JP2019144374A - パッケージ型光偏向装置 - Google Patents
パッケージ型光偏向装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019144374A JP2019144374A JP2018027726A JP2018027726A JP2019144374A JP 2019144374 A JP2019144374 A JP 2019144374A JP 2018027726 A JP2018027726 A JP 2018027726A JP 2018027726 A JP2018027726 A JP 2018027726A JP 2019144374 A JP2019144374 A JP 2019144374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package type
- type optical
- lead terminal
- header
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Description
空洞11a、位置合わせ用フランジ11b、リード端子用開孔及びセンサリード端子用開孔を形成したヘッダ11を準備する。
窓16aを有するU字断面形状のキャップ16を準備する。
ヘッダ11のセンサリード端子13a、13bの台座13a―2、13b−2及び/又は回路基板19a、19bの電極パッドに導電性部材21a、21bを塗布してヘッダ11のフランジ11bとキャップ16のフランジ16bとを合わせ、溶接にて結合する。この場合、導電性部材21a、21bはヘッダ11とキャップ16との寸法のずれをも吸収する。このとき、ヘッダ11とキャップ16との間は真空状態にするか不活性ガスたとえばN2ガス等を導入する。これにより、図1、図2のパッケージ型光偏向装置10は気密封止されて完成する。
20:制御ユニット
30:レーザ光源
11:ヘッダ
11a:空洞
11b:フランジ
12a、12b:リード端子
12a−1、12b−1:低融点ガラス
13a、13b:センサリード端子
13a−1、13b−1:低融点ガラス
13a−2、13b−2:台座
14:2次元光偏向器
15:ボンディングワイヤ
16:キャップ
16a:空洞
16b:フランジ
17:窓ガラス
17a:低融点ガラス
18a、18b:光検出器
19a、19b:回路基板
21a、21b:導電性部材(シリコーン)
Claims (9)
- リード端子及びセンサリード端子が設けられたヘッダと、
前記ヘッダ上に載置され、前記リード端子に電気的に接続された2次元光偏向器と、
前記2次元光偏向器の反射光ビームを透過させるための窓を有するキャップと、
前記キャップの窓を封止する窓ガラスと、
前記窓ガラスの内側周辺に設けられ、前記センサリード端子に電気的に接続され、前記2次元光偏向器からの反射光ビームを検出するための光検出器と
を具備し、
前記キャップと前記ヘッダとは結合されて前記2次元光偏向器と前記光検出器とを対向するようにしたパッケージ型光偏向装置。 - さらに、前記窓ガラスと前記光検出器との間に設けられた回路基板を具備する請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
- さらに、前記センサリード端子の上端部台座と前記回路基板の電極パッドとの間に設けられた導電性部材を具備する請求項2に記載のパッケージ型光偏向装置。
- さらに、前記センサリード端子の上端部台座と前記窓ガラス上の前記受光素子に接続された電極パッドとの間に設けられた導電性部材を具備する請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
- 前記2次元光偏向器と前記リード端子との電気的接続は前記2次元光偏向器の電極パッドと前記リード端子の先端部台座との間のボンディングワイヤによって行われる請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
- 前記光検出器は前記パッケージ型光偏向装置の光ビームの第1の走査方向の沿って配列された第1、第2の光検出器を具備し、前記第1の光検出器は第1の走査方向に直交する第2の走査方向に沿って矩形の受光面積を有し、前記第2の光検出器は前記第2の走査方向に対して台形の受光面積を有する請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
- 前記第2の光検出器は矩形の受光面積を有する光検出器を具備し、マスクによって当該矩形の受光面積を前記台形の受光面積とした請求項6に記載のパッケージ型光偏向装置。
- 前記光検出器は4方向に設けられた第1、第2、第3、第4の光検出器を具備する請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
- 前記キャップと前記ヘッダとの結合は溶接によって行われる請求項1に記載のパッケージ型光偏向装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018027726A JP7049737B2 (ja) | 2018-02-20 | 2018-02-20 | パッケージ型光偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018027726A JP7049737B2 (ja) | 2018-02-20 | 2018-02-20 | パッケージ型光偏向装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019144374A true JP2019144374A (ja) | 2019-08-29 |
JP7049737B2 JP7049737B2 (ja) | 2022-04-07 |
Family
ID=67772282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018027726A Active JP7049737B2 (ja) | 2018-02-20 | 2018-02-20 | パッケージ型光偏向装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7049737B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023048276A1 (ja) * | 2021-09-27 | 2023-03-30 | 京セラ株式会社 | 光部品搭載用パッケージ及び光学装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000180745A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | ビーム光走査装置 |
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2005311107A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光学半導体装置 |
US20060164631A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical scanner package having heating dam |
JP2010122412A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Panasonic Corp | 光学反射素子ユニット |
JP2010256774A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hoya Corp | マイクロミラー装置 |
JP2014233798A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社リコー | 電気機械素子、電気機械素子の製造方法、電気機械装置、筐体、把持装置、光偏向装置、画像形成装置、および画像投影装置 |
-
2018
- 2018-02-20 JP JP2018027726A patent/JP7049737B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000180745A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | ビーム光走査装置 |
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2005311107A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光学半導体装置 |
US20060164631A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical scanner package having heating dam |
JP2010122412A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Panasonic Corp | 光学反射素子ユニット |
JP2010256774A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hoya Corp | マイクロミラー装置 |
JP2014233798A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社リコー | 電気機械素子、電気機械素子の製造方法、電気機械装置、筐体、把持装置、光偏向装置、画像形成装置、および画像投影装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023048276A1 (ja) * | 2021-09-27 | 2023-03-30 | 京セラ株式会社 | 光部品搭載用パッケージ及び光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7049737B2 (ja) | 2022-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10018833B2 (en) | MEMS device and electronic device having projector function | |
US11635290B2 (en) | Optical module | |
US9946063B2 (en) | Light scanning apparatus, light scanning control apparatus, and light scanning unit | |
US9323048B2 (en) | Optical deflector including meander-type piezoelectric actuators coupled by crossing bars therebetween | |
CN111717884A (zh) | 具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构 | |
JP6278180B2 (ja) | 光走査装置、画像表示装置及び移動体 | |
US11143863B2 (en) | Optical scanning device | |
CN107870416B (zh) | 光扫描装置 | |
JP7049737B2 (ja) | パッケージ型光偏向装置 | |
JP2017116842A (ja) | 光偏向器及び画像投影装置 | |
JPWO2010122853A1 (ja) | 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ | |
KR20070071966A (ko) | 마이크로 미러의 동작 주파수의 측정이 가능한 마이크로광스캐너 | |
US10274721B2 (en) | Micromechanical device including a movable element having a laser disposed thereon | |
JP2022144257A (ja) | 光偏向器、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、距離測定装置、及び移動体 | |
JP4390596B2 (ja) | 振動ミラーモジュール | |
JP5321740B2 (ja) | 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ | |
JP2007164170A (ja) | 2軸駆動スキャナ | |
JP2020101587A (ja) | 可動装置、距離測定装置、画像投影装置、及び車両 | |
JP2020101588A (ja) | 可動装置、距離測定装置、画像投影装置、車両、及び台座 | |
JP2007292919A (ja) | 光走査装置 | |
JP7029043B2 (ja) | 光走査装置及びヘッドアップディスプレイ | |
JP7221745B2 (ja) | 光走査装置、光源装置 | |
JP2022143323A (ja) | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、距離測定装置、及び移動体 | |
JP2021071582A (ja) | 光偏向器、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 | |
US20210286167A1 (en) | Movable device, image projection apparatus, heads-up display, laser headlamp, head-mounted display, object recognition device, and mobile object |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220324 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7049737 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |