JP2019041178A - 撮像素子およびこの撮像素子を用いた撮像装置 - Google Patents

撮像素子およびこの撮像素子を用いた撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】常に高精度に像面位相差方式による焦点検出を行うことができるようにする。【解決手段】撮像素子は、複数の画素301および302を備える単位画素部が2次元マトリックス状に配列されており、複数の画素に対してそれぞれ光を導く複数の光導波路311および312と、複数の導波路の間に形成された分離帯310aとを有している。そして、分離帯の高さおよび位置を像高に応じて変化させ、単位画素部の各々において複数の画素の瞳距離を異ならせる。【選択図】図6

Description

本発明は、撮像素子およびこの撮像素子を用いた撮像装置に関する。
一般に、像面位相差方式(瞳分割位相差方式)によって焦点検出(つまり、オートフォーカス)を行うデジタルカメラなどの撮像装置においては、撮像素子が焦点検出素子としての機能を有している。このような撮像素子では、マイクロレンズ(ML)と光電変換部との相対的位置を偏位させた画素を2次元マトリックス状に配置する。そして、画像を撮像する際には、MLと光電変換部との相対的偏位方向が異なる画素を加算して画像を生成する。一方、撮影レンズ(結像光学系)の焦点位置を算出する際には、MLと光電変換部との相対的偏位方向が異なる画素列で生成される一対の像信号を用いて相関演算を行って撮影レンズの焦点位置を算出する。
ところで、結像光学系から光を光電変換部に導くため、MLと光電変換部との間に光導波路を設けるようにした撮像素子がある(特許文献1)。そして、特許文献1では、1つのMLと1つの光電変換部とを有する画素において、MLと光電変換部との間に光導波路を設ける構成が示されている。
さらには、複数の方向において瞳分割位相差方式における焦点検出を可能として、かつ前述の光導波路を有する画素を備える撮像素子が知られている(特許文献2参照)。
特開2008−166677号公報 特開2015−162562号公報
ところが、特許文献1に記載の撮像素子においては、画素の各々は1つの光電変換部および光導波路を有しているのみで、光を瞳分割するための構成も備えられていない。よって、特許文献1に記載の撮像素子では、像面位相差方式による焦点検出を高精度に行うことができない。
また、特許文献2に記載の撮像素子においては、複数の方向に瞳分割された画素によって像面位相差方式の焦点検出を行うものの、瞳分割の方向が同一である。よって、撮像装置に所定の範囲以外の射出瞳距離を有する撮影レンズが装着されると、高精度に焦点検出を行うことが困難となる。
よって、本発明の目的は、常に高精度に像面位相差方式による焦点検出を行うことができる撮像素子およびこの撮像素子を用いた撮像装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明による撮像素子は、複数の画素を備える単位画素部が2次元マトリックス状に配列された撮像素子であって、前記複数の画素に対してそれぞれ光を導く複数の光導波路と、前記複数の導波路の間に形成された分離体と、を有し、前記分離体の高さおよび位置を像高に応じて変化させ、前記単位画素部の各々において前記複数の画素の瞳距離を異ならせることを特徴とする。
本発明によれば、撮像光学系の射出瞳距離が変化しても常に高精度に像面位相差方式による焦点検出を行うことができる。
本発明の実施の形態による撮像素子の一例についてその画素配列を概略的に示す図である。 図1に示す単位画素の構造を説明するための図である。 図2(b)に示す画素構造を+y側から示すとともに、結像光学系の射出瞳面を示す図である。 図1に示す撮像素子における設計瞳距離と撮像光学系における射出瞳距離との関係を説明するための図である。 図4に示す設計瞳距離および射出瞳距離における線像の一例を説明するための図である。 図4に示す周辺像高に配置された撮像画素を拡大して示す図である。 本発明の実施の形態による撮像素子を用いた撮像装置の一例についてその構成を示す図である。
以下に、本発明の実施の形態による撮像素子の一例について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態による撮像素子の一例についてその画素配列を概略的に示す図である。
