JP2003322375A - クリーンルームの空調システム - Google Patents
クリーンルームの空調システムInfo
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- JP2003322375A JP2003322375A JP2002128985A JP2002128985A JP2003322375A JP 2003322375 A JP2003322375 A JP 2003322375A JP 2002128985 A JP2002128985 A JP 2002128985A JP 2002128985 A JP2002128985 A JP 2002128985A JP 2003322375 A JP2003322375 A JP 2003322375A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームの空調システムにおいて外気
処理を合理的に行う。 【解決手段】 クリーンルーム１に設けた床下チャンバ
３、ウォールシャフト７、天井チャンバ４により室内空
気を循環させる一連の循環経路を形成し、その循環経路
の途中に設けた空調機により室内負荷を処理しつつ循環
させる。ウォールシャフトを外壁に面する位置に設けて
その内部に外調機２１を設置し、外調機により外気ＯＡ
を直接的に取り入れ、かつ処理した外気をウォールシャ
フト内に直接的に供給する。外調機を、送風機、冷却・
加熱コイル、フィルタ等の外気処理のための各種のコン
ポーネントを任意に組み合わせて組込可能なユニットと
して構成する。外調機の外装パネルをウォールシャフト
を形成する外壁を兼用するものとして設ける。空調機２
０を外調機２１と共通規格のユニットとする。
処理を合理的に行う。 【解決手段】 クリーンルーム１に設けた床下チャンバ
３、ウォールシャフト７、天井チャンバ４により室内空
気を循環させる一連の循環経路を形成し、その循環経路
の途中に設けた空調機により室内負荷を処理しつつ循環
させる。ウォールシャフトを外壁に面する位置に設けて
その内部に外調機２１を設置し、外調機により外気ＯＡ
を直接的に取り入れ、かつ処理した外気をウォールシャ
フト内に直接的に供給する。外調機を、送風機、冷却・
加熱コイル、フィルタ等の外気処理のための各種のコン
ポーネントを任意に組み合わせて組込可能なユニットと
して構成する。外調機の外装パネルをウォールシャフト
を形成する外壁を兼用するものとして設ける。空調機２
０を外調機２１と共通規格のユニットとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームの空
調システムに関する。
調システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームの空調システムの一従来
例を図５に示す。これは、半導体や液晶等の製造工場に
おけるクリーンルーム１に適用したもので、クリーンル
ーム１の床面２をグレーティングにより形成して床下部
に補機スペースを兼ねる床下チャンバ３を設け、天井部
には天井チャンバ４を設けて天井面５には送風機とフィ
ルタとを一体としたファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
６を設置し、周壁部には床下チャンバ３と天井チャンバ
４とを連絡するウォールシャフト７を設けて、それら床
下チャンバ３、ウォールシャフト７、天井チャンバ４に
より室内空気が循環する一連の循環経路を形成したもの
である。そして、その循環経路の途中に室内負荷処理用
の空調機８を設け、その空調機８により室内空気を処理
しつつ循環させるようにしている。空調機８は室内顕熱
負荷を処理するためのドライコイルを備えたもので、通
常は図示例のように床下チャンバ３とウォールシャフト
７と接続部に設置され、この空調機８により室内空気を
床面２から還気ＲＡとして床下チャンバ３に吸い込み、
空調機８により処理した給気ＳＡをウォールシャフト７
を通して天井チャンバ４に供給し、ＦＦＵ６により給気
ＳＡを天井チャンバ４からクリーンルーム１内に下向き
に吹き出すようになっている。
例を図５に示す。これは、半導体や液晶等の製造工場に
おけるクリーンルーム１に適用したもので、クリーンル
ーム１の床面２をグレーティングにより形成して床下部
に補機スペースを兼ねる床下チャンバ３を設け、天井部
には天井チャンバ４を設けて天井面５には送風機とフィ
ルタとを一体としたファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
６を設置し、周壁部には床下チャンバ３と天井チャンバ
４とを連絡するウォールシャフト７を設けて、それら床
下チャンバ３、ウォールシャフト７、天井チャンバ４に
より室内空気が循環する一連の循環経路を形成したもの
である。そして、その循環経路の途中に室内負荷処理用
の空調機８を設け、その空調機８により室内空気を処理
しつつ循環させるようにしている。空調機８は室内顕熱
