JP2019140164A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3および図4は、本実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図2には、図3および図4のII−IIの位置における静電チャック100のXZ断面構成が示されており、図3には、図2のIII−IIIの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されており、図4には、図2のIV−IVの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、ヒータ電極層50の構成およびヒータ電極層50への給電のための構成について詳述する。上述したように、静電チャック100は、チャック電極40とセラミックス部材10の下面S2との間にヒータ電極層50を備える(図2参照)。ヒータ電極層50は、導電性材料(例えば、タングステン、モリブデン、白金等)により形成されている。
次に、第1のドライバ電極60xの詳細構成について詳述する。上述の通り、第1のドライバ電極60xは、Z軸方向視で扇形である(図3参照)。
図5に示すように、第1のドライバ電極60xは、第1の給電部分812と、第1の接続部分821aと、第2の接続部分821bと、第3の接続部分821cとを含んでいる。第1の給電部分812は、第1の給電側ビア711を介して第1の給電端子741に電気的に接続されている。また、第1の給電部分812は、第1のドライバ電極60xのうち、Z軸方向視で、複数の第1の給電側ビア711の全てを含む部分であり、本実施形態では、Z軸方向視で第1の電極パッド731の外周円で囲まれる部分である。第1の接続部分821aは、第1のヒータ側ビア721aを介して第1のヒータ電極500aの一方の端部である第1のヒータパッド部521aに電気的に接続されている。また、第1の接続部分821aは、第1のドライバ電極60xのうち、Z軸方向視で、複数の第1のヒータ側ビア721aの全てを含む部分であり、本実施形態では、Z軸方向視で第1のヒータパッド部521aの外周円で囲まれる部分である。第2の接続部分821bは、第1の給電部分812と第1の接続部分821aとの間に位置し、第1のヒータ側ビア721bを介して第2のヒータ電極500bの一方の端部である第1のヒータパッド部521bに電気的に接続されている。また、第2の接続部分821bは、第1のドライバ電極60xのうち、Z軸方向視で、複数の第1のヒータ側ビア721bの全てを含む部分であり、本実施形態では、Z軸方向視で第1のヒータパッド部521bの外周円で囲まれる部分である。第3の接続部分821cは、第1の接続部分821aに対して第2の接続部分821bの反対側に位置し、第1のヒータ側ビア721cを介して第3のヒータ電極500cの一方の端部である第1のヒータパッド部521cに電気的に接続されている。第3の接続部分821cは、第1のドライバ電極60xのうち、Z軸方向視で、複数の第1のヒータ側ビア721cの全てを含む部分であり、本実施形態では、Z軸方向視で第1のヒータパッド部521cの外周円で囲まれる部分である。本実施形態において、第1の給電部分812と、第1の接続部分821aと、第2の接続部分821bと、第3の接続部分821cとは同一直線上に位置している。以下では、第1の給電部分812の最も近くに位置する第2の接続部分821bを「最近接続部分821b」、第1の給電部分812から最も遠くに位置する第3の接続部分821cを「最遠接続部分821c」、最近接続部分821bと最遠接続部分821cの間に位置する第1の接続部分821aを「中間接続部分821a」ともいう。なお、本実施形態では、第1の電極パッド731および第1のヒータパッド部521a,521b,521cは、同一の直径を有する略円形であるため、第1の給電部分812および接続部分821a,821b,821cも、同一の直径を有する略円形となる。
図5および図6に示すように、第1のドライバ電極60xは、第1の電流経路部分Ra、第2の電流経路部分Rbおよび第3の電流経路部分Rcを含んでいる。第1の電流経路部分Raは、第1の給電部分812と中間接続部分821aとの間の電流が流れる部分である。第2の電流経路部分Rbは、第1の給電部分812と最近接続部分821bとの間の電流が流れる部分である。第3の電流経路部分Rcは、第1の給電部分812と最遠接続部分821cとの間の電流が流れる部分である。本実施形態において、第1の電流経路部分Raは、第1の給電部分812、中間接続部分821aおよび両者の間を含む帯状の部分である。上述したように、第1の給電部分812と中間接続部分821aとは同一の直径である。このため、第1の電流経路部分Ra内の短手方向における幅は全長に亘って略同一である。このような第1の電流経路部分Raは次のように規定することができる。まず、中間接続部分821aおよび第1の給電部分812に対して、中間接続部分821aの外周線と第1の給電部分812の外周線との両方に対する2つの接線TLを規定する(図6のA参照)。この場合に、第1の電流経路部分Raは、2つの接線TLと中間接続部分821aの外周線と第1の給電部分812の外周線とにより囲まれた部分であり、中間接続部分821aおよび第1の給電部分812を含む部分によって形成される部分として規定することができる(図6のA参照)。また、第2の電流経路部分Rbおよび第3の電流経路部分Rcについても、第1の電流経路部分Raと同様に帯状の部分であり、第2の電流経路部分Rbおよび第3の電流経路部分Rc内の短手方向における幅は、いずれも全長に亘って略同一である。第2の電流経路部分Rb(図6のB参照)および第3の電流経路部分Rc(図6のD参照)についても、第1の電流経路部分Raと同様に規定することができるため、説明を省略する。
図5、図6および図7に示すように、第1の電流経路部分Raの断面Xaは、第1の電流経路部分Raの内、領域A1における、中間接続部分821aから第1の給電部分812に向かう方向に略直交する断面である。重複部分Racの断面Xaは、上述の通り、重複部分Racが第1の電流経路部分Raと同一の部分であるため、第1の電流経路部分Raの断面Xaと同一である。第3の電流経路部分Rcの断面Xcは、第3の電流経路部分Rcの内、領域A3における、最遠接続部分821cから第1の給電部分812に向かう方向に略直交する断面である。重複部分Rabの断面Xbは、重複部分Rabにおける、最近接続部分821bから第1の給電部分812に向かう方向に略直交する断面である。重複部分Rabの断面Xbは、上述の通り、重複部分Rabが第2の電流経路部分Rbと同一の部分であるため、第2の電流経路部分Rbの断面Xbと同一である。本実施形態の第1のドライバ電極60xでは、第2の電流経路部分Rb(重複部分Rab)の断面Xbの面積は、第1の電流経路部分Raの内、領域A1における第1の電流経路部分Ra(重複部分Rac)の断面Xaの面積より大きい。また、本実施形態の第1のドライバ電極60xでは、領域A1における第1の電流経路部分Ra(重複部分Rac)の断面Xaの面積は、第3の電流経路部分Rcの内、領域A3における第3の電流経路部分Rcの断面Xcの面積より大きい。上述の通り、本実施形態では、Z軸方向視で電流経路部分Ra,Rb,Rcの短手方向における幅は全長に亘って略同一である。このため、Z軸方向における、電流経路部分Ra,Rb,Rcにおける厚みは互いに異なる。すなわち、本実施形態では、領域A1の第1の電流経路部分Ra(重複部分Rac)の断面Xaにおける厚みTaは、領域A3の第3の電流経路部分Rcの断面Xcの厚みTcに対して断面Xcの厚みTcを加えた厚みである。また、領域A2の第2の電流経路部分Rb(重複部分Rab)の断面Xbにおける厚みTbは、領域A1の第1の電流経路部分Ra(重複部分Rac)の断面Xaの厚みTaに対して領域A3の第3の電流経路部分Rcの断面Xcの厚みTcを加えた厚みである。領域A1、領域A2、領域A3のそれぞれにおいて、厚みは一律である。なお、第1の電流経路部分Ra(重複部分Rac)の断面Xaは、第1の電流経路部分Raの内、領域A1における第1の電流経路部分Raの長手方向の中心位置での断面である。重複部分Rabの断面Xbは、第2の電流経路部分Rbの内、領域A2における第2の電流経路部分Rbの長手方向の中心位置での断面である。第3の電流経路部分Rcの断面Xcは、第3の電流経路部分Rcの内、領域A3における第3の電流経路部分Rcの長手方向の中心位置での断面である。
上述したように、本実施形態では、第1のドライバ電極60xおよび第2のドライバ電極60yに対して、第1のヒータ電極500a、第2のヒータ電極500bおよび第3のヒータ電極500cが電気的に並列に接続されている。このような場合では、図7に示すように、第1のドライバ電極60xを流れる電流の量は、第3の電流経路部分Rcの領域A3では、第1のヒータ側ビア721cを介して第1のヒータパッド部521cから流れる電流の量である電流I3となる。第1の電流経路部分Raの領域A1では、第1のヒータ側ビア721aを介して第1のヒータパッド部521aから流れる電流I1に電流I3を加えた電流の量である電流I1+I3となる。第2の電流経路部分Rbの領域A2では、第1のヒータ側ビア721bを介して第1のヒータパッド部521cから流れる電流I2に電流I1+I3を加えた電流の量である電流I1+I2+I3となる。上述の通り、第1の電流経路部分Raの領域A1を流れる電流の量は、第3の電流経路部分Rcの領域A3に比べて大きく、第2の電流経路部分Rbを流れる電流の量は、第1の電流経路部分Raの領域A1に比べて大きい。本実施形態では、流れる電流の量が大きい部分ほど第1のドライバ電極60xの厚みを厚くしている。すなわち、第1の電流経路部分Raの領域A1における断面Xaの厚みTaは、第3の電流経路部分Rcの領域A3における断面Xcの厚みTcに比べて厚く、第2の電流経路部分Rbの断面Xbの厚みTbは、第1の電流経路部分Raの領域A1における断面Xaの厚みTaに比べて大きい。このような構成とすることにより、電流の量が大きい部分での電気抵抗を低減させ、当該部分が高温の温度特異点となることを抑制することができる。また、本実施形態では、第1の電流経路部分Raにおいて、重複部分Rabと重複部分Rab以外の部分との間には段差部900aが設けられており、かつ、第3の電流経路部分Rcにおいて、重複部分Racと重複部分Rac以外の部分との間には段差部900bが設けられている。すなわち、流れる電流の量が電流I3である第3の電流経路部分Rcの領域A3では一律に厚みTcとなり、流れる電流の量が電流I1+I3である第1の電流経路部分Raの領域A1では一律に厚みTaとなり、流れる電流の量が電流I1+I2+I3である第2の電流経路部分Rbでは一律に厚みTbとなる。このような構成とすることにより、流れる電流の量が同じである部分では、第1のドライバ電極60xの厚みが一律に同じ厚みとなるため、第1の電流経路部分Raの領域A1内、第2の電流経路部分Rb内、および、第3の電流経路部分Rcの領域A3内での温度ムラを緩和することができる。
次に、本実施形態における静電チャック100の製造方法を説明する。はじめに、導電性材料層が内部に配置された板状のセラミックス成形体を作製する。セラミックス成形体の作製は、例えば、公知のシート積層法やプレス成形法により行うことができる。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、Z軸方向に略垂直な略平面状の吸着面S1を有するセラミックス部材10を備え、セラミックス部材10の吸着面S1上に対象物(例えばウェハW)を保持する保持装置である。静電チャック100は、セラミックス部材10の内部に配置された線状の第1のヒータ電極500a、第2のヒータ電極500bおよび第3のヒータ電極500cと、第1の給電端子741および第2の給電端子742とを備えている。また、静電チャック100は、セラミックス部材10の内部に配置され、第1のヒータ電極500aの一方の端部である第1のヒータパッド部521aと第2のヒータ電極500bの一方の端部である第1のヒータパッド部521bと第1の給電端子741とに電気的に接続される第1のドライバ電極60xとを備えている。また、本実施形態の静電チャック100では、第1のドライバ電極60xは、第1の給電端子741に電気的に接続される第1の給電部分812と、第1のヒータ電極500aの一方の端部である第1のヒータパッド部521aに電気的に接続される中間接続部分821aと、第1の給電部分812と中間接続部分821aとの間に位置し、第2のヒータ電極500bの一方の端部である第1のヒータパッド部521bに電気的に接続される最近接続部分821bとを含んでいる。さらに、本実施形態の静電チャック100では、第2の電流経路部分Rbは重複部分Rabを有し、重複部分Rabの断面Xbの面積は、第1の電流経路部分Raの内、領域A1における第1の電流経路部分Raの断面Xaの面積より大きい。本実施形態の静電チャック100は、このような構成を有しているため、以下に説明するように、流れる電流の量が大きい部分である第2の電流経路部分の重複部分における電気抵抗を低減させ、ひいては、高温の温度特異点の発生を抑制することができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- 第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面を有するセラミックス部材と、
前記セラミックス部材の内部に配置された線状の第1のヒータ電極および第2のヒータ電極と、
第1の給電端子と、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記第1のヒータ電極の一方の端部と前記第2のヒータ電極の一方の端部と前記第1の給電端子とに電気的に接続されるドライバ電極と、
を備え、前記セラミックス部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ドライバ電極は、
前記第1の給電端子に電気的に接続される第1の給電部分と、
前記第1のヒータ電極の前記一方の端部に電気的に接続される第1の接続部分と、
前記第1の給電部分と前記第1の接続部分との間に位置し、前記第2のヒータ電極の前記一方の端部に電気的に接続される第2の接続部分と、
前記第1の給電部分と前記第1の接続部分との間の第1の電流経路部分と、
前記第1の給電部分と前記第2の接続部分との間の第2の電流経路部分と、を含んでおり、
前記第2の電流経路部分は、前記第1の方向視で前記第1の電流経路部分と重なる重複部分を有し、
前記第2の電流経路部分の前記重複部分における、前記第2の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第2の電流経路部分の前記重複部分の断面の面積は、前記第1の電流経路部分の内、前記第1の接続部分と前記第2の接続部分の間の領域における、前記第1の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第1の電流経路部分の断面の面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記第1の方向で、前記第2の電流経路部分の前記重複部分の前記断面の厚みは、前記第1の電流経路部分の前記断面の厚みより厚い、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項2に記載の保持装置において、
前記第1の電流経路部分において、前記第2の電流経路部分の前記重複部分と、前記第2の電流経路部分の前記重複部分以外の部分との間には段差部が設けられている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の保持装置において、
前記セラミックス部材の内部に配置された線状の第3のヒータ電極、をさらに備え、
前記ドライバ電極は、
前記第1の接続部分に対して前記第2の接続部分の反対側に位置し、前記第3のヒータ電極の一方の端部に電気的に接続される第3の接続部分と、
前記第1の給電部分と前記第3の接続部分との間の第3の電流経路部分と、を含んでおり、
前記第3の電流経路部分は、前記第1の方向視で前記第1の電流経路部分と重なる重複部分を有し、
前記第3の電流経路部分の前記重複部分の内、前記第1の接続部分と前記第2の接続部分の間の領域における、前記第1の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第3の電流経路部分の前記重複部分の断面の面積は、前記第3の電流経路部分の内、前記第1の接続部分と前記第3の接続部分の間の領域における、前記第3の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第3の電流経路部分の断面の面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置。 - 第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面を有するセラミックス部材と、
前記セラミックス部材の内部に配置された線状の第1のヒータ電極および第2のヒータ電極と、
第1の給電端子および第2の給電端子と、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記第1のヒータ電極の一方の端部と前記第2のヒータ電極の一方の端部と前記第1の給電端子とに電気的に接続されるドライバ電極と、
を備え、前記セラミックス部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ドライバ電極は、
前記第1の給電端子に電気的に接続される第1の給電部分と、
前記第1のヒータ電極の前記一方の端部に電気的に接続される第1の接続部分と、
前記第1の給電部分と前記第1の接続部分との間に位置し、前記第2のヒータ電極の前記一方の端部に電気的に接続される第2の接続部分と、
前記第1の給電部分と前記第1の接続部分との間の第1の電流経路部分と、
前記第1の給電部分と前記第2の接続部分との間の第2の電流経路部分と、を含んでおり、
前記第2の電流経路部分は、前記第1の方向視で前記第1の電流経路部分と重なる重複部分を有し、
前記第2の電流経路部分の前記重複部分における、前記第2の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第2の電流経路部分の前記重複部分の断面の厚みは、前記第1の電流経路部分の内、前記第1の接続部分と前記第2の接続部分の間の領域における、前記第1の接続部分から前記第1の給電部分に向かう方向に略直交する前記第1の電流経路部分の断面の厚みより厚い、
ことを特徴とする保持装置。
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Citations (3)
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JP2016029656A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | キヤノン株式会社 | ヒータ、及びこれを備えた画像加熱装置 |
JP2017157617A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 加熱部材及び静電チャック |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1032201A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-03 | Nec Corp | パターン形成方法 |
JP2016029656A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | キヤノン株式会社 | ヒータ、及びこれを備えた画像加熱装置 |
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