JP2019110184A - Handling arm, transfer device, and local cleaning device - Google Patents
Handling arm, transfer device, and local cleaning device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019110184A JP2019110184A JP2017241565A JP2017241565A JP2019110184A JP 2019110184 A JP2019110184 A JP 2019110184A JP 2017241565 A JP2017241565 A JP 2017241565A JP 2017241565 A JP2017241565 A JP 2017241565A JP 2019110184 A JP2019110184 A JP 2019110184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- handling arm
- local cleaning
- gas discharge
- inert gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
本開示は、基板を搬送するハンドリングアーム、搬送装置および局所クリーン化装置に関する。 The present disclosure relates to a handling arm that transports a substrate, a transport device, and a local cleaning device.
半導体の工場では、半導体基板(以下、単に基板ともいう)への異物付着や酸化を防止するために、不活性ガスを充填した専用の格納箱に半導体基板が収容されている。格納箱は、製造装置や検査装置等に設置された後、不活性ガスパージ機構を持つ基板格納箱開閉装置によって開放される。格納箱が開放されている間は不活性ガスが常にパージされ、酸化防止を図っている。格納箱に格納されている基板は搬送装置によって取り出される。搬送装置は、空気清浄空間内にて、半導体基板を処理室に向かって搬送する装置である。上記の格納箱、基板格納箱開閉装置および搬送装置は、清浄空間を生成できる局所クリーン化装置内に収容されている。 In a semiconductor factory, the semiconductor substrate is accommodated in a dedicated storage box filled with an inert gas in order to prevent foreign matter adhesion and oxidation on the semiconductor substrate (hereinafter, also simply referred to as a substrate). The storage box is opened by a substrate storage box opening / closing device having an inert gas purge mechanism after being installed in a manufacturing apparatus, an inspection apparatus, or the like. While the container box is open, inert gas is constantly purged to prevent oxidation. The substrate stored in the storage box is taken out by the transfer device. The transfer apparatus is an apparatus for transferring the semiconductor substrate toward the processing chamber in the air purification space. The above-mentioned storage box, substrate storage box opening and closing device, and transfer device are accommodated in a local cleaning device capable of generating a clean space.
半導体の製造、計測、検査等を行う装置は、局所クリーン化装置に搭載されている搬送装置によって搬送された基板の処理を行う。処理終了後、基板は搬送装置により格納箱に戻され、不活性ガスが格納箱に充填されて、次の工程が実施される。上記のように、半導体基板への異物付着や酸化を防止するため、格納箱に不活性ガスを充填する処理が自動的に行われている。 An apparatus for semiconductor manufacture, measurement, inspection, etc. processes a substrate transported by a transport apparatus mounted in the local cleaning apparatus. After the processing is completed, the substrate is returned to the storage box by the transfer device, the storage case is filled with the inert gas, and the next step is performed. As described above, in order to prevent adhesion of foreign matter to the semiconductor substrate and oxidation, processing for filling the storage box with an inert gas is automatically performed.
搬送装置は基板搬送時、異物が付着しないように基板を把持する必要がある。そのため、基板の裏面を真空吸着する方法や基板の端や側面・縁(エッジ)などを把持する方法が採用されている。また、搬送装置が基板を搬送する際に、不活性ガスを吹きつけて試料の汚染を防ぐことがなされている。 The transfer device is required to grip the substrate so that no foreign matter adheres when transferring the substrate. Therefore, a method of vacuum-sucking the back surface of the substrate or a method of gripping the end, side surface, edge or the like of the substrate is adopted. In addition, when the transport apparatus transports the substrate, the inert gas is blown to prevent the contamination of the sample.
特許文献1には、基板搬送装置によって保持された基板に対して、開口側からガスを供給するガス供給口を設けた処理システムが開示されている。 Patent Document 1 discloses a processing system in which a gas supply port for supplying gas from the opening side is provided to a substrate held by a substrate transfer apparatus.
また、特許文献2には、「搬送中の試料の搬送位置に連動して試料にガスを吹きつけて浮遊する塵埃の試料表面への付着を防止するガス吹きつけ手段を備えた」半導体製造装置が記載されている。 Further, in Patent Document 2, a semiconductor manufacturing apparatus has “a gas blowing means for preventing adhesion of dust floating on a sample by blowing gas onto the sample in synchronization with the transfer position of the sample being transferred”. Is described.
さらに、特許文献3には、「ウェーハを保持するウェーハ保持部と、このウェーハ保持部と一体的に移動し、前記ウェーハ保持部に保持されたウェーハの近傍に不活性ガスを吐出するガス吐出部とを備える」ウェーハ搬送装置が開示されている。 Further, in Patent Document 3, “a wafer holding unit for holding a wafer, and a gas discharge unit which moves integrally with the wafer holding unit and discharges an inert gas in the vicinity of the wafer held by the wafer holding unit. Wafer transfer apparatus is disclosed.
ところで、半導体を製造する装置では、基板格納箱や基板格納箱開閉装置において不活性ガス(たとえば窒素)を用いて酸化防止を図っているが、局所クリーン化装置内部の空気清浄空間は空気が流れているため、搬送装置を用いて基板を搬送する場合、基板は空気中に暴露され、搬送中に基板が酸化する可能性がある。 By the way, in the apparatus which manufactures a semiconductor, in the substrate storage box or the substrate storage box opening / closing device, the oxidation prevention is aimed at using an inert gas (for example, nitrogen), but air flows in the air purification space inside the local cleaning device. Therefore, when the substrate is transported using the transport apparatus, the substrate may be exposed to air, and the substrate may be oxidized during transport.
上記の特許文献1〜3では、基板を搬送する際にハンドリングアームの基端から不活性ガスを供給することが記載されている。しかしながら、半導体基板を搬送する搬送装置は生産性向上のため、高速にアームが動くことが要求されるため、基板に不活性ガスが届かず、酸化および水分の付着を防止できない部分が生じうる。 The above-mentioned Patent Documents 1 to 3 describe that the inert gas is supplied from the proximal end of the handling arm when the substrate is transported. However, since the transfer device for transferring the semiconductor substrate is required to move the arm at high speed to improve the productivity, the inert gas may not reach the substrate, and there may be portions where the oxidation and the adhesion of water can not be prevented.
本開示は、上記の点に鑑みてなされたものであり、試料の搬送時に、試料が酸化してしまうことおよび試料に水分が付着してしまうことを効果的に防止できる技術を提供する。 The present disclosure has been made in view of the above-described problems, and provides a technique capable of effectively preventing oxidation of a sample and adhesion of moisture to the sample during transportation of the sample.
上記課題を解決するために、基板を支持する基板接触部と、前記基板が支持された際に前記基板の外側に位置し、それぞれ異なる方向を向いた複数のガス放出口と、前記複数のガス放出口を開口端に持つ複数の流路管と、を備えるハンドリングアームを提供する。 In order to solve the above-mentioned subject, a substrate contact portion which supports a substrate, a plurality of gas discharge ports which are located outside the substrate when the substrate is supported and which are directed in different directions, and a plurality of the gases A handling arm comprising: a plurality of flow channels having an outlet at an open end.
また、基板を支持する基板接触部と、前記基板が支持された際に前記基板の外側に位置し、それぞれ異なる方向を向いた複数のガス放出口と、前記複数のガス放出口を開口端に持つ複数の流路管と、を備えるハンドリングアームが接続された搬送装置と、前記搬送装置が沿って移動するガイドレールと、前記複数の流路管に設けられたバルブと、前記バルブが開いた状態で前記複数のガス放出口の少なくとも一つから不活性ガスを放出するガス供給部と、前記搬送装置および前記ガス供給部の動作を制御する制御部と、を備える局所クリーン化装置を提供する。 In addition, a substrate contact portion for supporting the substrate, a plurality of gas discharge ports located on the outside of the substrate when the substrate is supported and facing in different directions, and the plurality of gas discharge ports are opened. A transport device connected to a handling arm including a plurality of flow path tubes, a guide rail along which the transport device moves, a valve provided to the plurality of flow path tubes, and the valve open There is provided a local cleaning apparatus comprising: a gas supply unit that releases an inert gas from at least one of the plurality of gas discharge ports in a state; and a control unit that controls the operation of the transfer device and the gas supply unit. .
本開示によれば、試料の搬送時に、試料が酸化してしまうことおよび試料に水分が付着してしまうことを効果的に防止できる。上記以外の課題、構成および効果は、以下の実施の形態の説明により明らかにされる。 According to the present disclosure, it is possible to effectively prevent the oxidation of the sample and the adhesion of moisture to the sample when the sample is transported. Problems, configurations, and effects other than the above are clarified by the description of the embodiments below.
以下、図面に基づいて、本開示の実施例を説明する。なお、本開示の実施例は、後述する実施例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。また、後述する各実施例の説明に使用する各図の対応部分には同一の符号を付して示し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described based on the drawings. Note that the embodiments of the present disclosure are not limited to the embodiments described later, and various modifications can be made within the scope of the technical idea thereof. The same reference numerals are given to the corresponding parts of the respective drawings used for describing the respective embodiments to be described later, and the overlapping description will be omitted.