負荷を処理するためのドライコイルを備えたもので、通
常は図示例のように床下チャンバ３とウォールシャフト
７と接続部に設置され、この空調機８により室内空気を
床面２から還気ＲＡとして床下チャンバ３に吸い込み、
空調機８により処理した給気ＳＡをウォールシャフト７
を通して天井チャンバ４に供給し、ＦＦＵ６により給気
ＳＡを天井チャンバ４からクリーンルーム１内に下向き
に吹き出すようになっている。
【０００３】また、この種のクリーンルームでは室内加
圧することから、外気処理用の空調機である外調機１０
を機械室１１に設置し、外気取入口１２からダクト１３
を通して取り入れた新鮮な外気ＯＡを外調機１０により
処理し、ダクト１４を通して吹出口１５から天井チャン
バ４内に供給し、天井チャンバ４内において空調機８か
らの給気ＳＡと混合してＦＦＵ６により室内に吹き出
し、図示しない排気ファン等により加圧相当分を残して
室内空気を排気するようにしている。なお、図示例のも
のは外調機１０を設置するための機械室１１を２階（ク
リーンルーム１の床面２が設けられている階）に設け、
その下階にはユーティリティおよび居室等の諸室１６を
設けている。
圧することから、外気処理用の空調機である外調機１０
を機械室１１に設置し、外気取入口１２からダクト１３
を通して取り入れた新鮮な外気ＯＡを外調機１０により
処理し、ダクト１４を通して吹出口１５から天井チャン
バ４内に供給し、天井チャンバ４内において空調機８か
らの給気ＳＡと混合してＦＦＵ６により室内に吹き出
し、図示しない排気ファン等により加圧相当分を残して
室内空気を排気するようにしている。なお、図示例のも
のは外調機１０を設置するための機械室１１を２階（ク
リーンルーム１の床面２が設けられている階）に設け、
その下階にはユーティリティおよび居室等の諸室１６を
設けている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のク
リーンルームを計画するに当たっては、経済性の点から
充分な省スペースと省コストが要求されるが、上記従来
の空調システムでは外調機１０を設置するための機械室
１１を必要とするのでそのために少なからぬスペースを
確保しなければならず、また外調機１０により処理した
外気ＯＡをクリーンルーム１内全体に偏りなく供給する
ために、天井チャンバ４内に外気導入のためのダクト１
４を敷設し吹出口１５を設ける必要があるのでそのため
の工事が必要であり、その点において省スペース、省コ
ストを図るうえでの障害となっている。
リーンルームを計画するに当たっては、経済性の点から
充分な省スペースと省コストが要求されるが、上記従来
の空調システムでは外調機１０を設置するための機械室
１１を必要とするのでそのために少なからぬスペースを
確保しなければならず、また外調機１０により処理した
外気ＯＡをクリーンルーム１内全体に偏りなく供給する
ために、天井チャンバ４内に外気導入のためのダクト１
４を敷設し吹出口１５を設ける必要があるのでそのため
の工事が必要であり、その点において省スペース、省コ
ストを図るうえでの障害となっている。
【０００５】また、この種のクリーンルームでは製造設
備の更新や変更に対して空調システムが柔軟かつ幅広く
対応できるものであることも望まれるが、上記従来の空
調システムではたとえば外気導入量を大きく増大させる
ような変更には対処できず、その場合にはシステム全体
に対する大がかりな改修工事を必要とするものであっ
た。
備の更新や変更に対して空調システムが柔軟かつ幅広く
対応できるものであることも望まれるが、上記従来の空
調システムではたとえば外気導入量を大きく増大させる
ような変更には対処できず、その場合にはシステム全体
に対する大がかりな改修工事を必要とするものであっ
た。
【０００６】上記事情に鑑み、本発明はクリーンルーム
に適用して好適な空調システム、特に外気処理をより合
理的に行い得る空調システムを提供することを目的とす
る。
に適用して好適な空調システム、特に外気処理をより合
理的に行い得る空調システムを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、クリ
ーンルームの床下部、周壁部、天井部にそれぞれ床下チ
ャンバ、ウォールシャフト、天井チャンバを設けて、そ
れら床下チャンバ、ウォールシャフト、天井チャンバに
より室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、そ
の循環経路の途中に設けた空調機により室内負荷を処理
しつつ室内空気を循環させるとともに、外調機により所
要量の外気を取り入れて外気負荷を処理して室内に供給
する構成のクリーンルームの空調システムにおいて、ウ
ォールシャフトを外壁に面する位置に設けるとともにそ
の内部に外調機を設置して、その外調機に外気を直接的
に取り入れ、かつ処理した外気を外調機によりウォール
シャフト内に直接的に供給することを特徴とする。
ーンルームの床下部、周壁部、天井部にそれぞれ床下チ
