JP2019533163A - 透明基板上の欠陥部検査方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
更に含みうる。
透明基板の欠陥部検査方法において、
透明基板を、光を照明光学系から出射することによって、照らす工程と、
前記照明光学系から出射されて前記透明基板に入射する光の入射角範囲を、前記光が該透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と、該透明基板を透過した該光が該透明基板の前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが、該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、計算する工程と、
前記光の入射角を、前記計算した入射角範囲に応じて調節する工程と、
第1の検出器の位置を、前記第1の検出器の第1の視野が前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しないように、調節する工程と、
第2の検出器の位置を、前記第2の検出器の第2の視野が前記第2の領域を網羅するが、前記第1の領域を網羅しないように、調節する工程と、
前記第1の領域の第1の画像を、前記第1の検出器から取得し、前記第2の領域の第2の画像を、前記第2の検出器から取得する工程とを、
含む方法。
前記入射角範囲を計算する工程は、前記第1の領域と前記第2の領域の対向する縁部との間の水平離間距離を確定する工程を含むものである、実施形態1に記載の方法。
前記入射角範囲を計算する工程は、以下の式を用いる工程を含み、
前記第1の検出器の視野幅と前記第2の検出器の視野幅を、前記第1の視野と前記第2の視野とが互いに重なり合わないように、調節する工程を、
更に含む、実施形態1に記載の方法。
前記照明光学系のビーム幅、前記第1の検出器の視野幅、および、前記第2の検出器の視野幅のうち、少なくとも1つを、前記第1の視野の幅と前記第1の領域の幅とが互いに一致し、更に、前記第2の視野の幅と前記第2の領域の幅とが互いに一致するように、調節する工程を、
更に含む、実施形態1に記載の方法。
ステージ上に載置された前記透明基板を移動させる工程を、
更に含み、
前記透明基板を照らす工程と、前記第1および第2の画像を取得する工程とは、該透明基板が移動される間に、同時に行われるものである、実施形態1に記載の方法。
前記第1および第2の画像を取得した後に、第1の表面の画像および第2の表面の画像を、該第1および第2の画像を用いて取得する工程を、
更に含む、実施形態1に記載の方法。
前記第1の画像で検出された欠陥部の第1の位置要素、および、前記第2の画像で検出された欠陥部の第2の位置要素を抽出工程と、
前記第1および第2の位置要素を含む欠陥部位置データを生成する工程と、
前記第1の画像の前記欠陥部位置データの各位置要素の光強度を、前記第2の画像の前記欠陥部位置データの各位置要素の光強度と比較する工程と、
前記透明基板の前記第1の表面の画像を、前記第1の画像上の光強度より前記第2の画像上の光強度が高い位置の欠陥部を該第1の画像から除去することによって、取得する工程とを、
更に含む、実施形態7に記載の方法。
前記透明基板の前記第2の表面の画像を、前記第2の画像上の光強度より前記第1の画像上の光強度が高い位置の欠陥部を該第2の画像から除去することによって、取得する工程を、
更に含む、実施形態8に記載の方法。
前記入射光の前記入射角を調節した後に、前記第1の検出器および前記第2の検出器を含む検出光学系の勾配を、該第1および第2の検出器の各光軸が該入射角以下の検出角度を有するように、調節する工程を、
更に含む、実施形態1に記載の方法。
前記第1および第2の検出器の少なくとも1つの位置を、以下の式により調節し、
透明基板の欠陥部検査装置において、
光を透明基板上に出射するように構成された照明光学系と、
前記光の入射角を、該光が前記透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と、該透明基板を透過した該光が該透明基板の前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが、該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、計算するように構成された制御部と、
前記透明基板に垂直の方向に位置合わせされた光軸を有するように構成されて、前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しない第1の視野を有する第1の検出器、および、該第2の領域を網羅するが、該第1の領域を網羅しない第2の視野を有する第2の検出器を含む検出光学系とを、
含む装置。
前記制御部は、前記第1および第2の検出器の各々の位置範囲を計算するものである、実施形態12に記載の装置。
前記検出光学系は、前記透明基板の前記第1の表面から順に配列された撮像レンズ、および、ビームスプリッタを、含むものであり、
前記第1の検出器と前記第2の検出器は、該第1の検出器と該第2の検出器が、各々、前記ビームスプリッタから反射された部分の光と、該ビームスプリッタを透過した部分の光に向くように、互いに垂直なものである、実施形態12に記載の装置。
前記検出光学系の勾配を調節するように構成された角度調節部材を、
更に含む、実施形態12に記載の装置。
前記第1および第2の検出器は、各々、時間遅延積分を用いた画像センサを含むものである、実施形態12に記載の装置。
透明基板の欠陥部検査装置において、
透明基板の上方に位置する光源と、
前記光源から出射された光の入射角を調節するように構成されたミラーと、
前記ミラーを、前記光が前記透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と該透明基板を透過した該光が前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、制御して回転させるように構成された制御部と、
前記透明基板の上方に位置する第1の検出器であって、前記第1の検出器の第1の視野は、前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しないように配置されたものである第1の検出器と、
前記透明基板の上方に位置する第2の検出器であって、前記第2の検出器の第2の視野は、前記第2の領域を網羅するが、前記第1の領域を網羅しないように配置されたものである第2の検出器とを、
含む装置。
前記光源は、前記透明基板に垂直の方向に位置合わせされた光軸を有するように構成されたものである、実施形態17に記載の装置。
前記第1および第2の検出器は、前記透明基板の前記第1の表面に対して、該透明基板に垂直の方向に位置合わせされた光軸を有するように構成されたものである、実施形態17に記載の装置。