<第1の実施形態>
図1は、局所クリーン化装置101の側面断面図である。局所クリーン化装置101には、ハンドリングアームを備えた搬送装置103が搭載されている。搬送装置103は、ファンフィルタユニット102によって与圧された空間内にて、ガイドレールに沿って移動し、試料(基板)を搬送する。局所クリーン化装置101は、上部に設置されたファンフィルタユニット102からのクリーンエアーが装置内の内圧を高めることによって、外部からの空気の侵入を遮断し、清浄な空間を保持している。また、ファンフィルタユニット102によって供給されるクリーンエアーは、局所クリーン化装置101下面に設置された排気口104によって排気され、ダウンフローが形成される。搬送装置103はハンドリングアームを動作させるための駆動機構を備えており、上述のような清浄な空間内で基板の搬送を行っている。
First Embodiment
FIG. 1 is a side sectional view of the
局所クリーン化装置101が備える各部品および搬送装置103は、局所クリーン化装置101が備える制御部によって制御される。制御部は、後述する不活性ガスの噴出を制御するプログラムを記録した記録部と当該プログラムを実行するプロセッサを備える。
The parts included in the
図2は、局所クリーン化装置101の上面断面図である。局所クリーン化装置101は、図2に示すように、基板を搬送する搬送装置103、不活性ガスが充填された基板格納箱を収容し、開閉する基板格納箱開閉装置204〜206、制御部209およびプリアライメント装置210を備えている。制御部209は、局所クリーン化装置101が備える各装置の動作を制御する。基板格納箱開閉装置204〜206は、それぞれ、不活性ガス放出機構を有し、基板格納箱内を不活性ガスで満たして基板208の酸化を防止する。搬送装置103は、ガイドレール上の位置201〜203への移動が可能なように構成されており、それぞれの位置でハンドリングアーム207を駆動して基板208の収納および取り出しをする。取り出された基板208は、プリアライメント装置210にて、所定の位置や向きに直されてから半導体製造装置や検査装置へ搬送される。
FIG. 2 is a top sectional view of the
搬送装置103が基板208を基板格納箱から取り出す際は、基板格納箱開閉装置204〜206が不活性ガス放出機構から不活性ガスを基板格納箱へ供給しながら基板格納箱を開ける。基板208は、基板格納箱から取り出された後、空気が流れている局所クリーン化装置101内を搬送装置103によって搬送される。
When the
[ハンドリングアームの構成]
図3は、第1の実施形態のハンドリングアーム207の上面断面図である。図3に示されているように、ハンドリングアーム207は、基端側から先端側(図中、X1からX2方向)へ向かうにつれて二股に分岐する形状となっている。ハンドリングアーム207は、分岐した枝部分と中央付近とに、基板接触部308〜310を有する。第1の実施形態の基板接触部308〜310は、吸引器と接続された流路管の一方の開口端を形成し、基板208は、基板接触部308〜310から吸引されて搬送される。
[Configuration of handling arm]
FIG. 3 is a top cross-sectional view of the
また、ハンドリングアーム207には、分岐したアームの先端側およびアームの基端側であって、基板を載置したときに基板の外側となる位置に、ガス放出口302〜304が設けられている。ガス放出口302〜304は、それぞれ異なる方向を向いており、図中示された矢印は不活性ガスの流れ305〜307を示す。不活性ガスは、基板全体を覆うように複数の方向から噴出される。
Further, the
図4は、第1の実施形態のハンドリングアーム207の側面断面図である。図4では、ガス放出口302を例にとって説明する。図4に示すように、ガス放出口302は、二つの放出口302aおよび302bを有し、放出口302aは基板と高さが略同じ位置にあり、放出口302bは基板よりも低い位置にある。図4に示すように、放出口302aから放出される不活性ガスは基板208の上側を覆い、放出口302bから放出される不活性ガスは基板208の下側を覆う。ガス放出口302の構成を上記のようにした場合、基板208の両面を酸化防止できる。また、不活性ガスは基板208の表面を覆うだけでなく、基板208に付着した埃等を吹き飛ばす役割も果たす。なお、放出口302aの位置は、基板208より高い位置であってもよい。この場合、ファンフィルタユニット102から下方に流れてくる空気によって、基板208の表面を覆う不活性ガスが拡散されてしまうことを低減できる。
FIG. 4 is a side sectional view of the
放出口302aおよび302bのそれぞれは不活性ガスを供給するガス供給部(図示せず)と接続された流路管の一方の開口端を形成し、流路管に設けられたバルブが開いた状態でガス供給部から不活性ガスが送られてくる。制御部209は、上記バルブの開閉度合いを調節し、ガス放出口302から放出する不活性ガスの量を調節する。
Each of the
上述したとおり、基板接触部308の内部には、流路管が設けられ、吸引器(図示せず)と接続されている。吸引器が吸引動作を実行することによって基板208が基板接触部308に吸いつけられてハンドリングアーム207に把持される。
As described above, a flow path pipe is provided inside the
[搬送装置の動作]
上述のとおり、搬送装置103および基板格納箱開閉装置205等は、局所クリーン化装置101が備える制御部209によって制御される。以下に、搬送装置103が基板格納箱から基板208を取り出して処理室に搬送するまでの流れを説明する。
[Operation of transport device]
As described above, the
