JP2019210873A - 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 - Google Patents
制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019210873A JP2019210873A JP2018107889A JP2018107889A JP2019210873A JP 2019210873 A JP2019210873 A JP 2019210873A JP 2018107889 A JP2018107889 A JP 2018107889A JP 2018107889 A JP2018107889 A JP 2018107889A JP 2019210873 A JP2019210873 A JP 2019210873A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- stop process
- state quantity
- motor
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C13/00—Adaptations of machines or pumps for special use, e.g. for extremely high pressures
- F04C13/007—Venting; Gas and vapour separation during pumping
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C15/00—Component parts, details or accessories of machines, pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C2/00 - F04C14/00
- F04C15/0096—Heating; Cooling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
- G05B19/4065—Monitoring tool breakage, life or condition
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/02—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C2/025—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents the moving and the stationary member having co-operating elements in spiral form
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/403—Electric motor with inverter for speed control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/02—Power
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/05—Speed
- F04C2270/052—Speed angular
- F04C2270/0525—Controlled or regulated
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/07—Electric current
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/12—Vibration
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/18—Pressure
- F04C2270/185—Controlled or regulated
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/19—Temperature
- F04C2270/195—Controlled or regulated
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
- F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Abstract
Description
なお、更に、真空ポンプ3の振動を検知する振動センサ、真空ポンプ3の変位を検知する変位センサ、真空ポンプ3の加速度を検知する加速度センサが設置されて、それぞれのセンサの出力値が制御装置4に供給されてもよい。
入力部41は、インバータ39及び圧力計61に接続されており、駆動電流の電流実効値、モータ33の回転速度、真空ポンプ3内の圧力値が入力部41に入力される。出力部42は、プロセッサ45の指令に従って、情報を出力する。記憶部43は、プロセッサ45が実行するためのプログラムが格納されている。メモリ44は、一時的に情報を格納する。プロセッサ45は、記憶部43に保存されたプログラムを読み出して実行する。これにより、CPU(Central Processing Unit)55は、モータ33を制御する制御部451、決定部452及び判定部453として機能する。
例えば制御装置4の記憶部43には図3に示すように、オペレータによって不図示の運転停止スイッチが操作され真空ポンプの運転停止が開始になると、時間の経過に対して真空ポンプをON、OFFにするポンプ停止制御パターン(ポンプ停止制御するためのタイミングパターン)が記憶されている。
例えば、制御部451は、点P1から点P2の線分L1の傾きθが閾値角度を超える場合に、停止工程中のモータ33の制御方法を変更してもよい(例えば、モータ出力を上げてもよい)。あるいは制御部451は、(d2―d1)が閾値変化量を超える場合に、停止工程中のモータ33の制御方法を変更してもよい(例えば、モータ出力を上げてもよい)。あるいは制御部451は、単位時間当たりの正常変動範囲から外れた量の変化量(d2―d1)/(t4−t3)が閾値変化率を超える場合に、停止工程中のモータ33の制御方法を変更してもよい(例えば、モータ出力を上げてもよい)。
なお、駆動電流の実効値の正常変動範囲から外れた回数に限らず、駆動電流の実効値の正常変動範囲から外れた頻度でもよい。
このように、制御部451は、対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量が、比較結果としての正常変動範囲から外れた回数または頻度に応じて、停止工程中のモータ33の制御方法を変更する。
図9は、停止工程中のモータ33のオンの期間を変更する例を示す図である。正常変動範囲から外れることを異常発生ということとし、図9の場合、異常発生頻度の閾値頻度が0.7に設定されている。図9において、異常発生頻度が0.7になった場合、異常発生頻度の閾値頻度以上であるため、制御部451は、モータオン時間(図4の時間t2)を100秒から200秒に長くしている。これにより、真空ポンプ内で固形化または液状化した生成物を振り払う時間を長くすることができる。
なお、上記で説明した対象の真空ポンプは、1つの筐体に2つのポンプが収容された真空排気ユニットにおけるポンプであってもよい。
続いて変形例について説明する。図10は、変形例に係る半導体製造システム10bの概略構成図である。図10に示すように、半導体製造システム10bは、制御システム7を備え、この制御システム7は、制御装置4b、情報処理装置5及び表示装置6を有する。
