JP2020003046A - 流体動圧軸受装置、モータ、およびディスク駆動装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】潤滑油の滞留を抑制することができる流体動圧軸受装置を提供する。【解決手段】流体動圧軸受装置は、シャフトのシャフト本体部３１１と、シャフト本体部の下端部から径方向外側へ拡がるシャフトフランジ部３１２と、を有する。スリーブ２３の内周面は、シャフト本体部の外周面と径方向に対向する第１内周面６１と、シャフトフランジ部の外周面と径方向に対向する第２内周面６２と、を含む。スリーブは、スリーブ内側下面と循環孔６０とを有する。スリーブ内側下面は、第１内周面の下端部と第２内周面の上端部とを繋ぎ、シャフトフランジ部と軸方向に対向する。循環孔は、スリーブの内部を貫通し、スリーブ内側下面に開口する。循環孔の下側開口６０２の径方向外側の端部は、下側開口の径方向内側の端部よりも軸方向上側に位置する。【選択図】図３

Description

本発明は、流体動圧軸受装置、モータ、およびディスク駆動装置に関する。
ハードディスク装置や光ディスク装置には、ディスクを回転させるモータが搭載される。従来のモータについては、例えば、特開２００４−５２９８７号公報に、記載されている。当該公報のモータは、静止部材と、回転部材と、動圧軸受とを有する。動圧軸受は、回転部材を、静止部材に対して潤滑油を介して回転自在に支持する。潤滑油は、フルフィル構造を有し、回転部材のシャフトと静止部材スリーブとの間の間隙に完全に満たされる。また、動圧軸受は、ラジアル動圧軸受部と、スラスト動圧軸受部とを有する。ラジアル動圧軸受部は、スリーブの半径方向内側の潤滑油にラジアル方向の流体動圧を誘起して、シャフトをラジアル方向に支持する。スラスト動圧軸受部は、潤滑油に半径方向内側に向かう流体動圧を誘起して、シャフトを下側からスラスト方向に支持する。さらに、ラジアル動圧軸受部よりも上側（潤滑油の界面側）には、複数のスパイラル溝を有するアンバランス溝が設けられている。これにより、潤滑油に下側に向かう流体動圧を誘起して、動圧軸受内の潤滑油全体の圧力レベルを高くする昇圧部が形成されている。
一方、スラスト動圧軸受部は、外周側に向かうにつれて低くなる圧力勾配を有し、スラスト動圧軸受部の外周部の圧力が動圧軸受全体で最も低くなる。そこで、特開２００４−５２９８７号公報のモータにおいては、シャフトとスリーブとの間の間隙とは別に、当該圧力が最も低くなる位置と、ラジアル動圧軸受部とアンバランス溝との境界位置とに開口する、バイパス通路が、さらに設けられている。潤滑油は、シャフトとスリーブとの間の間隙とバイパス通路とを通って循環する。これにより、スラスト動圧軸受部の外周部の圧力が、アンバランス溝によって高められた圧力と等しくなる。この結果、潤滑油の圧力が過度に低くなることによる、潤滑油に溶け込んでいる空気の気泡化を抑制できる。
特開２００４−５２９８７号公報
しかしながら、特開２００４−５２９８７号公報の構造では、スラスト動圧軸受部の外周部付近のバイパス通路の開口の径方向外側において、潤滑油が滞留する虞がある。これにより、潤滑油に溶け込んでいる空気が圧力変化等により気泡化した場合、動圧軸受の外部へ排出されにくい。気泡が動圧軸受内に蓄積すると、モータの回転精度が低下する虞がある。
本発明の目的は、流体動圧軸受装置において、潤滑油の滞留を抑制できる構造を提供することである。
本願の例示的な第１発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの周囲において軸方向に筒状に延びるスリーブと、前記シャフトよりも軸方向下側に配置され、前記スリーブの下端部の開口を閉塞するスラスト部材と、前記シャフトの外周面および前記スリーブの内周面の少なくとも一方に形成された複数の動圧溝と、前記スリーブおよび前記スラスト部材と前記シャフトとの間に存在する潤滑オイルと、を有する流体動圧軸受装置であって、前記シャフトは、前記中心軸に沿って柱状に延びるシャフト本体部と、前記シャフト本体部の下端部から径方向外側へ拡がるシャフトフランジ部と、を有し、前記スリーブの内周面は、前記シャフト本体部の外周面と径方向に対向する第１内周面と、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部の外周面と径方向に対向する第２内周面と、を含み、前記スリーブは、前記第１内周面の下端部と前記第２内周面の上端部とを繋ぎ、かつ、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部と軸方向に対向するスリーブ内側下面と、前記スリーブの内部を貫通し、かつ、前記スリーブ内側下面に開口する、少なくとも１つの循環孔と、を有し、前記循環孔の下側開口の径方向外側の端部の軸方向位置は、前記下側開口の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置する。
本願の例示的な第２発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの周囲において軸方向に筒状に延びるスリーブと、前記シャフトよりも軸方向下側に配置され、前記スリーブの下端部の開口を閉塞するスラスト部材と、前記シャフトの外周面および前記スリーブの内周面の少なくとも一方に形成された複数の動圧溝と、前記スリーブおよび前記スラスト部材と前記シャフトとの間に存在する潤滑オイルと、を有する流体動圧軸受装置であって、前記シャフトは、前記中心軸に沿って柱状に延びるシャフト本体部と、前記シャフト本体部の下端部から径方向外側へ拡がるシャフトフランジ部と、を有し、前記スリーブの内周面は、前記シャフト本体部の外周面と径方向に対向する第１内周面と、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部の外周面と径方向に対向する第２内周面と、を含み、前記スリーブは、前記第１内周面の下端部と前記第２内周面の上端部とを繋ぎ、かつ、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部と軸方向に対向するスリーブ内側下面と、前記スリーブの内部を貫通し、かつ、前記スリーブ内側下面に開口する、少なくとも１つの循環孔と、を有し、前記スリーブの前記第２内周面の少なくとも一部は、前記スラスト部材の軸方向上側かつ前記循環孔の下側開口の径方向外側に位置する部位から、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する傾斜面である。