まず、搬送装置103は、取り出す基板208が格納された基板格納箱の位置(例えば、203)までガイドレール上を移動する。続いて、基板格納箱開閉装置205が不活性ガス放出機構により不活性ガスを放出しながら、基板格納箱をオープンし、搬送装置103がハンドリングアーム207を伸ばして目的の基板208を把持する。その後、搬送装置103は、ハンドリングアーム207をたたんでプリアライメント装置210までガイドレールに沿って移動し、基板208をプリアライメント装置210に載置する。搬送装置103は、基板208がプリアライメント装置210によって正しい位置に修正された後、当該基板208を処理室に搬送する。
First, the
以下に、搬送装置103が基板208を取り出してから処理室に搬送するまでの制御部209の動作について説明する。制御部209は、例えば、搬送装置103が基板格納箱から基板208を取り出して、基板格納箱開閉装置205が基板格納箱を閉じた直後からバルブを開いて不活性ガスの供給を開始する。基板格納箱開閉装置205が基板格納箱を閉じた直後からバルブを開いて不活性ガスの供給を開始する理由は、不活性ガスの放出によって埃等が基板格納箱に侵入するのを防ぐためである。
The operation of the
搬送装置103が基板208を処理室に搬送するまでの間、制御部209は、ハンドリングアーム207に設けられた複数のガス放出口302〜304から基板208に向かって不活性ガスを放出するようバルブを制御する。複数方向から基板208に向かって不活性ガスが放出されるため、搬送装置103が高速に移動しても、不活性ガスが基板208全体を覆うことができる。それ故、空気が充填されている局所クリーン化装置101内を搬送装置103が移動する際も、基板208の空気への暴露を少なくし、基板208の酸化および水分付着を防止することができる。なお、処理室に搬送される前にプリアライメント装置210が基板208の位置を調節する際、制御部209はバルブを開いて不活性ガスを供給し続けてもよいし、バルブを閉じて不活性ガスの供給を停止してもよい。
The
図5は、制御部209が実行する処理のフローチャートである。以下に各ステップについて説明する。
(S501)
搬送装置103が、基板格納箱から基板208を取り出した場合、S502の処理に進む。基板格納箱から基板208を取り出していない場合、S501の処理を繰り返す。
(S502)
制御部209がバルブを開いて不活性ガスを放出させる。
(S503)
搬送装置103が、基板208の搬送を終了した場合、制御部209は処理を終了する。基板208の搬送を終了していない場合、S503の処理を再度実行する。
FIG. 5 is a flowchart of processing executed by the
(S501)
When the
(S502)
The
(S503)
When the
上記処理を実行する局所クリーン化装置101は、試料が酸化することおよび試料に水分が付着することを効果的に防止できる。
The
制御部209は、搬送装置103が局所クリーン化装置101内を移動している間、進行方向の前方(上流)から後方(下流)に向かって不活性ガスを放出できるバルブ(ガス放出口)を選択し、当該ガス放出口のみから不活性ガスを放出するようにバルブを開いてもよい。換言すると、制御部209は、搬送装置103の移動方向に応じて開閉するバルブを選択し、不活性ガスを放出するガス放出口を変更してもよい。このようにすると、基板208の搬送時に使用する不活性ガスの量を減らすことができる。また、基板208の搬送方向と逆方向から不活性ガスを基板208へ放出した場合、基板208を覆わずに不活性ガスが拡散してしまう可能性があるが、上流から下流に不活性ガスを放出することによって、これを防止することができる。
The
または、制御部209は、上記選択されたガス放出口から放出される不活性ガスの量がその他のガス放出口から放出される不活性ガスの量よりも多くなるようにバルブの開閉度合いを調節してもよい。このようにすると、より効果的に基板208を不活性ガスで覆うことができる。
Alternatively, the
制御部209は、搬送装置103のハンドリングアーム207が基板208を把持していない際に、バルブを開いてガス放出口302〜304から不活性ガスを放出してもよい。このようにすると、基板208を支持する基板接触部308〜310上およびハンドリングアーム207上に堆積した埃を払うことができる。なお、不活性ガスを放出するタイミングは、基板208を搬送し終わってから次の基板208を格納箱から取り出す前であることが望ましい。その場合、装置のスループットを下げることなく、異物除去を行うことが可能となる。
The
制御部209は、搬送装置103の移動速度または動作速度に応じてバルブの開閉度合いを調節し、不活性ガスの放出量または速度を変更してもよい。例えば、制御部209は搬送装置103が速く動けば動くほど、バルブをより開いて不活性ガスの放出量を多くする。このようにすると、不活性ガスが拡散して基板208を覆えなくなるのを防ぐことができる。
The
また、制御部209は、搬送装置103が基板208を把持しているときと、基板208を把持していないときとでバルブの開閉度合いを変えてもよい。例えば、制御部209は、基板208を把持していない場合、基板208を把持している場合よりもバルブを開いてより多くの不活性ガスを放出する。つまり、基板接触部308〜310やハンドリングアーム207の埃を払うなど目的に応じて不活性ガスの供給量を変化させることで所望の効果を得ることができる。
Further, the
制御部209は、搬送装置103による基板208の搬送回数が規定回数に達したときに、ハンドリングアーム207が基板208を把持していない状態で不活性ガスを放出し、ハンドリングアーム207に付着した異物を吹き払ってもよい。
The
図6は、制御部209が実行する処理のフローチャートである。以下に、制御部209が実行する各処理について記す。
(S601)
制御部209は、搬送装置103が基板208を搬送した回数をカウントする。
(S602)
搬送装置103が基板208を搬送した回数が規定回数に達した場合、制御部209はS603の処理に進む。搬送装置103が基板208を搬送した回数が規定回数に達していない場合、制御部209はS601の処理に戻る。
(S603)
制御部209は、バルブを開いてハンドリングアーム207のガス放出口から不活性ガスを放出し、異物を吹き払い、S601の処理に戻る。
FIG. 6 is a flowchart of processing executed by the
(S601)
The
(S602)
If the number of times the
(S603)
The
以上の動作をする搬送装置103は、基板208を規定回数搬送した後に、基板208を把持していない状態で不活性ガスを放出し、ハンドリングアーム207に付着した異物を吹き払う。このようにすることで、定期的にハンドリングアーム207の清掃が可能となる。なお、制御部209がバルブを開くタイミングは、基板208を搬送した回数でなく搬送装置103の稼働時間が所定時間に達したタイミングであってもよい。
The
制御部209は、バルブを開いてハンドリングアーム207に付着した異物を吹き払う際に、ファンフィルタユニット102の風量を増大させてもよい。
The
図7は、制御部209が実行する処理のフローチャートである。以下に、各ステップについて説明する。
(S701)
搬送装置103による基板208の搬送が終了している場合、S702の処理に進む。基板208の搬送が終了していない場合S701の処理を繰り返す。
(S702)
制御部209がファンフィルタユニット102の風量を増大させる。
(S703)
制御部209がバルブを開いてガス放出口から不活性ガスを放出させる。
FIG. 7 is a flowchart of processing executed by the
(S701)
If the transport of the
(S702)
The
(S703)
The
上記の処理を実行する局所クリーン化装置101は、不活性ガスによって吹き払った異物を局所クリーン化装置101内に巻き上げることなく、装置外部へ排出することができる。
The
<第2の実施形態>
第1の実施形態のハンドリングアーム207は吸引器と接続された複数の基板接触部308〜310を有し、基板208は当該基板接触部308〜310に吸引されて搬送された。これに対して第2の実施形態のハンドリングアーム207は、基板208の縁、端部または側面を取り囲むように配置された複数の基板接触部を有し、基板208は縁、端部または側面を基板接触部に把持されて搬送される。
Second Embodiment
The
図8は、第2の実施形態のハンドリングアーム500が基板208を支持する様子を示す図である。第2の実施形態のハンドリングアーム500は、基端部から先端部に向かうにつれてY字状に分岐する形状である点は第1の実施形態と同様である。ただし、第2の実施形態のハンドリングアーム500は、基端部において基板208を取り囲むように伸びた二つの枝部600aおよび600bを有する基板支持部600を有する点で第1の実施形態とは異なっている。
FIG. 8 is a view showing how the
ハンドリングアーム500の先端部と基板支持部600の先端部および中央部には、基板接触部が設けられている。基板208は、基板208の縁付近の裏面を基板接触部において把持されて搬送される。基板接触部付近には、流路管の一方の開口端を形成する複数のガス放出口501〜505が設けられている。流路管にはバルブが設けられ、もう一方の開口端には不活性ガスを供給するガス供給部が接続されている。ガス放出口501〜505は、基板208を把持した際に基板208の外側となる位置に設けられ、例えば、基板208の中心方向に向けられている。
Substrate contacting portions are provided at the tip of the
図8には、各ガス放出口501〜505から放出される不活性ガスが拡散する方向が矢印506〜510で示されている。第2の実施形態のハンドリングアーム500も、第1の実施形態と同様に、不活性ガスをガス放出口501〜505から放出することによって基板208を不活性ガスで覆い、基板208の酸化や水分付着を防止することができる。
In FIG. 8, the directions in which the inert gas released from the
図9は、第2の実施形態のハンドリングアーム500の断面図である。図9には、ガス放出口501の断面が例示されている。図9に示されているように、ハンドリングアーム500はガス放出口501が設けられた基板接触部601を有し、基板208は、縁付近または外周部付近が、基板接触部601が有する傾斜がついた面にて支持されている。
FIG. 9 is a cross-sectional view of the
また、図9に示されているように、ガス放出口501は、二つの開口部501aおよび501bを有する。開口部501aは、基板208を把持した際に、基板208の上面よりも高い位置となるように設けられ、開口部501bは、基板208の下面よりも低い位置となるように設けられている。図9に示されているように、基板接触部601の基板208を支持する面は傾斜がついているため基板接触部601は基板208を一点で支持している。そのため基板208の下面のほとんど全てが非接触状態となり、開口部501bから放出される不活性ガスが基板208の下面のほぼ全てを覆い、基板208の酸化および水分付着を防止できる領域が大きくなる。なお、図9に示されているように基板208の縁の形状が楔型である場合は、上記基板接触部601の傾斜角度を楔の傾斜角度と異ならしめることにより、基板接触部601は基板208を一点で支持できる。
Further, as shown in FIG. 9, the
制御部209は、第1の実施形態と同様に、ガス放出口501〜505を開口端に持つ流路管に設けられたバルブの開閉を制御する。制御部209によるバルブの開閉制御は、第1の実施形態と同様である。
As in the first embodiment, the
上の説明では、ガス放出口501の断面図を例にして説明したが、ガス放出口502〜505の場合も同様の構成であり基板接触部を有する。
