JP2019054007A - 静電チャック機構、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 静電チャック
3 試料吸着面
4 吸着電極
5 電界補正用電源
6 電極
7 仮想直線
8 第1の面
9 第2の面
Claims (9)
- 試料を吸着する試料吸着面と、当該試料吸着面と前記試料との間で吸着力を発生させるための電圧が印加される第1の電極を有する静電チャック機構において、
前記第1の電極より下側に第1の面を有する第2の電極と、当該第2の電極に負電圧を印加する負電圧印加電源を備え、前記第2の電極は、前記第1の面を包囲すると共に前記試料吸着面より下側に位置する前記第2の電極の最上面となる第2の面を備えていることを特徴とする静電チャック機構。 - 請求項1において、
前記第2の電極は、前記試料吸着面に直交する方向に異なる高さの面を持ち、当該異なる高さの面は前記第1の電極から離れるほど、高くなることを特徴とする静電チャック機構。 - 請求項2において、
前記第2の電極は、階段状、或いはスロープ状に形成されることを特徴とする静電チャック機構。 - 請求項1において、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に第3の電極を配置したことを特徴とする静電チャック機構。 - 請求項4において、
前記第1の電極と前記第3の電極には同じ電圧が印加されることを特徴とする静電チャック機構。 - 請求項1において、
前記第2の電極は、前記第1の電極を包囲するように配置されることを特徴とする静電チャック機構。 - 荷電粒子ビームを照射するためのビームカラムと、前記荷電粒子線が照射される試料を移動する試料ステージを備えた荷電粒子線装置において、
前記試料を吸着する試料吸着面と、当該試料吸着面と前記試料との間で吸着力を発生するための電圧が印加される第1の電極を有する静電チャック機構を備え、当該静電チャック機構は、前記第1の電極より下側に第1の面を有する第2の電極と、当該第2の電極に負電圧を印加する負電圧印加電源を備え、前記第2の電極は、前記第1の面を包囲すると共に前記試料吸着面より下側に位置する前記第2の電極の最上面となる第2の面を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記荷電粒子ビームが照射される個所に応じて、前記第2の電極に印加する電圧を調整する制御装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料の位置を検出する位置検出装置を備え、前記制御装置は、当該位置検出装置の位置検出結果に基づいて、前記第2の電極に印加する電圧を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
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