JP2019502173A - リソグラフィ装置内での基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図8
Description
本出願は、2015年11月30日に出願された欧州出願15196993.8号の利益を主張し、その全体が参照により本書に援用される。
本発明は、リソグラフィ装置内での基板処理方法および基板処理装置に関する。特に、本発明は、リソグラフィ装置内での基板のアライメントに関する。
Claims (15)
- リソグラフィ装置内で基板を処理する方法であって、
前記基板は、前記基板へのパターン放射ビームの露光が制御可能となるように前記パターン放射ビームに対して移動するよう構成される基板テーブル上に位置決めされ、前記基板は、エッジとノッチとを備え、
前記処理することは、
前記エッジの第1の場所を表す一以上の第1数量を決定することと、
前記ノッチの第2の場所を表す一以上の第2数量を決定することと、
前記一以上の第1数量および前記一以上の第2数量に基づいて、前記リソグラフィ装置内で前記基板をアライメントすることと、を備えることを特徴とする方法。 - 前記一以上の第1数量を決定するステップは、前記エッジ上の複数点の位置を決定することを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基板の中心位置を決定することをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記一以上の第2数量を決定することは、前記ノッチのエッジ上の複数点の位置を決定することを含むことを特徴とする請求項2または3に記載の方法。
- 前記決定された複数点に基づいて前記ノッチの中心位置を導出することと、
前記ノッチの前記中心位置に基づいて前記基板の向きを導出することと、をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記リソグラフィ装置は、ある焦点距離の焦点を持つ検出器を備え、前記検出器は、前記焦点に位置する対象物による散乱光を検出するよう構成されており、
前記一以上の第1数量を決定するステップは、
前記基板の表面の距離が前記検出器の前記焦点距離よりも短くなるように、かつ、前記検出器と前記エッジの少なくとも第1部分との間の距離が前記検出器の前記焦点距離に実質的に等しくなるように、前記検出器に対して前記基板を配置することと、
前記基板の前記エッジを照明することと、
前記基板の前記エッジによる散乱光を受けることと、
前記検出器が前記第1部分による散乱光を受ける場合に前記エッジの存在を検出することと、を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の方法を実行するための手段を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
- エッジおよびノッチを備える基板へのパターン放射ビームの露光が制御可能となるように前記パターン放射ビームに対して前記基板を移動可能に受け入れる基板テーブルと、
前記エッジの第1の場所を表す一以上の第1数量を決定し、前記ノッチの第2の場所を表す一以上の第2数量を決定するよう動作可能な光学システムと、をさらに備え、
前記基板テーブルはさらに、前記一以上の第1数量および前記一以上の第2数量に基づいて、前記リソグラフィ装置内で前記基板をアライメントするよう動作可能であることを特徴とする請求項7に記載のリソグラフィ装置。 - 前記光学システムはさらに、前記エッジ上の複数点の位置を決定するよう動作可能であることを特徴とする請求項8に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学システムはさらに、前記基板の中心位置を決定するよう動作可能であることを特徴とする請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学システムはさらに、前記ノッチのエッジ上の複数点の位置を決定するよう動作可能であることを特徴とする請求項9または10に記載のリソグラフィ装置。
- 前記決定された複数点に基づいて前記ノッチの中心位置を導出し、前記ノッチの中心位置に基づいて前記基板の向きを導出するよう動作可能な処理ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のリソグラフィ装置。
- ある焦点距離の焦点を持つ検出器をさらに備え、前記検出器は、前記焦点に位置する対象物による散乱光を検出するよう動作可能であり、
前記基板テーブルは、前記基板の表面の距離が前記検出器の前記焦点距離よりも短くなるように、かつ、前記検出器と前記エッジの少なくとも第1部分との間の距離が前記検出器の前記焦点距離に実質的に等しくなるように、前記検出器に対して前記基板を配置するよう動作可能であり、
前記光学システムはさらに、前記基板の前記エッジを照明して前記基板の前記エッジによる散乱光を受け、前記第1部分による散乱光を前記検出器が受ける場合に前記エッジの存在を検出するよう動作可能であることを特徴とする請求項7から11のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 請求項3に記載の前記決定するステップをプロセッサに実行させる機械可読指令を備えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
- 請求項5に記載の前記導出するステップをプロセッサに実行させる指令をさらに備えることを特徴とする請求項14に記載のコンピュータプログラム製品。
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