JP2019096543A - Particle accelerator, particle acceleration system and particle ray medical treatment device - Google Patents

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貴行 佐古
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晋弥 松田
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一哉 大崎
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Abstract

To provide a particle accelerator capable of accelerating high-current beams with a simple accelerator.SOLUTION: The particle accelerator is constructed by installing a plurality of sets of a plurality of acceleration electrodes 22 accelerating ion beams with high-frequency power in a vacuum case 21. The plurality of sets of acceleration electrodes 22 are formed in a blade shape, respectively, and installed in a direction on a plane in the vertical direction to a beam axis. The plurality of sets of acceleration electrodes 22 are installed by arranging two sets thereof in the vertical or horizontal direction on the plane in the vertical direction to the beam axis.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明の実施形態は、粒子加速器、粒子加速システム、及び粒子線治療装置に関する。   Embodiments of the present invention relate to particle accelerators, particle acceleration systems, and particle beam therapy devices.

一般に、イオン源で生成されたイオンビームを加速するには、収束、加速の双方の機能を有する高周波四重極線形加速器(Radio Frequency Quadrupole:以下、RFQと記す。)が広く用いられている。RFQは、互いに対向する2対、合計4個の四重極電極に高周波電力を供給することで、四重極電場を生成する装置である。この四重極電場は、イオンビームを収束させながら加速する。   Generally, in order to accelerate an ion beam generated by an ion source, a radio frequency quadrupole accelerator (hereinafter referred to as RFQ) having both functions of focusing and acceleration is widely used. The RFQ is a device that generates a quadrupole electric field by supplying high-frequency power to two pairs of electrodes facing each other and a total of four quadrupole electrodes. The quadrupole electric field accelerates the ion beam while focusing it.

RFQは、その構造によりいくつかの種類が存在する。その中でも消費電力性能に優れるRFQがある。そのRFQは、互いに対向する2対の四重極電極が真空容器に設置されている4べイン型RFQである。このRFQは、運転モードがTE210モードやTE211モードの四重極電場によりイオンビームを収束させながら加速する。   Several types of RFQ exist depending on their structure. Among them, there is an RFQ which is excellent in power consumption performance. The RFQ is a four-vane RFQ in which two pairs of opposing quadrupole electrodes are placed in a vacuum vessel. This RFQ accelerates while focusing the ion beam by the quadrupole electric field of the operation mode of TE210 mode or TE211 mode.

特許第2641565号公報Patent No. 2641565 特許第5317062号公報Patent No. 5317062

上述した4べイン型のRFQには、高周波電力が供給されることにより四重極電場が生成される。この四重極電場は、上述したようにイオンビームを収束させながら加速させる。イオンビームは、荷電粒子の集合体であり、荷電粒子同士の電気的な斥力により発散する効果、すなわち空間電荷効果が作用する。   In the above-described four-vane RFQ, a quadrupole electric field is generated by supplying high-frequency power. The quadrupole electric field accelerates the ion beam while focusing it as described above. An ion beam is a collection of charged particles, and an effect of diverging due to electric repulsion between charged particles, that is, a space charge effect acts.

RFQは、必要なビーム電流値を得るため、空間電荷効果による荷電粒子の発散を抑えながら、イオンビームを加速させる必要がある。そのため、RFQにより加速可能なビーム電流値には、一定の限界が存在する。   In order to obtain the required beam current value, the RFQ needs to accelerate the ion beam while suppressing the divergence of charged particles due to the space charge effect. Therefore, there is a certain limit to the beam current value that can be accelerated by RFQ.

RFQは、材料照射等の用途によっては、大電流のイオンビームを加速させる必要があり、RFQの加速可能なビーム電流値を上回る場合も存在する。大電流のイオンビームを加速させる場合は、RFQを複数台並列に設置し、その下流側において複数台のRFQでそれぞれ加速したイオンビームを合流させている。あるいは軸方向長さの短い加速器と、イオンビームを収束させる電磁石とを交互に並べる、等の対策が必要である。   In some applications such as material irradiation, RFQ needs to accelerate a high current ion beam, and in some cases, it exceeds the value of RFQ that can be accelerated. In the case of accelerating a large current ion beam, a plurality of RFQs are installed in parallel, and the ion beams accelerated by the plurality of RFQs are merged on the downstream side thereof. Alternatively, it is necessary to take measures such as alternately arranging an accelerator with a short axial length and an electromagnet for focusing the ion beam.

しかしながら、これらのRFQを含む加速器を複数台設置する方法では、それらの電源、冷却システム、及び制御システム等を全ての加速器の台数分用意する必要がある。そのため、加速システム全体として大型化を招き、結果としてフットプリント(占有面積)、製作コスト、調整コスト、及びメンテナンスコストの増大を引き起こすという課題が存在する。   However, in the method of installing a plurality of accelerators including these RFQs, it is necessary to prepare their power supplies, cooling systems, control systems, etc. for the number of all accelerators. Therefore, there is a problem that the acceleration system as a whole leads to an increase in size, resulting in an increase in footprint (occupied area), manufacturing cost, adjustment cost, and maintenance cost.

本実施形態が解決しようとする課題は、単体の加速器で大電流ビームを加速させることができる粒子加速器、粒子加速システム、及び粒子線治療装置を提供することにある。   The problem to be solved by the present embodiment is to provide a particle accelerator, a particle acceleration system, and a particle beam therapy system capable of accelerating a large current beam with a single accelerator.

上記課題を解決するために、本実施形態に係る粒子加速器は、真空容器内に、高周波電力でイオンビームを加速する複数の加速電極を複数組設置したことを特徴とする。   In order to solve the above problems, the particle accelerator according to the present embodiment is characterized in that a plurality of sets of a plurality of acceleration electrodes for accelerating an ion beam with high frequency power are installed in a vacuum vessel.

本実施形態に係る粒子加速システムは、上記実施形態の粒子加速器と、前記粒子加速器の複数のビーム加速領域への各ビーム入射口にそれぞれの一端が接続されたビームダクトと、前記ビームダクトの他端に接続され、複数のイオンビームを生成する粒子生成部と、を備えることを特徴とする。   The particle acceleration system according to the present embodiment includes the particle accelerator of the above embodiment, a beam duct whose one end is connected to each beam entrance to the plurality of beam acceleration regions of the particle accelerator, and the beam duct. And a particle generation unit connected to the end and generating a plurality of ion beams.

本実施形態に係る粒子加速システムは、上記実施形態の粒子加速器と、前記粒子加速器の複数のビーム加速領域からの各ビーム出射口にそれぞれの一端が接続されたビームダクトと、前記ビームダクトの他端に接続され、複数の方向から出射するイオンビームを1つに合流させるビーム合流部と、を備えることを特徴とする。   The particle acceleration system according to the present embodiment includes the particle accelerator of the above embodiment, a beam duct whose one end is connected to each beam outlet from a plurality of beam acceleration regions of the particle accelerator, and the beam duct. And a beam merging unit connected to an end for merging ion beams emitted from a plurality of directions into one.

本実施形態に係る粒子加速システムは、上記実施形態の粒子加速器と、複数のビーム加速領域に対して、同一の高周波タイミングに対して、少なくとも1つのビーム加速領域へのビーム入射を遮断し、前記ビーム加速領域の数よりも少ないビーム加速領域でイオンビーム加速するように制御する制御部と、を備えることを特徴とする。   The particle acceleration system according to the present embodiment blocks the beam incident on at least one beam acceleration region with respect to the same high frequency timing with respect to the particle accelerator of the above embodiment and a plurality of beam acceleration regions, And a control unit configured to control to accelerate the ion beam in a number of beam acceleration regions less than the number of beam acceleration regions.

本実施形態に係る粒子線治療装置は、上記実施形態の粒子加速器と、イオンを生成して引き出し前記粒子加速器に輸送するイオン源と、前記粒子加速器のイオンビームが輸送され、このイオンビームを周回させて所定のエネルギーまで加速するシンクロトロンと、前記シンクロトロンにより加速されたイオンビームを取り出す取出し機器と、前記取出し機器により取り出されたイオンビームを照射対象に照射する照射装置と、を備えることを特徴とする。   The particle beam therapy system according to this embodiment includes the particle accelerator of the above embodiment, an ion source for generating and extracting ions, and transporting the ion beam to the particle accelerator, and the ion beam of the particle accelerator is transported, and the ion beam is circulated. Providing a synchrotron that accelerates to a predetermined energy, an extraction device for extracting the ion beam accelerated by the synchrotron, and an irradiation device for irradiating the irradiation object with the ion beam extracted by the extraction device. It features.

本実施形態によれば、単体の加速器で大電流ビームを加速させることが可能になる。   According to this embodiment, it is possible to accelerate a large current beam with a single accelerator.

粒子加速器の各実施形態を適用した粒子線治療装置の一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the particle beam treatment apparatus to which each embodiment of a particle accelerator is applied. 第1実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the particle accelerator of 1st Embodiment. 図2のIII−III線による断面図である。It is sectional drawing by the III-III line of FIG. 第2実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the particle accelerator of 2nd Embodiment. 第3実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the particle accelerator of 3rd Embodiment. 第4実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the particle accelerator of 4th Embodiment. 図6のVII−VII線による断面図である。It is sectional drawing by the VII-VII line of FIG. 各実施形態を適用した粒子加速システムの第1実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram showing a 1st embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. 各実施形態を適用した粒子加速システムの第2実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram showing a second embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. 各実施形態を適用した粒子加速システムの第3実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram showing a 3rd embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. 図10の制御部の作用を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the operation of the control part of FIG.

以下、本実施形態に係る粒子加速器及びその制御方法、粒子加速システム、粒子線治療装置について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, a particle accelerator and its control method, a particle acceleration system, and a particle beam therapy system according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

(粒子線治療装置)
図1は粒子加速器の各実施形態を適用した粒子線治療装置の一例を示す構成図である。
(Particle radiation therapy device)
FIG. 1 is a block diagram showing an example of a particle beam treatment apparatus to which each embodiment of a particle accelerator is applied.

図1に示すように、粒子線治療装置は、概略的にイオン入射装置20、中間エネルギービーム輸送系(Middle Energy Beam Transport、以下、MEBT系機器と記す)6、シンクロトロン7、取出し機器13、照射装置19を備えている。   As shown in FIG. 1, the particle beam therapy system generally includes an ion injection device 20, a middle energy beam transport system (Middle Energy Beam Transport, hereinafter referred to as MEBT device) 6, a synchrotron 7, an extraction device 13, The irradiation device 19 is provided.

イオン入射装置20、MEBT系機器6、及びシンクロトロン7は、本実施形態のイオン加速装置を構成する。イオン入射装置20は、電子サイクロトロン共鳴(Electron Cyclotron Resonance: ECR)イオン源(以下、ECRイオン源と記す)1、低エネルギービーム輸送系(Low Energy Beam Transport、以下、LEBT系機器と記す)2、粒子加速器としてのRFQ3、ドリフトチューブ線形加速器(Drift Tube Linac、以下、DTLと記す)4、及び荷電変換装置5を備えている。   The ion injection device 20, the MEBT-based device 6, and the synchrotron 7 constitute the ion acceleration device of the present embodiment. The ion injection device 20 includes an electron cyclotron resonance (ECR) ion source (hereinafter referred to as ECR ion source) 1, a low energy beam transport system (hereinafter referred to as LEBT system device) 2, An RFQ 3 as a particle accelerator, a drift tube linear accelerator (hereinafter referred to as DTL) 4, and a charge converter 5 are provided.

シンクロトロン7は、偏向電磁石8、四極電磁石9、六極電磁石10、高周波加速空洞11、及びバンプ電磁石12を備えている。   The synchrotron 7 includes a deflection electromagnet 8, a quadrupole electromagnet 9, a hexapole electromagnet 10, a high frequency acceleration cavity 11, and a bump electromagnet 12.

(作 用)
次に、粒子線治療装置の作用を説明する。
(Operation)
Next, the operation of the particle beam therapy system will be described.

ECRイオン源1は、ガスを電離してプラズマを生成し、電界によりイオンを引き出し、その引出電流は直流である。ECRイオン源1は、多価イオンを生成可能であるが、価数の高いイオンの電流量が小さい。そのため、ECRイオン源1は、がん治療に必要なイオン電流量を確保するため、カーボン4価イオン(C4+)を生成する。なお、カーボン4価イオン以外にも、ECRで生成して治療に供することができるHe等の陽イオンが考えられる。また、高周波の周波数を高くするか、もしくは超電導ECR方式、レーザイオン源方式等で、カーボン5価イオン、カーボン6価イオンを生成することも考えられる。 The ECR ion source 1 ionizes a gas to generate a plasma, and an electric field extracts ions, and the extraction current is direct current. The ECR ion source 1 can generate multiply charged ions, but the amount of current of high valence ions is small. Therefore, the ECR ion source 1 generates carbon tetravalent ions (C 4 + ) in order to secure the amount of ion current necessary for cancer treatment. Besides carbon tetravalent ions, cations such as He that can be generated by ECR and used for treatment are also conceivable. Further, it is also conceivable to increase the frequency of high frequency, or to generate carbon pentavalent ions and carbon hexavalent ions by a superconducting ECR method, a laser ion source method or the like.

ECRイオン源1で生成したイオンは、LEBT系機器2でビーム特性を調整しながら、その下流側に設置したRFQ3、DTL4に輸送される。RFQ3は、イオンビームを電気的に収束及び加速する。DTL4は、イオンビームを電気的に加速する。   Ions generated by the ECR ion source 1 are transported to the RFQ 3 and DTL 4 installed downstream of the LEBT system 2 while adjusting the beam characteristics. The RFQ 3 electrically focuses and accelerates the ion beam. DTL 4 electrically accelerates the ion beam.

DTL4を出射したイオンビームは、荷電変換装置5でカーボン4価イオン(C4+)からカーボン6価イオン(C6+)に変換され、MEBT系機器6を経てシンクロトロン7へ輸送される。 The ion beam emitted from the DTL 4 is converted from carbon tetravalent ions (C 4 + ) to carbon hexavalent ions (C 6 + ) by the charge conversion device 5, and is transported to the synchrotron 7 through the MEBT-based instrument 6.

シンクロトロン7は、イオンビームを多数回、周回させてがん治療に必要なエネルギーまでさらに加速する。具体的には、偏向電磁石8は、周回軌道を作成する。四極電磁石9は、イオンビームの収束をコントロールする。六極電磁石10は、クロマティシティ(色収差)を補正する。高周波加速空洞11は、イオンビームを加速する。   The synchrotron 7 orbits the ion beam many times to further accelerate the energy required for cancer treatment. Specifically, the deflection electromagnet 8 creates an orbit. The quadrupole electromagnet 9 controls the focusing of the ion beam. The hexapole electromagnet 10 corrects the chromatic aberration (chromatic aberration). The high frequency accelerating cavity 11 accelerates the ion beam.

シンクロトロン7により十分なエネルギーまで加速されたイオンビームは、出射用のバンプ電磁石12、取出し機器13を経て出射軌道18から図示しない照射室に輸送される。この照射室内には、照射装置19が設置されている。この照射装置19は、照射対象である患者の患部にイオンビームを照射することで、がん治療が行われる。   The ion beam accelerated to a sufficient energy by the synchrotron 7 is transported from the emission path 18 to the irradiation chamber (not shown) through the bump electromagnet 12 for extraction and the extraction device 13. An irradiation device 19 is installed in the irradiation chamber. The irradiation device 19 performs cancer treatment by irradiating the affected part of a patient to be irradiated with an ion beam.

なお、図1に示す粒子線治療装置では、重粒子線を用いた例について説明したが、これに限らず陽子線を用いた粒子線治療装置にも適用可能である。   In addition, although the example using heavy particle beam was demonstrated in the particle beam therapy apparatus shown in FIG. 1, it is applicable not only to this but to the particle beam therapy apparatus using a proton beam.

(粒子加速器の第1実施形態)
(構 成)
図2は第1実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。図3は図2のIII−III線による断面図である。
(First embodiment of particle accelerator)
(Constitution)
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the particle accelerator of the first embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG.

図2及び図3は、本実施形態の粒子加速器の一例としてRFQ3を示している。図2及び図3に示すように、RFQ3は、単一の真空容器21を備えている。この真空容器21は、空洞の直方体に形成されて共振器となる。真空容器21は、図示しないが長さ方向両端にイオンビームを通過させる開口部が形成されている。   2 and 3 show RFQ 3 as an example of the particle accelerator of the present embodiment. As shown in FIGS. 2 and 3, the RFQ 3 includes a single vacuum vessel 21. The vacuum vessel 21 is formed into a hollow rectangular parallelepiped to be a resonator. Although not shown, the vacuum vessel 21 is formed with openings at both ends in the longitudinal direction for passing the ion beam.

真空容器21には、内壁面において互いに対向する2対、合計4個の加速電極22がイオンビームの進行方向に対して直交する方向の面上、すなわちビーム軸に対して垂直方向の面上における上下方向に2組並んで設置されている。なお、4個の加速電極22は、実際には3個の加速電極22と、1個の共通電極24の上部又は下部とから構成される。以下では、説明を簡素化するため、1個の共通電極24の上部又は下部を含めた加速電極を4個の加速電極22として説明する。   In the vacuum vessel 21, a total of four accelerating electrodes 22 facing each other on the inner wall surface are in pairs in a direction perpendicular to the traveling direction of the ion beam, ie, in a plane perpendicular to the beam axis. Two sets are installed side by side in the vertical direction. The four acceleration electrodes 22 are actually formed of three acceleration electrodes 22 and the upper or lower portion of one common electrode 24. Hereinafter, in order to simplify the description, the acceleration electrodes including the upper and lower portions of one common electrode 24 will be described as four acceleration electrodes 22.

各組の4個の加速電極22は、それぞれ内部に向かって突出し、かつ三角柱の羽(ベイン)状に形成されている。各組の4個の加速電極22には、高周波電力が供給されることで、ビーム加速領域23を構成している。すなわち、各組の4個の加速電極22に囲まれる空間には、イオンビームを加速、収束するための高周波電場、すなわち四重極電場が生成される。   The four accelerating electrodes 22 in each set each project inwardly and are formed in the shape of vanes of a triangular prism. The high-frequency power is supplied to the four acceleration electrodes 22 of each set to configure a beam acceleration region 23. That is, in the space surrounded by the four accelerating electrodes 22 of each set, a high frequency electric field for accelerating and focusing the ion beam, that is, a quadrupole electric field is generated.

各組の4個の加速電極22は、それぞれビーム軸に対して垂直方向の面上に設置されている。各組の4個の加速電極22は、上方及び下方に並んで設置されている。これにより、ビーム加速領域23は、上方及び下方に並んで設置される。   Each set of four accelerating electrodes 22 is disposed on a plane perpendicular to the beam axis. The four accelerating electrodes 22 in each set are disposed side by side above and below. Thereby, the beam acceleration region 23 is installed side by side above and below.

ここで、本実施形態における上下方向とは、ビームラインの大部分を含む基準面に対して垂直な面に並ぶ方向をいう。また、本実施形態における左右方向とは、上記ビームラインの大部分を含む基準面に対して同一平面(通常は水平面)に並ぶ方向をいう。上記基準面とは、通常、建設及び調整の容易さから全て地面に対して水平な面であり、シンクロトロン7を構成する面と同一になる。その他の実施形態も同様とする。   Here, the vertical direction in the present embodiment means a direction aligned in a plane perpendicular to the reference plane including most of the beam line. Further, the left-right direction in the present embodiment means a direction in which the reference plane including most of the beamline is aligned on the same plane (usually, the horizontal plane). The reference plane is usually all horizontal to the ground for ease of construction and adjustment, and is the same as the plane constituting the synchrotron 7. The same applies to the other embodiments.

さらに、シンクロトロン7を水平に設置し、本実施形態の粒子加速器だけを垂直に設置することも可能である。   Furthermore, it is also possible to install the synchrotron 7 horizontally and install only the particle accelerator of this embodiment vertically.

上方に設置された4個の加速電極22は、真空容器21の上面内壁に設置された加速電極22と、真空容器21の上部両側壁にそれぞれ設置された加速電極22と、共通電極24の上部とで構成される。下方に設置された4個の加速電極22は、真空容器21の下面内壁に設置された加速電極22と、真空容器21の下部両側壁にそれぞれ設置された加速電極22と、共通電極24の下部とで構成される。   The four acceleration electrodes 22 disposed above are the acceleration electrode 22 disposed on the upper inner wall of the vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 disposed on the upper both side walls of the vacuum vessel 21, and the upper portion of the common electrode 24. And consists of The four acceleration electrodes 22 disposed below are the acceleration electrode 22 disposed on the lower inner wall of the vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 disposed on the lower both side walls of the vacuum vessel 21, and the lower part of the common electrode 24. And consists of

なお、各組の4個の加速電極22は、上方及び下方に並んで設置されているが、これに限らず左右方向に並んで設置されていてもよい。   In addition, although the four acceleration electrodes 22 of each group are installed side by side above and below, it may be installed side by side not only in this but in the left-right direction.

共通電極24は、2対の加速電極22により構成されるビーム加速領域23を2つ跨るように設置されている。この共通電極24は、上下対称の形状に形成され、上下方向に2つの加速電極22を有する。共通電極24は、例えば支持部25を介して真空容器21と一体加工により形成される。具体的には、共通電極24及び支持部25は、銅等の同一の金属から削り出すか、あるいは積層造形等で一体加工される。   The common electrode 24 is disposed so as to straddle two beam acceleration regions 23 constituted by two pairs of acceleration electrodes 22. The common electrode 24 is formed in a vertically symmetrical shape, and has two acceleration electrodes 22 in the vertical direction. The common electrode 24 is formed, for example, by integral processing with the vacuum vessel 21 via the support portion 25. Specifically, the common electrode 24 and the support portion 25 are cut out of the same metal such as copper or integrally processed by lamination molding or the like.

支持部25は、その両端が真空容器21の長さ方向両端に一体加工により形成されている。支持部25には、長さ方向中央に共通電極24が一体加工により形成されている。なお、本実施形態の支持部25は、断面四角形に形成したが、五角形以上の角形でもよく、あるいは円形、楕円形状に形成したものでもよい。   Both ends of the support portion 25 are integrally formed at both ends in the longitudinal direction of the vacuum vessel 21. A common electrode 24 is integrally formed on the support 25 at the center in the lengthwise direction. In addition, although the support part 25 of this embodiment was formed in the cross-sectional square, it may be a pentagon or more, or may be formed in a circle or an elliptical shape.

真空容器21には、必要に応じて図示しないポートが設けられている。このポートには、例えばターボ分子ポンプ、イオンポンプ、ロータリーポンプ、ドライポンプ、スクロールポンプ等の真空ポンプが接続されている。本実施形態は、その真空ポンプを用いて真空容器21内を直接真空排気している。なお、本実施形態は、真空容器21に図示しない別の真空容器を接続し、外部から間接的に真空排気するように構成してもよい。上記真空ポンプと真空容器21との間には、例えばゲートバルブやバタフライバルブ、ボールバルブ等の真空弁が設置される。これにより、上記真空ポンプと真空容器21を隔離可能な系とすることができる。   The vacuum vessel 21 is provided with a port (not shown) as needed. For example, a vacuum pump such as a turbo molecular pump, an ion pump, a rotary pump, a dry pump, or a scroll pump is connected to this port. In the present embodiment, the inside of the vacuum vessel 21 is directly evacuated using the vacuum pump. In the present embodiment, another vacuum vessel (not shown) may be connected to the vacuum vessel 21 so as to indirectly evacuate from the outside. For example, a vacuum valve such as a gate valve, a butterfly valve, or a ball valve is installed between the vacuum pump and the vacuum vessel 21. Thus, the vacuum pump and the vacuum vessel 21 can be separated.

ここで、加速電極22及び共通電極24の先端は、イオンビームを収束させるため、図示しないが長さ方向に沿って波形に形成されている。この場合、イオンビームの収束力を向上させるため、部分的に平坦部が形成されていてもよい。   Here, the tips of the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 are formed in a waveform along the length direction (not shown) in order to focus the ion beam. In this case, a flat portion may be partially formed to improve the focusing power of the ion beam.

真空容器21、加速電極22及び共通電極24は、それぞれ無酸素銅やタフピッチ銅等の銅を削り出して一体に成形する。あるいは、真空容器21及び加速電極22は、鉄、アルミニウム等で所定の形状に加工した後に導電率を向上させるため、銅等の異種の金属をメッキする方法を用いてもよい。   The vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 are integrally formed by scraping out copper such as oxygen free copper or tough pitch copper. Alternatively, the vacuum container 21 and the acceleration electrode 22 may be plated with different metals such as copper in order to improve conductivity after being processed into a predetermined shape with iron, aluminum or the like.

真空容器21、加速電極22及び共通電極24は、上記のように銅等の同一の金属から削り出すか、あるいは積層造形等で一体加工する他、それぞれを独立で加工した後にゴム製Oリングやインジウムリング、メタルガスケット等の封止部材を用いて真空封止するとともに、フィンガーコンタクト(可動側接触子)等を用いて電気的に接続するようにしてもよい。   The vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 are cut out of the same metal such as copper as described above, or integrally processed by lamination molding, etc., after being processed independently of each other, rubber O-rings or In addition to vacuum sealing using a sealing member such as an indium ring or a metal gasket, electrical connection may be made using finger contacts (movable side contacts) or the like.

これ以外に、真空容器21、加速電極22及び共通電極24は、その間に内部にコイルスプリングを用いたヘリコフレックス構造や中空構造になっている中空メタルOリング等のシール材を挿入した上、ボルト締結、溶接、ロウ付け等の固定手段で固定するように構成してもよい。   In addition to this, the vacuum container 21, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 have a sealing member such as a hollow metal O-ring having a helicoflex structure or a hollow structure using a coil spring in between, and a bolt You may comprise so that it may fix by fixing means, such as fastening, welding, brazing.

なお、真空容器21、加速電極22及び共通電極24は、互いに接触するいずれか一方の接触面に凹部を追加形成し、上記封止部材を固定するようにしてもよい。また、真空容器21には、ポートを設け、このポートにカプラーを接続する。このカプラーを、導波管を介して高周波電源と接続することで、加速電極22間に四重極電場を生成する。真空容器21内にカプラー用ポートとは、別のポートを設け、このポートにアンテナを接続する。このアンテナにネットワークアナライザ等の測定器を接続することで、真空容器21内の電場分布や周波数を測定可能とする構成にすることができる。   The sealing member may be fixed by additionally forming a recess on one of the contact surfaces of the vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 that are in contact with each other. The vacuum vessel 21 is also provided with a port, to which a coupler is connected. The coupler is connected to a high frequency power source via a waveguide to generate a quadrupole electric field between the accelerating electrodes 22. In the vacuum vessel 21, another port is provided to the coupler port, and an antenna is connected to this port. By connecting a measuring instrument such as a network analyzer to this antenna, it is possible to make it possible to measure the electric field distribution and frequency in the vacuum vessel 21.

さらに、真空容器21、加速電極22及び共通電極24には、それぞれ冷却水路を設け、これらの冷却水路に冷却水を供給するようにしてもよい。上記冷却水路は、ガンドリル等で流路を加工し、必要に応じて端部をロウ付け等で封止する他、熱伝導率の高い銅等の金属製パイプや流路を掘り込んだ冷却用のユニットを外部から取り付けることも可能である。   Furthermore, cooling channels may be provided in the vacuum vessel 21, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24, respectively, and cooling water may be supplied to these cooling channels. The above-mentioned cooling channel is processed by gun drill etc., and the end is sealed by brazing etc. if necessary, and it is for cooling made by digging the metal pipe such as copper with high heat conductivity and the flow path It is also possible to mount the unit from the outside.

(作 用)
上記のように構成された本実施形態では、例えば2つのECRイオン源1で生成した2つのイオンがLEBT系機器2においてそれぞれビーム特性が調整されながら、その下流側に設置したRFQ3に2本のイオンビームが輸送される。
(Operation)
In this embodiment configured as described above, for example, two ions generated by the two ECR ion sources 1 are arranged in the downstream side of the RFQ 3 while their beam characteristics are adjusted in the LEBT system device 2. An ion beam is transported.

一方、外部に設置された図示しない高周波電源から真空容器21に高周波電力を供給する。すると、2組内の各組2対の加速電極22により構成される2つのビーム加速領域23にそれぞれ四重極電場が生成される。   On the other hand, high frequency power is supplied to the vacuum vessel 21 from a high frequency power supply (not shown) installed outside. Then, a quadrupole electric field is generated in each of the two beam acceleration regions 23 constituted by the two pairs of acceleration electrodes 22 in two sets.

RFQ3では、各組の加速電極22間、すなわち各組のビーム加速領域23をそれぞれ通過するイオンビームが収束及び加速するための力を受ける。   In the RFQ 3, the ion beam passing between each set of accelerating electrodes 22, that is, each set of beam accelerating regions 23 receives a force for focusing and accelerating.

したがって、本実施形態では、RFQ3が真空容器21の内側において、2対合計4個の加速電極22を上下方向に2組備えているので、単体の加速器で2つのビーム加速領域23を形成することができる。   Therefore, in the present embodiment, since the RFQ 3 is provided with two sets of two pairs of four accelerating electrodes 22 in total in the vertical direction inside the vacuum vessel 21, two beam accelerating regions 23 are formed by a single accelerator. Can.

また、本実施形態では、共通電極24は、支持部25を介して真空容器21と一体加工で形成されているので、共通電極24と真空容器21との間に継目がなくなる。そのため、共通電極24と真空容器21との接触抵抗を低減させることができる。   Further, in the present embodiment, since the common electrode 24 is formed integrally with the vacuum vessel 21 via the support portion 25, there is no seam between the common electrode 24 and the vacuum vessel 21. Therefore, the contact resistance between the common electrode 24 and the vacuum vessel 21 can be reduced.

(効 果)
このように本実施形態によれば、単一の加速器で2つのビーム加速領域23を形成することができるため、単体の加速器で大電流のイオンビームを加速することができる。その結果、加速器をイオンビームの進行方向に複数設置する構成に比べ、加速システム全体として小型化を図り、加速システム全体のフットプリント、機器数、製作コストを低減させることができる。
(Effect)
As described above, according to this embodiment, since two beam acceleration regions 23 can be formed by a single accelerator, a single accelerator can accelerate an ion beam of a large current. As a result, compared to the configuration in which a plurality of accelerators are installed in the traveling direction of the ion beam, the overall acceleration system can be miniaturized, and the footprint, the number of devices, and the manufacturing cost of the entire acceleration system can be reduced.

また、本実施形態によれば、共通電極24と真空容器21との接触抵抗を低減させることができるため、電力損失を減らすことができ、延いては加速器全体の消費電力を削減することができる。その結果、加速器の運転に必要な電源容量を減らすことで、全体コストを低減させることができる。   Further, according to the present embodiment, the contact resistance between the common electrode 24 and the vacuum vessel 21 can be reduced, so that the power loss can be reduced, and hence the power consumption of the entire accelerator can be reduced. . As a result, the overall cost can be reduced by reducing the power supply capacity required for the operation of the accelerator.

さらに、本施形態によれば、各組の4個の加速電極22は、それぞれ三角柱の羽(ベイン)状に形成されているので、棒状に形成した加速電極と比べて、消費電力が抑えられ、電源容量を低下させるとともに、低コスト化を図ることができる。   Furthermore, according to the present embodiment, the four accelerating electrodes 22 in each set are each formed in the shape of a vane (vane) of a triangular prism, so power consumption can be suppressed compared to the accelerating electrodes formed in a rod shape. The power source capacity can be reduced and the cost can be reduced.

(粒子加速器の第2実施形態)
図4は第2実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。なお、前記第1実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。
(Second embodiment of particle accelerator)
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing the particle accelerator of the second embodiment. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted. Different components and operations will be described.

前記第1実施形態では、RFQ3が真空容器21の内側において2対、合計4個の加速電極22を上下方向に2組備えていたが、本実施形態では、RFQ3が真空容器21の内側において2対、合計4個の加速電極22を4組備えている。すなわち、4組の加速電極22は、イオンビームの進行方向に対して直交する方向であって、上下方向に2組、横方向に2組設置されている。   In the first embodiment, the RFQ 3 has two pairs in total of four accelerating electrodes 22 in the vertical direction inside the vacuum vessel 21, but in the present embodiment, the RFQ 3 is two inside the vacuum vessel 21. A pair of four acceleration electrodes 22 in total is provided. That is, the four sets of acceleration electrodes 22 are in a direction perpendicular to the traveling direction of the ion beam, and two sets in the vertical direction and two sets in the lateral direction are installed.

本実施形態では、真空容器21の断面中央にイオンビームの進行方向に沿って隔離部26が設置されている。この隔離部26は、4つのビーム加速領域23を隔離する。また、隔離部26は、真空容器21が前記第1実施形態と比べて大きくなるので、真空容器21を補強する機能も有する。ここで、隔離部26は、断面四角形に形成したが、五角形以上の角形でもよく、あるいは円形、楕円形状に形成したものでもよい。なお、4つのビーム加速領域23の隔離効果を高めるには、断面角形に形成することが望ましい。   In the present embodiment, the separation part 26 is installed at the center of the cross section of the vacuum vessel 21 along the traveling direction of the ion beam. The isolation portion 26 isolates the four beam acceleration regions 23. Moreover, since the vacuum container 21 becomes large compared with the said 1st Embodiment, the isolation part 26 also has a function which reinforces the vacuum container 21. FIG. Here, the isolation portion 26 is formed in a rectangular cross section, but may be a pentagon or more, or may be formed in a circle or an oval. In order to enhance the isolation effect of the four beam acceleration regions 23, it is desirable that the four beam acceleration regions 23 be formed in a rectangular cross section.

したがって、本実施形態では、真空容器21の内側において2対、合計4個の加速電極22を4組備えているので、前記第1実施形態と比べ、単体の加速器で一段と大きな電流のイオンビームを加速することができる。その結果、加速システム全体としてさらなる小型化を図ることができる。   Therefore, in the present embodiment, since four pairs of four accelerating electrodes 22 in total are provided inside the vacuum vessel 21, the ion beam of a much larger current is obtained by a single accelerator as compared with the first embodiment. It can accelerate. As a result, the overall acceleration system can be further miniaturized.

また、本実施形態では、4つのビーム加速領域23を隔離する隔離部26を設置したことにより、4つのビーム加速領域23が高周波的に分離され、高周波電場が理想的な四重極電場に近くなる。   Further, in the present embodiment, the four beam acceleration regions 23 are separated in a high frequency by the provision of the separation portion 26 which separates the four beam acceleration regions 23, and the high frequency electric field is close to the ideal quadrupole electric field. Become.

なお、本実施形態では、2対、合計4個の加速電極22を4組備えた例について説明したが、これに限らず合計4個の加速電極22は、上下方向に3組以上、又は横方向に3組以上並んで設置するようにしてもよい。   In the present embodiment, an example in which four pairs of four pairs of acceleration electrodes 22 are provided has been described. However, the present invention is not limited to this and a total of four acceleration electrodes 22 may be three or more in the vertical direction or horizontal Three or more sets may be arranged side by side in the direction.

(粒子加速器の第3実施形態)
(構 成)
図5は第3実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。なお、前記第1実施形態及び第2実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。
(Third embodiment of particle accelerator)
(Constitution)
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the particle accelerator of the third embodiment. The same components as those in the first embodiment and the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted, and different configurations and operations will be described.

図5に示すように、本実施形態は、上下にそれぞれ設置された加速電極22と共通電極24を有する中央部材14と、加速電極22と共通電極24との間に向かってそれぞれ突出する加速電極22を有する2つの側方部材15,15とを組み合わせることで、真空容器21が構成される。   As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the central electrode 14 having the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 respectively disposed above and below, and the acceleration electrode projecting respectively between the acceleration electrode 22 and the common electrode 24. A vacuum vessel 21 is configured by combining two side members 15, 15 having 22.

すなわち、本実施形態は、2対の加速電極22により構成されるビーム加速領域23を複数に跨る共通電極24が一体加工で形成された中央部材14と、この中央部材14の加速電極22と共通電極24との間に向かってそれぞれ突出して一体加工により形成された2つの側方部材15,15によって真空容器21全体が構成される。   That is, in the present embodiment, the central member 14 formed by integral processing of the common electrode 24 straddling a plurality of beam acceleration regions 23 formed by two pairs of acceleration electrodes 22 and the acceleration electrode 22 of the central member 14 are common. The entire vacuum vessel 21 is constituted by two side members 15 and 15 which are respectively protruded and formed integrally with the electrode 24.

中央部材14及び側方部材15,15は、それぞれ銅等の金属部材を削り出し加工する他、積層造形により形成される。中央部材14及び側方部材15,15は、前記第1実施形態と同様に、ゴム製Oリングやインジウムリング、メタルガスケット等の封止部材を用いて真空封止するとともに、フィンガーコンタクト(可動側接触子)等を用いて電気的に接続するようにしてもよい。これ以外に、中央部材14及び側方部材15,15は、その間に内部にコイルスプリングを用いたヘリコフレックス構造や中空構造になっている中空メタルOリング等のシール材を挿入した上、ボルト締結、溶接、ロウ付け等の固定手段で固定するように構成してもよい。   The central member 14 and the side members 15 and 15 are formed by laminating molding in addition to cutting out and processing a metal member such as copper. The central member 14 and the side members 15, 15 are vacuum sealed using a sealing member such as a rubber O-ring, an indium ring, a metal gasket or the like as in the first embodiment, and a finger contact (movable side They may be electrically connected using contacts or the like. In addition to this, the central member 14 and the side members 15 and 15 have a sealing member such as a hollow metal O-ring having a helicoflex structure or a hollow structure using a coil spring in between, and bolt fastening You may comprise so that it may fix by fixing means, such as welding and brazing.

中央部材14及び側方部材15,15は、互いに接触するいずれか一方の接触面に凹部を追加形成し、上記封止部材を固定するようにしてもよい。   The central member 14 and the side members 15 and 15 may be additionally provided with a recess in one of the contact surfaces in contact with each other to fix the sealing member.

(作 用)
したがって、本実施形態では、中央部材14及び側方部材15,15は、それぞれ一体加工で形成されているため、真空容器21と加速電極22との間に継目がなくなる。そのため、真空容器21と加速電極22との接触抵抗を一段と低減させることができる。
(Operation)
Therefore, in the present embodiment, since the central member 14 and the side members 15 and 15 are each integrally formed, there is no seam between the vacuum vessel 21 and the acceleration electrode 22. Therefore, the contact resistance between the vacuum vessel 21 and the acceleration electrode 22 can be further reduced.

(効 果)
このように本実施形態によれば、真空容器21と加速電極22との接触抵抗が低減することで、電力損失を減らすことができ、延いては加速器全体の消費電力を削減できる。そのため、加速器の運転に必要な電源容量を減少させることができ、全体のコストを低減させることができる。
(Effect)
As described above, according to the present embodiment, by reducing the contact resistance between the vacuum vessel 21 and the acceleration electrode 22, the power loss can be reduced, and the power consumption of the entire accelerator can be reduced. Therefore, the power source capacity required for the operation of the accelerator can be reduced, and the overall cost can be reduced.

(粒子加速器の第4実施形態)
(構 成)
図6は第4実施形態の粒子加速器を示す縦断面図である。図7は図6のVII−VII線による断面図である。なお、前記第1実施形態〜第3実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。
(Fourth embodiment of particle accelerator)
(Constitution)
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing the particle accelerator of the fourth embodiment. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG. The same components as those in the first to third embodiments are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted, and different configurations and operations will be described.

図6及び図7に示すように、本実施形態は、2対の加速電極22により構成されるビーム加速領域23を複数に跨る共通電極24と真空容器21を接続する支持部25に隔離板27が設置されている。この隔離板27は、各ビーム加速領域23を隔離する。   As shown in FIGS. 6 and 7, in this embodiment, a separator 27 is connected to a support 25 that connects a vacuum electrode 21 and a common electrode 24 that spans a plurality of beam acceleration regions 23 formed by two pairs of acceleration electrodes 22. Is installed. The separator 27 separates each beam acceleration area 23.

隔離板27は、金属製である。隔離板27の少なくとも表面は、銅等の金属で真空容器1及び支持部25と一体加工されるか、独立に加工されたものをゴム製Oリングやインジウムリング、メタルガスケット等の封止部材を用いて真空封止するとともに、フィンガーコンタクト(可動側接触子)等を用いて電気的に接続するようにしてもよい。これ以外に、真空容器1、加速電極22及び共通電極24は、その間に内部にコイルスプリングを用いたヘリコフレックス構造や中空構造になっている中空メタルOリング等のシール材を挿入した上、ボルト締結、溶接、ロウ付け等の固定手段で固定するように構成してもよい。   The separator 27 is made of metal. At least the surface of the separator plate 27 is a metal such as copper integrally processed with the vacuum vessel 1 and the support portion 25 or independently processed is a sealing member such as a rubber O ring, an indium ring, a metal gasket, etc. It may be used for vacuum sealing and electrically connected using finger contacts (movable side contacts) or the like. Other than this, the vacuum vessel 1, the acceleration electrode 22 and the common electrode 24 have a sealing member such as a hollow metal O-ring having a helicoflex structure or a hollow structure using a coil spring inside, and a bolt is inserted between them. You may comprise so that it may fix by fixing means, such as fastening, welding, brazing.

隔離板27は、コンダクタンスを向上するために開口部を形成するようにしてもよい。この開口部は、高周波の漏れを防ぐため単一の開口部とする他、複数の開口部が形成されたパンチングメタル形状、又はメッシュ構造であってもよい。   The separator 27 may form an opening to improve the conductance. This opening may be a single opening in order to prevent high frequency leakage, or may be a punching metal shape or a mesh structure in which a plurality of openings are formed.

(作 用)
したがって、本実施形態では、真空容器21内にビーム加速領域23を隔離する隔離板27を設置したことにより、各ビーム加速領域23が高周波的に分離され、かつ各ビーム加速領域23の対称性が向上する。
(Operation)
Therefore, in the present embodiment, by providing the separator 27 for separating the beam acceleration region 23 in the vacuum vessel 21, the beam acceleration regions 23 are separated in high frequency and the symmetry of each beam acceleration region 23 is improves.

また、本実施形態では、隔離板27に開口部を形成することで、各ビーム加速領域23が連通状態となる。そのため、真空容器21内を1台の真空ポンプで真空排気することができる。   Further, in the present embodiment, by forming the opening in the separator plate 27, each beam acceleration region 23 is in the communication state. Therefore, the inside of the vacuum vessel 21 can be evacuated by one vacuum pump.

(効 果)
このように本実施形態によれば、ビーム加速領域23を隔離する隔離板27を設置したことで、各ビーム加速領域23が高周波的に分離され、高周波電場が理想的な四重極電場に近くなり、イオンビームを高精度に収束及び加速させることが可能になる。
(Effect)
As described above, according to the present embodiment, by providing the separators 27 for separating the beam acceleration regions 23, the beam acceleration regions 23 are separated in high frequency and the high frequency electric field is close to the ideal quadrupole electric field. Thus, it is possible to focus and accelerate the ion beam with high accuracy.

なお、本実施形態では、隔離板27により上下方向に2つ並んで設けられたビーム加速領域23を隔離する例について説明したが、これに限らず例えば上下方向に2つ以上、横方向に2つ以上並んで設けられたビーム加速領域23をそれぞれ隔離する場合に適用してもよい。   In the present embodiment, an example in which two beam acceleration regions 23 provided in line in the vertical direction are separated by the separators 27 has been described. However, the present invention is not limited thereto. For example, two or more in the vertical direction and two in the lateral direction The present invention may be applied to the case of separating the beam acceleration regions 23 provided in a row or more.

(粒子加速システムの第1実施形態)
(構 成)
図8は各実施形態を適用した粒子加速システムの第1実施形態を示すブロック図である。なお、前記第1実施形態〜第5実施形態の粒子加速器と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。
First Embodiment of Particle Acceleration System
(Constitution)
FIG. 8 is a block diagram showing a first embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the particle accelerator of said 1st Embodiment-5th Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted, and a different structure and effect | action are demonstrated.

図8に示すように、本実施形態の粒子加速システムは、RFQ3がビームダクト28を介して粒子生成部29に接続されている。具体的には、RFQ3のビーム加速領域23への各ビーム入射口となる複数の開口部のそれぞれに複数のビームダクト28の一端が接続される。   As shown in FIG. 8, in the particle acceleration system of the present embodiment, the RFQ 3 is connected to the particle generator 29 via the beam duct 28. Specifically, one end of each of a plurality of beam ducts 28 is connected to each of a plurality of openings which are beam entrances to the beam acceleration region 23 of the RFQ 3.

各ビームダクト28は、真空容器21の加速電極22の先端部の波型形状の波高が小さい側の端部に接続される。各ビームダクト28は、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属製の真空容器である。各ビームダクト28は、粒子生成部29によって生成されたイオンビームをRFQ3に輸送する。   Each of the beam ducts 28 is connected to the end of the tip of the acceleration electrode 22 of the vacuum vessel 21 at the side of the smaller wave height of the wave shape. Each beam duct 28 is a vacuum vessel made of metal such as stainless steel or aluminum. Each beam duct 28 transports the ion beam generated by the particle generator 29 to the RFQ 3.

なお、ビームダクト28には、電圧を印加するため、途中にセラミックスやガラスエポキシ等の絶縁体を挿入してもよい。   In order to apply a voltage to the beam duct 28, an insulator such as ceramic or glass epoxy may be inserted in the middle.

ビームダクト28のRFQ3と対向する側、すなわちビームダクト28の他端には、粒子生成部29が接続される。この粒子生成部29は、イオンビームを生成する真空容器である。粒子生成部29は、図1に示すECRイオン源1の他、PIG(Penning又はPhillips Ionization Gauge)イオン源、レーザイオン源等のイオン源や、電子銃等各種の電子生成源が用いられる。   A particle generation unit 29 is connected to the side of the beam duct 28 facing the RFQ 3, that is, the other end of the beam duct 28. The particle generator 29 is a vacuum vessel that generates an ion beam. As the particle generation unit 29, in addition to the ECR ion source 1 shown in FIG. 1, an ion source such as a PIG (Penning or Phillips Ionization Gauge) ion source, a laser ion source, or various electron generation sources such as an electron gun are used.

ビームダクト28には、イオンビームを輸送するため、双極磁石,四重極磁石,六重極磁石等の各種電磁石や永久磁石、アインツェルレンズ等の静電レンズ、ターボ分子ポンプ,イオンポンプ,ロータリーポンプ,ドライポンプ,スクロールポンプ等の真空ポンプ、ワイヤーモニタ,ドリフトチェンバ,パラレルプレートアバランチチェンバ,プラスチックシンチレータ,液体シンチレータ,NaIシンチレータ,デマルケスト,ファラデーカップ,カレントトランス(CT)等の各種ビーム電流測定器、スリット等が接続されていてもよい。   In order to transport the ion beam, various electromagnets and permanent magnets such as a dipole magnet, quadrupole magnet and hexapole magnet, electrostatic lenses such as an Einzel lens, a turbo molecular pump, an ion pump, a rotary Pumps, dry pumps, vacuum pumps such as scroll pumps, wire monitors, drift chambers, parallel plate avalanche chambers, plastic scintillators, liquid scintillators, NaI scintillators, demarquestes, faraday cups, various beam current measuring instruments such as current transformers (CT), A slit or the like may be connected.

粒子生成部29は、複数(本実施形態では2つ)のビーム取出口を有し、各ビーム取出口が各ビームダクト28と接続されている。粒子生成部29は、各ビーム取出し口の電場等の安定性を向上させるため、各ビーム取出し口を隔てる隔離板を設置してもよい。この隔離板は、コンダクタンスを向上するために開口部を形成するようにしてもよい。この開口部は、高周波の漏れを防ぐため単一の開口部とする他、複数の開口部が形成されたパンチングメタル形状、又はメッシュ構造であってもよい。   The particle generator 29 has a plurality of (two in the present embodiment) beam outlets, and each beam outlet is connected to each beam duct 28. The particle generator 29 may be provided with separators for separating the beam outlets in order to improve the stability of the electric field and the like of the beam outlets. The separator may form an opening to improve the conductance. This opening may be a single opening in order to prevent high frequency leakage, or may be a punching metal shape or a mesh structure in which a plurality of openings are formed.

(作 用)
したがって、本実施形態では、粒子生成部29で生成された2本のイオンビームが2つのビームダクト28を介してRFQ3の真空容器21に輸送される。この真空容器21では、複数のビーム加速領域23で2本のイオンビームがそれぞれ加速及び収束される。
(Operation)
Therefore, in the present embodiment, the two ion beams generated by the particle generation unit 29 are transported to the vacuum vessel 21 of the RFQ 3 via the two beam ducts 28. In the vacuum chamber 21, two ion beams are accelerated and focused in a plurality of beam acceleration regions 23 respectively.

(効 果)
このように本実施形態によれば、単一の粒子生成部29で複数のイオンビームを生成し、これらのイオンビームを単一の真空容器21で加速することができる。複数の粒子生成部29と複数のRFQ3を用意する場合に比べ、加速システム全体のフットプリント、機器数、製作コストを低減させることができる。
(Effect)
As described above, according to the present embodiment, a single particle generation unit 29 can generate a plurality of ion beams, and these ion beams can be accelerated by a single vacuum vessel 21. The footprint, the number of devices, and the manufacturing cost of the entire acceleration system can be reduced as compared to the case where a plurality of particle generation units 29 and a plurality of RFQs 3 are prepared.

(粒子加速システムの第2実施形態)
(構 成)
図9は各実施形態を適用した粒子加速システムの第2実施形態を示すブロック図である。なお、前記第1実施形態〜第5実施形態の粒子加速器と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。
Second Embodiment of Particle Acceleration System
(Constitution)
FIG. 9 is a block diagram showing a second embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the particle accelerator of said 1st Embodiment-5th Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted, and a different structure and effect | action are demonstrated.

図9に示すように、本実施形態の粒子加速システムは、RFQ3がビームダクト30を介してビーム合流部31に接続されている。具体的には、RFQ3のビーム加速領域23のビーム出射口となる複数の開口部のそれぞれに複数のビームダクト30の一端が接続される。   As shown in FIG. 9, in the particle acceleration system of this embodiment, the RFQ 3 is connected to the beam merging section 31 via the beam duct 30. Specifically, one end of each of the plurality of beam ducts 30 is connected to each of the plurality of openings serving as the beam exit of the beam acceleration region 23 of the RFQ 3.

各ビームダクト30は、真空容器21の加速電極22の先端部の波型形状の波高が大きい側の端部に接続される。各ビームダクト30は、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属製の真空容器であり、イオンビームを輸送する。   Each of the beam ducts 30 is connected to the end of the tip of the acceleration electrode 22 of the vacuum vessel 21 where the wave shape of the wave shape is large. Each beam duct 30 is a vacuum vessel made of metal such as stainless steel or aluminum, and transports the ion beam.

なお、ビームダクト30には、電圧を印加するため、途中にセラミックスやガラスエポキシ等の絶縁体を挿入してもよい。   In order to apply a voltage to the beam duct 30, an insulator such as ceramic or glass epoxy may be inserted in the middle.

ビームダクト30には、イオンビームを輸送するため、双極磁石,四重極磁石,六重極磁石等の各種電磁石や永久磁石、アインツェルレンズ等の静電レンズ、ターボ分子ポンプ,イオンポンプ,ロータリーポンプ,ドライポンプ,スクロールポンプ等の真空ポンプ、ワイヤーモニタ,ドリフトチェンバ,パラレルプレートアバランチチェンバ,プラスチックシンチレータ,液体シンチレータ,NaIシンチレータ,デマルケスト,ファラデーカップ,カレントトランス(CT)等の各種ビーム電流測定器、スリット等が接続されてもよい。   In order to transport the ion beam, various electromagnets and permanent magnets such as a dipole magnet, a quadrupole magnet and a hexapole magnet, an electrostatic lens such as an Einzel lens, a turbo molecular pump, an ion pump, a rotary Pumps, dry pumps, vacuum pumps such as scroll pumps, wire monitors, drift chambers, parallel plate avalanche chambers, plastic scintillators, liquid scintillators, NaI scintillators, demarquestes, faraday cups, various beam current measuring instruments such as current transformers (CT), A slit or the like may be connected.

ビームダクト30の真空容器21と対向する側にビーム合流部31が接続される。このビーム合流部31は、双極磁石等の電磁石や永久磁石、静電デフレクター等の電磁力を利用してイオンビームの軌道を偏向させる装置が真空容器21と共に用いられる。ビーム合流部31には、出射ビームダクト32が接続される。   The beam merging portion 31 is connected to the side of the beam duct 30 facing the vacuum vessel 21. In the beam merging portion 31, a device for deflecting the trajectory of an ion beam by using an electromagnetic force such as an electromagnet such as a dipole magnet or a permanent magnet or an electrostatic deflector is used together with the vacuum vessel 21. An outgoing beam duct 32 is connected to the beam merging section 31.

出射ビームダクト32は、イオンビームを輸送するステンレス鋼やアルミニウム等の金属製の真空容器である。なお、出射ビームダクト32は、電圧を印加するため、途中にセラミックスやガラスエポキシ等の絶縁体を挿入してもよい。出射ビームダクト32がさらにリチウムやベリリウム等の中性子生成標的と接続されることで、中性子源として利用することもできる。この場合には、例えばホウ素中性子捕捉療法等の粒子源として利用可能である。   The outgoing beam duct 32 is a vacuum vessel made of metal such as stainless steel or aluminum for transporting the ion beam. In addition, in the outgoing beam duct 32, in order to apply a voltage, an insulator such as ceramic or glass epoxy may be inserted midway. The exit beam duct 32 can further be used as a neutron source by being connected to a neutron generation target such as lithium or beryllium. In this case, it can be used, for example, as a particle source such as boron neutron capture therapy.

また、出射ビームダクト32には、図1に示すようにDTL4、シンクロトロン7又は図示しないサイクトロン等の後段加速器を接続し、陽子線治療や炭素線治療等の粒子線がん治療装置として利用することもできる。   In addition, as shown in FIG. 1, a post-stage accelerator such as DTL 4 or synchrotron 7 (not shown) is connected to the outgoing beam duct 32, and used as particle beam cancer treatment apparatus such as proton beam therapy or carbon beam therapy. It can also be done.

さらに、出射ビームダクト32には、重イオン慣性核融合のエネルギードライバーとして利用することもできる他、半導体製造の際のイオン注入等にも利用することができる。   Furthermore, the emission beam duct 32 can be used as an energy driver for heavy ion inertial fusion, and can also be used for ion implantation and the like in the semiconductor manufacturing.

(作 用)
したがって、本実施形態では、RFQ3の真空容器21で加速された複数のイオンビームがビーム合流部31によりその軌道が曲げられ、出射ビームダクト32において一つのイオンビームとして取り出すことができる。
(Operation)
Therefore, in the present embodiment, a plurality of ion beams accelerated by the vacuum vessel 21 of the RFQ 3 are bent in their trajectories by the beam joining portion 31 and can be extracted as one ion beam in the outgoing beam duct 32.

(効 果)
このように本実施形態によれば、比較的電流値の小さい複数のイオンビームを単一の大電流ビームとして取り出すことができる。そのため、RFQ3をイオンビームの進行方向に対して複数設置する構成に比べ、同一のビーム電流値を得るための加速システム全体の小型化が図れる。その結果、加速システム全体のフットプリント、機器数、製作コストを低減させることができる。
(Effect)
As described above, according to this embodiment, a plurality of ion beams having relatively small current values can be extracted as a single large current beam. Therefore, as compared with the configuration in which a plurality of RFQs 3 are installed in the traveling direction of the ion beam, the entire acceleration system for obtaining the same beam current value can be miniaturized. As a result, the footprint, the number of devices, and the manufacturing cost of the entire acceleration system can be reduced.

(粒子加速システムの第3実施形態)
(構 成)
図10は各実施形態を適用した粒子加速システムの第3実施形態を示すブロック図である。図11は図10の制御部の作用を示すタイミングチャートである。
Third Embodiment of Particle Acceleration System
(Constitution)
FIG. 10 is a block diagram showing a third embodiment of a particle acceleration system to which each embodiment is applied. FIG. 11 is a timing chart showing the operation of the control unit of FIG.

なお、前記第1実施形態〜第5実施形態の粒子加速器と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、異なる構成及び作用を説明する。また、本実施形態では、一例として2対の加速電極22により構成されるビーム加速領域23を合計3つ設けた場合の真空容器21について説明する。さらに、以下の説明では、それぞれのビーム加速領域を第1領域、第2領域、第3領域と記す。   In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the particle accelerator of said 1st Embodiment-5th Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted, and a different structure and effect | action are demonstrated. Further, in the present embodiment, the vacuum vessel 21 in the case where a total of three beam acceleration regions 23 configured by two pairs of acceleration electrodes 22 are provided will be described as an example. Furthermore, in the following description, each beam acceleration region is referred to as a first region, a second region, and a third region.

図10及び図11に示すように、パルス状の高周波信号(RF:Radio Frequency信号、以下、RF信号と記す)34が高周波電力の投入(供給)タイミングを制御している。RF信号34がHIGHの時、高周波電力がRFQ3の真空容器21に供給される。RF信号34は、クロックジェネレータ、パルスファンクションジェネレータ等により生成され、必要に応じてゲートジェネレータやコンパレータ等の制御回路によって間引き等を行う。   As shown in FIGS. 10 and 11, a pulse-shaped high frequency signal (RF: Radio Frequency signal, hereinafter referred to as an RF signal) 34 controls the input (supply) timing of high frequency power. When the RF signal 34 is HIGH, high frequency power is supplied to the vacuum vessel 21 of the RFQ 3. The RF signal 34 is generated by a clock generator, a pulse function generator or the like, and is thinned out by a control circuit such as a gate generator or a comparator as needed.

本実施形態では、RF信号34がRFQ3の真空容器21に入射するビームタイミングを図10に示す制御部33により制御している。この制御部33は、3つのビーム加速領域23に対して2つ以下のビーム加速領域23にのみ、イオンビームが入射するシーケンスを構築している。このイオンビームは、粒子生成部29により生成される。   In the present embodiment, the timing at which the RF signal 34 enters the vacuum vessel 21 of the RFQ 3 is controlled by the control unit 33 shown in FIG. The control unit 33 constructs a sequence in which the ion beam is incident only on two or less beam acceleration regions 23 with respect to the three beam acceleration regions 23. The ion beam is generated by the particle generator 29.

具体的には、例えばRF信号34がHIGHの最初のタイミングにおいて、第1領域ビームタイミング35及び第2領域ビームタイミング36のみがHIGHであり、第3領域ビームタイミング37はLOWとなり、3つのビーム加速領域23のうち、第1領域及び第2領域のみのイオンビームが加速される。   Specifically, for example, at the first timing when the RF signal 34 is HIGH, only the first area beam timing 35 and the second area beam timing 36 are HIGH, the third area beam timing 37 is LOW, and three beams are accelerated. Of the regions 23, the ion beam in only the first region and the second region is accelerated.

同様に、RF信号34が次のHIGHのタイミングにおいて、第1領域ビームタイミング35及び第3領域ビームタイミング37のみがHIGHであり、第2領域ビームタイミング36はLOWとなり、3つのビーム加速領域23のうち、第1領域及び第3領域のみのイオンビームが加速される。   Similarly, at the next HIGH timing of the RF signal 34, only the first area beam timing 35 and the third area beam timing 37 are HIGH, and the second area beam timing 36 is LOW, and the three beam acceleration areas 23 Among them, the ion beam in only the first and third regions is accelerated.

制御部33は、3個のビーム加速領域23のうち、第1領域及び第2領域のみ、第1領域及び第3領域のみ、第2領域及び第3領域のみのイオンビームが加速される信号を生成する。この場合、RF信号34に対して間引いた回数の全領域ビーム加速可能なタイミングを生成してもよい。   The control unit 33 controls the ion beam of only the first and second regions, the first and third regions, and the second and third regions of the three beam acceleration regions 23 to be accelerated. Generate In this case, it is also possible to generate the timing capable of accelerating the entire region of the beam a number of times reduced for the RF signal 34.

これらの制御信号は、種々の制御部により生成されるが、これと同期したビーム入射の制御方法としては、制御信号と同期したゲートバルブ等の真空弁やビームライン上の遮蔽物の開閉動作や退避動作、キッカーや電磁石等の電気ないし磁気によるビームの偏向角の変更、イオン源の投入RFタイミングとの同期、レーザイオン源であれば入射レーザのタイミングとの同期等の方法で実現可能である。   These control signals are generated by various control units, and as a control method of beam incidence synchronized with this, a vacuum valve such as a gate valve synchronized with the control signal, an opening / closing operation of a shield on a beam line, It can be realized by a method such as retraction operation, change of deflection angle of beam by electricity or magnetism such as kicker or electromagnet, synchronization with input RF timing of ion source, synchronization with timing of incident laser for laser ion source, etc. .

(作 用)
したがって、本実施形態では、RF信号34のタイミングにおいて、1つのビーム加速領域23へのイオンビームの入射を遮断し、ビーム加速領域23の数よりも少ないビーム加速領域23でイオンビームを加速するようにしている。
(Operation)
Therefore, in the present embodiment, at the timing of the RF signal 34, the incidence of the ion beam to one beam acceleration region 23 is blocked, and the ion beam is accelerated in the beam acceleration regions 23 smaller than the number of beam acceleration regions 23. I have to.

すなわち、本実施形態では、任意のタイミングにおいてイオンビームを加速するビーム加速領域23の数を真空容器21の構造上の加速領域数から変更するようにしている。   That is, in the present embodiment, the number of beam acceleration regions 23 for accelerating the ion beam at any timing is changed from the number of acceleration regions on the structure of the vacuum vessel 21.

(効 果)
このように本実施形態によれば、ビーム電流値に応じてビーム加速領域23の数を変更することができる。そのため、大電流のイオンビームが同時に輸送され、ビームローディングによる消費電力の増大、及び発熱量の増大を回避することができる。その結果、RFQ3をイオンビームの進行方向に対して複数設置する構成に比べ、同一のビーム電流値を得るための加速システム全体のフットプリント、機器数、製作コストを低減させることができる。
(Effect)
As described above, according to the present embodiment, the number of beam acceleration regions 23 can be changed according to the beam current value. Therefore, a large current ion beam is simultaneously transported, and an increase in power consumption and an increase in calorific value due to beam loading can be avoided. As a result, compared to the configuration in which a plurality of RFQs 3 are installed in the traveling direction of the ion beam, the footprint, the number of devices, and the manufacturing cost of the entire acceleration system for obtaining the same beam current value can be reduced.

なお、本実施形態では、ビーム加速領域23が合計3つの場合の真空容器21の場合、ビーム加速領域23に対して2つ以下の加速領域にのみイオンビームが入射するシーケンスを構築したが、ビーム加速領域23が合計4つ以上で、入射するイオンビームが3つ以上でもよい。   In the present embodiment, in the case of the vacuum vessel 21 in the case of a total of three beam acceleration regions 23, a sequence in which the ion beam is incident on only two or less acceleration regions with respect to the beam acceleration region 23 was constructed. The acceleration region 23 may be four or more in total, and the number of incident ion beams may be three or more.

(その他の実施形態)
本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
(Other embodiments)
Although the embodiments of the present invention have been described, this embodiment is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention. This embodiment can be implemented in other various forms, and various omissions, replacements, changes, and combinations can be made without departing from the scope of the invention. This embodiment and its modifications are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof as well as included in the scope and the gist of the invention.

1…ECRイオン源、2…LEBT系機器、3…RFQ(粒子加速器)、4…DTL、5…荷電変換装置、6…MEBT系機器、7…シンクロトロン、8…偏向電磁石、9…四極電磁石、10…六極電磁石、11…高周波加速空洞、12…バンプ電磁石、13…取出し機器、14…中央部材、15…側方部材、18…出射軌道、19…照射装置、20…イオン入射装置、21…真空容器、22…加速電極、23…ビーム加速領域、24…共通電極、25…支持部、26…隔離部、27…隔離板、28…ビームダクト、29…粒子生成部、30…ビームダクト、31…ビーム合流部、32…出射ビームダクト、33…制御部、34…RF信号、35…第1領域ビームタイミング、36…第2領域ビームタイミング、37…第3領域ビームタイミング   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... ECR ion source, 2 ... LEBT system apparatus, 3 ... RFQ (particle accelerator), 4 ... DTL, 5 ... Charge conversion apparatus, 6 ... MEBT system apparatus, 7 ... Synchrotron, 8 ... deflection electromagnet, 9 ... quadrupole electromagnet , 10: hexapole electromagnet, 11: high frequency acceleration cavity, 12: bump electromagnet, 13: takeout device, 14: central member, 15: side member, 18: emission path, 19: irradiation device, 20: ion injection device, DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Vacuum vessel, 22 ... Acceleration electrode, 23 ... Beam acceleration area | region 24 ... Common electrode, 25 ... Support part, 26 ... Separation part, 27 ... Separator plate, 28 ... Beam duct, 29 ... Particle production part, 30 ... Beam Duct 31 31 beam merging portion 32 outgoing beam duct 33 control portion 34 RF signal 35 first region beam timing 36 second region beam timing 37 third region beam timing Grayed

Claims (14)

真空容器内に、高周波電力でイオンビームを加速する複数の加速電極を複数組設置したことを特徴とする粒子加速器。   A particle accelerator comprising a plurality of sets of acceleration electrodes for accelerating an ion beam with high frequency power in a vacuum chamber. 前記複数組の加速電極は、それぞれ羽状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to claim 1, wherein the plurality of sets of accelerating electrodes are formed in a wing shape, respectively. 前記複数組の加速電極は、それぞれビーム軸に対して垂直方向の面上に設置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to claim 1 or 2, wherein the plurality of sets of accelerating electrodes are disposed on planes perpendicular to the beam axis. 前記複数組の加速電極は、前記ビーム軸に対して垂直方向の面上に2組並んで設置されていることを特徴とする請求項3に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to claim 3, wherein the plurality of sets of accelerating electrodes are arranged in two sets on a plane perpendicular to the beam axis. 前記複数組の加速電極は、それぞれ互いに対向する2対の加速電極により構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of sets of accelerating electrodes are constituted by two pairs of accelerating electrodes facing each other. 複数組のそれぞれの2対の加速電極は、それぞれビーム加速領域を構成していることを特徴とする請求項5に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to claim 5, wherein each of the plurality of sets of two pairs of acceleration electrodes constitutes a beam acceleration region. 前記ビーム加速領域を複数に跨る共通電極が設置され、この共通電極が支持部を介して前記真空容器と一体に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の粒子加速器。   7. The particle accelerator according to claim 6, wherein a common electrode straddling a plurality of the beam acceleration regions is disposed, and the common electrode is integrally formed with the vacuum vessel via a support. 前記2対の加速電極により構成されるビーム加速領域を複数に跨る共通電極が前記真空容器と一体で形成され、かつ前記ビーム軸に対して垂直方向の面上における上下にそれぞれ加速電極が設置された中央部材と、
前記中央部材の前記共通電極と前記加速電極との間に向かって突出する加速電極がそれぞれ一体に形成された2つの側方部材と、
を備えることを特徴とする請求項6に記載の粒子加速器。
A common electrode straddling a plurality of beam acceleration regions constituted by the two pairs of acceleration electrodes is integrally formed with the vacuum vessel, and the acceleration electrodes are respectively disposed above and below in a plane perpendicular to the beam axis. A central member,
Two side members integrally formed with an acceleration electrode projecting toward the space between the common electrode of the central member and the acceleration electrode;
The particle accelerator according to claim 6, comprising:
前記複数のビーム加速領域を隔離する隔離板がさらに設置されていることを特徴とする請求項6に記載の粒子加速器。   The particle accelerator according to claim 6, further comprising a separator for separating the plurality of beam acceleration regions. 前記複数組の加速電極は、前記ビーム軸に対して垂直方向の面上における上下又は左右方向に並んで設置されていることを特徴とする請求項4に記載の粒子加速器。   5. The particle accelerator according to claim 4, wherein the plurality of sets of accelerating electrodes are arranged side by side vertically or laterally on a plane perpendicular to the beam axis. 請求項1ないし10のいずれか一項に記載の粒子加速器と、
前記粒子加速器の複数のビーム加速領域への各ビーム入射口にそれぞれの一端が接続されたビームダクトと、
前記ビームダクトの他端に接続され、複数のイオンビームを生成する粒子生成部と、
を備えることを特徴とする粒子加速システム。
A particle accelerator according to any one of the preceding claims,
A beam duct whose one end is connected to each beam entrance to the plurality of beam acceleration regions of the particle accelerator;
A particle generator connected to the other end of the beam duct for generating a plurality of ion beams;
A particle acceleration system comprising:
請求項1ないし10のいずれか一項に記載の粒子加速器と、
前記粒子加速器の複数のビーム加速領域からの各ビーム出射口にそれぞれの一端が接続されたビームダクトと、
前記ビームダクトの他端に接続され、複数の方向から出射するイオンビームを1つに合流させるビーム合流部と、
を備えることを特徴とする粒子加速システム。
A particle accelerator according to any one of the preceding claims,
A beam duct whose one end is connected to each beam exit from the plurality of beam acceleration regions of the particle accelerator;
A beam merging unit connected to the other end of the beam duct for merging ion beams emitted from a plurality of directions into one;
A particle acceleration system comprising:
請求項1ないし10のいずれか一項に記載の粒子加速器と、
複数のビーム加速領域に対して、同一の高周波タイミングに対して、少なくとも1つのビーム加速領域へのビーム入射を遮断し、前記ビーム加速領域の数よりも少ないビーム加速領域でイオンビーム加速するように制御する制御部と、
を備えることを特徴とする粒子加速システム。
A particle accelerator according to any one of the preceding claims,
For multiple beam acceleration regions, block the beam incidence to at least one beam acceleration region for the same high frequency timing, and accelerate the ion beam in the beam acceleration regions smaller than the number of the beam acceleration regions A control unit to control
A particle acceleration system comprising:
請求項1ないし10のいずれか一項に記載の粒子加速器と、
イオンを生成して引き出し前記粒子加速器に輸送するイオン源と、
前記粒子加速器のイオンビームが輸送され、このイオンビームを周回させて所定のエネルギーまで加速するシンクロトロンと、
前記シンクロトロンにより加速されたイオンビームを取り出す取出し機器と、
前記取出し機器により取り出されたイオンビームを照射対象に照射する照射装置と、
を備えることを特徴とする粒子線治療装置。
A particle accelerator according to any one of the preceding claims,
An ion source for generating and extracting ions for transport to the particle accelerator;
A synchrotron which transports the ion beam of the particle accelerator and circulates the ion beam to accelerate to a predetermined energy;
An extracting device for extracting the ion beam accelerated by the synchrotron;
An irradiation device for irradiating an irradiation object with the ion beam extracted by the extraction device;
A particle beam treatment apparatus comprising:
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