ャンバ、ウォールシャフト、天井チャンバを設けて、そ
れら床下チャンバ、ウォールシャフト、天井チャンバに
より室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、そ
の循環経路の途中に設けた空調機により室内負荷を処理
しつつ室内空気を循環させるとともに、外調機により所
要量の外気を取り入れて外気負荷を処理して室内に供給
する構成のクリーンルームの空調システムにおいて、ウ
ォールシャフトを外壁に面する位置に設けるとともにそ
の内部に外調機を設置して、その外調機に外気を直接的
に取り入れ、かつ処理した外気を外調機によりウォール
シャフト内に直接的に供給することを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明のクリ
ーンルームの空調システムにおいて、外調機を、送風
機、冷却・加熱コイル、フィルタ等の外気処理のための
各種のコンポーネントを任意に組み合わせて組込可能な
ユニットとして構成することを特徴とする。
ーンルームの空調システムにおいて、外調機を、送風
機、冷却・加熱コイル、フィルタ等の外気処理のための
各種のコンポーネントを任意に組み合わせて組込可能な
ユニットとして構成することを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１または２の発
明のクリーンルームの空調システムにおいて、外調機に
外装パネルを設けるとともに、その外装パネルをウォー
ルシャフトを形成する外壁を兼用するものとして設ける
ことを特徴とする。
明のクリーンルームの空調システムにおいて、外調機に
外装パネルを設けるとともに、その外装パネルをウォー
ルシャフトを形成する外壁を兼用するものとして設ける
ことを特徴とする。
【００１０】請求項４の発明は、請求項２または３の発
明のクリーンルームの空調システムにおいて、室内負荷
を処理するための空調機を、外調機と共通規格のユニッ
トとして構成することを特徴とする。
明のクリーンルームの空調システムにおいて、室内負荷
を処理するための空調機を、外調機と共通規格のユニッ
トとして構成することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１〜図４を参照して本発明の実
施形態を説明する。本実施形態の空調システムは、図５
に示したものと同様に半導体や液晶等の製造工場におけ
るクリーンルーム１を対象とするもので、図１に示すよ
うに従来のシステムと同様に床下チャンバ３、ウォール
シャフト７、天井チャンバ４とによって一連の循環経路
を形成し、室内負荷処理用の空調機２０により室内負荷
を処理しつつその空調機２０および天井面５に設けたＦ
ＦＵ６により室内空気を循環させることを基本とするも
のであるが、本実施形態の空調システムでは、室内負荷
処理用の空調機２０をユニット化してウォールシャフト
７内に設置するとともに、外気処理用の外調機２１も同
じくユニット化してウォールシャフト７内に設置したも
のとなっている。
施形態を説明する。本実施形態の空調システムは、図５
に示したものと同様に半導体や液晶等の製造工場におけ
るクリーンルーム１を対象とするもので、図１に示すよ
うに従来のシステムと同様に床下チャンバ３、ウォール
シャフト７、天井チャンバ４とによって一連の循環経路
を形成し、室内負荷処理用の空調機２０により室内負荷
を処理しつつその空調機２０および天井面５に設けたＦ
ＦＵ６により室内空気を循環させることを基本とするも
のであるが、本実施形態の空調システムでは、室内負荷
処理用の空調機２０をユニット化してウォールシャフト
７内に設置するとともに、外気処理用の外調機２１も同
じくユニット化してウォールシャフト７内に設置したも
のとなっている。
【００１２】本実施形態のシステムにおいてウォールシ
ャフト７内に設置する空調機２０および外調機２１は、
共通の規格で組み立てられる同一形状、同一寸法のユニ
ットＵとして構成されたものであって、これらのユニッ
トＵを外周部に並べて設置することでそれらユニットＵ
自体によりウォールシャフト７の一部が構成されるもの
となっている。すなわち図２に示すように、空調機２０
および外調機２１としてのユニットＵを外周柱２５と２
階の床梁である外周梁２６（図示例のものでは逆梁とさ
れている）とにより囲まれる空間内に設置すると、それ
ぞれのユニットＵの外装パネル２７がそのままクリーン
ルーム１の外壁を兼用し、内装パネル２８はウォールシ
ャフト７とクリーンルーム１とを区画する内装壁を兼用
するものとなり、したがって外周柱２５の内外につなぎ
パネル２９を取り付けることのみでウォールシャフト７
の１階部分（床下チャンバ３に面する部分）が形成さ
れ、それらユニットＵ自体がウォールシャフト７の一部
を形成するものとなっている。
ャフト７内に設置する空調機２０および外調機２１は、
共通の規格で組み立てられる同一形状、同一寸法のユニ
ットＵとして構成されたものであって、これらのユニッ
トＵを外周部に並べて設置することでそれらユニットＵ
