JP2019084058A - 研磨パッド - Google Patents

Abstract

【課題】曲げるために必要な力を低減することができる研磨パッドを提供する。【解決手段】研磨パッドは、不織布で構成される基材を備える研磨パッドであって、基材は、厚み方向と直交する第１の方向と、厚み方向及び第１の方向と直交する第２の方向と、に広がる平板状の形状をなし、基材は、第１の方向に延びると共に第２の方向に配列された複数のブロックに区画され、一対のブロック同士の間には、第１の方向に延びる境界部が形成され、境界部には、基材を厚み方向に貫通し、且つ第１の方向に延びる複数のスリットが形成され、境界部において、複数のスリットは、第１の方向に互いに離間して配置され、第２の方向に隣り合う一対のブロック同士は、スリット間に形成された接続部にて互いに接続されている。【選択図】図１

Description

本発明は、研磨パッドに関する。

従来、不織布で構成される基材を備える研磨パッドが知られている。例えば、特許文献１の研磨パッドは、対象物に付着した汚れを除去するために、対象物のすり磨きを行うのに用いられる。

特開２０１１−１８９１８９号公報

ここで、作業者が研磨パッドを用いて清掃を行う時に、対象物の形状に合わせて、研磨パッドを曲げる場合がある。作業者は、研磨パッドを曲げた状態を維持しながら、対象物のすり磨きを行う。このような研磨パッドでは、作業者が研磨パッドを曲げる際に、曲げるために研磨パッドに力を付与する必要がある。従って、作業の容易性の観点から、研磨パッドを曲げるために必要な力を低減することが要請されていた。

本発明の一形態に係る研磨パッドは、不織布で構成される基材を備える研磨パッドであって、基材は、厚み方向と直交する第１の方向と、厚み方向及び第１の方向と直交する第２の方向と、に広がる平板状の形状をなし、基材は、第１の方向に延びると共に第２の方向に配列された複数のブロックに区画され、一対のブロック同士の間には、第１の方向に延びる境界部が形成され、境界部には、基材を厚み方向に貫通し、且つ第１の方向に延びる複数のスリットが形成され、境界部において、複数のスリットは、第１の方向に互いに離間して配置され、第２の方向に隣り合う一対のブロック同士は、スリット間に形成された接続部にて互いに接続されている。

本発明によれば、曲げるために必要な力を低減することができる研磨パッドを提供することができる。

図１は、実施形態に係る研磨パッドの斜視図である。 図２（ａ）は、研磨パッドをＸ軸方向から見た図であり、図２（ｂ）は、研磨パッドを曲げた時にＸ軸方向から見た図である。 図３は、研磨パッドを曲げた時のスリットの状態を厚み方向から見たときの様子を示す図である。 図４は、一つあたりのブロックのＹ軸方向における寸法を決定するためのモデルを示す図である。 図５（ａ）は、比較例に係る研磨パッドを厚み方向から見た図であり、図５（ｂ）は、比較例に係る研磨パッドをＸ軸方向から見た図であり、図５（ｃ）は、比較例に係る研磨パッドを曲げた時にＸ軸方向から見た図である。 図６（ａ），（ｂ）は、変形例に係る研磨パッドを厚み方向から見た図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１を参照して、本発明の実施形態に係る研磨パッド１について説明する。図１は、研磨パッドの斜視図である。図１に示すように、研磨パッド１は、基材２を備える。なお、本実施形態では、基材２の厚み方向と直交する方向をＸ軸方向（第１の方向）とし、厚み方向及びＸ軸と直交する方向をＹ軸方向（第２の方向）とする。基材２は、Ｘ軸方向とＹ軸方向と、に広がる平板状をなす。基材２は、厚み方向に対向する主面２ｃ，２ｄを有している。なお、図１においては、基材２はＸ軸方向に長辺を有し、Ｙ軸方向に短辺を有する。ただし、基材２の形状は特に限定されず、Ｘ軸方向の辺とＹ軸方向の辺の長さの比率は適宜変更されてよい。研磨パッド１のサイズは、作業者が手の平で保持しながら作業を行えるサイズであってよく、例えば、厚みは２０〜４０ｍｍ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の寸法は１００〜１５０ｍｍであってよい。

まず、基材２として、水溶性バインダーを用いたタイプのものを採用した場合について、例示する。基材２は不織布で構成される。不織布には、研磨粒子を保持するための研磨コーティングがなされている。研磨清掃物品において使用するのに適している不織ウェブは、限定されないが、エアレイド、カーディング、ステッチボンド、スパンボンド、ウェットレイド、メルトブロー構造で構成される。研磨清掃物品での使用に適している繊維としては、天然および合成繊維、およびその混合物が挙げられる。ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレート）、ナイロン（例えば、ヘキサメチレンアジポアミド、ポリカプロラクタム）、ポリプロピレン、アクリル（アクリロニトリルのポリマーから形成される）、レーヨン、酢酸セルロース、ポリ塩化ビニリデン−塩化ビニルコポリマー、塩化ビニル−アクリロニトリルコポリマー等で構成される繊維などの合成繊維が好ましい。適切な天然繊維としては、綿、羊毛、ジュート、および麻の繊維が挙げられる。使用される繊維は、未使用繊維、または例えば、衣料品の切断、カーペットの製造、繊維の製造、または紡織繊維の加工から再生された屑繊維であることができる。繊維材料は、均一繊維または複合繊維などのコンポジット繊維（例えば、コスパンのシース・コア繊維（ｃｏ−ｓｐｕｎ ｓｈｅａｔｈ−ｃｏｒｅ ｆｉｂｅｒ））であることができる。ウェブの異なる部分（例えば、第１ウェブ部分、第２ウェブ部分、および中間ウェブ部分）に異なる繊維を含む物品を提供することもまた、本発明の範囲内である。ウェブの繊維は好ましくは、引き伸ばされ、けん縮されるが、押出し成形プロセスによって形成される連続フィラメント、ならびに連続繊維であることもできる。

研磨コーティングは、基材２に研磨粒子を保持し、かつ固定するものである。研磨コーティングは、水溶性バインダーを含有する。研磨パッド１の使用時に溶媒にさらされるまで、水溶性バインダーは、基材２の不織布に研磨粒子を保持かつ固定するために固化されている。溶媒は、清掃の際に用いられるものであり、水溶性バインダーを溶解し始め、研磨粒子を研磨パッド１から剥離させる。水溶性バインダーは、オリゴマーまたはポリマーであることができ、コポリマーおよびそのブレンドを含む。水溶性バインダーとして使用するのに適している、ポリマーおよびコポリマーの非制限的な例としては、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン／酢酸ビニルコポリマー、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースデンプン、ポリエチレンオキシド、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、セルロースエーテルポリマー、ポリエチルオキサゾリン、ポリエチレンオキシドのエステル、ポリエチレンオキシドのエステルとポリプロピレンオキシドとのコポリマー、ポリエチレンオキシドのウレタン、およびポリエチレンオキシドのウレタンとポリプロピレンオキシドとのコポリマーが挙げられる。

水溶性バインダーは、界面活性剤であることができる。さらに、水溶性バインダーは、そのうちの１つが界面活性剤であり得る、種々の水溶性バインダーの組み合わせを含み得る。また、水溶性バインダーは、種々の界面活性剤の組み合わせを含み得る。

本発明において有用な界面活性剤は、水に容易に溶解する界面活性剤である。さらに、界面活性剤は、通常の家庭の清掃用途において優れた起泡性、清掃、油落ち特性を提供し、清掃する表面から着色汚れ、グリース、油、汚れ、垢および堆積物を除去するのに役立つ。

本発明の研磨清掃物品で使用される界面活性剤としては、１種または複数種のアニオン性、カチオン性、非イオン性、両性界面活性剤、ならびにかかる界面活性剤の組み合わせが挙げられる。界面活性剤は、使用者の皮膚に優しく、非毒性であることが望まれる。１種または複数種のアニオン性、カチオン性、非イオン性、および／または両性界面活性剤のブレンドにおいて、より高い濃度のアニオン界面活性剤が、泡立ちおよび洗浄力の向上のために望ましいことは本発明の範囲内である。

研磨粒子は、水溶性バインダーによって基材２の不織布に剥離可能に固定される。本発明による物品の製造に使用される研磨粒子は、公知のあらゆる研磨材、ならびにかかる材料の組み合わせおよび凝集物を含む。柔らかい研磨材としては、限定されないが、フリント、シリカ、軽石、および炭酸カルシウムなどの無機材料、ならびにポリエステル、ポリ塩化ビニル、メタクリレート、メチルメタクリレート、ポリカーボネート、およびポリスチレンなどの有機ポリマー材料、ならびに上記の材料のいずれかの組み合わせが挙げられる。硬い研磨材としては、限定されないが、酸化アルミニウム、熱処理酸化アルミニウムおよび白色酸化アルミニウムなどの酸化アルミニウム、ならびに炭化ケイ素、アルミナジルコニア、ダイヤモンド、セリア、立方晶窒化ホウ素、ざくろ石、および上記の組み合わせが挙げられる。

水溶性バインダーおよび研磨粒子に加えて、研磨コーティングは、着色剤、香料、芳香油、保存剤、湿潤剤、消泡剤、カップリング剤、懸濁化剤、顔料、および抗菌性添加剤も含有し得る。これらの更なる成分は、当技術分野でよく知られている。

次に、基材２として、熱硬化性接着剤をバインダーとして用いたタイプのものを採用した場合について例示する。好ましい不織布は、ポリアミド（例えば、ポリカプロラクタムやポリヘキサメチルアジパミドから構成されるナイロン６及びナイロン６，６）、ポリオレフィン（例えば、ポリプロピレン及びポリエチレン）、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレート）、及びポリカーボネートのような熱可塑性有機繊維から構成されたものである。ナイロン及びポリエステル繊維から構成された不織布が一般に使用される。

繊維の太さは、一般に直径１９〜２５０μｍ程度である。不織布の厚さは一般に２〜５０ｍｍ程度である。配列された繊維は、交差、接触点が摩擦力、接着力等によって互いに結合されている。繊維同士の接着は繊維自体が溶融することで行われてよく、別途接着剤を用いて行われてもよい。

接着剤は、不織布の繊維同士又は不織布の繊維と研磨粒子とを結合させるために用いる。不織布の繊維同士を結合させる接着剤は、不織布の繊維と研磨粒子とを結合させる接着剤と異なるものでもよいし、同じものでもよい。同じ接着剤を用いる場合は、製法上、不織布の繊維同士の結合と、不織布の繊維と研磨粒子との結合を同時に行ってもよい。

不織布の繊維同士を結合させる第１接着剤は、熱硬化性接着剤の例としてエポキシ、メラミン、フェノール、イソシアネート及びイソシアヌレート樹脂の水性懸濁液及び有機溶剤溶液、あるいはＳＢＲ、ＳＢＳ、ＳＩＳなどのゴム系ポリマー溶液又は懸濁液を使用することも出来る。これらは浸漬コーティング法、ロールコーティング法、及びスプレーコーティング法等によって繊維に塗布し、硬化させて不織布とする。

基材２の製造方法は特に限定されない。例えば、繊維のシートを複数積層させて積層体とした後、当該積層体を接着剤で固めることで基材２としてよい。あるいは、繊維を押し出して集合させた後に固めて型で抜くことで基材２としてもよい。

基材２は、Ｘ軸方向に延びると共にＹ軸方向に配列された複数のブロック３に区画される。ブロック３は、基材２のＸ軸方向における一方の端部２ａと他方の端部２ｂとの間において、後述のＸ軸方向に延びるスリット６が存在しない領域である。ブロック３は、基材２において、端部２ａと端部２ｂとの間で帯状に延びる。基材２を曲げた時には、ブロック３は、主に対象物と接触して、当該対象物の表面を研磨する領域となる。ブロック３は、Ｙ軸方向に所定のピッチで区画される。ブロック３のピッチの設定方法については、後述する。

一対のブロック３同士の間には、Ｘ軸方向に延びる境界部４が形成される。境界部４には、基材２を厚み方向に貫通し、且つＸ軸方向に延びる複数のスリット６が形成される。スリット６は、主面２ｃから厚み方向へ延び、主面２ｄまで及んでいる。スリット６は、ベース部材に複数の板状の刃部が立設した工具を準備し、基材２を当該工具に押し付けて刃部で基材２を貫通させることで形成される。境界部４において、複数のスリット６は、Ｘ軸方向に互いに離間して配置される。このスリット６とスリット６とが離間した位置は、ブロック３同士を接続する接続部７として機能する。従って、Ｙ軸方向に隣り合う一対のブロック３同士は、スリット６間に形成された接続部７にて互いに接続されている。

図１においては、一部の境界部４に対して仮想線を付している。境界部４は、Ｘ軸方向に真っ直ぐに延びる直線をなしている。境界部４中には、複数のスリット６と複数の接続部７とが、交互に配置されている。すなわち、「境界部」は、厚み方向から見てスリット６と重なり、端部２ａ、２ｂまで延長させた仮想線を設定した場合、当該仮想線に該当する。このように、境界部４は、一のブロック３と他のブロック３とを仮想的に区切る仮想線である。「スリット」は、基材２に形成された切れ込みの事である。基材２が定常状態にあるとき（図１に示す状態）は、主面２ｃにおけるスリットの縁部６ａ，６ｂ（図２及び図３参照）は互いに接触または近接した状態にある。各ブロック３をＹ軸方向に広げるような力を付与したとき、主面２ｃにおけるスリット６の縁部６ａ，６ｂは、互いに離間するように広がる。「接続部」は、境界部４の仮想線上のうち、スリット６が形成されていない部分に該当する。接続部７は、各ブロック３をＹ軸方向に広がるような力を付与したとき、スリット６のように開口が広がることなく、隣り合うブロック３同士が離れないように固定した部分である。

このように基材２に対して部分的にスリット６を設けた場合、図２及び図３に示すように、作業者がＹ軸方向に対して基材２を曲げたときに、基材２はスリット６の位置にて開口した状態で曲がる。スリット６では、基材２は、曲げに対して外周側に位置する縁部６ａ，６ａが互いに遠ざかるように開口する。一方、Ｘ軸方向に対して基材２を曲げたとき、基材２はスリット６の位置にて開口することなく曲がる。従って、作業者は、Ｘ軸方向に基材２を曲げる場合に比して、Ｙ軸方向において基材２を容易に曲げることができる。例えば、基材２のＹ軸方向に対する曲げ強度は、基材２のＸ軸方向に対する曲げ強度の１０〜８０％であってよく、１５〜５０％であってよい。なお、曲げ強度は、ＪＩＳ Ｌ−１０９６曲げ反発性Ａ法、ＪＡＰＡＮ ＴＡＰＰＩ ＮＯ．４０に準拠する測定方法により、ガーレー剛軟度試験機で測定することで得られる値を用いる。なお、研磨パッド１を曲げた時には、研磨パッド１自体にスプリングバック力（反発力）が生じる。このような反発力により、脱力後、研磨パッド１は略平らに戻る。また、このような反発力により、作業時には、作業者の手のひら側に研磨パッド１がまとわり付く（付着する）という作用が生じる。

本実施形態では、ブロック３に対してＹ軸方向における一方側に形成された境界部４の接続部７と、他方側に形成された境界部４の接続部７とは、Ｘ軸方向において異なる位置に配置されている。なお、「異なる位置」とは、接続部７におけるＹ軸方向の中央位置が互いに異なっていればよく、Ｙ軸方向における一部が重なり合っていてもよい。ブロック３に対してＹ軸方向における一方側に形成された境界部４のスリット６と、他方側に形成された境界部４のスリット６とは、Ｘ軸方向において異なる位置に配置されている。すなわち、互いに隣り合う境界部４同士については、一方の境界部のスリット６と、他方の境界部のスリット６とが、千鳥状の位置関係となっている。このように、複数のスリット６が千鳥状に配置されている構造を、スキップスリットと称する場合がある。本実施形態では、一つ飛ばして隣り合う境界部４同士では、スリット６及び境界部４が互いに同じ位置に配置される。すなわち、一対の境界部４が一セットとなって、スリット６の千鳥配置パターンを形成している。

上述のように構成されたブロック３、スリット６、及び接続部７の寸法は特に限定されないが、例えば、次のように設定してよい。ブロック３のＹ軸方向における寸法は、２〜４０ｍｍであってよく、２〜２０ｍｍであってよい。スリット６のＸ軸方向における寸法は、５〜５０ｍｍであってよく、１０〜３０ｍｍであってよい。接続部７のＸ軸方向における寸法は、５〜５０ｍｍであってよく、１０〜３０ｍｍであってよい。

ここで、ブロック３のＹ軸方向における寸法の設定方法の一例について例示する。例えば、図４に示すような断面円形状の対象物３０を研磨パッド１で磨く場合、研磨パッド１は、少なくとも周方向における８箇所にて対象物３０と接触することが望まれる。図４に示すモデルでは、研磨パッド１の基材２が対象物３０を覆うように曲がった場合、各ブロック３は略真っ直ぐな状態になり、各境界部４の位置で屈曲するものと仮定する。この場合、基材２は、ブロック３の所定の点にて対象物３０と接触する。図４において、対象物３０の外周に一点鎖線で記載された八角形は、基材２の研磨面を示している。従って、対象物３０の直径が５０ｍｍである場合、対象物３０の外周を８等分した時の寸法は、１９．６ｍｍとなる。従って、一つあたりのブロック３のＹ軸方向における寸法は、約２０ｍｍ以下であることが好ましい。

次に、本実施形態に係る研磨パッド１の作用・効果について説明する。

研磨パッド１は、不織布で構成される基材２を備える研磨パッド１であって、基材２は、厚み方向と直交するＸ軸方向と、厚み方向及びＸ軸方向と直交するＹ軸方向と、に広がる平板状の形状をなし、基材２は、Ｘ軸方向に延びると共にＹ軸方向に配列された複数のブロック３に区画され、一対のブロック３同士の間には、Ｘ軸方向に延びる境界部４が形成され、境界部４には、基材２を厚み方向に貫通し、且つＸ軸方向に延びる複数のスリット６が形成され、境界部４において、複数のスリット６は、Ｘ軸方向に互いに離間して配置され、Ｙ軸方向に隣り合う一対のブロック３同士は、スリット６間に形成された接続部７にて互いに接続されている。

例えば、図５に示すような比較例に係る研磨パッド１００は、本実施形態のようなスリットを有していない。この場合、作業者が研磨パッド１００を曲げようとすると、基材２の曲げに対する抵抗力が作用する。このため、作業者は研磨パッド１００を曲げるために力を入れることが必要となる。一方、本実施形態に係る研磨パッド１では、基材２のブロック３の境界部４にＸ軸方向へ延びるスリット６が形成されている。基材２は、Ｙ軸方向に対する曲げの力を付与されたとき、スリット６の位置にて容易に広がるように開口する。従って、作業者が研磨パッド１を曲げようとした場合、スリット６が広がることにより、基材２を容易に曲げることができる。また、このようなスリット６を形成した場合であっても、境界部４にはブロック３同士を接続する接続部７が形成されているため、ブロック３同士が切り離されることを防止できる。以上により、研磨パッド１を曲げるときに必要な力を低減することができる。

ブロック３に対してＹ軸方向における一方側に形成された境界部４の接続部７と、他方側に形成された境界部４の接続部７とは、Ｘ軸方向において異なる位置に配置されていてよい。例えば、後述の図６（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に隣り合う接続部７がＸ軸方向において同位置に形成されている場合、このように接続部７が連続した箇所では、基材２を曲げるときの曲げに対する抵抗力が大きくなる。それに対し、Ｙ軸方向に隣り合う接続部７がＸ軸方向において異なる位置に配置されている場合、接続部７を分散して配置できるため、曲げに対する抵抗力が大きくなることを抑制できる。

基材２のＹ軸方向に対する曲げ強度は、基材２のＸ軸方向に対する曲げ強度の１０〜８０％であってよい。この場合、作業者は、研磨パッド１を容易に曲げて作業を行うことができる。

ブロック３のＹ軸方向における寸法は、２〜４０ｍｍであり、スリット６のＸ軸方向における寸法は、５〜５０ｍｍであり、接続部７のＸ軸方向における寸法は、５〜５０ｍｍであってよい。この場合、作業者は、容易に研磨パッド１を曲げることができる。また、研磨パッドの強度も十分に確保することができる。

研磨パッド１は、不織布で構成される基材２を備える研磨パッド１であって、基材２は、厚み方向と直交するＸ軸方向と、厚み方向及びＸ軸方向と直交するＹ軸方向と、に広がる平板状の形状をなし、基材２には、厚み方向における一方の主面２ｃから厚み方向へ延び、且つ、主面２ｃにおいてＸ軸方向に延びるスリット６が形成され、Ｙ軸方向に複数のスリットが６０形成されている。

研磨パッド１では、基材２には、厚み方向における一方の主面２ｃから厚み方向へ延び、且つ、主面２ｃにおいてＸ軸方向に延びるスリット６が形成されている。基材２は、Ｙ軸方向に対する曲げの力を付与されたとき、スリット６の位置にて容易に広がるように開口する。また、Ｙ軸方向に複数のスリットが６０形成されている。これにより、Ｙ軸方向において複数箇所にて、スリット６が開口する。従って、基材２全体を容易に曲げることが可能となる。以上により、研磨パッド１を曲げるときに必要な力を低減することができる。

本発明は上述の実施形態に限定されるものでは無く、適宜変更されてよい。

スリット６の配列構造は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、図６（ａ）に示す研磨パッド１では、ブロック３に対してＹ軸方向における一方側に形成された境界部４の接続部７と、他方側に形成された境界部４の接続部７とは、Ｘ軸方向において互いに同位置に配置されている。このように、スリット６は必ずしも千鳥配置でなくともよい。また、図１に示す実施形態では、二つの境界部４が一セットとなって、スリット６の千鳥配置パターンを形成していた。これに代えて、図６（ｂ）に示すように、更に多数の境界部４が一セットとなって、スリット６の千鳥配置パターンを形成してもよい。あるいは、スリット６の配列パターンは特に規則的なもので無くともよい。

また、上述の実施形態では、スリット６は基材２を貫通していた。これに代えて、スリット６が基材２を貫通しない構成を採用してもよい。例えば、スリット６が基材２の主面２ｃから厚み方向へ延びて、主面２ｄへ及ぶことなく、基材２の内部の所定の位置まで及んでいてよい。

また、上述の実施形態では、Ｘ軸方向のみに延びるスリットが形成されていた。これに加えて、Ｙ軸方向に延びるスリットを追加で形成してもよい。この場合、研磨パッドは、Ｘ軸方向に対しても曲げやすくなる。

また、上述の実施形態では、研磨パッドの基材として、長方形板状の部材を例示した。ただし、基材の形状は特に限定されず、あらゆるタイプの基材にスリット構造を適用してよい。例えば、フラップブラシ、ユニタイズドホイール、ユニタイズドパッド、ベベル、ホイールなどに、スリット構造を適用してよい。

１…研磨パッド、２…基材、３…ブロック、４…境界部、６…スリット、７…接続部。

Claims (5)

1. 不織布で構成される基材を備える研磨パッドであって、
   前記基材は、厚み方向と直交する第１の方向と、前記厚み方向及び前記第１の方向と直交する第２の方向と、に広がる平板状の形状をなし、
   前記基材は、前記第１の方向に延びると共に前記第２の方向に配列された複数のブロックに区画され、
   一対の前記ブロック同士の間には、前記第１の方向に延びる境界部が形成され、
   前記境界部には、前記基材を厚み方向に貫通し、且つ前記第１の方向に延びる複数のスリットが形成され、
   前記境界部において、複数の前記スリットは、前記第１の方向に互いに離間して配置され、
   前記第２の方向に隣り合う一対の前記ブロック同士は、前記スリット間に形成された接続部にて互いに接続されている、研磨パッド。
2. 前記ブロックに対して前記第２の方向における一方側に形成された前記境界部の前記接続部と、前記他方側に形成された前記境界部の前記接続部とは、前記第１の方向において異なる位置に配置されている、請求項１に記載の研磨パッド。
3. 前記基材の前記第２の方向に対する曲げ強度は、前記基材の前記第１の方向に対する曲げ強度の１０〜８０％である、請求項１又は２に記載の研磨パッド。
4. 前記ブロックの前記第２の方向における寸法は、２〜４０ｍｍであり、
   前記スリットの前記第１の方向における寸法は、５〜５０ｍｍであり、
   前記接続部の前記第１の方向における寸法は、５〜５０ｍｍである、請求項１〜３の何れか一項に記載の研磨パッド。
5. 不織布で構成される基材を備える研磨パッドであって、
   前記基材は、厚み方向と直交する第１の方向と、前記厚み方向及び前記第１の方向と直交する第２の方向と、に広がる平板状の形状をなし、
   前記基材には、前記厚み方向における一方の主面から前記厚み方向へ延び、且つ、前記主面において前記第１の方向に延びるスリットが形成され、前記第２の方向に複数の前記スリットが形成された、研磨パッド。

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