighの状態の信号を出力する。電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、照射器具10はプラズマ等をノズル16から外部に吐出する。
以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置2によっても、第1実施形態の活性ガス照射装置1と同様の効果を奏することができる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図11から図15を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図11及び図12に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置3は、第1実施形態の活性ガス照射装置1の電力供給部60に代えて、カバー機構90及び電力供給部100を備えている。
次に、本発明の第3実施形態について図11から図15を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図11及び図12に示すように、本実施形態の活性ガス照射装置3は、第1実施形態の活性ガス照射装置1の電力供給部60に代えて、カバー機構90及び電力供給部100を備えている。
本実施形態では、電気配線42とコネクタ本体45とが接続している部分に鍔部86が固定されている。鍔部86は、円環状である。鍔部86の外径は、電気配線42の外径及びコネクタ本体45の外径よりもそれぞれ大きい。
この例では、電気配線42に固定された配線側コネクタ44Bにおいて、端子46,47はコネクタ本体45の先端から突出している(図12参照)。
この例では、電気配線42に固定された配線側コネクタ44Bにおいて、端子46,47はコネクタ本体45の先端から突出している(図12参照)。
カバー機構90は、下カバー91と、上カバー92と、ガイドレール93と、を備えている。
下カバー91及び上カバー92は、それぞれ板状に形成されている。カバー91,92の外縁には、カバー91,92の厚さ方向に見たときに半円状の切欠き(符号省略)がそれぞれ形成されている。カバー91,92は、互いの前記外縁を突き合わせた状態に配置されている。このとき、カバー91,92に形成された一対の切欠きは、全体として円状になる。この円状になった一対の切欠きの内径は、電気配線42の外径及びコネクタ本体45の外径よりもそれぞれ大きく、鍔部86の外径よりも小さい。
カバー91,92は、筐体21に形成された開口を覆っている。カバー91,92の厚さ方向は、水平面に沿う方向である。
この例では、下カバー91は筐体21に固定されている。
下カバー91及び上カバー92は、それぞれ板状に形成されている。カバー91,92の外縁には、カバー91,92の厚さ方向に見たときに半円状の切欠き(符号省略)がそれぞれ形成されている。カバー91,92は、互いの前記外縁を突き合わせた状態に配置されている。このとき、カバー91,92に形成された一対の切欠きは、全体として円状になる。この円状になった一対の切欠きの内径は、電気配線42の外径及びコネクタ本体45の外径よりもそれぞれ大きく、鍔部86の外径よりも小さい。
カバー91,92は、筐体21に形成された開口を覆っている。カバー91,92の厚さ方向は、水平面に沿う方向である。
この例では、下カバー91は筐体21に固定されている。
上カバー92は、下カバー91上に下カバー91に接触した状態で配置されている。上カバー92は、筐体21に固定されたガイドレール93により、下カバー91上に配置された位置に対して上方に移動可能である。
なお、筐体21に対して上カバー92が固定されるとともに下カバー91が下方に移動可能に構成されてもよいし、筐体21に対してカバー91,92がともに上下方向に移動可能に構成されてもよい。
なお、筐体21に対して上カバー92が固定されるとともに下カバー91が下方に移動可能に構成されてもよいし、筐体21に対してカバー91,92がともに上下方向に移動可能に構成されてもよい。
電力供給部100は、電力供給部60の接触検出部62に代えて、接触検出部101を備えている。接触検出部101は、いわゆる磁気的な方式により端子46,47,25,26の接触を検出するセンサであり、マグネット102と、ホール素子103と、を備えている。
マグネット102は、例えば永久磁石であり、下カバー91の前記外縁に固定されている。
ホール素子103は、上カバー92の前記外縁に固定されている。ホール素子103は、マグネット102に接触又は対向するように配置されている。ホール素子103は、マグネット102から発せられる磁気を検出することにより、上カバー92が下カバー91に近づいているか否かを検出する。ホール素子103は、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている(図12参照)。
ホール素子103は、上カバー92が下カバー91に近づいていることを検出したときに、Highの状態の信号を出力する。一方で、ホール素子103は、上カバー92が下カバー91から離間していることを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。