例えば、本実施形態に係る決定部452及び判定部453の処理、または変形例に係る情報処理装置における処理を行うためのロジックを実装したエッジ端末としては、オープンなアーキテクチャ(コンピュータシステムの論理的構造のこと)による高速に通信可能なフィールドパス(工場などで稼働している現場機器とコントローラ間の信号のやりとりをデジタル通信を用いて行う規格)を採用したコントローラ、より具体的には、IEC61131−3(国際電気標準会議(IEC)が1993年12月に発行した標準規格で、PLC(Programmable Logic Controller)用のプログラム言語を定義したもの)に準拠したPLC5言語やC言語に対応したコントローラを用いることができる。
なお、判定部553は、対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と過去の正常変動範囲または正常時間変動挙動との比較結果、前記停止工程中の前記モータの制御量、及び再起動結果から、再起動できるか否かの新しい判定アルゴリズムを生成する機能を有してもよい。
具体的には例えば、再起動ができなかった場合、そのときの比較結果及び前記停止工程中の前記モータの制御量では、再起動できないと分かるから、判定部553は、判定アルゴリズム中の判定基準を更新する。それとともに、判定部553は、次に同じ比較結果だった場合に再起動できるように、前記停止工程中の前記モータの制御量を向上させるように制御する。これにより、自動的に新しい判定アルゴリズムが生成されるので、アルゴリズム開発時間及びコストの削減が可能となる。
図13は、別実施形態に係る機械学習装置の概略構成を示すブロック図である。排気システム70は、真空ポンプ3と機械学習装置8を備える。排気システム70は例えば、本実施形態のような半導体製造システムである。
図13に示すように、機械学習装置8は、状態測定部71と、記憶部72と、決定部73と、学習部74と、報酬計算部75とを備える。
記憶部72は、前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの停止工程時の対象状態量のポンプ停止制御パターンを記憶する。
学習部74は、前記対象の真空ポンプのモータを制御するとともに、該対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較して、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量の前記正常変動範囲からの乖離の有無を判定したうえで、乖離がないと判定した場合には前記停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を更新して前記記憶部に当該更新データを記憶させ、乖離があると判定した場合にはその乖離度に応じて前記停止工程中の前記モータの制御方法を更新する。
具体的には例えば、報酬計算部75は、起動時のモータトルクが基準値を超えてしまった場合または起動不可の場合には、異常と判断して報酬無しと計算する。一方、例えば、報酬計算部75は、起動時のモータトルクが基準値を超えずに正常運転する場合、報酬ありとして設定値を報酬に加算する。
前記対象状態量は、前記少なくとも一つの真空ポンプに含まれるモータの駆動電流、モータの電力、ロータの回転数、温度センサにより測定された該真空ポンプの温度、圧力センサにより測定された該真空ポンプ内の圧力、振動計により測定された該真空ポンプの振動数のうちの少なくとも一つを含んでいる。
10 半導体製造システム
11 チャンバー成膜炉
12 制御部
2 配管
3 真空ポンプ
31 ロータ
32 ケーシング
33 モータ
38 電源
39 インバータ
4 制御装置
41 入力部
42 出力部
43 記憶部
44 メモリ
45 プロセッサ
451 制御部
452 決定部
453 判定部
5 情報処理装置
6 表示装置
61 圧力計
62 温度計
7 制御システム
8 機械学習装置
70 排気システム
71 状態観測部
72 記憶部
73 決定部
74 学習部
75 報酬計算部
Claims (13)
- モータを含む対象の真空ポンプを制御する制御装置であって、
真空ポンプの停止工程時の負荷に応じて変動する状態量である対象状態量であって前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの過去の停止工程時の対象状態量を少なくとも一つ用いて、当該停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を決定する決定部と、
前記モータを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較し、比較結果に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
制御装置。 - 前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量について、前記比較結果としての前記正常変動範囲からの離れ度合いに応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
請求項1に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量について、前記比較結果としての前記正常変動範囲からの離れ度合いの変化量に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
請求項1または2に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量が、前記比較結果としての前記正常変動範囲から外れた回数または頻度に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
請求項1から3のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量について、前記比較結果としての前記正常変動範囲から外れた頻度の変化に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
請求項1から4のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記停止工程中の前記モータの制御方法の変更は、前記停止工程中の前記モータの出力を変更することである
請求項1から5のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記停止工程中の前記モータの制御方法の変更は、前記停止工程中の前記モータのオン及び/またはオフの期間を変更することである
請求項1から5のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記停止工程中の前記モータの制御方法の変更は、前記停止工程中の前記モータの回転方向の変更である
請求項1から5のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較することによって、前記真空ポンプの運転停止後の再起動が可能であるか否か判定する判定部を更に備える
請求項1から8のいずれか一項に記載の制御装置。 - モータを含む対象の真空ポンプを制御する制御システムであって、
真空ポンプの停止工程時の負荷に応じて変動する状態量である対象状態量であって前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの過去の停止工程時の対象状態量を少なくとも一つ用いて、当該停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を決定する決定部と、
