JP2020008424A - 接合強度評価装置 - Google Patents
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Abstract
Description
・前記加熱手段を、時間関数である正弦波関数で強度変調したときの位相に対する前記温度センサによる測定温度の変化の位相の位相遅れ、
・前記温度センサの出力を、その測定温度の温度変化量に比例した電圧で表わした振幅、
・前記測定位置での温度変化、
・前記測定位置での温度時間変化
を導出する導出手段と、前記導出手段により導出される前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化が、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化それぞれについて、前記所望強度であると判断するために予め求めておいたしきい値と比較する比較手段とを備え、前記比較手段の比較の結果、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化のいずれか1つが前記しきい値以上であれば前記所望強度に達していると判断するとよい。
・前記加熱手段を、時間関数であるパルス波形で強度変調したときの位相に対する前記温度センサによる測定温度の変化のパルス位相の位相遅れ、
・前記温度センサの出力を、その測定温度の温度変化量に比例した電圧で表わしたパルス波高値である振幅、
・前記測定位置での温度変化、
・前記測定位置での温度時間変化
を導出する導出手段と、前記導出手段により導出される前記パルス位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化が、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化それぞれについて、前記所望強度であると判断するために予め求めておいたしきい値と比較する比較手段とを備え、前記比較手段の比較の結果、前記パルス位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化のいずれか1つが前記しきい値以上であれば前記所望強度に達していると判断するようにしてもよい。
この発明に係る接合強度評価装置の一実施形態について、図1ないし図10を参照して説明する。
続いて、本発明の接合強度評価装置の第2実施形態について、図8ないし図11を参照するとともに、第1実施形態で説明した図1ないし図5も参照して説明する。なお、第2実施形態では、測定温度から得られた位相遅れおよび振幅に基づき、位相分布画像および振幅分布画像を作成し、作成した位相分布画像および振幅分布画像から接合部材Wの接合部が所望強度を有するかどうかを判断する点で、上記した第1実施形態と相違しており、以下では、係る相違点について主として説明する。
11 …ホーン
12 …アンビル
2 …接合強度評価装置
21 …レーザ(加熱手段)
22 …放射温度計(温度センサ)
23 …レーザ制御手段
24 …移動手段
25 …処理手段(判断手段、導出手段、比較手段、画像処理手段)
26 …表示手段
W,W1,W2 …接合部材
J …接合部
P …測定位置
Claims (20)
- 複数の接合部材を重ねて接合された接合部の接合強度を評価する接合強度評価装置において、
前記複数の接合部材の接合部の一方面側に配設され前記接合部の少なくとも一部を所定時間加熱する加熱手段と、
前記接合部の他方面側に配設され前記加熱手段による前記接合部の加熱領域に対向する測定位置において前記接合部の温度を前記他方面側から測定する温度センサと、
複数の異なる前記測定位置における前記温度センサによる測定温度に基づき、前記接合部の前記一方面側から前記他方面側への熱伝導、熱拡散、熱放射の少なくともいずれか1つの強弱から前記接合部の接合強度が所望強度に達しているかどうか判断する判断手段と
を備えることを特徴とする接合強度評価装置。 - 前記加熱手段は、前記複数の接合部材の接合部が化学変化しない温度まで加熱するものであることを特徴とする請求項1に記載の接合強度評価装置。
- 前記加熱手段を、時間関数である正弦波関数で強度変調することを特徴とする請求項1または2に記載の接合強度評価装置。
- 前記加熱手段を強度変調する時間関数である正弦波関数を、パルス幅変調を代表とするデジタル制御により生成するパルス波形から成る正弦波近似関数によって形成することを特徴とする請求項3に記載の接合強度評価装置。
- 前記加熱手段を、時間関数である方形波、三角波、鋸波、台形波等の関数よって強度変調することを特徴とする請求項1または2に記載の接合強度評価装置。
- 前記加熱手段を強度変調する前記方形波、三角波、鋸波、台形波等の時間関数を、デジタル制御により生成する近似関数によって形成することを特徴とする請求項5に記載の接合強度評価装置。
- 前記判断手段は、
前記複数の異なる測定位置における前記温度センサによる測定温度から、
・前記加熱手段を、時間関数である正弦波関数で強度変調したときの位相に対する前記温度センサによる測定温度の変化の位相の位相遅れ、
・前記温度センサの出力を、その測定温度の温度変化量に比例した電圧で表わした振幅、
・前記測定位置での温度変化、
・前記測定位置での温度時間変化
を導出する導出手段と、
前記導出手段により導出される前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化が、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化それぞれについて、前記所望強度であると判断するために予め求めておいたしきい値と比較する比較手段とを備え、
前記比較手段の比較の結果、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化のいずれか1つが前記しきい値以上であれば前記所望強度に達していると判断することを特徴とする請求項3に記載の接合強度評価装置。 - 少なくとも前記位相遅れおよび前記振幅から、前記複数の異なる測定位置を含む所定エリアにおける前記位相遅れの大きさに相関して色分けし2次元画像化して成る位相分布画像、および、前記複数の異なる測定位置を含む所定エリアにおける前記振幅値に相関して色分けし2次元画像化して成る振幅分布画像を作成する画像処理手段と、
前記画像処理手段により作成された前記位相分布画像および前記振幅分布画像を表示する表示手段とをさらに備え、
前記判断手段は、前記表示手段に表示される前記位相分布画像において所望強度以上の位相遅れの大きさとなるカラーコードの色領域の面積が、前記位相分布画像の全体面積に占める割合を判断し、かつ、前記振幅分布画像において所望強度以上の振幅値となるカラーコードの色領域の面積が、前記位相分布画像の全体面積に占める割合を判断することにより、前記接合部の接合強度が所望強度に達しているかどうか評価することを特徴とする請求項7に記載の接合強度評価装置。 - 前記判断手段は、
前記複数の異なる測定位置における前記温度センサによる測定温度から、
・前記加熱手段を、時間関数であるパルス波形で強度変調したときの位相に対する前記温度センサによる測定温度の変化のパルス位相の位相遅れ、
・前記温度センサの出力を、その測定温度の温度変化量に比例した電圧で表わしたパルス波高値である振幅、
・前記測定位置での温度変化、
・前記測定位置での温度時間変化
を導出する導出手段と、
前記導出手段により導出される前記パルス位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化が、前記位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化それぞれについて、前記所望強度であると判断するために予め求めておいたしきい値と比較する比較手段とを備え、
前記比較手段の比較の結果、前記パルス位相遅れ、前記振幅、前記温度変化、前記温度時間変化のいずれか1つが前記しきい値以上であれば前記所望強度に達していると判断することを特徴とする請求項4に記載の接合強度評価装置。 - 少なくとも前記パルス位相遅れおよび前記パルス波高値である振幅から、前記複数の異なる測定位置を含む所定エリアにおける前記位相遅れの大きさに相関して色分けし2次元画像化して成る位相分布画像、および、前記複数の異なる測定位置を含む所定エリアにおける前記パルス波高値である振幅に相関して色分けし2次元画像化して成る振幅分布画像を作成する画像処理手段と、
前記画像処理手段により作成された前記位相分布画像および前記振幅分布画像を表示する表示手段とをさらに備え、
前記判断手段は、前記表示手段に表示される前記位相分布画像において所望強度以上の位相遅れの大きさとなる色に対応するカラーコードの領域面積が、前記位相分布画像の全体面積に占める割合を判断し、かつ、前記振幅分布画像において所望強度以上の振幅値となる色に対応するカラーコードの領域面積が、前記位相分布画像の全体面積に占める割合を判断することにより、前記接合部の接合強度が所望強度に達しているかどうか評価することを特徴とすることを特徴とする請求項9に記載の接合強度評価装置。 - 前記測定位置を決定する際の基準となる前記複数の接合部材の接合部に位置決めマークが設けられることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記加熱手段は、レーザにより構成され、
該レーザは、前記複数の接合部材の接合部の一方面側に、反射光が入射側に戻らない照射角度でレーザ光を照射することを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。 - 前記加熱手段は、レーザにより構成され、
該レーザは、前記複数の接合部材の接合部の一方面側に、反射光が入射側に戻らないように防止する防止手段を介してレーザ光を照射することを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。 - 前記加熱手段を構成するレーザの照射スポットを、前記温度センサと同期して前記複数の異なる測定位置に移動させる移動手段をさらに備えることを特徴とする請求項12または13に記載の接合強度評価装置。
- レーザにより構成される前記加熱手段は、前記複数の接合部材の接合部の表面形状に応じて、レーザ光の照射スポット形状が可変されることを特徴とする請求項12ないし14のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記温度センサは、非接触式であることを特徴とする請求項1ないし15のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記温度センサは、接触式であることを特徴とする請求項1ないし15のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記複数の接合部材は、いずれも金属であることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記複数の接合部材は、いずれも樹脂であることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
- 前記複数の接合部材のうち一部は金属であり、残りは樹脂であることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1項に記載の接合強度評価装置。
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