本願の例示的な第１発明によれば、循環孔の下側開口の径方向外側の端部の軸方向位置は、下側開口の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置する。このため、シャフトフランジ部の径方向外側に位置する潤滑オイルが、循環孔の下側開口へ向かって流れやすくなる。これにより、当該箇所に存在する潤滑オイルの滞留を抑制できる。この結果、潤滑オイルに溶け込んでいる空気が圧力変化等により気泡化した場合でも、当該気泡を流体動圧軸受装置の外部へ排出しやすくなる。
また、本願の例示的な第２発明によれば、スリーブの第２内周面の少なくとも一部は、スラスト部材の軸方向上側かつ循環孔の下側開口の径方向外側に位置し、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する傾斜面となっている。このため、シャフトフランジ部の径方向外側に位置する潤滑オイルが、傾斜面に沿って移動して、循環孔へと導かれやすくなる。これにより、当該箇所に存在する潤滑オイルの滞留を抑制できる。この結果、潤滑オイルに溶け込んでいる空気が圧力変化等により気泡化した場合でも、当該気泡を流体動圧軸受装置の外部へ排出しやすくなる。
図１は、第１実施形態に係るディスク駆動装置の縦断面図である。 図２は、第１実施形態に係るモータの縦断面図である。 図３は、第１実施形態に係るシャフト、スリーブ、およびスラスト部材の縦断面図である。 図４は、第１実施形態に係るスリーブの縦断面図である。 図５は、第１実施形態に係るスリーブの下面図である。 図６は、第１実施形態に係るシャフト、スリーブ、およびスラスト部材の部分縦断面図である。 図７は、第２実施形態に係るモータの縦断面図である。 図８は、第２実施形態に係るスリーブの下面図である。 図９は、変形例に係るシャフト、スリーブ、およびスラスト部材の部分縦断面図である。 図１０は、変形例に係るファンモータ（遠心ファン）の縦断面図である。 図１１は、変形例に係る回転駆動装置の縦断面図である。
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本願では、モータの中心軸と平行な方向を「軸方向」、モータの中心軸に直交する方向を「径方向」、モータの中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。また、本願では、軸方向を上下方向とし、ステータに対して、磁気ディスクを押さえつけるクランプ側を上として、各部の形状や位置関係を説明する。ただし、この上下方向の定義により、本発明に係るディスク駆動装置の使用時の向きを限定する意図はない。また、本願において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本願において「直交する方向」とは、略直交する方向も含む。
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．ディスク駆動装置の構成＞
図１は、第１実施形態に係るディスク駆動装置１の縦断面図である。ディスク駆動装置１は、中央に円孔を有する磁気ディスク１２を回転させながら、磁気ディスク１２に対して情報の読み出しおよび書き込みを行う装置である。図１に示すとおり、ディスク駆動装置１は、モータ１１、３枚の磁気ディスク１２、アクセス部１３、および筐体１０の一部を構成するカバー１４を有する。
モータ１１は、後述する回転部３において、磁気ディスク１２を支持しながら、上下に延びる中心軸９を中心として磁気ディスク１２を回転させる。モータ１１は、ベース部２１を有する。ベース部２１の一部は、磁気ディスク１２の下側において径方向に拡がる。モータ１１の回転部３、磁気ディスク１２、およびアクセス部１３は、ベース部２１とカバー１４とで構成される筐体１０の内部に、収容される。アクセス部１３は、磁気ディスク１２の記録面に沿ってヘッド１３１を移動させて、磁気ディスク１２に対する情報の読み出しおよび書き込みの少なくとも一方を行う。なお、ディスク駆動装置１は、２枚以下または４枚以上の磁気ディスク１２を有していてもよい。
筐体１０の内部空間には、塵または埃が極度に少ない清浄な空気が充填される。ただし、空気に代えて、ヘリウムガス、水素ガス、または窒素ガスが充填されてもよい。これにより、アクセス部１３に対する気体の抵抗が、低減される。また、これらの気体と空気との混合気体が充填されてもよい。ベース部２１とカバー１４との接合部は、エラストマー等のシール材で封止されている。これにより、筐体１０の内部空間が、気密に保たれている。
＜１−２．モータの構成＞
続いて、モータ１１の詳細な構成について説明する。図２は、第１実施形態に係るモータ１１の縦断面図である。図２に示すとおり、モータ１１は、静止部２、回転部３、および後述する流体動圧軸受装置５を有する。静止部２は、ディスク駆動装置１の筐体１０に対して、相対的に静止している。回転部３は、静止部２に対して、中心軸９を中心として、流体動圧軸受装置５を介して回転可能に支持されている。
本実施形態の静止部２は、ベース部２１、ステータ２２、スリーブ２３、およびスラスト部材２４を有する。なお、スリーブ２３およびスラスト部材２４は、静止部２に含まれるとともに、流体動圧軸受装置５の一部を形成する。
ベース部２１は、ステータ２２を支持する。ベース部２１の材料には、例えばアルミニウム合金やステンレス等の金属が用いられる。ベース部２１は、ベース底板部２１１、ベース円筒部２１２、およびベース側壁部２１３（図１参照）を有する。ベース底板部２１１、ベース円筒部２１２、およびベース側壁部２１３は、一繋がりに形成されている。
