JP2019105809A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、第1の実施の形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、第1の実施の形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
第1の実施の形態の変形例1では、圧電薄膜の平面形状を変える例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
125 リブ
130A、130B 捻れ梁
140A、140B、172A、172B 連結梁
150A、150B 第1の駆動梁
151A、151B、171A、171B 駆動源
160 可動枠
170A、170B 第2の駆動梁
175A、175B、176A、176B リブ
180 固定枠
190A 端子群
190B 端子群
191、193、194 圧電素子
192、195、196、292 圧電センサ
192a 下部電極
192b、192d、292b 圧電薄膜
192c 中間電極
192e 上部電極
197 配線
198 絶縁膜
200 セラミックパッケージ
210 シリコン基板
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (7)
- 所定の軸に沿ってミラーの両側に配置され、前記ミラーを前記軸の回りに揺動させる一対の捻れ梁と、
各々の前記捻れ梁に連結する一対の連結梁と、
前記連結梁上に形成され、前記ミラーの前記軸の周りの揺動により生じる前記連結梁の変位を検出する圧電センサと、を有し、
前記圧電センサは、
下部電極と、
前記下部電極上に積層された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜上に積層された上部電極と、を備え、
前記圧電薄膜の底面と側面とは傾斜角θをなし、
前記傾斜角θが0°<θ≦50°である光走査装置。 - 所定の軸に沿ってミラーの両側に配置され、前記ミラーを前記軸の回りに揺動させる一対の捻れ梁と、
各々の前記捻れ梁に連結する一対の連結梁と、
前記連結梁上に形成され、前記ミラーの前記軸の周りの揺動により生じる前記連結梁の変位を検出する圧電センサと、を有し、
前記圧電センサは、
下部電極と、
前記下部電極上に積層された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜上に積層された上部電極と、を備え、
前記圧電薄膜の底面と側面とは傾斜角θをなし、
前記軸と各々の前記圧電センサとの距離Lと前記傾斜角θが、θ>50°のとき、L≧8θ−310、を満足する光走査装置。 - 前記圧電センサは、前記下部電極と前記上部電極との間に、中間電極を挟んで積層された複数の圧電薄膜を備え、
前記複数の圧電薄膜の各々の傾斜角θが0°<θ≦50°である請求項1に記載の光走査装置。 - 前記圧電センサは、前記下部電極と前記上部電極との間に、中間電極を挟んで積層された複数の圧電薄膜を備え、
前記複数の圧電薄膜の各々の距離L及び傾斜角θが、θ>50°のとき、L≧8θ−310、を満足する請求項2に記載の光走査装置。 - 前記ミラーを支持するミラー支持部を有し、
前記捻れ梁は前記ミラー支持部を前記軸の両側から支持し、
前記連結梁は、各々の前記捻れ梁の前記ミラー支持部とは反対側の端部と連結し前記軸と垂直方向に延在する部分を有する請求項1乃至4の何れか一項に記載の光走査装置。 - 前記連結梁の前記軸と垂直方向に延在する部分に、前記圧電センサが1つずつ配置されている請求項5に記載の光走査装置。
- 前記圧電薄膜の平面形状は、4隅がR形状とされた略矩形状であり、
前記4隅のうち、前記軸に近い側の2隅のR形状の曲率半径は、前記軸から遠い側の2隅のR形状の曲率半径よりも大きい請求項1乃至6の何れか一項に記載の光走査装置。
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