In the above description, the cross-sectional view of the
上記の構成を有する第2の実施形態のハンドリングアーム500は、第1の実施形態と同様に、搬送装置103が基板208を搬送する際に、基板208の酸化および水分付着を防止できる。また、ガス放出口501〜505と基板208の縁との距離が第1の実施形態と比較して近いため、より効率的に少量の不活性ガスで基板208全体を覆うことができる。また、基板接触部とガス放出口501〜505との距離が第1の実施形態と比較して近いため、基板208を把持していないときに、より少量のガスで基板接触部に付着した異物を払うことができる。さらに、第2の実施形態のハンドリングアーム500の場合、第1の実施形態と比較してより多くのガス放出口を有するため、ハンドリングアーム500が複雑な動きをする場合であっても不活性ガスが基板208を覆うことができる。
The
<第3の実施形態>
図10は、第3の実施形態のハンドリングアーム700の断面図である。図10は、複数設けられたガス放出口のうちの一つのガス放出口701の断面が例示されている。第3の実施形態のハンドリングアーム700は、ガス放出口701が一つの開口部のみを有する点が第1の実施形態と異なる。図10に示されているように、ガス放出口701は基板208とほぼ同じ高さの位置であって基板208の上方を向いて設けられている。このような場合、基板208の上面側を不活性ガスで覆い、基板208の下面側に放出する不活性ガスの使用量を節約できる。
Third Embodiment
FIG. 10 is a cross-sectional view of the
<第4の実施形態>
図11は、第4の実施形態のハンドリングアーム800の断面図である。図11は、複数設けられたガス放出口のうちの一つのガス放出口801の断面が例示されている。第4の実施形態のハンドリングアーム800は、ガス放出口801が一つの開口部のみを有する点が第2の実施形態と異なる。図11に示されているように、ガス放出口801は基板208よりも高い位置であって基板208と平行な方向を向いて設けられている。このような場合、基板208の上面側を不活性ガスで覆い、基板208の下面側に放出する不活性ガスの使用量を節約できる。
Fourth Embodiment
FIG. 11 is a cross-sectional view of the
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 The present invention is not limited to the embodiments described above, but includes various modifications. For example, the embodiments described above are described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and are not necessarily limited to those having all the configurations described. Also, part of the configuration of one embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of one embodiment. In addition, with respect to a part of the configuration of each embodiment, it is possible to add, delete, and replace other configurations.
101・・・局所クリーン化装置、102・・・ファンフィルタユニット、103・・・搬送装置、104・・・排気口、201〜203・・・搬送装置の移動位置、204〜206・・・基板格納箱開閉装置、207・・・ハンドリングアーム、208・・・基板、209・・・制御部、210・・・プリアライメント装置、301・・・基板の裏面を把持する方式のハンドリングアーム、302〜304・・・ガス放出口、305〜307・・・不活性ガスの流れ、308〜310・・・基板接触部、401・・・基板の端や側面・縁(エッジ)を把持する方式のハンドリングアーム、402〜406・・・基板接触部、407〜408・・・不活性ガスの流れ、501・・・ガス放出口、601・・・基板接触部
101: Local cleaning device 102: Fan filter unit 103: Transport device 104:
Claims (11)
前記基板が支持された際に前記基板の外側に位置し、それぞれ異なる方向を向いた複数のガス放出口と、
前記複数のガス放出口を開口端に持つ複数の流路管と、
を備えるハンドリングアーム。 A substrate contact portion for supporting the substrate;
A plurality of gas outlets located on the outside of the substrate when the substrate is supported and directed in different directions;
A plurality of flow path tubes having the plurality of gas discharge ports at the opening end;
Handling arm with
前記複数のガス放出口は、前記基板が支持された際に前記基板の方向を向くように配置されている、
ハンドリングアーム。 The handling arm according to claim 1, wherein
The plurality of gas discharge ports are arranged to face the substrate when the substrate is supported.