前記モータを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較し、比較結果に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
制御システム。 - モータを含む対象の真空ポンプを制御する制御方法であって、
真空ポンプの停止工程時の負荷に応じて変動する状態量である対象状態量であって前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの過去の停止工程時の対象状態量を少なくとも一つ用いて、当該停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を決定する決定ステップと、
モータを制御する制御ステップと、
を有し、
前記制御ステップにおいて、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較し、比較結果に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する
制御方法。 - モータを含む対象の真空ポンプを制御する制御装置を、
真空ポンプの停止工程時の負荷に応じて変動する状態量である対象状態量であって前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの過去の停止工程時の対象状態量を少なくとも一つ用いて、当該停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を決定する決定部と、
前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較し、比較結果に応じて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を変更する制御部と、
として機能させるためのプログラム。 - 複数ある真空ポンプを備えた排気システムにおける真空ポンプの少なくとも1つのモータの制御方法を学習する機械学習装置であって、
停止工程実行中の真空ポンプにおいて該真空ポンプの停止工程時の時間に応じて変動する状態量である対象状態量を測定する状態測定部と、
前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの停止工程時の対象状態量のポンプ停止制御パターンを記憶する記憶部と、
前記記憶部から読みだした前記対象の真空ポンプまたは他の真空ポンプの過去の停止工程時の対象状態量データを少なくとも一つ用いて、当該停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を決定する決定部と、
前記対象の真空ポンプのモータを制御するとともに、該対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量と前記正常変動範囲または前記正常時間変動挙動とを比較して、前記対象の真空ポンプの停止工程時の対象状態量の前記正常変動範囲からの乖離の有無を判定したうえで、乖離がないと判定した場合には前記停止工程時の対象状態量の正常変動範囲または正常時間変動挙動を更新して前記記憶部に当該更新データを記憶させ、乖離があると判定した場合にはその乖離度に応じて前記停止工程中の前記モータの制御方法を更新する学習部を具備し、
測定した対象状態量に基づいて、前記停止工程中の前記モータの制御方法を更新した結果に対する報酬を計算する報酬計算部と、
を備え、
前記対象状態量は、前記少なくとも一つの真空ポンプに含まれるモータの駆動電流、モータの電力、ロータの回転数、温度センサにより測定された該真空ポンプの温度、圧力センサにより測定された該真空ポンプ内の圧力、振動計により測定された該真空ポンプの振動数のうちの少なくとも一つを含んでおり、
前記学習部は、前記モータの制御方法の更新を繰り返すことによって前記報酬が向上するように、前記真空ポンプの少なくとも1つのモータの制御方法を学習する機械学習装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107889A JP7019513B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 |
CN201910307098.8A CN110568809A (zh) | 2018-06-05 | 2019-04-16 | 控制装置、控制***、控制方法、记录介质以及机械学习装置 |
KR1020190046610A KR102642339B1 (ko) | 2018-06-05 | 2019-04-22 | 제어 장치, 제어 시스템, 제어 방법, 프로그램 및 기계 학습 장치 |
TW108115392A TWI828687B (zh) | 2018-06-05 | 2019-05-03 | 控制裝置、控制系統、控制方法、記錄媒體及機械學習裝置 |
EP19172750.2A EP3578825B1 (en) | 2018-06-05 | 2019-05-06 | Control device, control system, control method, program and machine learning device |
US16/432,836 US11396876B2 (en) | 2018-06-05 | 2019-06-05 | Control device, control system, control method, recording medium and machine learning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107889A JP7019513B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019210873A true JP2019210873A (ja) | 2019-12-12 |
JP7019513B2 JP7019513B2 (ja) | 2022-02-15 |
Family
ID=66655120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018107889A Active JP7019513B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11396876B2 (ja) |
EP (1) | EP3578825B1 (ja) |
JP (1) | JP7019513B2 (ja) |
KR (1) | KR102642339B1 (ja) |
CN (1) | CN110568809A (ja) |
TW (1) | TWI828687B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021127710A (ja) * | 2020-02-12 | 2021-09-02 | 株式会社荏原製作所 | エッジシステム |
JP2021134791A (ja) * | 2020-02-25 | 2021-09-13 | 三菱電機株式会社 | 圧縮機、空気調和機、冷凍機、圧縮機制御方法、圧縮機制御学習用データ作成方法および圧縮機制御学習済みモデル作成方法 |
JP2021179187A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2024127671A1 (ja) * | 2022-12-16 | 2024-06-20 | 三菱電機株式会社 | 推論装置および推論方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020116869A (ja) * | 2019-01-25 | 2020-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷装置、学習装置、学習方法および学習プログラム |
