JP2020030039A - クリーンルーム装置および空気循環ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
SA 給気
EA 排気
CA 清浄空気
1 クリーンルーム装置
10 クリーンルーム
11 空調領域
12 機器
13 局排ダクト
14 排気ファン
20 給気口(清浄空気CA)
21 外調機
22 給気ダクト
23 粗フィルタ
24 冷却器
25 給気ファン
26 高性能フィルタ
30 空気循環ユニット
31 吸気口
32 給気口
35 冷却器
36 高性能フィルタ
37 ファン
40 邪魔板
41 開口部41
45 フィン
50 機械室
51 制御機器
52 ケーブル
53 配管
55 ドレインパン
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる邪魔板が設けられていることを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
Claims (6)
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つ非層流方式のクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備えることを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルーム装置。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のクリーンルーム装置。
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つ非層流方式のクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備えることを特徴とする、空気循環ユニット - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項4に記載の空気循環ユニット。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項4または5に記載の空気循環ユニット。
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JP2005257258A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
JP2008256269A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調システムおよび空調方法 |
JP2014098550A (ja) * | 2014-02-26 | 2014-05-29 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 給気装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000291989A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備および空調方法 |
JP2005257258A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
JP2008256269A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調システムおよび空調方法 |
JP2014098550A (ja) * | 2014-02-26 | 2014-05-29 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 給気装置 |
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