前記制御部は、前記ミラーを、前記第1の領域と前記第2の領域の対向する縁部の間の水平距離に基づいて制御して回転させるものである、実施形態17に記載の装置。
110 照明光学系
120 ミラー
130 検出光学系
137 ビームスプリッタ
140 制御部
250、321 角度調節部材
Claims (15)
- 透明基板の欠陥部検査方法において、
透明基板を、光を照明光学系から出射することによって、照らす工程と、
前記照明光学系から出射されて前記透明基板に入射する光の入射角範囲を、前記光が該透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と、該透明基板を透過した該光が該透明基板の前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが、該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、計算する工程と、
前記光の入射角を、前記計算した入射角範囲に応じて調節する工程と、
第1の検出器の位置を、前記第1の検出器の第1の視野が前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しないように、調節する工程と、
第2の検出器の位置を、前記第2の検出器の第2の視野が前記第2の領域を網羅するが、前記第1の領域を網羅しないように、調節する工程と、
前記第1の領域の第1の画像を、前記第1の検出器から取得し、前記第2の領域の第2の画像を、前記第2の検出器から取得する工程とを、
含む方法。 - 前記入射角範囲を計算する工程は、前記第1の領域と前記第2の領域の対向する縁部との間の水平離間距離を確定する工程を含むものである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の検出器の視野幅と前記第2の検出器の視野幅を、前記第1の視野と前記第2の視野とが互いに重なり合わないように、調節する工程を、
更に含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記照明光学系のビーム幅、前記第1の検出器の視野幅、および、前記第2の検出器の視野幅のうち、少なくとも1つを、前記第1の視野の幅と前記第1の領域の幅とが互いに一致し、更に、前記第2の視野の幅と前記第2の領域の幅とが互いに一致するように、調節する工程を、
更に含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。 - ステージ上に載置された前記透明基板を移動させる工程を、
更に含み、
前記透明基板を照らす工程と、前記第1および第2の画像を取得する工程とは、該透明基板が移動される間に、同時に行われるものである、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第1および第2の画像を取得した後に、第1の表面の画像および第2の表面の画像を、該第1および第2の画像を用いて取得する工程を、
更に含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第1の画像で検出された欠陥部の第1の位置要素、および、前記第2の画像で検出された欠陥部の第2の位置要素を抽出工程と、
前記第1および第2の位置要素を含む欠陥部位置データを生成する工程と、
前記第1の画像の前記欠陥部位置データの各位置要素の光強度を、前記第2の画像の前記欠陥部位置データの各位置要素の光強度と比較する工程と、
前記透明基板の前記第1の表面の画像を、前記第1の画像上の光強度より前記第2の画像上の光強度が高い位置の欠陥部を該第1の画像から除去することによって、取得する工程とを、
更に含む、請求項7に記載の方法。 - 前記透明基板の前記第2の表面の画像を、前記第2の画像上の光強度より前記第1の画像上の光強度が高い位置の欠陥部を該第2の画像から除去することによって、取得する工程を、
更に含む、請求項8に記載の方法。 - 前記入射光の前記入射角を調節した後に、前記第1の検出器および前記第2の検出器を含む検出光学系の勾配を、該第1および第2の検出器の各光軸が該入射角以下の検出角度を有するように、調節する工程を、
更に含む、請求項1から9のいずれか1項に記載の方法。 - 透明基板の欠陥部検査装置において、
光を透明基板上に出射するように構成された照明光学系と、
前記光の入射角を、該光が前記透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と、該透明基板を透過した該光が該透明基板の前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが、該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、計算するように構成された制御部と、
前記透明基板に垂直の方向に位置合わせされた光軸を有するように構成されて、前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しない第1の視野を有する第1の検出器、および、該第2の領域を網羅するが、該第1の領域を網羅しない第2の視野を有する第2の検出器を含む検出光学系とを、
含む装置。 - 前記検出光学系は、前記透明基板の前記第1の表面から順に配列された撮像レンズ、および、ビームスプリッタを、含むものであり、
前記第1の検出器と前記第2の検出器は、該第1の検出器と該第2の検出器が、各々、前記ビームスプリッタから反射された部分の光と、該ビームスプリッタを透過した部分の光に向くように、互いに垂直なものである、請求項12に記載の装置。 - 透明基板の欠陥部検査装置において、
透明基板の上方に位置する光源と、
前記光源から出射された光の入射角を調節するように構成されたミラーと、
前記ミラーを、前記光が前記透明基板の第1の表面に交わる第1の領域と該透明基板を透過した該光が前記第1の表面の反対側の第2の表面に交わる第2の領域とが該透明基板に垂直の方向に互いに重なり合わないように、制御して回転させるように構成された制御部と、
前記透明基板の上方に位置する第1の検出器であって、前記第1の検出器の第1の視野は、前記第1の領域を網羅するが、前記第2の領域を網羅しないように配置されたものである第1の検出器と、
前記透明基板の上方に位置する第2の検出器であって、前記第2の検出器の第2の視野は、前記第2の領域を網羅するが、前記第1の領域を網羅しないように配置されたものである第2の検出器とを、
含む装置。 - 前記制御部は、前記ミラーを、前記第1の領域と前記第2の領域の対向する縁部の間の水平距離に基づいて制御して回転させるものである、請求項14に記載の装置。
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