CN113631817B (zh) * | 2019-03-27 | 2024-03-08 | 株式会社岛津制作所 | 泵监视装置、真空泵以及记录介质 |
US11194300B2 (en) * | 2019-12-06 | 2021-12-07 | Yokogawa Electric Corporation | Methods, systems and computer program products for monitoring field device states in a process control system |
DE102019219217A1 (de) * | 2019-12-10 | 2021-06-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Pumpe |
GB2594309A (en) * | 2020-04-23 | 2021-10-27 | Edwards Ltd | Monitoring and controlling the monitoring of vacuum systems |
TWI767693B (zh) * | 2021-05-10 | 2022-06-11 | 復盛股份有限公司 | 流體機械及其控制方法 |
US20230019118A1 (en) * | 2021-07-15 | 2023-01-19 | Daniel R. Luedtke | Vehicle electric motor temperature estimation using neural network model |
TWI806590B (zh) * | 2022-05-05 | 2023-06-21 | 鋒魁科技股份有限公司 | 真空泵控制方法和真空製程系統 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1073088A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ及びその運転方法 |
JP2005009337A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Ebara Corp | 真空ポンプの故障診断装置 |
JP2008524493A (ja) * | 2004-12-17 | 2008-07-10 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 真空ポンプの故障保護と予知保全のための精密診断方法及びそのための精密診断システム |
JP2009097349A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Ebara Corp | 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 |
WO2011145444A1 (ja) * | 2010-05-21 | 2011-11-24 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプの堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ |
WO2017042949A1 (ja) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | ジョンソンコントロールズ ヒタチ エア コンディショニング テクノロジー(ホンコン)リミテッド | 圧縮機の故障予知・検知手段を備えた空気調和機及びその故障予知・検知方法 |
KR101835467B1 (ko) * | 2017-08-03 | 2018-03-08 | 동명대학교 산학협력단 | 자가진단 기능을 갖는 진공펌프 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004197644A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプの制御装置 |
DE10354205A1 (de) * | 2003-11-20 | 2005-06-23 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe |
CA2614797A1 (en) * | 2005-07-24 | 2007-02-01 | Carmeli Adahan | Suctioning system, method and kit |
AT503860A1 (de) * | 2006-05-23 | 2008-01-15 | Exess Engineering Ges M B H | Überwachungseinrichtung des gasrückführungssystems an tankstellenanlagen |
JP4737770B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-08-03 | アネスト岩田株式会社 | 真空ポンプの運転制御装置および方法 |
JP4702236B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-06-15 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプの運転停止制御方法及び運転停止制御装置 |
JP4421603B2 (ja) * | 2006-12-01 | 2010-02-24 | 本田技研工業株式会社 | モータ制御方法およびモータ制御装置 |
CN101186349A (zh) * | 2007-12-10 | 2008-05-28 | 友达光电股份有限公司 | 控制氧气溶解量的纯水供应***及其脱气方法 |
GB0809976D0 (en) * | 2008-06-02 | 2008-07-09 | Edwards Ltd | Vacuum pumping systems |
US9122258B2 (en) * | 2011-05-24 | 2015-09-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Motor control device |
JP2014147170A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ用モータ駆動装置および真空ポンプ |
JP6166102B2 (ja) | 2013-05-30 | 2017-07-19 | 株式会社荏原製作所 | 除害機能付真空ポンプ |
US20170170979A1 (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-15 | Pentair Flow Technologies, Llc | Systems and Methods for Wireless Control and Monitoring of Residential Devices |
JP6583122B2 (ja) * | 2016-04-22 | 2019-10-02 | 株式会社島津製作所 | 監視装置および真空ポンプ |
KR102410936B1 (ko) * | 2017-04-04 | 2022-06-20 | 현대자동차주식회사 | 차량 모터 제어 장치 및 방법 |
CN107942918B (zh) * | 2017-12-22 | 2023-04-18 | 大连华锐重工集团股份有限公司 | 自适应式干式真空机械泵电控***及控制方法 |
-
2018