ベース底板部２１１は、回転部３および磁気ディスク１２（図１参照）の下方において、中心軸９に対して垂直に拡がる。また、本実施形態のベース底板部２１１には、モータ１１に駆動電流を供給するための回路基板（図示省略）が配置されている。ベース円筒部２１２は、ベース底板部２１１の上面の一部から上方へ向けて、略円筒状に延びる。また、ベース円筒部２１２は、中心軸９と略同軸に配置されている。ベース側壁部２１３は、回転部３、磁気ディスク１２、およびアクセス部１３の径方向外側において、軸方向に延びる。ベース側壁部２１３の上端部は、カバー１４の径方向外側の端部の下面に固定される。
ステータ２２は、ステータコア４１と複数のコイル４２とを有する電機子である。ステータ２２は、ベース底板部２１１の上方かつベース円筒部２１２の径方向外側に位置する。ステータコア４１は、例えば、珪素鋼板等の電磁鋼板が軸方向に積層された積層鋼板からなる。ステータコア４１は、ベース円筒部２１２の外周面に、例えば接着剤で固定されることによって、ベース部２１に直接的に支持される。なお、ステータコア４１は、別部材を介してベース部２１に間接的に支持されてもよい。
また、ステータコア４１は、円環状のコアバック４１１と、コアバック４１１から径方向外側へ向けて突出した複数のティース４１２と、を有する。複数のコイル４２は、複数のティース４１２の周囲に巻かれた導線の集合体である。モータ１１の駆動電流は、外部電源（図示省略）から、上述の回路基板および当該導線を介して、コイル４２に供給される。複数のティース４１２および複数のコイル４２は、好ましくは、中心軸９を中心とした周方向に、円環状に略等間隔に配列される。
スリーブ２３は、後述する回転部３のシャフト３１の周囲において、軸方向に略円筒状に延びる部材である。スリーブ２３の下部は、ベース円筒部２１２の内周面に、例えば接着により固定される。さらに、スリーブ２３の径方向内側の中心軸９の周囲には、スリーブ貫通孔２３０が設けられている。スリーブ貫通孔２３０は、スリーブ２３を軸方向に貫通する。また、スリーブ貫通孔２３０には、シャフト３１が軸方向に挿入される。
スラスト部材２４は、後述する回転部３のシャフト３１よりも軸方向下側に配置され、スリーブ２３の下端部の開口を閉塞する円盤状の部材である。スラスト部材２４の外周面は、スリーブ２３の下端部付近の内周面（後述する第２内周面６２）に、例えば圧入および接着により固定される。モータ１１の製造時には、まず、スリーブ２３の径方向内側にシャフト３１が挿入された後、スリーブ２３の内周面にスラスト部材２４の外周面が下側から圧入される。その際、スリーブ２３の下端部付近の内周面に、予め接着剤２５（後述する図６参照）が塗布される。そして、スラスト部材２４の圧入とともに、接着剤２５がスリーブ２３の内周面およびスラスト部材２４の外周面に拡がる。さらに、接着剤２５の一部がスラスト部材２４の上側に押し出される。ただし、スラスト部材２４の外周面は、スリーブ２３の内周面に、圧入のみまたは接着のみで固定されてもよく、焼き嵌め、または溶接等の他の方法で固定されてもよい。
本実施形態の回転部３は、シャフト３１、ロータハブ３２、ヨーク３３、およびマグネット３４を有する。なお、シャフト３１は、回転部３に含まれるとともに、流体動圧軸受装置５の一部を形成する。
シャフト３１は、中心軸９に沿って配置され、上述のスリーブ２３およびロータハブ３２の径方向内側において軸方向に延びる部材である。シャフト３１の材料には、例えば、ステンレス鋼等の金属が使用される。また、シャフト３１の材料は、磁性または非磁性のいずれであってもよい。さらに、シャフト３１は、ロータハブ３２と、単一の部材であっても、別の部材であってもよい。
シャフト３１は、シャフト本体部３１１とシャフトフランジ部３１２とを含み、断面視においてＴ字型の形状を有する。シャフト本体部３１１は、中心軸９に沿って柱状に延びる。シャフトフランジ部３１２は、シャフト本体部３１１の下端部から径方向外側へ拡がる。なお、スラスト部材２４の外周面の径方向位置は、シャフトフランジ部３１２の外周面の径方向位置よりも、さらに外側に位置する。これにより、スラスト部材２４をスリーブ２３に固定するための接着剤２５がシャフト３１に付着して、回転の妨げとなることを抑制できる。
ロータハブ３２は、シャフト３１の周囲に円環状に拡がる部材である。ロータハブ３２は、ハブ環状部３２１とハブフランジ部３２２とを有する。ハブ環状部３２１およびハブフランジ部３２２は、一繋がりに形成されている。
ハブ環状部３２１は、シャフト３１の上端部付近の外周面に固定される。ハブ環状部３２１は、ステータ２２およびスリーブ２３の軸方向上側において径方向外側へ向けて円環状に拡がり、さらに、ステータ２２の周囲において中心軸９を中心として軸方向に円筒状に延びる。スリーブ２３の上面は、ハブ環状部３２１の下面と、間隙を介して軸方向に対向する。また、ハブ環状部３２１の径方向内側の中心軸９の周囲には、ハブ貫通孔３２０が設けられている。ハブ貫通孔３２０は、ハブ環状部３２１を軸方向に貫通する。シャフト３１の上端部は、ハブ貫通孔３２０に圧入により固定される。なお、シャフト３１の上端部付近の外周面は、ハブ環状部３２１の内周面に、さらに接着により固定されてもよい。また、シャフト３１の上端部付近の外周面は、ハブ環状部３２１の内周面に、接着のみで固定されてもよく、焼き嵌め等の他の方法で固定されてもよい。
図１に示すように、ハブ環状部３２１の外周面３２３は、磁気ディスク１２の円孔に嵌まる。そして、磁気ディスク１２の内周部の少なくとも一部分は、ハブ環状部３２１の外周面３２３に接触する。これにより、磁気ディスク１２が径方向に位置決めされながら、ハブ環状部３２１含む回転部３に支持される。さらに、ハブ環状部３２１の上面には、磁気ディスク１２を押さえつけるクランプ１３２が固定される。
ハブフランジ部３２２は、ハブ環状部３２１の外周部の下端部から径方向外側へ拡がる。磁気ディスク１２は、ハブフランジ部３２２の上側に配置される。そして、下段の磁気ディスク１２の下面は、ハブフランジ部３２２の上面の少なくとも一部分に接触する。これにより、磁気ディスク１２が、軸方向に位置決めされながら、ハブフランジ部３２２を含む回転部３に支持される。
ヨーク３３は、マグネット３４を保持する円筒状の部材である。ヨーク３３は、中心軸９と略同軸に配置される。また、ヨーク３３の外周面は、ハブ環状部３２１の下部の内周面に、例えば接着により固定される。ヨーク３３の材料には、鉄などの強磁性体が用いられる。これにより、マグネット３４から発生した磁束が外部に漏れてしまうことを抑制できる。
マグネット３４は、中心軸９を中心として軸方向に円環状に配置された部材である。マグネット３４の外周面は、ヨーク３３の内周面に、例えば接着剤で固定される。マグネット３４の内周面は、ステータ２２の複数のティース４１２の径方向外側の端面と、僅かな間隙を介して径方向に対向する。本実施形態のマグネット３４には、円環状の永久磁石が用いられている。また、マグネット３４の内周面には、Ｎ極とＳ極とが周方向に交互に着磁される。ただし、円環状のマグネット３４に代えて、複数のマグネットが用いられてもよい。その場合には、Ｎ極の磁極面とＳ極の磁極面とが周方向に交互に並ぶように、複数のマグネットをヨーク３３の内周面に配置すればよい。なお、本実施形態のマグネット３４は、上述のとおりヨーク３３を介してロータハブ３２に間接的に固定されている。しかしながら、マグネット３４は、ヨーク３３を介さずに、ロータハブ３２に直接的に固定されてもよい。
このようなモータ１１において、上述の回路基板を介してコイル４２に駆動電流を供給すると、複数のティース４１２に磁束が生じる。そして、ティース４１２とマグネット３４との間の磁束の作用により、静止部２と回転部３との間に周方向のトルクが発生する。その結果、静止部２に対して回転部３が、中心軸９を中心として回転する。また、ロータハブ３２に搭載されている磁気ディスク１２は、回転部３とともに、中心軸９を中心として回転する。
＜１−３．流体動圧軸受装置の構成＞
続いて、流体動圧軸受装置５の構成について説明する。以下では、後述する図３〜図５とともに、図１および図２を適宜に参照する。
図３は、シャフト３１、スリーブ２３、およびスラスト部材２４の縦断面図である。図３に示すとおり、スリーブ２３の内周面は、シャフト３１のＴ字型の形状に対応して、段差を有する形状となっている。以下では、スリーブ２３の内周面のうち、当該段差の角部１００から軸方向上側へ延びる部位（図３において、Ｐ１位置からＰ２位置まで軸方向に連続する面）を第１内周面６１と定義する。また、スリーブ２３の内周面のうち、スラスト部材２４の軸方向上側の位置からスラスト部材２４の径方向外側の位置に亘って軸方向に延びる部位（図３において、Ｐ３位置からＰ４位置まで軸方向に連続する面）を第２内周面６２と定義する。さらに、スリーブ２３における、第１内周面６１の下端部と第２内周面６２の上端部とを繋ぐ面を、スリーブ内側下面６３と定義する。第１内周面６１は、シャフト本体部３１１の外周面と僅かな間隙を介して径方向に対向する。第２内周面６２は、少なくとも一部がシャフトフランジ部３１２の外周面と僅かな間隙を介して径方向に対向する。スリーブ内側下面６３のうち径方向内側の少なくとも一部は、シャフトフランジ部３１２の上面と僅かな間隙を介して軸方向に対向する。さらに、シャフトフランジ部３１２の下面は、スラスト部材２４の上面と僅かな間隙を介して軸方向に対向する。
スリーブ２３における周方向の一部には、循環孔６０が設けられている。循環孔６０は、スリーブ２３の内部を貫通する。また、循環孔６０の両端は、第１内周面６１とスリーブ内側下面６３とにおいて、それぞれ開口する。以下では、第１内周面６１における循環孔６０の開口を上側開口６０１と定義する。また、スリーブ内側下面６３における循環孔６０の開口を下側開口６０２と定義する。なお、本実施形態では、スリーブ２３の周方向において、３つの循環孔６０が互いに等間隔に設けられている。ただし、循環孔６０は、スリーブ２３において、少なくとも１つ設けられればよく、３つには限定されない。
スリーブ２３およびスラスト部材２４と、シャフト３１との間の間隙には、潤滑オイル５０が介在している。潤滑オイル５０には、例えば、ポリオールエステル系オイルやジエステル系オイルが使用される。なお、潤滑オイル５０の界面は、スリーブ２３の第１内周面６１の上端部付近とシャフト本体部３１１の外周面との径方向の間隙に位置する。
図４は、スリーブ２３の縦断面図である。図４に示すとおり、第１内周面６１には、上ラジアル動圧溝列５１と下ラジアル動圧溝列５２とが形成されている。上ラジアル動圧溝列５１は、下ラジアル動圧溝列５２よりも軸方向上側に位置する。上ラジアル動圧溝列５１および下ラジアル動圧溝列５２は、いずれも、所謂ヘリングボーン状の動圧溝列である。また、上ラジアル動圧溝列５１において、軸方向上側に位置する複数の動圧溝５１１は、軸方向下側へ向かうにつれて周方向一方側へ傾斜する。上ラジアル動圧溝列５１において、軸方向下側に位置する複数の動圧溝５１２は、軸方向上側へ向かうにつれて周方向一方側へ傾斜する。また、下ラジアル動圧溝列５２において、軸方向上側に位置する複数の動圧溝５２１は、軸方向下側へ向かうにつれて周方向一方側へ傾斜する。下ラジアル動圧溝列５２において、軸方向下側に位置する複数の動圧溝５２２は、軸方向上側へ向かうにつれて周方向一方側へ傾斜する。
モータ１１の駆動時には、上ラジアル動圧溝列５１および下ラジアル動圧溝列５２によって、スリーブ２３の第１内周面６１とシャフト本体部３１１の外周面との間に介在する潤滑オイル５０に、動圧が誘起される。これにより、スリーブ２３に対するシャフト３１の径方向の支持力が発生する。なお、上ラジアル動圧溝列５１および下ラジアル動圧溝列５２は、スリーブ２３の内周面およびシャフト３１の外周面の少なくとも一方に形成されていればよい。また、ラジアル動圧溝列の数は、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。
また、本実施形態では、上ラジアル動圧溝列５１において、軸方向上側に位置する複数の動圧溝５１１の軸方向の長さは、軸方向下側に位置する複数の動圧溝５１２の軸方向の長さよりも長い。これにより、モータ１１の駆動時に、スリーブ２３の第１内周面６１とシャフト本体部３１１の外周面との間において、上ラジアル動圧溝列５１によって、潤滑オイル５０を軸方向上側（すなわち、潤滑オイル５０の界面側）から軸方向下側へ押し込む圧力（以下、「押し込み圧」と定義する）が発生する。
図５は、スリーブ２３の下面図である。図５に示すとおり、スリーブ内側下面６３には、スラスト動圧溝列５３が形成されている。スラスト動圧溝列５３は、周方向に配列された複数のスラスト溝を有する。各スラスト溝は、径方向内側から径方向外側へ向けて螺旋状に延びる。ただし、スラスト動圧溝列５３の形状は、ヘリングボーン状であってもよい。モータ１１の駆動時には、スラスト動圧溝列５３によって、スリーブ内側下面６３とシャフトフランジ部３１２の上面との間に介在する潤滑オイル５０に、流体動圧が誘起される。これにより、スリーブ２３に対するシャフト３１の軸方向の支持力が発生し、回転部３の回転が安定する。
なお、スラスト部材２４の上面に、スラスト動圧溝列がさらに形成されてもよい。そして、モータ１１の駆動時には、当該スラスト動圧溝列によって、スラスト部材２４の上面とシャフトフランジ部３１２の下面との間に介在する潤滑オイル５０に、流体動圧が誘起されてもよい。これにより、スリーブ２３に対する回転部３の回転がさらに安定する。
すなわち、本実施形態では、静止部２側の部材であるスリーブ２３およびスラスト部材２４と、回転部３側の部材であるシャフト３１と、上述の複数の動圧溝と、潤滑オイル５０とによって、流体動圧軸受装置５が構成されている。
なお、潤滑オイル５０は、スリーブ２３の第１内周面６１とシャフト本体部３１１の外周面との径方向の間隙、スリーブ２３のスリーブ内側下面６３とシャフトフランジ部３１２の上面との軸方向の間隙、スリーブ２３の第２内周面６２の一部とシャフトフランジ部３１２の外周面との径方向の間隙、シャフトフランジ部３１２の下面とスラスト部材２４の上面との軸方向の間隙、および循環孔６０内において、連続して存在する。すなわち、静止部２と回転部３とが対向する間隙において、潤滑オイル５０が連続して存在する所謂フルフィル構造を有している。これにより、モータ１１の回転時に衝撃が加わった場合においても、静止部２と回転部３との接触を抑制することができる。
また、上述の「押し込み圧」によって、潤滑オイル５０は、スリーブ２３およびスラスト部材２４とシャフト３１との間の間隙と、循環孔６０とを介して循環する。具体的には、図３中の矢印Ｄ１のように、スリーブ２３の第１内周面６１とシャフト本体部３１１の外周面との間隙においては、潤滑オイル５０は、主として軸方向下向きに流れる。また、図３中の矢印Ｄ２のように、循環孔６０内においては、潤滑オイル５０は、下側開口６０２から上側開口６０１へ向けて流れる。潤滑オイル５０に溶け込んでいる空気が気泡化した場合でも、潤滑オイル５０の循環に伴って、当該気泡は、循環孔６０を通って、潤滑オイル５０の界面付近へ流れる。このため、潤滑オイル５０の界面から、流体動圧軸受装置５の外側に気泡を排出することができる。
＜１−４．シャフト、スリーブ、およびスラスト部材の詳細な構成＞
続いて、シャフト３１、スリーブ２３、およびスラスト部材２４のより詳細な構成について説明する。図６は、シャフト３１、スリーブ２３、およびスラスト部材２４の部分縦断面図である。以下では、図６とともに、図１〜図５を適宜に参照する。
本実施形態では、スリーブ内側下面６３に設けられた下側開口６０２が、軸方向および径方向に対して、斜めに開口している。そして、下側開口６０２の径方向外側の端部の軸方向位置は、下側開口６０２の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置する。これにより、シャフトフランジ部３１２の径方向外側に位置する潤滑オイル５０が、循環孔６０の下側開口６０２へ向かって流れやすくなる。一方、仮に当該構造を有さなければ、シャフトフランジ部３１２の径方向外側に位置する潤滑オイル５０は、循環孔６０の下側開口６０２へ向かって流れにくく、滞留しやすい。このため、当該位置の潤滑オイル５０に溶け込んでいる空気が気泡化した場合、循環孔６０を通って、流体動圧軸受装置５の外側に排出されにくい。本発明では、上述の構造を有することにより、当該箇所に存在する潤滑オイル５０の滞留を抑制できる。この結果、潤滑オイル５０に溶け込んでいる空気が圧力変化等により気泡化した場合でも、当該気泡を流体動圧軸受装置５の外部へ排出しやすくなる。
図６に示すとおり、スリーブ２３の第２内周面６２の少なくとも一部には、傾斜面１０１が形成されている。傾斜面１０１は、スラスト部材２４の軸方向上側かつ下側開口６０２の径方向外側に位置する部位から、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する。このため、シャフトフランジ部３１２の径方向外側に位置する潤滑オイル５０が、傾斜面１０１に沿って移動して、循環孔６０へと導かれやすくなる。これにより、当該箇所に存在する潤滑オイル５０の滞留を抑制できる。この結果、潤滑オイル５０に溶け込んでいる空気が圧力変化等により気泡化した場合でも、当該気泡を流体動圧軸受装置５の外部へ排出しやすくなる。
さらに、本実施形態では、傾斜面１０１の径方向内側の端部の軸方向位置は、下側開口６０２の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置することが好ましい。これにより、傾斜面１０１に沿って移動してきた潤滑オイル５０が、さらに循環孔６０へと導かれやすくなる。この結果、当該箇所に存在する潤滑オイル５０の滞留を、より抑制できる。
また、スラスト部材２４は、径方向外側の端部を含む一部において、上面から下側へ凹む凹部２４０を有する。モータ１１の製造時には、スリーブ２３の下端部にスラスト部材２４が圧入される。このとき、スラスト部材２４をスリーブ２３に固定するための接着剤２５の一部が、スラスト部材２４の上側に押し出され、凹部２４０の少なくとも一部に配置される。また、接着剤２５の少なくとも一部は、スラスト部材２４の上面と第２内周面６２とに亘って連続して配置される。これにより、シャフトフランジ部３１２の径方向外側に位置する潤滑オイル５０において、特に潤滑オイル５０が滞留しやすい空間を接着剤２５で覆うことで、潤滑オイル５０の滞留をさらに抑制することができる。
さらに、凹部２４０は、スラスト部材２４の外周面の上端部を含む一部と、スリーブ２３の第２内周面６２との間の径方向の間隙において接着剤２５を収容する、接着剤収容部としての役割を担っている。これにより、接着剤２５がシャフト３１側へはみ出して、シャフト３１の回転の妨げとなることを抑制できる。