自体によりウォールシャフト７の一部が構成されるもの
となっている。すなわち図２に示すように、空調機２０
および外調機２１としてのユニットＵを外周柱２５と２
階の床梁である外周梁２６（図示例のものでは逆梁とさ
れている）とにより囲まれる空間内に設置すると、それ
ぞれのユニットＵの外装パネル２７がそのままクリーン
ルーム１の外壁を兼用し、内装パネル２８はウォールシ
ャフト７とクリーンルーム１とを区画する内装壁を兼用
するものとなり、したがって外周柱２５の内外につなぎ
パネル２９を取り付けることのみでウォールシャフト７
の１階部分（床下チャンバ３に面する部分）が形成さ
れ、それらユニットＵ自体がウォールシャフト７の一部
を形成するものとなっている。
【００１３】そして、上記の空調機２０および外調機２
１を構成している各ユニットＵは、それぞれに必要なコ
ンポーネントを任意に組み合わせて構成されるものであ
る。すなわち、本実施形態における室内負荷処理用の空
調機２０は、図２および図３に示すように、送風機が付
設されたドライコイル３０を備えた２台のドライコイル
コンポーネント３１と、ウォールシャフト７内を貫通す
る配管３２やダクト３３を通すための２台の貫通用コン
ポーネント３４から構成されたもので、図３に示すよう
に、ドライコイルコンポーネント３１の底面（貫通用コ
ンポーネント３４の上面）から還気ＲＡを吸い込み、ド
ライコイル３０により室内顕熱負荷を処理して給気ＳＡ
としてウォールシャフト７内に上向きに吹き出すように
構成されている。
１を構成している各ユニットＵは、それぞれに必要なコ
ンポーネントを任意に組み合わせて構成されるものであ
る。すなわち、本実施形態における室内負荷処理用の空
調機２０は、図２および図３に示すように、送風機が付
設されたドライコイル３０を備えた２台のドライコイル
コンポーネント３１と、ウォールシャフト７内を貫通す
る配管３２やダクト３３を通すための２台の貫通用コン
ポーネント３４から構成されたもので、図３に示すよう
に、ドライコイルコンポーネント３１の底面（貫通用コ
ンポーネント３４の上面）から還気ＲＡを吸い込み、ド
ライコイル３０により室内顕熱負荷を処理して給気ＳＡ
としてウォールシャフト７内に上向きに吹き出すように
構成されている。
【００１４】また、本実施形態における外気負荷処理用
の外調機２１は、図２および図４に示すように、上記の
空調機２０における２台のドライコイルコンポーネント
３１のうちの１台を外気取入コンポーネント４１に置き
換え、かつ、コイルコンポーネント４２と、加湿・フィ
ルタコンポーネント４３を組み込んだものである。外気
取入コンポーネント４１は外気取入口４４および外気取
入用の送風機４５を備え、必要に応じて外気取入口４４
の内側にフィルタを取付可能なものである。コイルコン
ポーネント４２は外気負荷処理用の加熱コイル４６およ
び冷却コイル４７を備えたもの、加湿・フィルタコンポ
ーネント４３は加湿機４８およびフィルタ４９を備えた
ものであり、それら各コンポーネントを図示のように組
み合わせることで、外気取入口４４から取り入れた外気
ＯＡを矢印で示すように各コンポーネント間を通して所
望の外気処理を行い、かつドライコイルコンポーネント
３１により室内負荷処理をも併せて行い、それら処理し
た外気ＯＡと給気ＳＡとを混合してウォールシャフト７
の上方に向けて供給するように構成されている。
の外調機２１は、図２および図４に示すように、上記の
空調機２０における２台のドライコイルコンポーネント
３１のうちの１台を外気取入コンポーネント４１に置き
換え、かつ、コイルコンポーネント４２と、加湿・フィ
ルタコンポーネント４３を組み込んだものである。外気
取入コンポーネント４１は外気取入口４４および外気取
入用の送風機４５を備え、必要に応じて外気取入口４４
の内側にフィルタを取付可能なものである。コイルコン
ポーネント４２は外気負荷処理用の加熱コイル４６およ
び冷却コイル４７を備えたもの、加湿・フィルタコンポ
ーネント４３は加湿機４８およびフィルタ４９を備えた
ものであり、それら各コンポーネントを図示のように組
み合わせることで、外気取入口４４から取り入れた外気
ＯＡを矢印で示すように各コンポーネント間を通して所
望の外気処理を行い、かつドライコイルコンポーネント
３１により室内負荷処理をも併せて行い、それら処理し
た外気ＯＡと給気ＳＡとを混合してウォールシャフト７
の上方に向けて供給するように構成されている。
【００１５】上記の空調機２０および外調機２１として
のユニットＵは、クリーンルーム１の仕様に基づきこれ
ら空調機２０や外調機２１に要求される処理能力、性能
に応じて、各コンポーネントの能力や性能、それらコン
ポーネントの組み合わせを自由に選択できるものであ
る。たとえば、外調機２１における加湿・フィルタコン
ポーネント４３としては、外気の清浄度に応じて中性能
フィルタやＨＥＰＡフィルタを選択して用いれば良く、
必要に応じてプレフィルタや各種のケミカル物質を除去
するためのフィルタを併用すれば良い。また、不要なコ
ンポーネントは省略すれば良く、たとえば上記の外調機
２１におけるドライコイルコンポーネント３１を省略し
て外気処理専用としても良いし、配管３２やダクト３３
の貫通を想定する必要がなければ貫通用コンポーネント
３４を省略して良い。ただし、いずれにしても、これら
ユニットＵの外装パネル２７および内装パネル２８が外
壁および内装壁を兼用できるように、また必要に応じて
これらの設置位置を自由に変更できるように、いずれの
ユニットＵも少なくとも外形寸法は統一しておくことと
する。
のユニットＵは、クリーンルーム１の仕様に基づきこれ
ら空調機２０や外調機２１に要求される処理能力、性能
に応じて、各コンポーネントの能力や性能、それらコン
ポーネントの組み合わせを自由に選択できるものであ
る。たとえば、外調機２１における加湿・フィルタコン
ポーネント４３としては、外気の清浄度に応じて中性能
フィルタやＨＥＰＡフィルタを選択して用いれば良く、
必要に応じてプレフィルタや各種のケミカル物質を除去
するためのフィルタを併用すれば良い。また、不要なコ
ンポーネントは省略すれば良く、たとえば上記の外調機
２１におけるドライコイルコンポーネント３１を省略し
て外気処理専用としても良いし、配管３２やダクト３３
の貫通を想定する必要がなければ貫通用コンポーネント
３４を省略して良い。ただし、いずれにしても、これら
ユニットＵの外装パネル２７および内装パネル２８が外
壁および内装壁を兼用できるように、また必要に応じて
これらの設置位置を自由に変更できるように、いずれの
ユニットＵも少なくとも外形寸法は統一しておくことと
する。
【００１６】なお、上記のユニットＵの形態としては、
ユニットＵ全体の骨格となるフレームを組んでおき、そ
のフレーム内の所定位置に所定のコンポーネントを組み
込み、フレームの内外に内装パネル２８および外装パネ
ル２７を取り付ける構成のものが好適に採用可能であ
る。あるいは、各コンポーネントをそれぞれ独立したケ
ーシングを有するものとしておいて、それらコンポーネ
ントを左右に並べかつ上下に積み重ねてケーシングどう
しを連結することでユニットＵを構成することも考えら
れる。
ユニットＵ全体の骨格となるフレームを組んでおき、そ
のフレーム内の所定位置に所定のコンポーネントを組み
込み、フレームの内外に内装パネル２８および外装パネ
ル２７を取り付ける構成のものが好適に採用可能であ
る。あるいは、各コンポーネントをそれぞれ独立したケ
ーシングを有するものとしておいて、それらコンポーネ
ントを左右に並べかつ上下に積み重ねてケーシングどう
しを連結することでユニットＵを構成することも考えら
れる。
【００１７】本実施形態の空調システムによれば、外調
機２１をウォールシャフト７内に設置したので、図５に
示したように従来においては外調機１０を設置するため
に必要であった機械室１１が不要となり、そのスペース
を居室等の諸室１６等として有効利用することが可能と
なり、充分に省スペースを図ることができ、スペース効
率に優れるものである。また、クリーンルーム１内の製
造設備を変更、更新するような場合において外気導入量
を大きく増減させる必要が生じた場合には、外調機２１
の設置台数を増減することのみで柔軟にかつ幅広く対応
することが可能であり、従来のシステムに較べ遙かにフ
レキシビリティに優れるものである。
機２１をウォールシャフト７内に設置したので、図５に
示したように従来においては外調機１０を設置するため
に必要であった機械室１１が不要となり、そのスペース
を居室等の諸室１６等として有効利用することが可能と
なり、充分に省スペースを図ることができ、スペース効
率に優れるものである。また、クリーンルーム１内の製
造設備を変更、更新するような場合において外気導入量
を大きく増減させる必要が生じた場合には、外調機２１
の設置台数を増減することのみで柔軟にかつ幅広く対応
することが可能であり、従来のシステムに較べ遙かにフ
レキシビリティに優れるものである。
【００１８】また、外調機２１をウォールシャフト７内
に設置して、外気ＯＡを外気取入口４４から直接的に取
り入れ、かつ処理した外気ＯＡをウォールシャフト７に
直接的に供給するようにしたので、従来においては必要
であった外気導入用のダクト１３，１４、吹出口１５を
一切不要とでき、その分、省コストを実現することがで
きる。なお、外気供給用のダクト１４および吹出口１５
を省略しても、外調機２１からウォールシャフト７に供
給した外気ＯＡはウォールシャフト７内において空調機
２０からの給気ＳＡに速やかにかつ確実に混合されてし
まうし、しかも本実施形態では４台の外調機２１をクリ
ーンルーム１の四隅部に分散配置していることから、各
外調機２１からの外気ＯＡは給気ＳＡとともにクリーン
ルーム１全体に自ずと行き渡り、外気分布が偏ってしま
う懸念はない。
に設置して、外気ＯＡを外気取入口４４から直接的に取
り入れ、かつ処理した外気ＯＡをウォールシャフト７に
直接的に供給するようにしたので、従来においては必要
であった外気導入用のダクト１３，１４、吹出口１５を
一切不要とでき、その分、省コストを実現することがで
きる。なお、外気供給用のダクト１４および吹出口１５
を省略しても、外調機２１からウォールシャフト７に供
給した外気ＯＡはウォールシャフト７内において空調機
２０からの給気ＳＡに速やかにかつ確実に混合されてし
まうし、しかも本実施形態では４台の外調機２１をクリ
ーンルーム１の四隅部に分散配置していることから、各
外調機２１からの外気ＯＡは給気ＳＡとともにクリーン
ルーム１全体に自ずと行き渡り、外気分布が偏ってしま
う懸念はない。
【００１９】そして、本実施形態では、各種のコンポー
ネントを任意に組み合わせるユニットＵの形態の外調機
２１を採用したので、コンポーネントの選択と組み合わ
せを変更することで様々な仕様や規模のクリーンルーム
に適用可能であるし、製造設備の更新や変更に応じて必
要なコンポーネントのみを変更したり、増設あるいは取
り外すことで、柔軟にかつ幅広く対処することが可能で
ある。しかも、本実施形態では室内負荷処理用の空調機
２０も外調機２１と共通規格のユニットＵとしたので、
コンポーネントの変更のみで空調機２０を外調機２１に
変更できるし、その逆も可能であり、したがってよりフ
レキシビリティに優れるものである。さらに、各コンポ
ーネントの共通化や施工の簡略化によるコスト削減、工
期短縮を図ることができ、設計も合理化することができ
る利点がある。
ネントを任意に組み合わせるユニットＵの形態の外調機
２１を採用したので、コンポーネントの選択と組み合わ
せを変更することで様々な仕様や規模のクリーンルーム
に適用可能であるし、製造設備の更新や変更に応じて必
要なコンポーネントのみを変更したり、増設あるいは取
り外すことで、柔軟にかつ幅広く対処することが可能で
ある。しかも、本実施形態では室内負荷処理用の空調機
２０も外調機２１と共通規格のユニットＵとしたので、
コンポーネントの変更のみで空調機２０を外調機２１に
変更できるし、その逆も可能であり、したがってよりフ
レキシビリティに優れるものである。さらに、各コンポ
ーネントの共通化や施工の簡略化によるコスト削減、工
期短縮を図ることができ、設計も合理化することができ
る利点がある。
【００２０】しかも、外調機２１および空調機２０とし
てのユニットＵの外装パネル２７を外壁を兼ねるものと
し、内装パネル２８を内装壁を兼ねるものとしたので、
ウォールシャフト７を形成するための躯体工事を軽減で
きるし、外調機２１や空調機２０に対する保守点検作業
は外装パネル２７を取り外すことで外部から行うことも
可能であり、保守性にも優れるものである。また、仮に
ユニットＵ全体を撤去する必要が生じた際には、ユニッ
トＵ全体をそのまま外部に引き出して撤去することが可
能であるし、新たなユニットＵを設置する際にはそのユ
ニットＵを外部からそのまま設置することが可能である
から、クリーンルーム１内での作業を必要最小限とする
ことができる。
てのユニットＵの外装パネル２７を外壁を兼ねるものと
し、内装パネル２８を内装壁を兼ねるものとしたので、
ウォールシャフト７を形成するための躯体工事を軽減で
きるし、外調機２１や空調機２０に対する保守点検作業
は外装パネル２７を取り外すことで外部から行うことも
可能であり、保守性にも優れるものである。また、仮に
ユニットＵ全体を撤去する必要が生じた際には、ユニッ
トＵ全体をそのまま外部に引き出して撤去することが可
能であるし、新たなユニットＵを設置する際にはそのユ
ニットＵを外部からそのまま設置することが可能である
から、クリーンルーム１内での作業を必要最小限とする
ことができる。
【００２１】なお、上記実施形態はあくまで一例であっ
て、本発明は上記実施形態に限定されるものでは勿論な
く、外調機をウォールシャフト内に設置して外気をダク
トレスで取り入れかつ供給することを基本とする限りに
おいて適宜の設計的な変更が可能であるし、様々な仕
様、規模、用途、形態のクリーンルームを対象として広
く適用可能であることは言うまでもない。
て、本発明は上記実施形態に限定されるものでは勿論な
く、外調機をウォールシャフト内に設置して外気をダク
トレスで取り入れかつ供給することを基本とする限りに
おいて適宜の設計的な変更が可能であるし、様々な仕
様、規模、用途、形態のクリーンルームを対象として広
く適用可能であることは言うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】請求項１の発明の空調システムは、クリ
ーンルーム内における室内空気の循環経路であるウォー
ルシャフトを外壁に面する位置に設け、その内部に外調
機を設置して外気を直接的に取り入れ、かつ処理した外
気をウォールシャフト内に直接的に供給するので、外調
機を設置するための格別の機械室スペースを必要とせ
ず、また外気供給用のダクトを無くすことができ、した
がってスペース効率、フレキシビリティに優れ、コスト
削減を図ることができ、クリーンルームに適用する空調
システムとして最適である。
ーンルーム内における室内空気の循環経路であるウォー
ルシャフトを外壁に面する位置に設け、その内部に外調
機を設置して外気を直接的に取り入れ、かつ処理した外
気をウォールシャフト内に直接的に供給するので、外調
機を設置するための格別の機械室スペースを必要とせ
ず、また外気供給用のダクトを無くすことができ、した
がってスペース効率、フレキシビリティに優れ、コスト
削減を図ることができ、クリーンルームに適用する空調
システムとして最適である。
【００２３】請求項２の発明は、外調機を各種のコンポ
ーネントを任意に組み合わせて組込可能なユニットとし
て構成するので、最適なコンポーネントを選択して組み
合わせることで様々な仕様、規模のクリーンルームに対
応できるし、製造設備の更新や変更に応じて必要なコン
ポーネントのみを変更したり増設あるいは取り外すこと
で柔軟にかつ幅広く対処することが可能であってフレキ
シビリティに優れるものであり、各コンポーネントの共
通化や施工の簡略化によるコスト削減、工期短縮を図る
ことができ、設計も合理化することができる。
ーネントを任意に組み合わせて組込可能なユニットとし
て構成するので、最適なコンポーネントを選択して組み
合わせることで様々な仕様、規模のクリーンルームに対
応できるし、製造設備の更新や変更に応じて必要なコン
ポーネントのみを変更したり増設あるいは取り外すこと
で柔軟にかつ幅広く対処することが可能であってフレキ
シビリティに優れるものであり、各コンポーネントの共
通化や施工の簡略化によるコスト削減、工期短縮を図る
ことができ、設計も合理化することができる。
【００２４】請求項３の発明は、外調機の外装パネルが
ウォールシャフトを形成する外壁を兼用するので、ウォ
ールシャフトを形成するための躯体工事を軽減できる
し、外調機の設置作業や撤去作業を外部からの作業で行
うことが可能であり、また外装パネルを取り外すことで
保守点検作業を外部から行うことも可能であって保守性
にも優れる。
ウォールシャフトを形成する外壁を兼用するので、ウォ
ールシャフトを形成するための躯体工事を軽減できる
し、外調機の設置作業や撤去作業を外部からの作業で行
うことが可能であり、また外装パネルを取り外すことで
保守点検作業を外部から行うことも可能であって保守性
にも優れる。
【００２５】請求項４の発明は、室内負荷を処理するた
めの空調機を外調機と共通規格のユニットとして構成す
るので、コンポーネントの変更のみで空調機を外調機に
変更できるし、その逆も可能であり、したがってよりフ
レキシビリティに優れ、各コンポーネントの共通化や施
工の簡略化によるコスト削減、工期短縮を図ることがで
き、設計も合理化することができる。
めの空調機を外調機と共通規格のユニットとして構成す
るので、コンポーネントの変更のみで空調機を外調機に
変更できるし、その逆も可能であり、したがってよりフ
レキシビリティに優れ、各コンポーネントの共通化や施
工の簡略化によるコスト削減、工期短縮を図ることがで
き、設計も合理化することができる。
【図１】 本発明の実施形態である空調システムの概要
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 同、ウォールシャフトへの空調機および外調
機の設置状況を示す図である。
機の設置状況を示す図である。
【図３】 同、室内負荷処理用の空調機の概要を示す図
である。
である。
【図４】 同、外気負荷処理用の外調機の概要を示す図
である。
である。
【図５】 従来の空調システムの一例を示す図である。
１ クリーンルーム
３ 床下チャンバ
４ 天井チャンバ
６ ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
７ ウォールシャフト
２０ 空調機
２１ 外調機
Ｕ ユニット（外調機および空調機）
２７ 外装パネル（外壁）
３０ ドライコイル
３１ ドライコイルコンポーネント
３４ 貫通用コンポーネント
４１ 外気取入コンポーネント
４２ コイルコンポーネント
４３ 加湿・フィルタコンポーネント
４４ 外気取入口
４５ 送風機
４６ 加熱コイル
４７ 冷却コイル
４８ 加湿機
４９ フィルタ
Claims (4)
- 【請求項１】 クリーンルームの床下部、周壁部、天井
部にそれぞれ床下チャンバ、ウォールシャフト、天井チ
ャンバを設けて、それら床下チャンバ、ウォールシャフ
ト、天井チャンバにより室内空気を循環させる一連の循
環経路を形成し、その循環経路の途中に設けた空調機に
より室内負荷を処理しつつ室内空気を循環させるととも
に、外調機により所要量の外気を取り入れて外気負荷を
処理して室内に供給する構成のクリーンルームの空調シ
ステムにおいて、 ウォールシャフトを外壁に面する位置に設けるとともに
その内部に外調機を設置して、その外調機に外気を直接
的に取り入れ、かつ処理した外気を外調機によりウォー
ルシャフト内に直接的に供給することを特徴とするクリ
ーンルームの空調システム。 - 【請求項２】 外調機を、送風機、冷却・加熱コイル、
フィルタ等の外気処理のための各種のコンポーネントを
任意に組み合わせて組込可能なユニットとして構成する
ことを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの空調
システム。 - 【請求項３】 外調機に外装パネルを設けるとともに、
その外装パネルをウォールシャフトを形成する外壁を兼
用するものとして設けることを特徴とする請求項１また
は２記載のクリーンルームの空調システム。 - 【請求項４】 室内負荷を処理するための空調機を、外
調機と共通規格のユニットとして構成することを特徴と
する請求項２または３記載のクリーンルームの空調シス
テム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002128985A JP3855194B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | クリーンルームの空調システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002128985A JP3855194B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | クリーンルームの空調システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003322375A true JP2003322375A (ja) | 2003-11-14 |
| JP3855194B2 JP3855194B2 (ja) | 2006-12-06 |
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ID=29542561
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002128985A Expired - Fee Related JP3855194B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | クリーンルームの空調システム |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3855194B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346416A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 循環型クリーンルーム |
| JP2007139211A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Kajima Corp | 空気質保全工事方法 |
| JP2008298329A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Toyo Eng Works Ltd | 降雪装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012020200A1 (de) | 2012-10-16 | 2014-04-17 | Schilling Engineering GmbH | Reinraumbegrenzungseinheit |
| DE102017110860A1 (de) | 2017-05-18 | 2018-11-22 | Schilling Engineering GmbH | Luftbehandlungsvorrichtung, insbesondere Reinraum-Luftbehandlungsvorrichtung |
-
2002
- 2002-04-30 JP JP2002128985A patent/JP3855194B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346416A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 循環型クリーンルーム |
| JP2007139211A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Kajima Corp | 空気質保全工事方法 |
| JP2008298329A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Toyo Eng Works Ltd | 降雪装置 |
| JP4549364B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2010-09-22 | 株式会社東洋製作所 | 降雪装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3855194B2 (ja) | 2006-12-06 |
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