- 2018-06-05 JP JP2018107889A patent/JP7019513B2/ja active Active
-
2019
- 2019-04-16 CN CN201910307098.8A patent/CN110568809A/zh active Pending
- 2019-04-22 KR KR1020190046610A patent/KR102642339B1/ko active IP Right Grant
- 2019-05-03 TW TW108115392A patent/TWI828687B/zh active
- 2019-05-06 EP EP19172750.2A patent/EP3578825B1/en active Active
- 2019-06-05 US US16/432,836 patent/US11396876B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1073088A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ及びその運転方法 |
JP2005009337A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Ebara Corp | 真空ポンプの故障診断装置 |
JP2008524493A (ja) * | 2004-12-17 | 2008-07-10 | コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 真空ポンプの故障保護と予知保全のための精密診断方法及びそのための精密診断システム |
JP2009097349A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Ebara Corp | 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 |
WO2011145444A1 (ja) * | 2010-05-21 | 2011-11-24 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプの堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ |
WO2017042949A1 (ja) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | ジョンソンコントロールズ ヒタチ エア コンディショニング テクノロジー(ホンコン)リミテッド | 圧縮機の故障予知・検知手段を備えた空気調和機及びその故障予知・検知方法 |
KR101835467B1 (ko) * | 2017-08-03 | 2018-03-08 | 동명대학교 산학협력단 | 자가진단 기능을 갖는 진공펌프 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021127710A (ja) * | 2020-02-12 | 2021-09-02 | 株式会社荏原製作所 | エッジシステム |
JP7374011B2 (ja) | 2020-02-12 | 2023-11-06 | 株式会社荏原製作所 | エッジコンピュータ |
JP2021134791A (ja) * | 2020-02-25 | 2021-09-13 | 三菱電機株式会社 | 圧縮機、空気調和機、冷凍機、圧縮機制御方法、圧縮機制御学習用データ作成方法および圧縮機制御学習済みモデル作成方法 |
JP2021179187A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2024127671A1 (ja) * | 2022-12-16 | 2024-06-20 | 三菱電機株式会社 | 推論装置および推論方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190138567A (ko) | 2019-12-13 |
US20190368490A1 (en) | 2019-12-05 |
EP3578825A2 (en) | 2019-12-11 |
EP3578825B1 (en) | 2021-12-15 |
TW202004015A (zh) | 2020-01-16 |
EP3578825A3 (en) | 2020-05-06 |
KR102642339B1 (ko) | 2024-03-04 |
US11396876B2 (en) | 2022-07-26 |
CN110568809A (zh) | 2019-12-13 |
TWI828687B (zh) | 2024-01-11 |
JP7019513B2 (ja) | 2022-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2019210873A (ja) | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 | |
KR102518079B1 (ko) | 정보 처리 장치, 정보 처리 시스템, 정보 처리 방법, 프로그램, 기판 처리 장치, 기준 데이터 결정 장치 및 기준 데이터 결정 방법 | |
US20240077079A1 (en) | Information processing apparatus, information processing system, information processing method, program, substrate processing apparatus, criterion data determination apparatus, and criterion data determination method | |
JP7439890B2 (ja) | ポンプ監視装置および真空ポンプ | |
JP2024069584A (ja) | 真空ポンプ | |
JP6835757B2 (ja) | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 | |
TWI826803B (zh) | 泵監視裝置、真空泵、泵監視方法及泵監視程式 | |
JP6820799B2 (ja) | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム | |
JP6865599B2 (ja) | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム | |
JP5555518B2 (ja) | 真空ポンプの運転制御装置及び運転制御方法 | |
JP6953249B2 (ja) | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム | |
JP7046503B2 (ja) | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム | |
JP7484843B2 (ja) | 真空ポンプの堆積物量推定装置 | |
JP7499347B2 (ja) | 状態監視システム、状態監視装置、状態監視方法、及びコンピュータプログラム | |
JP7491239B2 (ja) | 真空ポンプおよび真空ポンプ制御方法 | |
JP2009032717A (ja) | 自動整合機 | |
TW202336349A (zh) | 真空泵的控制裝置以及控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7019513 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |