JP2019149231A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】水分を含む環境下で利用された場合であっても、電極間での短絡の発生を抑制できるエキシマランプを提供する。【解決手段】エキシマランプは、キセノンを含む放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、発光管の外側面上に設けられた第一電極と、第一電極に対して発光管の径方向に発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、発光管の管軸方向に係る端部において発光管の外側面を取り囲むように形成された有底筒形状を呈したベースと、発光管の外側面とベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備える。【選択図】 図1A
Description
本発明は、エキシマランプに関する。
従来、低圧水銀ランプを用いて被処理気体を浄化する技術が提案されている。例えば、下記特許文献1には、波長185nmや波長254nmの紫外線を放射する低圧水銀ランプを使用し、被処理ガス中の不純物や細菌類を分解除去することが記載されている。より具体的には、波長185nmの紫外線によりオゾン(O3)ガスを生成し、このオゾンガスにより不純物や悪臭物質を分解することが記載されている。
ところで、下記特許文献2には、上記低圧水銀ランプよりも短波長である172nmの光を放射する、キセノンエキシマランプが開示されている。
特許文献2に開示されているようなエキシマランプは、従来、半導体や液晶パネルの製造工程において、有機物の除去目的で用いられていた。すなわち、これまでエキシマランプは、厳密に管理されたクリーンな環境下で利用されることが通常であった。
本発明者らは、特許文献1に記載されているような低圧水銀ランプに代えて、このエキシマランプを用いることで、より短波長の光を被処理気体に照射してVOC(Volatile Organic Compounds:揮発性有機化合物)の分解効率を高めることを検討している。特に、被処理気体に酸素及び水分が含まれる場合には、エキシマランプから放射される短波長の光が照射されることで、反応性の高いO(1D)やヒドロキシラジカル(・OH)が生成されるため、被処理気体に含まれるVOCの高い分解性能が期待される。
しかし、水分が含まれるような環境下でエキシマランプが用いられると、この水分がエキシマランプの発光管に付着し、外部電極と内部電極との間で短絡が発生するおそれがある。特に、エキシマランプの発光管の端部近傍においては、外部電極と内部電極との離間距離が短いことから、上記の問題が生じやすいと考えられる。
この課題に対する第一の対策として、外部電極と内部電極との間の距離(電極間距離)を大きくする方法が考えられる。しかし、エキシマランプは、原理的に、発光のために誘電体バリア放電(「エキシマ放電」と称されることもある。)を生じさせる必要がある。電極間距離を大きくすると、放電開始電圧が高くなる結果、そもそも放電が難しくなってしまう。すなわち、電極間距離を大きくすることには限界がある。
上記の課題に対する別の対策として、エキシマランプ自体を透光性部材で覆うという方法が考えられる。しかし、172nmという短い波長の光を透過する材料には限りがあり(例えば合成石英)、かかる材料でエキシマランプを覆う管体を構成した場合、製造コストが高騰してしまう。また、このような材料で管体を構成したとしても、発光管から放射された光の30%〜50%は吸収されてしまい、光の利用効率が低下する結果、高い分解効率の実現が難しい。
本発明は、上記の課題に鑑み、特に水分を含む環境下で利用された場合であっても、電極間での短絡の発生を抑制できるエキシマランプを提供することを目的とする。
本発明に係るエキシマランプは、
放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする。
放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、発光管の外側面とベースの内側面とが接着層によって固定されている。これにより、水分を含む環境下でエキシマランプを発光させた場合であっても、この水分がベースの内側に流入するのを抑制できる。この結果、第一電極と第二電極との短絡が防止できる。
また、前記接着層は、無機材料を主成分とするため、例えばキセノンを含む放電用ガスが発光空間内に封入されたエキシマランプから放射される短波長(例えば波長172nm)が接着層に照射されても、接着層が劣化することが抑制される。なお、このような接着剤の材料としては、例えば、アルミナ(Al2O3)やシリカ(SiO2)等が利用可能である。接着層は、全体を100質量部としたときに、85質量部以上の成分が無機材料からなるのが好ましく、90質量部以上の成分が無機材料からなるのがより好ましく、実質的に100質量部の成分、すなわち全ての成分が無機材料からなるのが特により好ましい。
放電用ガスは、発光波長に応じて適宜材料が選択される。上述したように172nm近傍の波長の光を生成したい場合には、キセノン(Xe)を含むガスが用いられる。その他、得たい波長に応じて、KrBr、KrClなどが採用され得る。
前記発光管は、前記ベースの内底面に対して前記管軸方向に間隙を有した状態で、前記ベースに固定されているものとすることができる。
上述したように、エキシマランプが備えるベースは、有底筒形状を呈している。言い換えれば、一方の側が開口され、開口されている領域とは反対側の領域に底面を有する、筒形状体である。ここで、本明細書において、「ベースの内底面」とはベースの内側に係る底面を指し、「ベースの外底面」とはベースの外側に係る底面を指す。すなわち、ベースの内底面は、ベースの内側面と連絡されている面であり、ベースの外底面は、ベースの外側面と連絡されている面である。
接着層は、主成分が無機材料であり、且つ多孔質体で形成されているのが好ましい。この場合、接着層によって発光管の外側面とベースの内側面とを固定している場合であっても、接着層自体が多孔質体であるため、この多孔質の孔部を通じて、水を含む気体が流入する可能性がある。仮に、この気体が凝集(結露)すると、液状の水(水滴)がベースの面に付着する可能性がある。
しかし、上記の構成によれば、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在するため、内底面上において水分を留める作用が奏され、内側に係る第二電極側への流入が防止される。仮に、ベースの内底面と発光管とが接触している場合には、内底面に付着した水滴が発光管の管体側に流入するおそれがある。よって、上記のように、ベースの内底面と発光管との間には間隙を設けるのが好ましい。
更に、エキシマランプは、特に高出力で発光している場合には温度が上昇するため、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、この水が蒸発して水蒸気となる。このとき、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在することで、当該空間の気圧が高まり、接着層の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプの外部へと排出できる。
前記ベースは、当該ベースの内側面上に凹凸加工が施されているものとすることができる。
かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ベースの内側面上において表面張力が発生し、ベースの内側面を伝って内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。
前記ベースは、当該ベースの内側面上に、前記管軸方向に平行な方向に延伸する複数の溝を有するものとすることができる。
かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、溝を伝って水分が内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。
前記エキシマランプは、前記ベースを加熱するヒータを設けるものとしても構わない。これにより、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ヒータによってベースを加熱することで、水分を蒸発させることができる。この水蒸気は、接着層の多孔質の孔部を通じてエキシマランプの外部へと排出できる。
前記ヒータは、前記ベースの外側面上又は外底面上に載置されているものとしても構わない。これにより、ベースを効率よく加熱することができる。
前記エキシマランプは、
前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う温度調整部とを備えるものとしても構わない。
前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う温度調整部とを備えるものとしても構わない。
例えばエキシマランプの不点灯時など、ベースの温度が低下してきた場合などであっても、自動的にベースが加熱されるため、仮にベースの内側に水分が流入していても蒸発させることができる。
前記エキシマランプは、前記ベースの外側から前記ベースの底部を貫通し、前記第一電極及び前記第二電極に接続された電源線を備えるものとしても構わない。
また、前記エキシマランプは、二重管構造でも構わないし、一重管構造でも構わない。
より詳細には、
前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されているものとすることができる。
前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されているものとすることができる。
また、前記発光管は、一重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されているものとすることができる。
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されているものとすることができる。
本発明のエキシマランプによれば、水分を含む環境下で利用された場合であっても、光取り出し効率を低下させることなく、簡易な構成で、電極間での短絡の発生を抑制できる。
本発明に係るエキシマランプの各実施形態について、適宜図面を参照して説明する。なお、以下の図面において、図面上の寸法比と実際の寸法比は必ずしも一致していない。第二実施形態以後においても同様である。
[第一実施形態]
図1A及び図1Bは、第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す構造図である。図1Aは管軸方向に沿った断面図であり、図1Bは、図1AにおけるA1−A1線断面図である。以下では、図1A及び図1Bに図示された座標系を適宜参照して説明すされる。
図1A及び図1Bは、第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す構造図である。図1Aは管軸方向に沿った断面図であり、図1Bは、図1AにおけるA1−A1線断面図である。以下では、図1A及び図1Bに図示された座標系を適宜参照して説明すされる。
エキシマランプ1は、紫外線に対して透過性を有する材料(例えば合成石英ガラス)からなる、発光管10を備える。発光管10は、円筒状の外側管11と、外側管11の内側において外側管11と同軸上に配置され、外側管11の内径より小さい外径を有する円筒状の内側管12とを有する。外側管11と内側管12とは、それぞれ管軸方向(X方向)に係る両端が封止壁14によって接合されている。これにより、外側管11と内側管12との間には、円環状の発光空間S1が形成されている。寸法の一例として、発光管10は、管軸方向(X方向)に係る長さが1500mm、内側管12の内径がφ14mm、外径がφ16mm、外側管11の内径がφ24mm、外径がφ26mmである。
発光空間S1内には、放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されている。本実施形態において、放電用ガスはキセノン(Xe)を含んでなる。放電用ガスのより詳細な一例としては、キセノン(Xe)とネオン(Ne)を所定の比率(例えば3:7)で混在させたガスからなり、更に酸素や水素を微量に含むものとしても構わない。
エキシマランプ1は、外側管11の外側面に密接し、例えばステンレス鋼などの導電性材料からなる網状の第一電極21と、内側管12の内側面上に密接し、例えばアルミニウムなどの導電性材料からなる膜状の第二電極22とを有する。すなわち、第一電極21と第二電極22とは、互いに発光空間S1を隔てて対向している。第一電極21は外側電極に対応し、第二電極22は内側電極に対応する。
エキシマランプ1は、発光管10の管軸方向(X方向)に係る端部(10a,10b)において、発光管10の外側面を取り囲むように形成されたベース30を備える。図1Cは、図1A内のベース30近傍の拡大図である。図1Cに示すように、ベース30は、内側面31、外側面32、内底面33、及び外底面34を含み、底面(33,34)とは反対側が開口された、有底筒形状を呈する。そして、ベース30の内側面31と、外側管11の外側面11aとが、接着層3を介して接触することで、ベース30と発光管10とが固定されている。ベース30は、例えばセラミックスからなる。なお、図示の都合上、図1Bでは接着層3の図示を省略している。
接着層3を形成する方法としては、無機材料を主成分とする接着剤が用いられる。このような無機材料としては、例えば、アルミナ(Al2O3)やシリカ(SiO2)等が利用可能である。
エキシマランプ1は、例えばkHzオーダーの交流電圧を生成可能な電源40と、電源40に接続された電源線(41,42)とを備える。電源線41は第一電極21に接続され、電源線42は第二電極22に接続されている。電源40は、ベース30の外側に配置され、例えばベース30の底面(33,34)を貫通する孔部を通じて電源線(41,42)が電源40と各電極(21,22)とを連絡している。この孔部は、電源線(41,42)が通る程度の極めて細い径で構成されているものとして構わない。また、電源線(41,42)の一部分(図1Cの例では、特に電源線41の一部分)が、接着層3内に位置しているものとしても構わない。
なお、図1A及び図1Cでは、電源線41と第一電極21とが連絡されていないようにも見えるが、これはあくまで接着層3の図示の都合上であり、電源線41は第一電極21と連絡されているものとする。例えば、上述した例のように、電源線41の一部分が接着層3内に位置するように形成されることで、電源線41と第一電極21とが連絡されているものとすることができる。
漏電防止の観点から、外側電極に対応する第一電極21を接地電極とし、内側電極に対応する第二電極22を高電圧供給電極とするのが好ましい。
本実施形態において、発光管10は、ベース30の内底面33に対して管軸方向(X方向)に間隙50を有した状態で、ベース30に対して固定されている。一例として、間隙50の管軸方向(X方向)に係る長さは3〜8mm程度である。
このような構成を有したエキシマランプ1において、電源40から電源線(41,42)を通じて、第一電極21と第二電極22との間に高周波の交流電圧が印加されると、発光空間S1において放電が発生し、放電用ガスの種類に応じたエキシマ光が生成される。上述したように、放電用ガスとしてキセノン(Xe)を用いる場合には、主たる波長が172nmを示すエキシマ光が生成される。この光は、直接、又は第二電極22によって反射された後、外側管11の外側面11aから放射される。
上記構成によれば、発光管10の端部(10a,10b)において、発光管10の外周、すなわち外側管11の外側面11aを覆うようにベース30が形成されると共に、このベース30と、外側管11の外側面11aとが、接着層3を介して固定的に接触している。このため、エキシマランプ1を、水分を含む気体が存在する環境下に配置した場合において、この水分が外側管11の外側面11aに付着したとしても、ベース30と外側管11の外側面11aとの接触箇所において、水分の流入が抑制される。この結果、水分が内側管12に配置された第二電極22側へと流入するのを防ぐことができ、第一電極21と第二電極22との間における短絡の発生が抑制される。
また、上述したように、接着層3は主成分が無機材料からなるため、有機系の接着剤とは異なり、発光空間S1から放射された紫外線(例えば波長172nmの光)が照射されても、材料の劣化がほとんど進行しない。この結果、ベース30の内側への水分の流入を、長期にわたって防ぐことができる。
なお、本実施形態のエキシマランプ1の場合、発光管10と、ベース30の内底面33との間において、間隙50が形成されている。接着層3を構成する無機材料が多孔質体である場合、長時間の経過により、この孔部を通じて、水を含む気体が少しずつベース30の内側に流入する可能性がある。仮に、このような状態の下で、エキシマランプ1が低温環境下で不点灯の状態で一定期間放置されると、ベース30の内側に流入した気体が凝集(結露)して液状の水(水滴)がベース30の内側の面(31,33)に付着する可能性がある。
かかる状態の下で、エキシマランプ1が高出力下で点灯されると、ベース30近傍が加熱され、この水分が蒸発して水蒸気が生成される。このとき、間隙50を構成する空間の気圧が高まり、接着層3を構成する多孔質体の孔部を通じて、エキシマランプ1の外側へと水蒸気を排出できる。
<別構成>
以下、本実施形態のエキシマランプ1の別構成を説明する。
以下、本実施形態のエキシマランプ1の別構成を説明する。
(1)図2A及び図2Bに示されるように、エキシマランプ1が備える発光管10を一重管構造とすることも可能である。以下の実施形態においても同様である。
図2A及び図2Bは、第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す構造図である。図2Aは管軸方向に沿った断面図であり、図2Bは、図2AにおけるA2−A2線断面図である。
図2A及び図2Bに示すエキシマランプ1において、発光管10は、単一の管で構成され、発光管10の内部には、放電用ガスが封入されると共に、管軸方向(X方向)に延伸する第二電極22が配置されている。また、図1A及び図1Bで参照した二重管構造の場合と同様、第一電極21が発光管10の外側面(図2A及び図2B内における外側面17)に密接した配置されている。第一電極21は電源線41に接続され、第二電極22は電源線42に接続される。
かかる一重管構造を示すエキシマランプ1においても、ベース30と発光管10の外側面17とが接着層3を介して固定的に接触しているため、ベース30の内側への水分の流入が抑制される。なお、図2Bにおいても、図1Bと同様に、接着層3の図示が省略されている。
(2)図3A及び図3Bに示すように、発光管10のうちの、一方の端部10a側にのみベース30を備えるものとしても構わない。図3Aは、図1Aの構成において一方の端部10a側にのみベース30を備えた場合に対応し、図3Bは、図2Aの構成において一方の端部10a側にのみベース30を備えた場合に対応する。
[第二実施形態]
エキシマランプの第二実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。本実施形態のエキシマランプ1は、第一実施形態と比較してベース30の内側面31に凹凸加工が施されている点のみが異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。図4A〜図4Cにベース30の構造例を模式的に示す。図4A〜図4Cにおいて、(a)がベース30の模式的な斜視図であり、(b)がベース30の内側面31の一部拡大図である。
エキシマランプの第二実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。本実施形態のエキシマランプ1は、第一実施形態と比較してベース30の内側面31に凹凸加工が施されている点のみが異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。図4A〜図4Cにベース30の構造例を模式的に示す。図4A〜図4Cにおいて、(a)がベース30の模式的な斜視図であり、(b)がベース30の内側面31の一部拡大図である。
図4Aに示される例では、ベース30の内側面31上に、アイランド状の突起37aが複数形成されることで、表面に凹凸加工されている。図4B及び図4Cに示される例では、ベース30の内側面31上に、発光管10の管軸方向(X方向)に延伸する溝37bが複数形成されることで、表面に凹凸加工が施されている。なお、図4Bと図4Cとでは、溝37bの形状が異なっている。図4Bの例ではX方向に見て溝37bが矩形状を示し、図4Cの例ではX方向に見て溝37bが三角形状を示す。なお、突起37aの配置態様や形状、並びに溝37bの形状については、種々の変形が可能である。
本実施形態の構成によれば、仮に水分がベース30の内側に流入した場合であっても、ベース30の内側面31上において表面張力が発生し、ベース30の内側面31を伝って内底面33(図1C参照)側へと流れやすくなる。この結果、第二電極22側へと水が流れ込んで第一電極21と第二電極22との間で短絡が発生するのを抑制できる。特に、図4B及び図4Cに示すような溝部37bを形成することで、この溝部37bの延伸方向に沿って水を導きやすくなり、第二電極22側に水が流れるのを抑制できる。なお、図4Bと図4Cとを対比した場合には、図4Bに示すように溝部37bの形状を矩形にすることで、表面張力の効果が高まり、水を導きやすくなる。
[第三実施形態]
エキシマランプの第三実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。図5に示す本実施形態のエキシマランプ1は、第一実施形態と比較してヒータ60を備える点が異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。なお、図5に示すエキシマランプ1は、図1Aにならって、ベース30が発光管10の管軸方向(X方向)に係る両端に設けられている場合が図示されているが、図3Aに示したように、発光管10の一方の端部にのみベース30が設けられている構成であっても構わない。
エキシマランプの第三実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。図5に示す本実施形態のエキシマランプ1は、第一実施形態と比較してヒータ60を備える点が異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。なお、図5に示すエキシマランプ1は、図1Aにならって、ベース30が発光管10の管軸方向(X方向)に係る両端に設けられている場合が図示されているが、図3Aに示したように、発光管10の一方の端部にのみベース30が設けられている構成であっても構わない。
ヒータ60は、ベース30の外側面32上に設置され、ベース30を加熱する。なお、ヒータ60は、ベース30の外底面34に設置されていても構わないし、内側の面(31,33)に設置されていても構わない。更には、ベース30に対する加熱が可能な態様であれば、必ずしもベース30に接触して設置されなくても構わない。
また、図5では、ヒータ60がベース30の外側面32を周方向に取り囲むように配置されている場合について図示されているが、ベース30の面の一部分に一箇所設けられているものとしても構わないし、離散的に複数箇所設けられていても構わない。
ヒータ60は、種々の手段で構成できる。一例として、ヒータ60は、抵抗体で構成され、通電により生じるジュール熱を用いてベース30を加熱することができる。他の例として、ヒータ60はエキシマランプ1とは別の光源体で構成され、当該光源体からの放射熱を用いてベース30を加熱することができる。これにより、仮に水分がベース30の内側に流入した場合であっても、ヒータ60によってベース30が加熱されるため、ベース30の内側の温度が上昇し、水分を蒸発させることができる。
この場合、特に、発光管10とベース30の内底面33との間に間隙50を形成しておくことで、接着層3の主成分を構成する無機材料の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプ1の外部に効率的に排出できる。
更に、本実施形態のエキシマランプ1は、図6に示されるように、ベース30の温度を測定する温度測定器61、及びヒータ60の出力調整を行う制御部62を備えるものとしても構わない。
温度測定器61は、例えばサーミスタなどで構成される。制御部62は、温度測定器61で測定されたベース30の温度に関する情報に基づき、ベース30の温度を所定の目標温度になるように、ヒータ60の出力を自動的に調整する。これにより、例えばエキシマランプ1が低出力又は不点灯である場合においても、ベース30が自動的に加熱されるため、仮に、水分がベース30の内側に流入した場合であっても水分を蒸発させることができる。
温度測定器61は、ベース30の面のうち、ヒータ60が設置されている面とは異なる面上に配置されるのが好ましい。例えば、図6に示すように、ヒータ60がベース30の外側面32に設置されている場合には、温度測定器61を外底面34に設置することができる。
なお、本実施形態においても、図2Aに示すような、いわゆる一重管構造の発光管10を有するエキシマランプ1としても構わない。また、第二実施形態で上述したように、ベース30の内側面31に凹凸加工が施されているものとしても構わない。
[別実施形態]
上記各実施形態では、発光管10と、ベース30の内底面33との間において、間隙50が形成されているものとした。しかし、エキシマランプ1において、間隙50が存在しない構成も採用可能である。
上記各実施形態では、発光管10と、ベース30の内底面33との間において、間隙50が形成されているものとした。しかし、エキシマランプ1において、間隙50が存在しない構成も採用可能である。
1 : エキシマランプ
3 : 接着層
10 : 発光管
10a,10b : 発光管の端部
11 : 外側管
11a : 外側管の外側面
12 : 内側管
14 : 封止壁
17 : 一重管構造の発光管の外側面
21 : 第一電極
22 : 第二電極
30 : ベース
31 : ベースの内側面
32 : ベースの外側面
33 : ベースの内底面
34 : ベースの外底面
37a : 突起
37b : 溝
40 : 電源
41 : 電源線
42 : 電源線
50 : 間隙
60 : ヒータ
61 : 温度測定器
62 : 制御部
S1 : 発光空間
3 : 接着層
10 : 発光管
10a,10b : 発光管の端部
11 : 外側管
11a : 外側管の外側面
12 : 内側管
14 : 封止壁
17 : 一重管構造の発光管の外側面
21 : 第一電極
22 : 第二電極
30 : ベース
31 : ベースの内側面
32 : ベースの外側面
33 : ベースの内底面
34 : ベースの外底面
37a : 突起
37b : 溝
40 : 電源
41 : 電源線
42 : 電源線
50 : 間隙
60 : ヒータ
61 : 温度測定器
62 : 制御部
S1 : 発光空間
Claims (10)
- 放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする、エキシマランプ。 - 前記発光管は、前記ベースの内底面に対して前記管軸方向に間隙を有した状態で、前記ベースに固定されていることを特徴とする、請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記ベースは、当該ベースの内側面上に凹凸加工が施されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のエキシマランプ。
- 前記ベースは、当該ベースの内側面上に、前記管軸方向に平行な方向に延伸する複数の溝を有することを特徴とする、請求項3に記載のエキシマランプ。
- 前記ベースを加熱するヒータを設けたことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のエキシマランプ。
- 前記ヒータは、前記ベースの外側面上又は外底面上に載置されていることを特徴とする、請求項5に記載のエキシマランプ。
- 前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う制御部とを備えたことを特徴とする、請求項5又は6に記載のエキシマランプ。 - 前記ベースの外側から前記ベースの底部を貫通し、前記第一電極及び前記第二電極に接続された電源線を備えたことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載のエキシマランプ。
- 前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載のエキシマランプ。 - 前記発光管は、一重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載のエキシマランプ。
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