マグネット102は、例えば永久磁石であり、下カバー91の前記外縁に固定されている。
ホール素子103は、上カバー92の前記外縁に固定されている。ホール素子103は、マグネット102に接触又は対向するように配置されている。ホール素子103は、マグネット102から発せられる磁気を検出することにより、上カバー92が下カバー91に近づいているか否かを検出する。ホール素子103は、リード線65により電力供給源61の入力端子に電気的に接続されている(図12参照)。
ホール素子103は、上カバー92が下カバー91に近づいていることを検出したときに、Highの状態の信号を出力する。一方で、ホール素子103は、上カバー92が下カバー91から離間していることを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。
図12に示すように、この例では、筐体21に筐体側コネクタ23Bが取付けられている。筐体側コネクタ23Bでは、コネクタ本体24の底面から端子25,26が筐体21の開口に向かって突出している。配線側コネクタ44Bの第1端子46は筐体側コネクタ23Bの第2端子25に接触し、配線側コネクタ44Bの第3端子47は筐体側コネクタ23Bの第4端子26に接触している。端子46,47,25,26は、接触状態P11,P21である。
このとき、配線側コネクタ44Bの鍔部86はカバー91,92よりもコネクタ本体24の底面側に配置され、鍔部86がカバー91,92における切欠きの周縁部に接触している。このため、鍔部86がカバー91,92に係止することにより、筐体側コネクタ23Bから配線側コネクタ44Bを引き抜くことができない。
このとき、配線側コネクタ44Bの鍔部86はカバー91,92よりもコネクタ本体24の底面側に配置され、鍔部86がカバー91,92における切欠きの周縁部に接触している。このため、鍔部86がカバー91,92に係止することにより、筐体側コネクタ23Bから配線側コネクタ44Bを引き抜くことができない。
なお、この例では、鍔部86がカバー91,92に対してコネクタ本体24の底面とは反対側に配置されているときに、端子25,26に端子46,47が接触しないように構成されていることが好ましい。
次に、以上のように構成された活性ガス照射装置3の使用方法について、電力供給部100に重点をおいて説明する。
使用者は、図13に示すように、上カバー92を下カバー91に対して上方に移動させた状態で保持する。このとき、鍔部86が上カバー92に係止されてなくなることにより、筐体側コネクタ23Bから配線側コネクタ44Bを引き抜くことができる。第1端子46及び第2端子25が互いに離間し、かつ第3端子47及び第4端子26が互いに離間し、端子46,47,25,26が離間状態P12,P22になる。
なお、この例では、端子46,47,25,26が離間状態P12,P22のときに、上カバー92を保持することを止めて、上カバー92を下カバー91上に配置する。ホール素子103が、上カバー92が下カバー91に近づいていることを検出してHighの状態の信号を出力する。電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、照射器具10はプラズマ等をノズル16から外部に吐出可能な状態になる。
使用者は、図13に示すように、上カバー92を下カバー91に対して上方に移動させた状態で保持する。このとき、鍔部86が上カバー92に係止されてなくなることにより、筐体側コネクタ23Bから配線側コネクタ44Bを引き抜くことができる。第1端子46及び第2端子25が互いに離間し、かつ第3端子47及び第4端子26が互いに離間し、端子46,47,25,26が離間状態P12,P22になる。
なお、この例では、端子46,47,25,26が離間状態P12,P22のときに、上カバー92を保持することを止めて、上カバー92を下カバー91上に配置する。ホール素子103が、上カバー92が下カバー91に近づいていることを検出してHighの状態の信号を出力する。電力供給源61は第2端子25と第4端子26との間に電力を印加し、照射器具10はプラズマ等をノズル16から外部に吐出可能な状態になる。
以上説明したように、本実施形態の活性ガス照射装置3によっても、第1実施形態の活性ガス照射装置1と同様の効果を奏することができる。
なお、本実施形態では、ホール素子103に代えて、マグネット102とは別の第2マグネットを用いてもよい。この場合、第2マグネットの位置を検出するセンサを備え、その検出結果を電力供給源61に送信してもよい。
なお、本実施形態では、ホール素子103に代えて、マグネット102とは別の第2マグネットを用いてもよい。この場合、第2マグネットの位置を検出するセンサを備え、その検出結果を電力供給源61に送信してもよい。
また、本実施形態では、図14に示すように、活性ガス照射装置3は第2マグネット106及び第2ホール素子107を備えてもよい。なお、図14及び後述する図15では、マグネット102及びホール素子103を示していない。
第2マグネット106は、鍔部86における第4端子26側の面に固定されている。第2ホール素子107は、上カバー92の内側の面に固定されている。第2ホール素子107は、下カバー91に接触した状態の上カバー92において、第2マグネット106に隣接する位置に固定されている。