Handling arm.
前記複数のガス放出口のそれぞれは、前記基板が支持された際に、前記基板より高い位置、前記基板と高さが同じ位置および前記基板よりも低い位置の少なくとも一つに設けられている、
ハンドリングアーム。 The handling arm according to claim 1, wherein
Each of the plurality of gas discharge ports is provided at least one of a position higher than the substrate, a position at the same height as the substrate, and a position lower than the substrate when the substrate is supported.
Handling arm.
前記ハンドリングアームを駆動する駆動機構と、
バルブの開閉によって前記複数のガス放出口から不活性ガスを供給可能なように前記ハンドリングアームと接続された流路管と、
を備える搬送装置。 A handling arm according to claim 1;
A drive mechanism for driving the handling arm;
A flow path pipe connected to the handling arm such that inert gas can be supplied from the plurality of gas discharge ports by opening and closing a valve;
A transport device comprising:
前記搬送装置が沿って移動するガイドレールと、
前記複数の流路管に設けられたバルブと、前記バルブが開いた状態で前記複数のガス放出口の少なくとも一つから不活性ガスを放出するガス供給部と、
前記搬送装置および前記バルブの動作を制御する制御部と、
を備える局所クリーン化装置。 A plurality of substrate contact portions for supporting the substrate, a plurality of gas discharge ports located on the outside of the substrate when the substrate is supported and facing in different directions, and a plurality of the gas discharge ports at the open end A transfer device connected to a handling arm comprising:
A guide rail along which the transport device moves;
A valve provided to the plurality of flow path pipes, and a gas supply unit which discharges an inert gas from at least one of the plurality of gas discharge ports when the valve is open;
A control unit that controls the operation of the transfer device and the valve;
A local cleaning device comprising:
前記搬送装置は前記制御部の指示によって前記ガイドレール上を移動し、
前記複数のガス放出口の少なくとも一つは、前記搬送装置が前記ガイドレールを移動する際に、前記搬送装置の進行方向の前方から後方に向かって前記不活性ガスを放出する向きであり、且つ、前記基板よりも前記進行方向の前記前方に位置するように配置されている、
局所クリーン化装置。 The local cleaning device according to claim 5, wherein
The transfer device moves on the guide rail according to an instruction of the control unit,
At least one of the plurality of gas discharge ports is a direction in which the inert gas is discharged from the front to the rear in the advancing direction of the transfer device when the transfer device moves the guide rail, and And disposed so as to be positioned forward of the substrate in the traveling direction,
Local cleaning device.
前記制御部は、前記搬送装置が前記ガイドレールを移動する際に、前記進行方向の前記前方から前記後方に向かって前記不活性ガスを放出する向きのガス放出口から前記不活性ガスを放出するよう前記バルブを制御する、
局所クリーン化装置。 7. The local cleaning device according to claim 6, wherein
The control unit discharges the inert gas from a gas discharge port in a direction in which the inert gas is discharged from the front to the rear in the traveling direction when the transport device moves the guide rail. Let's control the valve,
Local cleaning device.
前記制御部は、前記ハンドリングアームの動作回数が規定回数に達したとき、または、前記ハンドリングアームの稼働時間が所定時間に達したときに、前記複数のガス放出口から前記不活性ガスを放出するように前記バルブを制御する、
局所クリーン化装置。 The local cleaning device according to claim 5, wherein
The control unit releases the inert gas from the plurality of gas discharge ports when the number of operations of the handling arm reaches a specified number, or when the operation time of the handling arm reaches a predetermined time. To control the valve as
Local cleaning device.
前記搬送装置が内蔵された空間を与圧するファンフィルタユニットをさらに備え、
前記制御部は、前記複数のガス放出口から前記不活性ガスを放出するときに、前記ファンフィルタユニットの風量を上昇させる、
局所クリーン化装置。 The local cleaning device according to claim 5, wherein
It further comprises a fan filter unit for pressurizing the space in which the transfer device is built,
The control unit increases the air volume of the fan filter unit when releasing the inert gas from the plurality of gas discharge ports.
Local cleaning device.
前記制御部は、前記搬送装置が前記基板を搬送し終わった後に、前記複数のガス放出口の少なくとも一つから前記不活性ガスを放出するように前記バルブを制御する、
局所クリーン化装置。 The local cleaning device according to claim 5, wherein
The control unit controls the valve such that the inert gas is released from at least one of the plurality of gas discharge ports after the transfer device has transferred the substrate.
Local cleaning device.
前記複数のガス放出口のそれぞれは、前記基板が支持された際に、前記基板より高い位置、前記基板と高さが同じ位置および前記基板よりも低い位置の少なくとも一つに設けられている、
局所クリーン化装置。 The local cleaning device according to claim 5, wherein
Each of the plurality of gas discharge ports is provided at least one of a position higher than the substrate, a position at the same height as the substrate, and a position lower than the substrate when the substrate is supported.
Local cleaning device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017241565A JP7002315B2 (en) | 2017-12-18 | 2017-12-18 | Handling arm, transport device and local cleaning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017241565A JP7002315B2 (en) | 2017-12-18 | 2017-12-18 | Handling arm, transport device and local cleaning device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019110184A true JP2019110184A (en) | 2019-07-04 |
JP7002315B2 JP7002315B2 (en) | 2022-01-20 |
Family
ID=67180124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017241565A Active JP7002315B2 (en) | 2017-12-18 | 2017-12-18 | Handling arm, transport device and local cleaning device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7002315B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102628150B1 (en) * | 2023-09-25 | 2024-01-23 | 야스카와 일렉트릭 코퍼레이션 | End effector for semiconductor robot |
KR102678357B1 (en) * | 2023-01-25 | 2024-06-27 | (주)텍슨 | Apparatus for transmitting wafers and equipment for manufacturing semiconductor device having the same |
KR102690599B1 (en) * | 2023-10-24 | 2024-07-31 | 야스카와 일렉트릭 코퍼레이션 | Semiconductor equipment having dehumidification-dry-mode module |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0955418A (en) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Toshiba Microelectron Corp | Wafer conveying device |
JPH11109606A (en) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Nec Corp | Reticle handler |
JP2004119488A (en) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | Vacuum suction apparatus, substrate transport plate, and substrate processing equipment |
JP2009076805A (en) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | Device for transferring substrate and method of controlling down flow |
CN103904010A (en) * | 2014-03-20 | 2014-07-02 | 上海华力微电子有限公司 | Wafer conveying device |
JP2017069357A (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | Sample carrier device |
-
2017
- 2017-12-18 JP JP2017241565A patent/JP7002315B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0955418A (en) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Toshiba Microelectron Corp | Wafer conveying device |
JPH11109606A (en) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Nec Corp | Reticle handler |
JP2004119488A (en) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | Vacuum suction apparatus, substrate transport plate, and substrate processing equipment |
JP2009076805A (en) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | Device for transferring substrate and method of controlling down flow |
CN103904010A (en) * | 2014-03-20 | 2014-07-02 | 上海华力微电子有限公司 | Wafer conveying device |
JP2017069357A (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | Sample carrier device |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102678357B1 (en) * | 2023-01-25 | 2024-06-27 | (주)텍슨 | Apparatus for transmitting wafers and equipment for manufacturing semiconductor device having the same |
KR102628150B1 (en) * | 2023-09-25 | 2024-01-23 | 야스카와 일렉트릭 코퍼레이션 | End effector for semiconductor robot |
KR102690599B1 (en) * | 2023-10-24 | 2024-07-31 | 야스카와 일렉트릭 코퍼레이션 | Semiconductor equipment having dehumidification-dry-mode module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7002315B2 (en) | 2022-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9704727B2 (en) | Efem | |
JP4542043B2 (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using the same | |
JP2019110184A (en) | Handling arm, transfer device, and local cleaning device | |
TWI608876B (en) | Device front-end module, loaded埠 | |
CN102683246B (en) | cover body opening/closing apparatus | |
KR101938041B1 (en) | Substrate treating apparatus | |
KR101985370B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
KR20140123479A (en) | Purging device and purging method for substrate-containing vessel | |
KR101195673B1 (en) | Resist coating and developing apparatus and resist coating and developing method | |
CN109560021B (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and computer storage medium | |
KR102518708B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
TW201418121A (en) | Stocker provided with purging functionality, stocker unit, and method for supplying cleaning gas | |
KR101552805B1 (en) | Conveyance device and substrate processing system | |
JP2015115517A (en) | Wafer transport device and efem | |
US20150235885A1 (en) | Purge system, pod used with purge system, and load port apparatus | |
CN107924857A (en) | Storage appts and keeping method | |
JP6016931B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and semiconductor device manufacturing method | |
JP2000100896A (en) | Method and device for carrying wafer | |
JP2013026504A (en) | Heat treatment apparatus | |
JP5654796B2 (en) | Continuous diffusion processing equipment | |
JP2018514945A (en) | Substrate processing apparatus and chamber cleaning method | |
KR101568050B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2009021440A (en) | Substrate treating apparatus, substrate treating method and storage medium | |
JP7234549B2 (en) | Vacuum transfer module and vacuum transfer method | |
KR20190116103A (en) | Load port and efem |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20201106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20201106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7002315 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |