JP2019064701A - Storage tank and temperature control device - Google Patents

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Abstract

To provide a storage tank in which the temperature of the fluid in a tank body from which the fluid flows in or out is uniformed.SOLUTION: A storage tank includes: a tank main body having an inlet through which the fluid flows in and an outlet through which the fluid flows out, and storing the fluid; and a diffusion member provided in the inside of the tank main body and having a plurality of plate members arranged spaced apart from each other so as to intersect at least one of the inlet direction of the fluid flowing in from the inlet and the outlet direction of the fluid flowing out from the outlet, and includes an opening for communicating at least one of the fluid flowing in from the inlet and the fluid flowing out from the outlet.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、貯蔵タンク及び温度制御装置に関する。   The present invention relates to a storage tank and a temperature control device.

従来、温度制御装置などにおいては、温度が制御された流体を一時的に貯蔵するために貯蔵タンクが使用される場合がある。かかる貯蔵タンクに関連する技術としては、例えば、特許文献１等に開示されたものが既に提案されている。   Conventionally, in a temperature control device or the like, a storage tank may be used to temporarily store a temperature-controlled fluid. As a technique related to such a storage tank, for example, the one disclosed in Patent Document 1 etc. has already been proposed.

特許文献１は、噴出手段の構造を簡素化し、貯湯タンクに貯める湯の拡散性を向上することを目的として、水を加熱し、湯にする加熱装置と、前記加熱装置の湯水を循環する循環ポンプと、前記循環ポンプにより湯水を搬送する配管と、前記配管から搬送される湯水を切り替える三方弁と、前記三方弁により湯水を貯える貯湯タンクとを備え、前記貯湯タンク内に湯水を面状均一に流入する噴出手段を配設したものである。   Patent document 1 heats water and aims at improving the diffusibility of hot water stored in a hot water storage tank by simplifying the structure of the spouting means, and a circulation device which circulates the hot and cold water of the heating device and heating the water. A pump, a pipe for conveying hot and cold water by the circulation pump, a three-way valve for switching hot and cold water conveyed from the pipe, and a hot water storage tank for storing hot and cold water by the three-way valve; It arranges the spouting means which flows into.

特開２００９−２４９８６号公報JP, 2009-24986, A

本発明は、流体が流入又は流出するタンク本体の内部における流体の温度を均一化させた貯蔵タンクを提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a storage tank in which the temperature of the fluid in the interior of the tank body from which the fluid flows in or out is equalized.

請求項１に記載された発明は、流体が流入する流入口及び流体が流出する流出口を有し、前記流体を貯蔵するタンク本体と、
前記タンク本体の内部に設けられ、前記流入口から流入する流体の流入方向及び前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と交差するように互いに間隔を隔てて配置された複数の板状部材を有し、前記流入口から流入する流体及び前記流出口から流出する流体の少なくとも一方を流通させる流通口が開口された拡散部材とを備える貯蔵タンクである。 The invention described in claim 1 has an inlet through which fluid flows in and an outlet through which fluid flows out, and a tank body for storing the fluid,
A plurality of plates provided inside the tank body and spaced from each other so as to intersect at least one of the inflow direction of the fluid flowing in from the inflow and the outflow direction of the fluid flowing out of the outflow It is a storage tank provided with the member which has a member and the flow opening which distributes the fluid which flows in from the inflow port, and the fluid which flows out out of the outflow port is opened.

請求項２に記載された発明は、前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口されていない請求項１に記載の貯蔵タンクである。   According to a second aspect of the present invention, the communication port is not opened in the plate member which is most separated from the inlet or the outlet among the plurality of plate members. It is a storage tank.

請求項３に記載された発明は、前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口された前記板状部材とは異なる位置に前記流通口が開口されている請求項１に記載の貯蔵タンクである。   The invention described in claim 3 is different from the plate-like member in which the communication port is opened in the plate-like member most separated from the inflow port or the outflow port among the plurality of plate-like members. The storage tank according to claim 1, wherein the communication port is opened at a position.

請求項４に記載された発明は、前記複数の板状部材は、前記流入口から流入する流体の流入方向又は前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と直交するように配置されている請求項１乃至３のいずれかに記載の貯蔵タンクである。   In the invention described in claim 4, the plurality of plate-like members are disposed to be orthogonal to at least one of the inflow direction of the fluid flowing in from the inflow port and the outflow direction of the fluid flowing out from the outflow port The storage tank according to any one of claims 1 to 3.

請求項５に記載された発明は、前記複数の板状部材に開口される流通口は、すべて同一の開口径を有するように設定された請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンクである。   The invention described in claim 5 is the storage tank according to any one of claims 1 to 4, wherein the flow openings opened in the plurality of plate members are all set to have the same opening diameter. is there.

請求項６に記載された発明は、前記複数の板状部材に開口される流通口は、前記流入口又は前記流出口から離間するに従って開口径が徐々に小さくなるように設定された請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンクである。   The invention described in claim 6 is set such that the diameter of the flow openings, which are opened in the plurality of plate-like members, gradually decreases as they are separated from the inlet or the outlet. It is a storage tank in any one of 4.

請求項７に記載された発明は、前記拡散部材は、前記流入口及び流出口の双方にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の貯蔵タンクである。   The invention described in claim 7 is the storage tank according to any one of claims 1 to 6, wherein the diffusion member is provided in each of the inlet and the outlet.

請求項８に記載された発明は、混合比が調整された低温側流体及び高温側流体からなる温度制御用流体が流れる温度制御用流路を有する温度制御手段と、
低温側の予め定められた第１の温度に調整された前記低温側流体を供給する第１の供給手段と、
高温側の予め定められた第２の温度に調整された前記高温側流体を供給する第２の供給手段と、
前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に接続され、前記第１の供給手段から供給される前記低温側流体と前記第２の供給手段から供給される前記高温側流体とを混合して前記温度制御用流路に供給する混合手段と、
前記温度制御用流路を流通した温度制御用流体を前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に流量を制御しつつ分配する流量制御弁と、
前記低温側流体を貯蔵する第１の貯蔵タンクと、
前記高温側流体を貯蔵する第２の貯蔵タンクと、
を備え、
前記第１及び第２の貯蔵タンクとして、請求項１乃至７のいずれかに記載の貯蔵タンクを用いたことを特徴とする温度制御装置である。 The invention described in claim 8 is a temperature control means having a temperature control flow path through which a temperature control fluid consisting of a low temperature side fluid and a high temperature side fluid in which the mixing ratio is adjusted flow;
First supply means for supplying the low temperature side fluid adjusted to a low temperature side first predetermined temperature;
A second supply means for supplying the high temperature side fluid adjusted to a high temperature side predetermined second temperature;
The low temperature side fluid supplied from the first supply means is connected to the first supply means and the second supply means, and the high temperature side fluid supplied from the second supply means is mixed. Mixing means for supplying the temperature control channel,
A flow control valve for distributing the temperature control fluid flowing through the temperature control flow path to the first supply means and the second supply means while controlling the flow rate;
A first storage tank for storing the low temperature side fluid;
A second storage tank for storing the high temperature side fluid;
Equipped with
It is a temperature control device characterized by using the storage tank according to any one of claims 1 to 7 as the first and second storage tanks.

本発明によれば、流体が流入又は流出するタンク本体の内部における流体の温度を均一化させた貯蔵タンクを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a storage tank in which the temperature of the fluid in the tank body where the fluid flows in or out is made uniform.

本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram which shows the storage tank which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクの要部を示す斜視構成図である。It is a perspective view showing the important section of the storage tank concerning Embodiment 1 of the present invention. 拡散部材を示す構成図である。It is a block diagram which shows a diffusion member. 拡散部材の他の例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the other example of a diffusion member. 拡散部材の他の例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the other example of a diffusion member. 本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクの作用を示す断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram which shows the effect | action of the storage tank which concerns on Embodiment 1 of this invention. 拡散部材の作用を示す斜視構成図である。It is a perspective view showing the operation of the diffusion member. 本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを適用したチラー装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the chiller apparatus to which the storage tank which concerns on Embodiment 1 of this invention is applied. 本発明の実施の形態２に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram which shows the storage tank which concerns on Embodiment 2 of this invention.

以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[実施の形態１]
図１は本発明の実施の形態１に係る貯蔵タンクを示す断面構成図、図２は貯蔵タンクの要部を示す拡大斜視図である。 First Embodiment
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a storage tank according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the main part of the storage tank.

貯蔵タンク１は、図１に示すように、上下方向に沿った両端部がそれぞれ閉塞された略円筒形状に形成されたタンク本体２を備えている。タンク本体２は、円筒形状に形成された円筒部３と、円筒部３の上下方向に沿った両端部にそれぞれ配置された外側に向けて凸型に湾曲した円板状の鏡板部４，５とから密閉された状態で構成されている。円筒部３と鏡板部４，５は、例えば、溶接等の手段により一体的に接続されてタンク本体２を構成している。なお、タンク本体２の外周は、図示しない断熱材によって被覆されるか、又はタンク本体２を二重に構成し中間の中空層を真空状態にして断熱処理が施される。   As shown in FIG. 1, the storage tank 1 includes a tank main body 2 formed in a substantially cylindrical shape in which both ends along the vertical direction are closed. The tank body 2 has a cylindrical portion 3 formed in a cylindrical shape, and disk-shaped end plate portions 4 and 5 which are curved outward in a convex shape disposed at both end portions along the vertical direction of the cylindrical portion 3. And in a sealed state. The cylindrical portion 3 and the end plate portions 4 and 5 are integrally connected by means such as welding, for example, to constitute the tank body 2. The outer periphery of the tank body 2 is covered with a heat insulating material (not shown), or the tank body 2 is doubled and the intermediate hollow layer is vacuumed to perform heat insulation.

タンク本体２の下端部には、貯蔵タンク１に流体を流入させるＬ字形状に形成された流入管６が接続されている。流入管６は、タンク本体に溶接等の手段で固定された流入側の接続管７に外部連通管８を介して螺合等の手段により接続され固定されている。   At the lower end portion of the tank body 2, an inflow pipe 6 formed in an L-shape for causing the fluid to flow into the storage tank 1 is connected. The inflow pipe 6 is connected and fixed to the inflow side connection pipe 7 fixed to the tank main body by welding or the like via the external communication pipe 8 by screwing or the like.

タンク本体２の内部には、流入側の接続管７に螺合等の手段により接続固定された内部連通管９を介して流入側の拡散部材１０が設けられている。流入側の拡散部材１０は、流入管６からタンク本体２の内部に流入する流体を拡散させて、タンク本体２の内部に存在する流体１１と均一になるよう混合するための部材である。拡散部材１０は、図２に示すように、流入管９からタンク本体２の内部に流入する流体の流入方向（図中、上下方向）と交差する方向（図示例では、直交する方向）に互いに間隙を介して配置された複数（図示例では６つ）の板状部材である拡散板１２１〜１２６を備えている。拡散板１２１〜１２６の数は、特に限定されるものではないが、流体の拡散性を考慮すると、５〜１０枚程度設けるのが望ましい。各拡散板１２１〜１２６は、図３に示されるように、ステンレス等の金属や耐熱性を有する合成樹脂等によって円板状に形成されている。また、各拡散板１２１〜１２６の中央には、流入管から流入する流体を挿通させる挿通口の一例としての流路用孔１３１〜１３５が開口されている。ただし、複数の拡散板１２１〜１２６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２６には、流路用孔１３が開口されておらず閉塞されている。なお、複数の拡散板１２１〜１２６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２６には、図３（ｃ）に示すように、他の拡散板１２１〜１２５と異なる位置、例えば、中心から半径方向外方向に向けて半径よりも短いスリット状の流路用孔１３ａを互いに９０度の角度を成す位置に開口しても良い。流路用孔１３ａの位置は、他の拡散板１２１〜１２５と異なる位置であれば、図３（ｃ）に示す以外の位置に設けても良い。さらに、各拡散板１２１〜１２６の外周には、複数の拡散板１２１〜１２６を互いに固定するための複数（図示例では、４つ）の固定用ネジ孔１４１〜１４６が開口されている。 A diffusion member 10 on the inflow side is provided inside the tank body 2 via an internal communication pipe 9 connected and fixed to the inflow side connection pipe 7 by means such as screwing. The diffusion member 10 on the inflow side is a member for diffusing the fluid flowing into the inside of the tank main body 2 from the inflow pipe 6 and mixing it uniformly with the fluid 11 existing inside the tank main body 2. As shown in FIG. 2, the diffusion members 10 mutually cross each other in a direction (a direction orthogonal to each other in the illustrated example) with the inflow direction (vertical direction in the figure) of the fluid flowing into the tank main body 2 from the inflow pipe 9. multiple arranged with a gap (in the illustrated example 6) and a diffusion plate 12 1 to 12 6 is a plate-like member. The number of the diffusion plate 12 1 to 12 6 is not particularly limited, considering the diffusion of the fluid, it is desirable to provide about 5 to 10 sheets. Each diffusion plate 12 1 to 12 6, as shown in FIG. 3, and is formed in a disc shape by a synthetic resin or the like having a metal or heat-resistant stainless steel. Further, at the center of each of the diffusion plates 12 1 to 12 6 , flow path holes 13 1 to 13 5 are opened as an example of an insertion port through which the fluid flowing in from the inflow pipe is inserted. However, among the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6, the diffusion plate 12 6 which is farthest from the inlet pipe 9, the flow path hole 13 is closed not been opened. Among the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 , the diffusion plate 12 6 most separated from the inflow pipe 9 has a position different from the other diffusion plates 12 1 to 12 5 as shown in FIG. For example, slit-like passage holes 13a shorter than the radius may be opened at positions 90 degrees apart from each other in the radially outward direction from the center. Position of the flow path hole 13a, if a position different from the other of the diffusion plate 12 1 to 12 5, may be provided at a position other than that shown in Figure 3 (c). Further, on the outer periphery of the diffuser 12 1 to 12 6, (in the illustrated example, four) multiple for securing a plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 mutually fixing screw holes 14 1 to 14 6 It is open.

各拡散板１２１〜１２５に開口される流路用孔１３１〜１３５は、すべて同一の直径を有するように設定されている。各拡散板１２１〜１２５の流路用孔１３１〜１３５は、例えば、内部連通管９の内径と等しい直径を有するように構成される。また、各拡散板１２１〜１２５に開口される流路用孔１３１〜１３５は、すべて同一の直径を有するように設定するのではなく、図４（ａ）に示されるように、流入管９に最も近接した位置から離間するに従って徐々に直径が小さくなるように設定しても良い。さらに、各拡散板１２１〜１２５に開口される流路用孔１３１〜１３５は、図４（ｂ）に示されるように、流入管９に最も近接した位置から離間するに従って徐々に直径が大きくなるように設定しても良い。また、各拡散板１２１〜１２５に開口される流路用孔１３１〜１３５は、図５に示されるように、直径が大きい流路用孔１３１，１３３，１２５と直径が小さい流路用孔１３２，１３４とが交互に配置されるように構成しても良い。 Each diffusion plate 12 1 to 12 5 flow path holes 131-134 5 to be opened, the all set to have the same diameter. Flow passage holes 131-134 5 of the diffusion plate 12 1 to 12 5, for example, configured to have an inner diameter equal to the diameter of the inner communication pipe 9. Further, as the diffusion plate 12 1 to 12 5 flow path holes 131-134 5 which is open to, rather than set to have the same diameter all, as shown in FIG. 4 (a), The diameter may be set to be gradually smaller as it is separated from the position closest to the inflow pipe 9. Further, each of the diffusion plate 12 1 to 12 5 flow path holes 131-134 5 which is open to, as shown in FIG. 4 (b), gradually as the distance from the closest position to the inlet pipe 9 You may set so that a diameter may become large. Further, each of the diffusion plate 12 1 to 12 5 on the downstream are opened road holes 131-134 5, as shown in FIG. 5, the flow passage holes 13 1 is large in diameter, 13 3, 12 5 and a diameter flow path holes 13 2 is small, 13 4 and may be configured to be arranged alternately.

複数の拡散板１２１〜１２６は、図２及ぶ図３に示すように、固定用ネジ孔１４１〜１４６に挿通されて締結されたボルト１４及びナット１５と、各拡散板１２１〜１２６の間に介在された間隙設定部材としての円筒形状のカラー部材１６を介して互いに一定の間隙を介して平行に配置されるように固定されている。また、上述したように、複数の拡散板１２１〜１２６のうち、流入管９に最も離間した拡散板１２６としては、図３（ｂ）に示すように、流路用孔１３が開口されておらず閉塞されたものが配置されている。 The plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 are, as shown in FIG. 2 and FIG. 3, bolts 14 and nuts 15 which are inserted into fastening screw holes 14 1 to 14 6 and fastened, and each diffusion plate 12 1 to It is fixed so as to be arranged in parallel via a fixed gap from each other via the collar member 16 of the cylindrical shape of the gap setting member interposed between the 12 6. Further, as described above, among the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6, the diffuser 12 6 most spaced inlet pipe 9, as shown in FIG. 3 (b), the flow path hole 13 is opened It is not blocked and is placed.

また、拡散部材１０には、流入管９に最も近接した位置に拡散板１２１〜１２６と同一形状であって肉厚に形成された基盤１７が設けられている。基盤１７は、内部連通管９にネジ止めや溶接等の手段で固定されている。 In addition, the diffusion member 10, nearest the diffusion plate 12 1 to 12 6 and the same shape in a substrate 17 formed in wall thickness at the position is provided in the inlet pipe 9. The base 17 is fixed to the internal communication pipe 9 by means such as screwing or welding.

一方、タンク本体２の上端部には、図１に示すように、タンク本体２に貯蔵された流体を外部に流出させる流出管１８が設けられている。流出管１８は、外部連通管１９を介してタンク本体２の上端部に設けられた流出側の接続管２０に螺合等の手段により接続され固定されている。タンク本体２内の上端部には、内部連通管２１を介して流出側の拡散部材２２が設けられている。流出側の拡散部材２２は、流入側の拡散部材１０と同様に構成されている。拡散部材１０，２２は、タンク本体２の流入側及び流出側の少なくとも一方に設ければ良いが、タンク本体２に流入する流体及びタンク本体２から流出する流体の拡散性をより一層向上させるためには、拡散部材１０，２２をタンク本体２の流入側及び流出側の双方に設けるのが望ましい。なお、タンク本体２の流入側における流体の流量のばらつきを解消するためには、拡散部材１０を少なくともタンク本体２の流入側に設けるのが望ましい。   On the other hand, at the upper end portion of the tank body 2, as shown in FIG. 1, an outflow pipe 18 for allowing the fluid stored in the tank body 2 to flow out is provided. The outflow pipe 18 is connected and fixed to the outflow-side connection pipe 20 provided at the upper end portion of the tank main body 2 via the external communication pipe 19 by means such as screwing. At the upper end portion in the tank body 2, a diffusion member 22 on the outflow side is provided via the internal communication pipe 21. The outflow side diffusion member 22 is configured in the same manner as the inflow side diffusion member 10. The diffusion members 10 and 22 may be provided on at least one of the inflow side and the outflow side of the tank body 2, but in order to further improve the diffusivity of the fluid flowing into the tank body 2 and the fluid flowing out of the tank body 2 Preferably, the diffusion members 10 and 22 are provided on both the inflow side and the outflow side of the tank body 2. In order to eliminate the variation in the flow rate of the fluid on the inflow side of the tank body 2, it is desirable to provide the diffusion member 10 at least on the inflow side of the tank body 2.

貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、特に限定されるものではなく、水等の液体や気体などであっても良い。貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、例えば、温度制御装置（チラー装置）に使用される−３０〜＋１２０℃程度の温度範囲において使用可能なフロリナート（登録商標）などのフッ素系不活性液体やエチレングリコール等の熱媒体（ブライン）が挙げられる。また、貯蔵タンク１の内部に貯蔵される流体１１としては、温度範囲が＋５〜＋８０℃程度であれば、水（純水）なども好適に使用することができる。   The fluid 11 stored in the storage tank 1 is not particularly limited, and may be a liquid such as water or a gas. The fluid 11 stored inside the storage tank 1 is, for example, a fluorine-based non-volatile such as Fluorinert (registered trademark) which can be used in a temperature range of about -30 to + 120 ° C. used in a temperature controller (chiller). An active liquid and a heat medium (brine) such as ethylene glycol can be mentioned. Further, as the fluid 11 stored inside the storage tank 1, water (pure water) or the like can be suitably used as long as the temperature range is about +5 to + 80 ° C.

また、貯蔵タンク１の容積は、特に限定されるものではなく、例えば、２０Ｌ程度に設定されるが、目的に応じてこれより大きくても小さくても良いことは勿論である。   Further, the volume of the storage tank 1 is not particularly limited, and is set to, for example, about 20 L, but may be larger or smaller depending on the purpose.

＜貯蔵タンクの作用＞
本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、図１に示されるように、タンク本体２の内部に所要温度の流体１１が貯蔵されている。タンク本体２の内部には、例えば、流入管６からタンク本体２の内部に貯蔵された流体１１より温度が高い流体が流入する。 <Function of storage tank>
In the storage tank 1 according to the first embodiment, as shown in FIG. 1, the fluid 11 having a required temperature is stored inside the tank body 2. For example, a fluid whose temperature is higher than that of the fluid 11 stored in the inside of the tank body 2 flows into the inside of the tank body 2 from the inflow pipe 6.

流入管６からタンク本体２の内部に流入した流体は、内部連通管９を介して拡散部材１０へと到達する。拡散部材１０へと到達した流体は、図６及び図７に示すように、複数の拡散板１２１〜１２６に開口された流路用孔１３１〜１３５を介して流入管６から離間した拡散板１２１〜１２６へと次第に流れる。その際、各拡散板１２１〜１２６の間には、タンク本体２の内部に貯蔵された所要温度の流体１１が存在する。そのため、流路用孔１３１〜１３５を介して流入管９から離間した拡散板１２１〜１２６へと次第に流れる流体は、各拡散板の流路用孔１３１〜１３５を通過する毎に、タンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合されつつ、一部が各拡散板１２１〜１２６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動する。そして、複数の拡散板１２１〜１２６の流路用孔１３１〜１３５を通過して流路用孔１３が開口されていない最後の拡散板１３６に到達して流体は、当該最後の拡散板１３６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動してタンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合される。 The fluid that has flowed into the interior of the tank body 2 from the inflow pipe 6 reaches the diffusion member 10 via the internal communication pipe 9. Spaced fluid reaches to the diffusing member 10, as shown in FIGS. 6 and 7, the inlet pipe 6 through the passage holes 131-134 5 opened in the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 It gradually flows to the diffusion plates 12 1 to 12 6 . At that time, the fluid 11 of the required temperature stored inside the tank body 2 is present between the diffusion plates 12 1 to 12 6 . Therefore, the flow path holes 131-134 5 gradually flows fluid to the diffusion plate 12 1 to 12 6 spaced from the inlet pipe 9 through the passes through the flow passage holes 131-134 5 of each diffuser each, while being mixed with the fluid 11 of the required temperature, which is already stored in the interior of the tank body 2 (in the illustrated example, the horizontal direction) parallel to the part of the surface of the diffusion plate 12 1 to 12 6 moves to Do. Then, the fluid reaches the end of the diffusion plate 13 6 flow path hole 13 through the flow passage holes 131-134 5 of a plurality of diffuser plates 12 1 to 12 6 is not opened, the last (in the illustrated example, the horizontal direction) parallel to the surface of the diffusion plate 13 6 is mixed with the fluid 11 of the required temperature already stored inside the tank body 2 and moved to.

このように、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、流入管６から流入する流体が複数の拡散板１２１〜１２６の流路用孔１３１〜１３５を通過する間に、タンク本体２の内部に既に貯蔵された所要温度の流体１１と混合されつつ、一部が各拡散板１２１〜１２６の表面に平行な方向（図示例では、水平方向）に移動して拡散し、拡散部材１０の周囲に存在する貯蔵流体１１と混合される。そのため、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、拡散部材１０を設けない貯蔵タンクと比較して、流入管６からタンク本体２の内部に流入する流体の拡散性を向上させることができ、タンク本体２内の流体１１の温度を均一化することができる。 During this way, in the storage tank 1 according to the first embodiment, the fluid flowing from the inflow pipe 6 passes through the flow passage holes 131-134 5 of a plurality of diffuser plates 12 1 to 12 6, the tank while being mixed with the fluid 11 of the required temperature already stored inside the main body 2 (in the illustrated example, the horizontal direction) parallel to the part of the surface of the diffusion plate 12 1 to 12 6 diffuses go to , And mixed with the storage fluid 11 present around the diffusion member 10. Therefore, in the storage tank 1 according to the first embodiment, the diffusivity of the fluid flowing from the inflow pipe 6 into the inside of the tank main body 2 can be improved as compared with the storage tank in which the diffusion member 10 is not provided. The temperature of the fluid 11 in the tank body 2 can be made uniform.

一方、タンク本体２の内部から流出管１８によって流出する流体は、タンク本体２の内部から拡散部材２２を介して流出管１８に連結された内部連通管２１へと到達する。その際、タンク本体２の内部から拡散部材２２へと到達した流体は、流出管１８から流体の流出に伴って圧力が低下する複数の拡散板１２１〜１２６に開口された流路用孔１３１〜１３５へと流入する。このとき、タンク本体２の内部の流体１１は、複数の拡散板１２１〜１２６の表面に沿った方向に各拡散板１２１〜１２６の間隙へと流入し、各拡散板１２１〜１２６の流路用孔１３１〜１３５を通過して内部連通管２１を介して流出管１８からタンク本体２の外部へと流出する。 On the other hand, the fluid flowing out from the inside of the tank body 2 through the outflow pipe 18 reaches the internal communication pipe 21 connected to the outflow pipe 18 from the inside of the tank body 2 via the diffusion member 22. At that time, the fluid that reaches from the inside of the tank body 2 into the diffusion member 22, the pressure with the outlet tube 18 to the outflow of fluid has been opened to a plurality of diffuser plates 12 1 to 12 6 to decrease the flow passage holes It flows from 13 1 to 13 5 . At this time, the fluid 11 inside the tank body 2 flows into the gaps between the diffusion plates 12 1 to 12 6 in the direction along the surfaces of the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 , and each diffusion plate 12 1 to through the flow passage holes 131-134 5 12 6 flows out from the outlet pipe 18 through the internal communication tube 21 to the outside of the tank body 2.

そのため、拡散部材２２へと到達した流体は、タンク本体２の内部に既に貯蔵された流体１１と混合されつつ、複数の拡散板１２１〜１２６の表面に沿った方向に流れて各拡散板１２１〜１２６の流路用孔１３１〜１３５を通過する間に、タンク本体２の上部に存在する流体１１と新たにタンク本体の上部へと移動する流体とが拡散されて混合されることで温度が均一化されつつ、流出管１８から混合された流体が流出する。 Therefore, the fluid that has reached the diffusion member 22 flows in the direction along the surfaces of the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 while being mixed with the fluid 11 already stored inside the tank body 2, and each diffusion plate while passing through the 12 1 to 12 flow passage holes 131-134 5 6, and fluid moving with the fluid 11 present in the upper portion of the tank main body 2 to the new tank upper body are mixed is spread As a result, the mixed fluid flows out of the outflow pipe 18 while the temperature is equalized.

このように、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、流出管１８から流出する流体が複数の拡散板１２１〜１２６の流路用孔１３１〜１３５を通過する間に、タンク本体２の上部に存在する流体１１と新たにタンク本体２の上部へと移動する流体と混合される。そのため、本実施の形態１に係る貯蔵タンク１では、拡散部材２２を設けない貯蔵タンクと比較して、流出管１８からタンク本体２の外部に流出する流体の混合性（拡散性）を向上させ流体１１の温度を均一化することができる。 Thus, in the storage tank 1 according to the first embodiment, the fluid flowing out of the outflow pipe 18 passes through the flow path holes 13 1 to 13 5 of the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 , the tank The fluid 11 present in the upper part of the main body 2 is mixed with the fluid newly moved to the upper part of the tank main body 2. Therefore, in the storage tank 1 according to the first embodiment, the mixing property (diffusivity) of the fluid flowing out from the outflow pipe 18 to the outside of the tank main body 2 is improved as compared with the storage tank without the diffusion member 22. The temperature of the fluid 11 can be made uniform.

なお、複数の拡散板１２１〜１２６のうち、流入管９から最も離間した拡散板１２６には、図３（ｃ）に示すように、他の拡散板１２１〜１２５と異なる位置、例えば、中心から半径方向外方向に向けて半径よりも短いスリット状の流路用孔（拡散孔）１３ａを互いに９０度の角度を成す位置に開口することにより、流入管９及び流出管１８から最も離間した拡散板１２６の背面側（流入管９及び流出管１８の反対側）の領域において流体１１が滞留するのを抑制することができる。 Among the plurality of diffusion plates 12 1 to 12 6 , the diffusion plate 12 6 most separated from the inflow pipe 9 has a position different from the other diffusion plates 12 1 to 12 5 as shown in FIG. For example, the inflow pipe 9 and the outflow pipe 18 may be formed by opening slit-like flow path holes (diffusion holes) 13a shorter than the radius in the radially outward direction from the center at positions forming an angle of 90 degrees with each other. fluid 11 can be prevented from staying in the most regions of spaced diffuser 12 6 rear side (opposite side of the inlet pipe 9 and the outlet pipe 18) from.

＜温度制御装置の構成＞
図８は本発明の実施の形態１に係る温度制御装置の一例としての恒温維持装置（チラー装置）の概略を示す配管構成図である。 <Configuration of Temperature Control Device>
FIG. 8 is a piping configuration diagram schematically showing a thermostatic maintenance device (chiller device) as an example of the temperature control device according to Embodiment 1 of the present invention.

このチラー装置１００は、例えば、温度制御対象装置２００としてのプラズマ処理装置の静電チャックに保持される温度制御対象（ワーク）の温度を所要の温度に制御するために使用される。チラー装置１００は、図８に示すように、大別して、低温側の予め定められた一定の温度（例えば、−２０℃）に調整された低温側流体を供給する低温側のブライン温調回路１０１と、高温側の予め定められた一定の温度（例えば、＋１００℃）に調整された高温側流体を供給する高温側のブライン温調回路１０２と、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体を混合して所要の温度に調整する第１の流量制御用三方弁１０３と、温度制御対象装置２００を流れた温度制御用流体を所要の分配比で低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配する第２の流量制御用三方弁１０６と、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体の一部と第２の流量制御用三方弁１０６により分配される温度制御用流体とを所要の混合比で混合して低温側のブライン温調回路１０１に還流させる第３の流量制御用三方弁１０７と、第３の流量制御用三方弁１０７によって低温側のブライン温調回路１０１に還流される温度制御用流体を貯蔵する低温側の貯蔵タンク１０８と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体の一部と第２の流量制御用三方弁１０６により分配される温度制御用流体とを所要の混合比で混合して高温側のブライン温調回路１０２に還流させる第４の流量制御用三方弁１０９と、第４の流量制御用三方弁１０９によって高温側のブライン温調回路１０２に還流される温度制御用流体を貯蔵する高温側の貯蔵タンク１１０とを備えている。   The chiller apparatus 100 is used, for example, to control the temperature of a temperature control target (workpiece) held by an electrostatic chuck of a plasma processing apparatus as the temperature control target apparatus 200 to a required temperature. As shown in FIG. 8, the chiller apparatus 100 is roughly divided into a low temperature side brine temperature control circuit 101 that supplies a low temperature side fluid adjusted to a predetermined low temperature side constant temperature (eg, -20 ° C.). And the high temperature side brine temperature control circuit 102 for supplying the high temperature side fluid adjusted to a predetermined constant temperature (for example, + 100 ° C.) on the high temperature side, and the low temperature side brine temperature control circuit 101 The first flow control three-way valve 103 for mixing the low temperature side fluid and the high temperature side fluid supplied from the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102 to adjust the temperature to a required temperature, and the temperature control flowing through the temperature control target device 200 Supplied from the second temperature control three-way valve 106 for controlling the low temperature side brine temperature control circuit 101 and the high temperature side brine temperature control circuit 102 at a required distribution ratio, and the low temperature side brine temperature control circuit 101 And Third flow rate control that mixes part of the low temperature side fluid with the temperature control fluid distributed by the second flow rate control three-way valve 106 at a required mixing ratio and returns it to the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side Low temperature storage tank 108 for storing a temperature control fluid to be returned to the low temperature side brine temperature control circuit 101 by the three-way valve 107 and the third flow rate control three-way valve 107; A part of the high temperature side fluid supplied from 102 and the temperature control fluid distributed by the second flow control three-way valve 106 are mixed at a required mixing ratio and returned to the high temperature side brine temperature control circuit 102 A fourth flow control three-way valve 109 and a high temperature storage tank 110 for storing a temperature control fluid returned to the high temperature brine temperature control circuit 102 by the fourth flow control three-way valve 109 .

温度制御用流体としては、上述したように、例えば、−３０〜＋１２０℃程度の温度範囲において使用可能なフロリナート（登録商標）などのフッ素系不活性液体やエチレングリコール等の熱媒体（ブライン）が用いられる。また、温度制御用流体としては、温度範囲が＋５〜＋８０℃程度であれば、水（純水）なども好適に使用することができる。   As the temperature control fluid, as described above, for example, a fluorine-based inert liquid such as Fluorinert (registered trademark) usable in a temperature range of about -30 to + 120 ° C., and a heat medium (brine) such as ethylene glycol Used. Further, as the temperature control fluid, water (pure water) or the like can be suitably used as long as the temperature range is about +5 to + 80 ° C.

＜チラー装置の動作＞
チラー装置では、次のようにして温度制御対象の温度が制御される。 <Operation of the chiller device>
In the chiller device, the temperature of the temperature control target is controlled as follows.

本実施の形態に係るチラー装置１００においては、例えば、図８に示すように、低温側のブライン温調回路１０１から所要の温度（例えば、−２０℃）に調整された低温側流体が供給される。また、高温側のブライン温調回路１０２から所要の温度（例えば、＋１００℃）に調整された高温側流体が供給される。   In the chiller apparatus 100 according to the present embodiment, for example, as shown in FIG. 8, the low temperature side fluid adjusted to a required temperature (for example, −20 ° C.) is supplied from the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101. Ru. Also, the high temperature side fluid adjusted to the required temperature (for example, + 100 ° C.) is supplied from the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102.

低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体は、第１の流量制御用三方弁１０３によって所要の混合比で混合され、所要の温度の温度制御用流体として温度制御対象装置２００に供給される。   The low temperature side fluid supplied from the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101 and the high temperature side fluid supplied from the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102 are mixed at a required mixing ratio by the first flow control three-way valve 103 The temperature control target device 200 is supplied as a fluid for temperature control of a required temperature.

温度制御対象装置２００の温度が＋２０℃に設定されている場合には、温度制御用流体の温度が＋２０℃となるように、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と、高温側のブライン温調回路１０２から供給される高温側流体とが第１の流量制御用三方弁１０３によって混合される。   When the temperature of the temperature control target device 200 is set to + 20 ° C., the low temperature side fluid supplied from the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side so that the temperature of the temperature control fluid is + 20 ° C. The first flow control three-way valve 103 mixes the high temperature side fluid supplied from the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102.

また、チラー装置１００は、図８に示すように、温度制御対象装置２００を流れた温度制御用流体を第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配する。   Further, as shown in FIG. 8, the chiller device 100 uses the second flow control three-way valve 106 to control the temperature control fluid that has flowed through the temperature control target device 200, and the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side and the brine on the high temperature side It distributes to the temperature control circuit 102.

この第２の流量制御用三方弁１０６における低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２との分割比は、基本的に、第１の流量制御用三方弁１０３における低温側流体と高温側流体との混合比と等しい値に設定される。ただし、第１の流量制御用三方弁１０３によって所要の混合比で混合された温度制御用流体は、温度制御対象装置２００を流れて第２の流量制御用三方弁１０６に到達するため、当該第１の流量制御用三方弁１０３から第２の流量制御用三方弁１０６に温度制御用流体が到達するまでに要する時間だけ遅延して、第２の流量制御用三方弁１０６における分割比が制御される。   The division ratio between the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101 and the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102 in the second flow rate control three-way valve 106 is basically the low temperature side in the first flow rate control three-way valve 103 It is set to a value equal to the mixing ratio of the fluid and the high temperature side fluid. However, the temperature control fluid mixed at a required mixing ratio by the first flow control three-way valve 103 flows through the temperature control target device 200 to reach the second flow control three-way valve 106, so The division ratio of the second flow control three-way valve 106 is controlled with a delay by the time required for the temperature control fluid to reach the second flow control three-way valve 106 from the flow control three-way valve 103 Ru.

第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１と高温側のブライン温調回路１０２とに分配される温度制御用流体は、同一の温度である。   The temperature control fluid distributed by the second flow control three-way valve 106 to the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101 and the high temperature side brine temperature adjustment circuit 102 has the same temperature.

第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体は、第３の流量制御用三方弁１０７によって低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体と第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体との混合比が制御された状態で混合される。   The temperature control fluid distributed to the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101 by the second flow rate control three-way valve 106 is supplied from the low temperature side brine temperature adjustment circuit 101 by the third flow rate control three-way valve 107 The mixing ratio of the low temperature side fluid and the temperature control fluid distributed to the low temperature side brine temperature control circuit 101 by the second flow control three-way valve 106 is controlled in a controlled state.

第３の流量制御用三方弁１０７によって所要の混合比で混合された低温側流体と温度制御用流体とは、低温側の貯蔵タンク１０８に供給される。   The low temperature side fluid and the temperature control fluid mixed at the required mixing ratio by the third flow control three-way valve 107 are supplied to the storage tank 108 on the low temperature side.

第１の流量制御用三方弁１０３によって温度制御対象装置２００に低温側流体のみが供給されている状態では、低温側の貯蔵タンク１０８に貯蔵されている流体は、低温側のブライン温調回路１０１から供給される低温側流体の温度、すなわち−２０℃と等しい温度となっている。一方、温度制御対象装置２００の温度が＋２０℃である場合には、第２の流量制御用三方弁１０６によって低温側のブライン温調回路１０１に分配された温度制御用流体と等しい温度である＋２０℃と等しい温度となっている。   In a state where only the low temperature side fluid is supplied to the temperature control target device 200 by the first flow control three-way valve 103, the fluid stored in the low temperature side storage tank 108 is the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side. The temperature of the low temperature side fluid supplied from the above is equal to -20.degree. On the other hand, when the temperature of the temperature control target device 200 is + 20 ° C., +20 which is the same temperature as the temperature control fluid distributed to the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side by the second flow rate control three-way valve 106 It has a temperature equal to ° C.

そのため、低温側の貯蔵タンク１０８に流入する流体の温度は、−２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した温度となる。よって、低温側の貯蔵タンク１０８の内部では、例えば、低温側の貯蔵タンク１０８内に既に貯蔵されている−２０℃の低温側流体と、−２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した流体が混合されることになる。   Therefore, the temperature of the fluid flowing into the storage tank 108 on the low temperature side is a temperature obtained by mixing the low temperature side fluid of −20 ° C. and the temperature control fluid of + 20 ° C. Thus, for example, the low temperature side fluid of -20 ° C., the low temperature side fluid of -20 ° C. and the temperature control of + 20 ° C. are stored inside the low temperature side storage tank 108, for example. The fluid mixed with the fluid will be mixed.

ところで、低温側の貯蔵タンク１０８の内部には、図１に示すように、流入側及び流出側の拡散部材１０，２２が設けられている。その結果、低温側の貯蔵タンク１０８の内部においては、低温側の貯蔵タンク１０８内に既に貯蔵されている−２０℃の低温側流体と、−２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体とを混合した流体が、流入側及び流出側の拡散部材１０，２２によって拡散されて混合された状態となり、流体の温度が均一化される。   By the way, inside the storage tank 108 on the low temperature side, as shown in FIG. 1, diffusion members 10 and 22 on the inflow side and the outflow side are provided. As a result, in the low temperature side storage tank 108, the low temperature side fluid of -20 ° C already stored in the low temperature side storage tank 108, the low temperature side fluid of -20 ° C and a temperature control of + 20 ° C. The fluid mixed with the fluid is diffused and mixed by the diffusion members 10 and 22 on the inflow side and the outflow side, and the temperature of the fluid is equalized.

そして、低温側の貯蔵タンク１０８からは、温度が均一化された−２０℃の低温側流体と＋２０℃の温度制御用流体との混合流体が低温側のブライン温調回路１０１に供給される。   And from the storage tank 108 on the low temperature side, a mixed fluid of the low temperature side fluid of −20 ° C. and the fluid for temperature control of + 20 ° C. with uniform temperature is supplied to the brine temperature control circuit 101 on the low temperature side.

同様に、高温側の貯蔵タンク１１０からは、温度が均一化された＋１００℃の高温側流体と＋２０℃の温度制御用流体との混合流体が高温側のブライン温調回路１０２に供給される。   Similarly, from the storage tank 110 on the high temperature side, a mixed fluid of the high temperature side fluid of + 100 ° C. and the fluid for temperature control of + 20 ° C. with uniform temperature is supplied to the brine temperature control circuit 102 on the high temperature side.

[実施の形態２]
図９は本発明の実施の形態２に係る貯蔵タンクを示す断面構成図である。 Second Embodiment
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a storage tank according to Embodiment 2 of the present invention.

本実施の形態２では、図９に示されるように、タンク本体２を円筒部３と鏡板部４，５との溶接によって構成するのではなく、タンク本体２を円筒部３と下部鏡板部４及び上部蓋板部２０とをＯリング２１を介してクランプ部材２２，２３で挟持することによって構成している。   In the second embodiment, as shown in FIG. 9, the tank body 2 is not formed by welding the cylindrical portion 3 and the end plate portions 4 and 5, but the tank body 2 is formed of the cylindrical portion 3 and the lower end plate portion 4 The upper lid plate portion 20 is held by the clamp members 22 and 23 with the O-ring 21 interposed therebetween.

タンク本体２の円筒部３とタンク本体２の下部鏡板部４及び上部蓋板部２０には、互いに接合することにより密閉するフランジ部３ａ及び４ａ、更にはフランジ部２０ａがそれぞれ設けられている。   The cylindrical portion 3 of the tank body 2 and the lower end plate portion 4 and the upper lid plate portion 20 of the tank body 2 are provided with flange portions 3a and 4a which are sealed by being joined to each other, and further, flange portions 20a.

また、タンク本体２の上部蓋板部２０には、温度測定用の開口部を形成するテーパー付き雌ネジに螺合された２本の測定管２５が装着されている。   Further, on the upper lid plate portion 20 of the tank main body 2 are mounted two measurement pipes 25 screwed into a tapered female screw forming an opening for temperature measurement.

なお、前記実施の形態１では、貯蔵タンク１０８，１０１を低温側のブライン温調回路１０１及び高温側のブライン温調回路１０２の還流（帰還）側に設けた場合について説明したが、貯蔵タンク１０８，１０１を低温側のブライン温調回路１０１及び高温側のブライン温調回路１０２の供給側に設けるように構成しても良い。   In the first embodiment, the storage tanks 108 and 101 are provided on the reflux temperature side of the brine temperature control circuit 101 on the low temperature side and the brine temperature control circuit 102 on the high temperature side. , 101 may be provided on the supply side of the brine temperature adjustment circuit 101 on the low temperature side and the brine temperature adjustment circuit 102 on the high temperature side.

１…貯蔵タンク
２…タンク本体
３…円筒部
４，５…鏡板部
６…流入管
１０，２２…拡散部材
１２１〜１２６…拡散板
１３１〜１３５…流路用孔 1 ... storage tank 2 ... tank body 3 ... cylindrical portion 4,5 ... plate portion 6 ... inflow pipe 10, 22 ... diffusing member 12 1 to 12 6 ... diffuser plate 131-134 5 ... flow path hole

Claims (8)

流体が流入する流入口及び流体が流出する流出口を有し、前記流体を貯蔵するタンク本体と、
前記タンク本体の内部に設けられ、前記流入口から流入する流体の流入方向及び前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と交差するように互いに間隔を隔てて配置された複数の板状部材を有し、前記流入口から流入する流体及び前記流出口から流出する流体の少なくとも一方を流通させる流通口が開口された拡散部材とを備える貯蔵タンク。 A tank body for storing the fluid, having a fluid inlet and a fluid outlet;
A plurality of plates provided inside the tank body and spaced from each other so as to intersect at least one of the inflow direction of the fluid flowing in from the inflow and the outflow direction of the fluid flowing out of the outflow A storage tank comprising a member, and a diffusion member having an opening for communicating at least one of a fluid flowing in from the inlet and a fluid flowing out from the outlet. 前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口されていない請求項１に記載の貯蔵タンク。   The storage tank according to claim 1, wherein the flow port is not opened to the plate member that is most separated from the inlet or the outlet among the plurality of plate members. 前記複数の板状部材のうち、前記流入口又は前記流出口から最も離間した板状部材には、前記流通口が開口された前記板状部材とは異なる位置に前記流通口が開口されている請求項１に記載の貯蔵タンク。   Among the plurality of plate-like members, the plate-like member most separated from the inlet or the outlet has the flow-through opening opened at a position different from the plate-like member having the flow-through opening. The storage tank according to claim 1. 前記複数の板状部材は、前記流入口から流入する流体の流入方向又は前記流出口から流出する流体の流出方向の少なくとも一方と直交するように配置されている請求項１乃至３のいずれかに記載の貯蔵タンク。   The plurality of plate-like members are disposed orthogonal to at least one of the inflow direction of the fluid flowing in from the inflow port and the outflow direction of the fluid flowing out from the outflow port. Storage tank described. 前記複数の板状部材に開口される流通口は、すべて同一の開口径を有するように設定された請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンク。   The storage tank according to any one of claims 1 to 4, wherein all the flow openings opened in the plurality of plate members are set to have the same opening diameter. 前記複数の板状部材に開口される流通口は、前記流入口又は前記流出口から離間するに従って開口径が徐々に小さくなるように設定された請求項１乃至４のいずれかに記載の貯蔵タンク。   The storage tank according to any one of claims 1 to 4, wherein the flow openings opened in the plurality of plate-like members are set such that the opening diameter gradually decreases as they are separated from the inlet or the outlet. . 前記拡散部材は、前記流入口及び流出口の双方にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の貯蔵タンク。   The storage tank according to any one of claims 1 to 6, wherein the diffusion member is provided in each of the inlet and the outlet. 混合比が調整された低温側流体及び高温側流体からなる温度制御用流体が流れる温度制御用流路を有する温度制御手段と、
低温側の予め定められた第１の温度に調整された前記低温側流体を供給する第１の供給手段と、
高温側の予め定められた第２の温度に調整された前記高温側流体を供給する第２の供給手段と、
前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に接続され、前記第１の供給手段から供給される前記低温側流体と前記第２の供給手段から供給される前記高温側流体とを混合して前記温度制御用流路に供給する混合手段と、
前記温度制御用流路を流通した温度制御用流体を前記第１の供給手段と前記第２の供給手段に流量を制御しつつ分配する流量制御弁と、
前記低温側流体を貯蔵する第１の貯蔵タンクと、
前記高温側流体を貯蔵する第２の貯蔵タンクと、
を備え、
前記第１及び第２の貯蔵タンクとして、請求項１乃至７のいずれかに記載の貯蔵タンクを用いたことを特徴とする温度制御装置。 Temperature control means having a temperature control flow path through which a temperature control fluid consisting of a low temperature side fluid and a high temperature side fluid in which the mixing ratio is adjusted flows;
First supply means for supplying the low temperature side fluid adjusted to a low temperature side first predetermined temperature;
A second supply means for supplying the high temperature side fluid adjusted to a high temperature side predetermined second temperature;
The low temperature side fluid supplied from the first supply means is connected to the first supply means and the second supply means, and the high temperature side fluid supplied from the second supply means is mixed. Mixing means for supplying the temperature control channel,
A flow control valve for distributing the temperature control fluid flowing through the temperature control flow path to the first supply means and the second supply means while controlling the flow rate;
A first storage tank for storing the low temperature side fluid;
A second storage tank for storing the high temperature side fluid;
Equipped with
A temperature control device using the storage tank according to any one of claims 1 to 7 as the first and second storage tanks.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111271877A (en) * 2018-12-04 2020-06-12 宁波方太厨具有限公司 Pressure-stabilizing water storage tank for water heater
CN112902451A (en) * 2021-01-26 2021-06-04 宁波方太厨具有限公司 Constant temperature heating power pool and gas water heater

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5872838A (en) * 1981-10-24 1983-04-30 Shimizu Constr Co Ltd Water supply and intake equipment of temperature stratified heat accumulator
JP2013105359A (en) * 2011-11-15 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd Temperature control system, semiconductor manufacturing apparatus and temperature control method
JP2016070524A (en) * 2014-09-26 2016-05-09 Toto株式会社 Electric water heater
JP2016517349A (en) * 2013-03-15 2016-06-16 ビルフィンガー ウォーター テクノロジーズ， インコーポレイテッドＢｉｌｆｉｎｇｅｒ Ｗａｔｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． Diffusion basket

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5872838A (en) * 1981-10-24 1983-04-30 Shimizu Constr Co Ltd Water supply and intake equipment of temperature stratified heat accumulator
JP2013105359A (en) * 2011-11-15 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd Temperature control system, semiconductor manufacturing apparatus and temperature control method
JP2016517349A (en) * 2013-03-15 2016-06-16 ビルフィンガー ウォーター テクノロジーズ， インコーポレイテッドＢｉｌｆｉｎｇｅｒ Ｗａｔｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． Diffusion basket
JP2016070524A (en) * 2014-09-26 2016-05-09 Toto株式会社 Electric water heater

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111271877A (en) * 2018-12-04 2020-06-12 宁波方太厨具有限公司 Pressure-stabilizing water storage tank for water heater
CN111271877B (en) * 2018-12-04 2021-08-20 宁波方太厨具有限公司 Pressure-stabilizing water storage tank for water heater
CN112902451A (en) * 2021-01-26 2021-06-04 宁波方太厨具有限公司 Constant temperature heating power pool and gas water heater
CN112902451B (en) * 2021-01-26 2022-03-08 宁波方太厨具有限公司 Constant temperature heating power pool and gas water heater

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