第2ホール素子107は、図示しない第2リード線により電力供給源61の第2入力端子に電気的に接続されている。
第2ホール素子107は、鍔部86が上カバー92に近づいていることを検出したときに、Highの状態の信号を出力する。一方で、第2ホール素子107、鍔部86が上カバー92から離間していることを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。
電力供給源61は、入力端子及び第2入力端子にそれぞれHighの状態の信号が入力されたときだけ、電力を出力する。
第2マグネット106は、鍔部86における第4端子26側の面に固定されている。第2ホール素子107は、上カバー92の内側の面に固定されている。第2ホール素子107は、下カバー91に接触した状態の上カバー92において、第2マグネット106に隣接する位置に固定されている。
第2ホール素子107は、図示しない第2リード線により電力供給源61の第2入力端子に電気的に接続されている。
第2ホール素子107は、鍔部86が上カバー92に近づいていることを検出したときに、Highの状態の信号を出力する。一方で、第2ホール素子107、鍔部86が上カバー92から離間していることを検出したときに、Lowの状態の信号を出力する。
電力供給源61は、入力端子及び第2入力端子にそれぞれHighの状態の信号が入力されたときだけ、電力を出力する。
このように構成された活性ガス照射装置3では、使用者は、図15に示すように、上カバー92を下カバー91に対して上方に移動させ、筐体側コネクタ23Bから配線側コネクタ44Bを引き抜く。第2ホール素子107は、鍔部86が上カバー92から離間していることを検出して、Lowの状態の信号を出力する。電力供給源61は、電力の出力を停止する。
この状態で、上カバー92を下方に移動させて下カバー91に接触させても、第2ホール素子107は鍔部86が上カバー92から離間していることを検出してLowの状態の信号を出力しているため、電力供給源61は、電力を出力しない。
この状態で、上カバー92を下方に移動させて下カバー91に接触させても、第2ホール素子107は鍔部86が上カバー92から離間していることを検出してLowの状態の信号を出力しているため、電力供給源61は、電力を出力しない。
以上、本発明の第1実施形態から第3実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更、組み合わせ、削除等も含まれる。さらに、各実施形態で示した構成のそれぞれを適宜組み合わせて利用できることは、言うまでもない。
例えば、前記第1実施形態から第3実施形態では、第1端子及び第3端子は、照射器具10(プラズマ発生部12)に設けられ、第2端子及び第4端子は、電気配線42における照射器具10に連結された端部に設けられてもよい。第1端子〜第4端子は、活性ガス照射装置における他の電気的な接続部分に設けられてもよい。本実施形態の第1端子〜第4端子は、高い電圧が通る電気経路に設けられると特に効果的である。
例えば、前記第1実施形態から第3実施形態では、第1端子及び第3端子は、照射器具10(プラズマ発生部12)に設けられ、第2端子及び第4端子は、電気配線42における照射器具10に連結された端部に設けられてもよい。第1端子〜第4端子は、活性ガス照射装置における他の電気的な接続部分に設けられてもよい。本実施形態の第1端子〜第4端子は、高い電圧が通る電気経路に設けられると特に効果的である。
電力供給部は、端子46,47,25,26が接触状態P11,P21から離間状態P12,P22に切り替わると同時に、第2端子25と第4端子26との間への電力の印加を停止してもよい。この場合、例えば第1実施形態では、コネクタ本体24の凹部の底面と接触部62bとの前記所定の方向のピッチ、及び端子46,47,25,26の前記所定の方向の長さを、互いに同程度にする。
接触検出部は、機械的な方式、光学的な方式、及び磁気的な方式以外にも、例えばコンデンサを用いた電気的な方式等により端子46,47,25,26の接触を検出してもよい。
接触検出部は、第1端子46と第2端子25との接触を、近接センサを用いて検出してもよい。近接センサとしては、例えば誘導型近接センサ、静電容量型近接センサ、磁気近接センサが挙げられる。
照射器具10がプラズマ及び活性ガスの一方のみを吐出するように構成してもよい。
接触検出部は、機械的な方式、光学的な方式、及び磁気的な方式以外にも、例えばコンデンサを用いた電気的な方式等により端子46,47,25,26の接触を検出してもよい。
接触検出部は、第1端子46と第2端子25との接触を、近接センサを用いて検出してもよい。近接センサとしては、例えば誘導型近接センサ、静電容量型近接センサ、磁気近接センサが挙げられる。
照射器具10がプラズマ及び活性ガスの一方のみを吐出するように構成してもよい。
供給ユニットから電気配線を引き抜いたときに、第3端子から第1端子が取り外されるが、第2端子は第4端子に接触したままになるように構成してもよい。この場合、例えば、電気配線を第1電気配線と、第2電気配線と、に分けて構成し、第1電気配線の端部に第1端子を設け、第2電気配線の端部に第2端子を設け、供給ユニット20に第3端子及び第4端子を設ける。
活性ガス照射装置が第3端子及び第4端子を備えないように構成してもよい。この場合、照射器具10と電力供給源61とは、グラウンドを介して電気的に接続されてもよい。この場合、電力供給部は、第1端子及び第2端子が互いに接触している第1接触状態のときに第1端子と第2端子との間に電力を印加し、第1端子及び第2端子が、互いに離間している第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに第1端子と第2端子との間に電力を印加しない。
このように構成すると、第1端子及び第2端子が第1接触状態のときには、供給部により、第1端子と第2端子との間に電力が印加される。そして、第1端子に電力が印加されたプラズマ発生部12からプラズマ等が吐出される。
一方で、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第1端子と第2端子との間に電力を印加しないため、第1端子と第2端子とを着脱する際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
このように構成すると、第1端子及び第2端子が第1接触状態のときには、供給部により、第1端子と第2端子との間に電力が印加される。そして、第1端子に電力が印加されたプラズマ発生部12からプラズマ等が吐出される。
一方で、第1端子及び第2端子が第1離間状態と第1接触状態との間で切り替わるときに、供給部は第1端子と第2端子との間に電力を印加しないため、第1端子と第2端子とを着脱する際に、第1端子と第2端子との間に火花が発生するのを抑制することができる。
以上説明したプラズマ照射装置は、動物や人間の治療、美容等の用途に好適に用いることができる。
1,2,3 活性ガス照射装置(プラズマ照射装置)
10 照射器具
12 プラズマ発生部
25 第2端子
26 第4端子
46 第1端子
47 第3端子
60,80,100 電力供給部(供給部)
P11 第1接触状態
P12 第1離間状態
P21 第2接触状態
P22 第2離間状態
10 照射器具
12 プラズマ発生部
25 第2端子
26 第4端子
46 第1端子
47 第3端子
60,80,100 電力供給部(供給部)
P11 第1接触状態
P12 第1離間状態
P21 第2接触状態
P22 第2離間状態
Claims (3)
- 第1端子が設けられたプラズマ発生部を有し、前記第1端子に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、
前記第1端子に着脱可能な第2端子と、
前記第1端子及び前記第2端子が互いに接触している第1接触状態のときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加し、前記第1端子及び前記第2端子が、互いに離間している第1離間状態と前記第1接触状態との間で切り替わるときに前記第1端子と前記第2端子との間に電力を印加しない供給部と、
を備えるプラズマ照射装置。 - 前記供給部は、前記第1端子及び前記第2端子が、前記第1接触状態から前記第1離間状態に切り替わるよりも前に、前記第1端子と前記第2端子との間の電力の印加を停止する請求項1に記載のプラズマ照射装置。
- 前記プラズマ発生部には第3端子が設けられ、
前記プラズマ発生部は、前記第1端子と前記第3端子との間に印加された電力に基づいて前記プラズマ発生部にて発生した前記プラズマ及び前記活性ガスの少なくとも一方を吐出し、
前記第3端子に着脱可能な第4端子を備え、
前記供給部は、
前記第1端子及び前記第2端子が前記第1接触状態であり、かつ前記第3端子及び前記第4端子が互いに接触している第2接触状態のときに、前記第1端子及び前記第3端子を介して、前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加し、
前記第3端子及び前記第4端子が互いに離間している状態を第2離間状態としたときに、前記第1端子及び前記第2端子が前記第1離間状態と前記第1接触状態との間で切り替わるときに前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加しないこと、及び、前記第3端子及び前記第4端子が前記第2離間状態と前記第2接触状態との間で切り替わるときに前記第2端子と前記第4端子との間に電力を印加しないこと、の少なくとも一方を行う請求項1又は2に記載のプラズマ照射装置。
Priority Applications (1)
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JP2018176583A JP2020047530A (ja) | 2018-09-20 | 2018-09-20 | プラズマ照射装置 |
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Citations (5)
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-
2018
- 2018-09-20 JP JP2018176583A patent/JP2020047530A/ja active Pending
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