＜２．第２実施形態＞
続いて、本発明の第２実施形態に係るディスク駆動装置の構成について説明する。なお、第２実施形態のディスク駆動装置におけるモータ１１Ｂ以外の部位については、第１実施形態のディスク駆動装置１におけるモータ１１以外の部位と同等の構造を有するため、重複説明を省略する。
図７は、第２実施形態に係るモータ１１Ｂの縦断面図である。モータ１１Ｂは、静止部２Ｂ、回転部３Ｂ、および流体動圧軸受装置５Ｂを有する。モータ１１Ｂのスリーブ２３Ｂ以外の部位については、第１実施形態のモータ１１におけるスリーブ２３以外の部位と同等の構造を有する。
本実施形態のスリーブ２３Ｂは、内側スリーブ２３１Ｂおよび外側スリーブ２３２Ｂをさらに有する。内側スリーブ２３１Ｂは、スリーブ２３Ｂにおける、シャフトフランジ部３１２Ｂよりも上側に位置する部位のうち、上側開口６０１Ｂよりも軸方向下側に位置する部位である。内側スリーブ２３１Ｂは、シャフトフランジ部３１２Ｂよりも上側かつシャフト本体部３１１Ｂの径方向外側において、軸方向に円筒状に延びる。外側スリーブ２３２Ｂは、内側スリーブ２３１Ｂの上側および径方向外側に位置する部位である。外側スリーブ２３２Ｂは、スリーブ２３Ｂの少なくとも外周部および下端部を形成する。本実施形態では、内側スリーブ２３１Ｂと、外側スリーブ２３２Ｂとは、互いに異なる部材である。また、外側スリーブ２３２Ｂの内周面には、内側スリーブ２３１Ｂの外周面の周方向の一部が、接着により固定される。
図８は、スリーブ２３Ｂの下面図である。図８に示すとおり、内側スリーブ２３１Ｂの外周面の一部は、周方向のＰ５位置において、上端部から下端部まで径方向内側に凹む。これにより、内側スリーブ２３１Ｂの外周面の一部は、Ｐ５位置において、外側スリーブ２３２Ｂの内周面から間隙７１Ｂを隔てて径方向に対向する。また、図７に示すとおり、内側スリーブ２３１Ｂの上面の一部は、周方向のＰ５位置において、径方向内側の端部から径方向外側の端部まで軸方向下側に凹む。これにより、内側スリーブ２３１Ｂの上面の一部は、Ｐ５位置において、外側スリーブ２３２Ｂの下面から間隙７２Ｂを隔てて軸方向に対向する。さらに、間隙７１Ｂと間隙７２Ｂとが繋がることによって、内側スリーブ２３１Ｂと外側スリーブ２３２Ｂとの間に循環孔６０Ｂが形成される。また、内側スリーブ２３１Ｂの外周面の下端部と外側スリーブ２３２Ｂの内周面の下端部との径方向の間隙には、循環孔６０Ｂの下側開口６０２Ｂが形成される。このように、互いに異なる内側スリーブ２３１Ｂと外側スリーブ２３２Ｂとを用いてスリーブ２３Ｂを形成することによって、循環孔６０Ｂを容易に設けることができる。
本実施形態の第２内周面６２Ｂは、外側スリーブ２３２Ｂの内周面に形成される。また、第１実施形態と同様に、第２内周面６２Ｂの少なくとも一部には、傾斜面１０１Ｂが形成される。傾斜面１０１Ｂは、スラスト部材２４Ｂの軸方向上側かつ下側開口６０２Ｂの径方向外側に位置する部位から、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する。これにより、シャフトフランジ部３１２Ｂの径方向外側に位置する潤滑オイル５０Ｂが、傾斜面１０１Ｂに沿って移動して、循環孔６０Ｂへと導かれやすくなる。この結果、当該箇所に存在する潤滑オイル５０Ｂの滞留を抑制することができる。
また、第１実施形態と同様に、傾斜面１０１Ｂの径方向内側の端部の軸方向位置は、内側スリーブ２３１Ｂの外周面の下端部の軸方向位置よりも上側に位置することが好ましい。これにより、シャフトフランジ部３１２Ｂの径方向外側に位置する潤滑オイル５０Ｂが、循環孔６０Ｂの下側開口６０２Ｂへ向かって流れやすくなる。この結果、当該箇所に存在する潤滑オイル５０Ｂの滞留をさらに抑制することができる。
＜３．変形例＞
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。
図９は、一変形例に係るシャフト３１Ｃ、スリーブ２３Ｃ、およびスラスト部材２４Ｃの部分縦断面図である。図９の例では、スラスト部材２４Ｃをスリーブ２３Ｃに固定するための接着剤２５Ｃを収容する凹部２４０Ｃが、スリーブ２３Ｃの第２内周面６２Ｃに形成されている。モータの製造時には、スリーブ２３Ｃの下端部にスラスト部材２４Ｃが圧入される。このとき、スラスト部材２４Ｃをスリーブ２３Ｃに固定するための接着剤２５Ｃの一部が、スラスト部材２４Ｃの上側に押し出され、凹部２４０Ｃの少なくとも一部に配置される。これにより、接着剤２５Ｃがシャフト３１Ｃ側へはみ出して、シャフト３１Ｃの回転の妨げとなることを抑制できる。
上述の実施形態および変形例に係るモータは、磁気ディスクを回転させるスピンドルモータとして使用していた。しかし、図１０の変形例に示すとおり、本発明の磁気ディスクに替えて、インペラカップ７０１Ｄと複数の羽根７０２Ｄとを有するインペラ７０Ｄを用いてもよく、上述の実施形態および変形例と同等の構造を有するモータ１１Ｄを、空気流を供給するファンモータ７Ｄに使用してもよい。例えば、回転部３Ｄのシャフト３１Ｄとマグネット３４Ｄとを接続するロータハブ３２Ｄに、インペラカップ７０１Ｄを固定し、さらにインペラカップ７０１Ｄから径方向外側へ拡がる複数の羽根７０２Ｄを設けることによって、ファンモータ７Ｄを形成してもよい。
また、図１１の変形例に示すとおり、本発明の磁気ディスクに替えて、光源から入射する入射光を反射し、または反射された反射光を透過させる光学部品９０Ｅを支持するフライホイール８０Ｅを用いてもよい。そして、上述の実施形態および変形例と同等の構造を有するモータ１１Ｅによって、当該フライホイール８０Ｅを支持しながら、中心軸９Ｅを中心として回転させる回転駆動装置８Ｅを形成してもよい。
なお、流体動圧軸受装置、モータ、およびディスク駆動装置の細部の形状は、本願の各図に示された構成および形状と、相違していてもよい。また、上述の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
本発明は、流体動圧軸受装置、モータ、およびディスク駆動装置に利用できる。
１ ディスク駆動装置
２，２Ｂ 静止部
３，３Ｂ，３Ｄ 回転部
５，５Ｂ 流体動圧軸受装置
７Ｄ ファンモータ
８Ｅ 回転駆動装置
９，９Ｅ 中心軸
１０ 筐体
１１，１１Ｂ，１１Ｄ，１１Ｅ モータ
１２ 磁気ディスク
１３ アクセス部
１４ カバー
２１ ベース部
２２ ステータ
２３，２３Ｂ，２３Ｃ スリーブ
２４，２４Ｂ，２４Ｃ スラスト部材
２５，２５Ｃ 接着剤
３１，３１Ｃ，３１Ｄ シャフト
３２，３２Ｄ ロータハブ
３３ ヨーク
３４，３４Ｄ マグネット
４１ ステータコア
４２ コイル
５０，５０Ｂ 潤滑オイル
５１ 上ラジアル動圧溝列
５２ 下ラジアル動圧溝列
５３ スラスト動圧溝列
６０，６０Ｂ 循環孔
６１ 第１内周面
６２，６２Ｂ，６２Ｃ 第２内周面
６３ スリーブ内側下面
７０Ｄ インペラ
７１Ｂ 間隙
７２Ｂ 間隙
８０Ｅ フライホイール
９０Ｅ 光学部品
１００ 角部
１０１，１０１Ｂ 傾斜面
１３１ ヘッド
１３２ クランプ
２１１ ベース底板部
２１２ ベース円筒部
２１３ ベース側壁部
２３０ スリーブ貫通孔
２３１Ｂ 内側スリーブ
２３２Ｂ 外側スリーブ
２４０，２４０Ｃ 凹部
３１１ シャフト本体部
３１２ シャフトフランジ部
３２０ ハブ貫通孔
３２１ ハブ環状部
３２２ ハブフランジ部
３２３ 外周面
４１１ コアバック
４１２ ティース
５１１ 動圧溝
５１２ 動圧溝
５２１ 動圧溝
５２２ 動圧溝
６０１ 上側開口
６０２，６０２Ｂ 下側開口
７０１Ｄ インペラカップ
７０２Ｄ 羽根

Claims (18)

  1. 上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
    前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの周囲において軸方向に筒状に延びるスリーブと、
    前記シャフトよりも軸方向下側に配置され、前記スリーブの下端部の開口を閉塞するスラスト部材と、
    前記シャフトの外周面および前記スリーブの内周面の少なくとも一方に形成された複数の動圧溝と、
    前記スリーブおよび前記スラスト部材と前記シャフトとの間に存在する潤滑オイルと、
    を有する流体動圧軸受装置であって、
    前記シャフトは、
    前記中心軸に沿って柱状に延びるシャフト本体部と、
    前記シャフト本体部の下端部から径方向外側へ拡がるシャフトフランジ部と、
    を有し、
    前記スリーブの内周面は、
    前記シャフト本体部の外周面と径方向に対向する第１内周面と、
    少なくとも一部が前記シャフトフランジ部の外周面と径方向に対向する第２内周面と、
    を含み、
    前記スリーブは、
    前記第１内周面の下端部と前記第２内周面の上端部とを繋ぎ、かつ、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部と軸方向に対向するスリーブ内側下面と、
    前記スリーブの内部を貫通し、かつ、前記スリーブ内側下面に開口する、少なくとも１つの循環孔と、
    を有し、
    前記循環孔の下側開口の径方向外側の端部の軸方向位置は、前記下側開口の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置する、流体動圧軸受装置。
  2. 請求項１に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材の外周面は、前記スリーブの前記第２内周面に固定され、
    前記スラスト部材は、径方向外側の端部を含む一部において、上面から下側へ凹む凹部を有し、
    前記凹部の少なくとも一部に配置される接着剤をさらに有する、流体動圧軸受装置。
  3. 請求項１に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材は、前記スリーブの前記第２内周面に接着剤を介して固定され、
    前記接着剤の少なくとも一部は、前記スラスト部材の上面と前記第２内周面とに亘って連続して配置される、流体動圧軸受装置。
  4. 請求項１に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材の外周面の上端部を含む一部と前記スリーブの前記第２内周面との間の径方向の間隙である接着剤収容部
    をさらに有し、
    前記スラスト部材は、前記スリーブに接着剤を介して固定され、
    前記接着剤の一部は、前記接着剤収容部に位置する、流体動圧軸受装置。
  5. 請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スリーブの前記第２内周面の少なくとも一部は、前記スラスト部材の軸方向上側かつ前記循環孔の前記下側開口の径方向外側に位置する部位から、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する傾斜面である、流体動圧軸受装置。
  6. 請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スリーブは、
    前記シャフトフランジ部よりも上側かつ前記シャフト本体部の径方向外側において、軸方向に円筒状に延びる、内側スリーブと、
    少なくとも前記スリーブの外周部および下端部を形成し、内周面に前記内側スリーブが固定される、外側スリーブと、
    をさらに有し、
    前記外側スリーブと前記内側スリーブとは、互いに異なる部材から形成され、
    前記循環孔は、前記内側スリーブと前記外側スリーブとの間に形成され、
    前記下側開口は、前記内側スリーブの外周面の下端部と前記外側スリーブの内周面との径方向の間隙に形成される、流体動圧軸受装置。
  7. 請求項５に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スリーブは、
    前記シャフトフランジ部よりも上側かつ前記シャフト本体部の径方向外側において、軸方向に円筒状に延びる、内側スリーブと、
    少なくとも前記スリーブの外周部および下端部を形成し、内周面に前記内側スリーブが固定される、外側スリーブと、
    をさらに有し、
    前記第２内周面は、前記外側スリーブに形成され、
    前記傾斜面の径方向内側の端部の軸方向位置は、前記内側スリーブの外周面の下端部の軸方向位置よりも上側に位置する、流体動圧軸受装置。
  8. 上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
    前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの周囲において軸方向に筒状に延びるスリーブと、
    前記シャフトよりも軸方向下側に配置され、前記スリーブの下端部の開口を閉塞するスラスト部材と、
    前記シャフトの外周面および前記スリーブの内周面の少なくとも一方に形成された複数の動圧溝と、
    前記スリーブおよび前記スラスト部材と前記シャフトとの間に存在する潤滑オイルと、
    を有する流体動圧軸受装置であって、
    前記シャフトは、
    前記中心軸に沿って柱状に延びるシャフト本体部と、
    前記シャフト本体部の下端部から径方向外側へ拡がるシャフトフランジ部と、
    を有し、
    前記スリーブの内周面は、
    前記シャフト本体部の外周面と径方向に対向する第１内周面と、
    少なくとも一部が前記シャフトフランジ部の外周面と径方向に対向する第２内周面と、
    を含み、
    前記スリーブは、
    前記第１内周面の下端部と前記第２内周面の上端部とを繋ぎ、かつ、少なくとも一部が前記シャフトフランジ部と軸方向に対向するスリーブ内側下面と、
    前記スリーブの内部を貫通し、かつ、前記スリーブ内側下面に開口する、少なくとも１つの循環孔と、
    を有し、
    前記スリーブの前記第２内周面の少なくとも一部は、前記スラスト部材の軸方向上側かつ前記循環孔の下側開口の径方向外側に位置する部位から、軸方向下側へ向かうにつれて径方向外側へ傾斜する傾斜面である、流体動圧軸受装置。
  9. 請求項８に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材の外周面は、前記スリーブの前記第２内周面に固定され、
    前記スラスト部材は、径方向外側の端部を含む一部において、上面から下側へ凹む凹部を有し、
    前記凹部の少なくとも一部に配置される接着剤をさらに有する、流体動圧軸受装置。
  10. 請求項８に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材は、前記スリーブの前記第２内周面に接着剤を介して固定され、
    前記接着剤の少なくとも一部は、前記スラスト部材の上面と前記第２内周面とに亘って連続して配置される、流体動圧軸受装置。
  11. 請求項８に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スラスト部材の外周面の上端部を含む一部と前記スリーブの前記第２内周面との間の径方向の間隙である接着剤収容部
    をさらに有し、
    前記スラスト部材は、前記スリーブに接着剤を介して固定され、
    前記接着剤の一部は、前記接着剤収容部に位置する、流体動圧軸受装置。
  12. 請求項８から請求項１１までのいずれか１項に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記傾斜面の径方向内側の端部の軸方向位置は、前記下側開口の径方向内側の端部の軸方向位置よりも上側に位置する、流体動圧軸受装置。
  13. 請求項８から請求項１２までのいずれか１項に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記スリーブは、
    前記シャフトフランジ部よりも上側かつ前記シャフト本体部の径方向外側において、軸方向に円筒状に延びる、内側スリーブと、
    少なくとも前記スリーブの外周部および下端部を形成し、内周面に前記内側スリーブが固定される、外側スリーブと、
    をさらに有し、
    前記外側スリーブと前記内側スリーブとは、互いに異なる部材から形成され、
    前記循環孔は、前記内側スリーブと前記外側スリーブとの間に形成され、
    前記下側開口は、前記内側スリーブの外周面の下端部と前記外側スリーブの内周面との径方向の間隙に形成される、流体動圧軸受装置。
  14. 請求項１３に記載の流体動圧軸受装置であって、
    前記第２内周面は、前記外側スリーブに形成され、
    前記傾斜面の径方向内側の端部の軸方向位置は、前記内側スリーブの外周面の下端部の軸方向位置よりも上側に位置する、流体動圧軸受装置。
  15. 請求項１から請求項１４までのいずれか１項に記載の流体動圧軸受装置と、
    前記スリーブと、ステータと、を有する静止部と、
    前記シャフトと、前記ステータと対向するマグネットと、を有し、前記静止部に対して前記中心軸を中心として前記流体動圧軸受装置を介して回転可能に支持される回転部と、
    を有する、モータ。
  16. 請求項１５に記載のモータと、
    前記モータの前記回転部に支持されたディスクに対し、情報の読み出しおよび書き込みの少なくとも一方を行うアクセス部と、
    カバーと、
    を有し、
    前記静止部は、
    前記ステータを直接的または間接的に支持するベース部
    を有し、
    前記ベース部と前記カバーとで構成される筐体の内部に、前記回転部および前記アクセス部が収容されている、ディスク駆動装置。
  17. 請求項１５に記載のモータと、
    前記シャフトと前記マグネットとを接続するロータハブに固定されるインペラカップと、前記インペラカップから径方向外側へ拡がる複数の羽根と、を有するインペラと、
    を有する、ファンモータ。
  18. 光源から入射する入射光を反射、または前記反射された反射光を透過させる光学部品を支持するフライホイールを回転させる回転駆動装置であって、
    請求項１５に記載のモータと、
    前記モータに支持され、前記中心軸を中心として回転する前記フライホイールと、
    を有する、回転駆動装置。
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