JP2020031132A - スイッチング素子 - Google Patents
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Abstract
Description
12 :半導体基板
20 :ゲート絶縁膜
20a :積層部
21 :第1ゲート絶縁膜
22 :第2ゲート絶縁膜
23 :ゲート電極
24 :層間絶縁膜
26 :上部電極
28 :下部電極
30 :ドレイン層
32 :ドリフト層
32a :窓部ドリフト層
32b :基部ドリフト層
34 :ボディ層
34c :チャネル部
36 :ソース層
50 :チャネル
52 :電子蓄積層
Claims (1)
- スイッチング素子であって、
半導体基板と、
第1ゲート絶縁膜と、
第2ゲート絶縁膜と、
ゲート電極、
を有しており、
前記半導体基板が、
前記半導体基板の表面に露出しているn型のソース層と、
前記ソース層に隣接する位置で前記表面に露出しているp型のボディ層と、
前記ボディ層に隣接する位置で前記表面に露出しており、前記ボディ層によって前記ソース層から分離されているn型のドリフト層、
を有しており、
前記第1ゲート絶縁膜が、前記ソース層の表面、前記ボディ層の表面、及び、前記ドリフト層の表面に跨る範囲を覆っており、
前記第2ゲート絶縁膜が、前記第1ゲート絶縁膜よりも高い誘電率を有しており、前記第1ゲート絶縁膜に隣接する位置で前記ドリフト層の前記表面を覆っており、
前記ゲート電極が、前記第1ゲート絶縁膜及び前記第2ゲート絶縁膜を介して、前記ソース層、前記ボディ層、及び、前記ドリフト層に対して対向している、
スイッチング素子。
Priority Applications (1)
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JP2018155646A JP7107093B2 (ja) | 2018-08-22 | 2018-08-22 | スイッチング素子 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018155646A JP7107093B2 (ja) | 2018-08-22 | 2018-08-22 | スイッチング素子 |
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JP2021190577A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 豊田合成株式会社 | 半導体装置 |
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-
2018
- 2018-08-22 JP JP2018155646A patent/JP7107093B2/ja active Active
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JP7327283B2 (ja) | 2020-05-29 | 2023-08-16 | 豊田合成株式会社 | 半導体装置 |
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