JP2020043201A - 磁気記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 優れた特性を有するトンネルバリア層を含む磁気記憶装置を提供する。【解決手段】 実施形態に係る磁気記憶装置は、下部領域10と、下部領域上に設けられ、可変の磁化方向を有する第1の磁性層31と、固定された磁化方向を有する第2の磁性層32と、第1の磁性層と第2の磁性層との間に設けられ且つ第1のカチオン元素と第1のアニオン元素とで形成された第1の化合物を含む非磁性層33とを含む積層構造30と、積層構造の側面上に設けられ、第2のカチオン元素と第2のアニオン元素とで形成された第2の化合物を含む所定材料層40とを備え、第2のカチオン元素の価数の絶対値は第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、第2のアニオン元素の価数の絶対値は第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい。【選択図】 図1
Description
本発明の実施形態は、磁気記憶装置及びその製造方法に関する。
半導体基板上に磁気抵抗効果素子及びトランジスタが集積化された磁気記憶装置(半導体集積回路装置)が提案されている。
上述した磁気抵抗効果素子は、可変の磁化方向を有する記憶層と、固定された磁化方向を有する参照層と、記憶層と参照層との間に設けられたトンネルバリア層とを含んでいる。優れた磁気抵抗効果素子を得るためには、優れた特性を有するトンネルバリア層を形成することが重要である。
しかしながら、従来は、必ずしも優れた特性を有するトンネルバリア層が得られているとは言えなかった。
優れた特性を有するトンネルバリア層を含む磁気記憶装置を提供する。
実施形態に係る磁気記憶装置は、下部領域と、前記下部領域上に設けられ、可変の磁化方向を有する第1の磁性層と、固定された磁化方向を有する第2の磁性層と、前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に設けられ且つ第1のカチオン元素と第1のアニオン元素とで形成された第1の化合物を含む非磁性層と、を含む積層構造と、前記積層構造の側面上に設けられ、第2のカチオン元素と第2のアニオン元素とで形成された第2の化合物を含む所定材料層と、を備えた磁気記憶装置であって、前記第2のカチオン元素の価数の絶対値は前記第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、前記第2のアニオン元素の価数の絶対値は前記第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい。
以下、図面を参照して実施形態を説明する。
図1は、実施形態に係る磁気記憶装置(半導体集積回路装置)の構成を模式的に示した断面図である。
半導体基板、トランジスタ及び配線等を含む下部領域10上に、下部配線20が設けられている。
下部配線20上には、磁気抵抗効果素子として機能する積層構造30が設けられている。なお、磁気抵抗効果素子は、MTJ(magnetic tunnel junction)素子とも呼ばれる。積層構造30は、記憶層(第1の磁性層)31と、参照層(第2の磁性層)32と、トンネルバリア層(非磁性層)33とを含んでいる。
記憶層(第1の磁性層)31は、可変の磁化方向を有する。磁化方向が可変とは、所定の書き込み電流に対して磁化方向が変わることを意味する。記憶層31は、鉄(Fe)及びボロン(B)を含有する。記憶層31は、鉄(Fe)及びボロン(B)に加えてさらにコバルト(Co)を含有していてもよい。
参照層(第2の磁性層)32は、固定された磁化方向を有している。磁化方向が固定されているとは、所定の書き込み電流に対して磁化方向が変わらないことを意味する。参照層32は、トンネルバリア層33に接する第1のサブ層と、第1のサブ層上に設けられた第2のサブ層とで形成されている。第1のサブ層は、鉄(Fe)及びボロン(B)を含有する。第1のサブ層は、鉄(Fe)及びボロン(B)に加えてさらにコバルト(Co)を含有していてもよい。第2のサブ層は、コバルト(Co)と、プラチナ(Pt)、ニッケル(Ni)及びパラジウム(Pd)から選択された少なくとも1つの元素とを含有している。具体的には、第2のサブ層は、Co/Pt、Co/Ni或いはCo/Pd等の人工格子で形成されている。
トンネルバリア層(非磁性層)33は、記憶層31と参照層32との間に設けられた絶縁層である。トンネルバリア層33は、第1のカチオン元素と第1のアニオン元素とを含む第1の化合物で形成されている。例えば、第1のカチオン元素の価数は「+2」であり、第1のアニオン元素の価数は「−2」である。本実施形態では、第1のカチオン元素はマグネシウム(Mg)であり、第1のアニオン元素は酸素(O)である。すなわち、トンネルバリア層33は、酸化マグネシウム(MgO)で形成されている。
なお、トンネルバリア層33は、第1のカチオン元素がアルミニウム(Al)で、第1のアニオン元素が酸素(O)である酸化アルミニウム(Al2O3)によって形成されていてもよい。また、トンネルバリア層33として、チタン酸化物(TiO2)或いはハフニウム酸化物(HfO2)を用いてもよい。
積層構造30上にはハードマスク層40が形成されている。ハードマスク層40は、積層構造30のパターンを形成するときのマスクとして機能する。
積層構造30の側面、ハードマスク層40の側面及び下部配線20の上面には、絶縁性の所定材料層50が形成されている。所定材料層50は、第2のカチオン元素と第2のアニオン元素とを含む第2の化合物で形成されている。第2のカチオン元素の価数の絶対値は第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、第2のアニオン元素の価数の絶対値は第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい。例えば、第2のカチオン元素の価数は「+1」であり、第2のアニオン元素の価数は「−1」である。具体的には、1族カチオン元素と17族アニオン元素との組み合わせを用いることができる。また、トンネルバリア層33としてMgOを用いた場合には、Mgの置換サイトを1価カチオンが占め、Oの置換サイトを1価アニオンが占めている組み合わせを用いることもできる。さらに、Mgの置換サイトを1価カチオンが占め、格子間に水素(H)が存在するような材料を用いてもよい。所定材料層50の厚さは、1〜2nm程度、或いは1〜2nm程度以下でもよい。
本実施形態では、第2のカチオン元素はリチウム(Li)であり、第2のアニオン元素はフッ素(F)である。すなわち、所定材料層50は、フッ化リチウム(LiF)で形成されている。なお、所定材料層50は、第2のカチオン元素がナトリウム(Na)で、第2のアニオン元素がフッ素(F)であるフッ化ナトリウム(NaF)によって形成されていてもよい。
トンネルバリア層33として酸化アルミニウム(Al2O3)を用いる場合には、所定材料層50には、1価又は2価のカチオン元素と1価のアニオン元素との組み合わせを用いることができる。また、トンネルバリア層33として、チタン酸化物(TiO2)或いはハフニウム酸化物(HfO2)を用いる場合には、所定材料層50には、1価、2価又は3価のカチオン元素と1価のアニオン元素との組み合わせを用いることができる。
積層構造30の外側には層間絶縁膜60が形成されており、層間絶縁膜60によって積層構造30の側面等が覆われている。層間絶縁膜60には、例えば、シリコン酸化膜等が用いられる。
ハードマスク層40、所定材料層50及び層間絶縁膜60上には、上部配線70が形成されている。
次に、本実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法を説明する。
図2〜図7は、本実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法を模式的に示した断面図である。
まず、図2に示すように、下部領域10上に下部配線20を形成する。続いて、下部配線20上に積層膜30aを形成する。すなわち、積層膜30aとして、記憶層31、トンネルバリア層33及び参照層32を順次形成する。さらに、積層膜30a上にハードマスク層40を形成する。積層膜30a及びハードマスク層40の形成には、スパッタリングを用いることができる。
次に、図3に示すように、リソグラフィ及びRIE(reactive ion etching)によってハードマスク層40をパターニングして、ハードマスクパターンを形成する。
次に、図4に示すように、パターニングされたハードマスク層40をマスクとして用いて、積層膜30aをエッチングする。エッチングには、IBE(ion beam etching)を用いる。これにより、積層構造30が得られる。このエッチング工程において、トンネルバリア層33の側面にダメージが生じる。その結果、トンネルバリア層33の側面近傍に粒界80が発生する。
次に、図5に示すように、下部配線20、積層構造30及びハードマスク層40を覆う所定材料層50を形成する。所定材料層50は、例えば、スパッタリングによって形成することができる。
次に、図6に示すように、積層構造30及び所定材料層50に対して熱処理を行う。熱処理温度は、200℃程度以上であることが好ましい。この熱処理により、トンネルバリア層33の側面近傍に存在していた粒界80が、所定材料層50側に移動する。すでに述べたように、所定材料層50の第2のカチオン元素の価数の絶対値は、トンネルバリア層33の第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、所定材料層50の第2のアニオン元素の価数の絶対値は、トンネルバリア層33の第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい。その結果、上述したように、粒界80を所定材料層50側に移動させることができる。このことは、計算結果(シミュレーション結果)からも確認されている。
次に、図7に示すように、所定材料層50上に層間絶縁膜60を形成する。続いて、所定材料層50及び層間絶縁膜60に対して平坦化処理を行う。さらに、ハードマスク層40、所定材料層50及び層間絶縁膜60上に上部配線70を形成する。
以上のように、本実施形態では、上述したような所定材料層50を設けることにより、トンネルバリア層33の側面近傍に存在している粒界80を、所定材料層50側に移動させることができる。その結果、粒界80に起因するリーク電流を抑制することができる。したがって、本実施形態によれば、トンネルバリア層33の特性を向上させることができ、優れた磁気抵抗効果素子を得ることができる。
図8は、本実施形態の第1の変更例に係る磁気記憶装置(半導体集積回路装置)の構成を模式的に示した断面図である。本変更例では、所定材料層50と層間絶縁膜60との間に保護絶縁膜90を設けている。保護絶縁膜90には、例えば、シリコン窒化膜等を用いることができる。このように、保護絶縁膜90を設けた場合も、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
図9は、本実施形態の第2の変更例に係る磁気記憶装置(半導体集積回路装置)の構成を模式的に示した断面図である。上述した実施形態では、参照層32の下層側に記憶層31が設けられていたが、本変更例では、参照層32の上層側に記憶層31が設けられている。このような構成を採用した場合にも、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
図10は、本実施形態の第3の変更例に係る磁気記憶装置(半導体集積回路装置)の構成を模式的に示した断面図である。本変更例では、第2の変更例と同様に、参照層32の上層側に記憶層31が設けられている。また、本変更例では、第1の変更例と同様に、所定材料層50と層間絶縁膜60との間に保護絶縁膜90が設けられている。このような構成を採用した場合にも、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…下部領域 20…下部配線
30…積層構造
31…記憶層(第1の磁性層) 32…参照層(第2の磁性層)
33…トンネルバリア層(非磁性層)
40…ハードマスク層 50…所定材料層
60…層間絶縁膜 70…上部配線
80…粒界 90…保護絶縁膜
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Claims (10)
- 下部領域と、
前記下部領域上に設けられ、可変の磁化方向を有する第1の磁性層と、固定された磁化方向を有する第2の磁性層と、前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に設けられ且つ第1のカチオン元素と第1のアニオン元素とで形成された第1の化合物を含む非磁性層と、を含む積層構造と、
前記積層構造の側面上に設けられ、第2のカチオン元素と第2のアニオン元素とで形成された第2の化合物を含む所定材料層と、
を備えた磁気記憶装置であって、
前記第2のカチオン元素の価数の絶対値は前記第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、前記第2のアニオン元素の価数の絶対値は前記第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい
ことを特徴とする磁気記憶装置。 - 前記第1のカチオン元素の価数は「+2」であり、前記第1のアニオン元素の価数は「−2」である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記第1のカチオン元素はマグネシウム(Mg)であり、前記第1のアニオン元素は酸素(O)である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記第1のカチオン元素はアルミニウム(Al)であり、前記第1のアニオン元素は酸素(O)である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記第2のカチオン元素の価数は「+1」であり、前記第2のアニオン元素の価数は「−1」である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記第2のカチオン元素はリチウム(Li)であり、前記第2のアニオン元素はフッ素(F)である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記第2のカチオン元素はナトリウム(Na)であり、前記第2のアニオン元素はフッ素(F)である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記所定材料層は、前記下部領域上にも設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 前記所定材料層上に設けられた絶縁層をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶装置。 - 下部領域上に、可変の磁化方向を有する第1の磁性層と、固定された磁化方向を有する第2の磁性層と、前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に設けられ且つ第1のカチオン元素と第1のアニオン元素とで形成された第1の化合物を含む非磁性層と、を含む積層構造を形成する工程と、
前記積層構造の側面に、第2のカチオン元素と第2のアニオン元素とで形成された第2の化合物を含む所定材料層を形成する工程と、
を備えた磁気記憶装置の製造方法であって、
前記第2のカチオン元素の価数の絶対値は前記第1のカチオン元素の価数の絶対値よりも小さく、前記第2のアニオン元素の価数の絶対値は前記第1のアニオン元素の価数の絶対値よりも小さい
ことを特徴とする磁気記憶装置の製造方法。
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