図示の撮像素子は、例えば、CMOSセンサーであり、ここでは、説明の便宜上、4行×4列の画素構造が示されている。図示の例では、2行×2列の画素群200が一組とされている。つまり、図示の例では、2行×2列の画素群200が4つ備えられている。
当該画素群200においては、左上の位置にR(赤)の分光感度を有する画素200Rが配置され、右上および左下にそれぞれG(緑)の分光感度を有する画素200Gが配置される。また、右下にB(青)の分光感度を有する画素200Bが配置される。以下画素200R、200G、および200Bの各々を単位画素部(単に単位画素ともいう)と呼ぶことがある。
さらに、単位画素は第1焦点検出画素201、第2焦点検出画素202、第3焦点検出画素203、および第4焦点検出画素204を有し、これら画素は2行×2列に配列されている。なお、図示の例では、4行×4列の画素構造が示されているが、実際には多数の画素が2次元マトリックス状に配列されている。例えば、撮像素子は、画素の周期Pが4μmで、画素数Nが横5575行×縦3725列=約2075万画素である。また、撮像素子は焦点検出画素の行方向周期PAFが2μmで、焦点検出画素数NAFが横11150行×縦7450列=約8306万画素である。
図2は、図1に示す単位画素の構造を説明するための図である。そして、図2(a)はその構成を平面図であり、図2(b)は図2(b)のa−a線に沿った断面図である。また、図2(c)は図2(b)に示す画素において撮像光学系の光軸と光の入射角との関係を示す図である。
図2(a)に示す例では、単位画素200Gの構成が示されており、単位画素200Gは光電変換部301〜304を有している。これら光電変換部301〜304は後述するようにして撮像光学系を通過した光を受光する。なお、図2(a)において、光電変換部301〜304はそれぞれ図1に示す第1焦点検出画素201、第2焦点検出画素202、第3焦点検出画素203、および第4焦点検出画素204である。
図2(b)を参照すると、撮像光学系を通過した光(光学像)は、ML(集光レンズ)305によって集光され、カラーフィルター(図示せず)で分光されて、第1光導波路310を伝搬する。そして、光は第1光導波路310を伝搬した後、第2導波路311を伝搬して光電変換部301で受光されるか又は第2導波路312を伝搬して光電変換部302で受光される。これによって、光電変換部301および302は光電変換によって光に応じた電気信号を出力する。
第1導波路311および第2導波路312の間には光導波路分離帯(分離体)310aが形成されている。この光導波路分離帯310aは第1導波路311および第2導波路312、つまり、光電変換部301および302に入射光を分離するためのものである。同様に、光導波路分離帯310aは光電変換部303および304に入射光を分離するためにも用いられる。つまり、入射光が光電変換部に対して斜めに入射すると、入射光は第1光導波路310の壁面で反射される。そして、反射光が反射壁面と逆側に位置する光電変換部に入射するクロストークと呼ばれる現象が発生する。図示のように光導波路分離帯310aを配置すれば、反射光が逆側に位置する光電変化部に入射することが抑制される結果、クロストークを抑制することが可能となる。
図2(c)を参照して、いま図2(c)においてその中央の図に示すように、入射光が光軸に対して0度で(光軸に平行に)入射したとする。この場合には、第2導波路311を伝搬して光電変換部301で受光される受光量と第2導波路312を伝搬して光電変換部302で受光される受光量とがほぼ同一となる。
一方、図2(c)において左側の図に示すように、入射光が光軸に対して−15度で入射した場に合は、第2導波路312を伝搬して光電変換部302で受光される受光量が多くなる。また、図2(c)において右側の図に示すように、入射光が光軸に対して+15度で入射した場合には、第1導波路311を伝搬して光電変換部301で受光される受光量が多くなる。
なお、光電変化部303および304に関する構造は光電変化部301および302に関する構造と同様である。
光電変換部301および302においては、受光量に応じて電子およびホールが対生成されて空乏層で分離された後、負電荷の電子はn型層(図示せず)に蓄積される。一方、ホールは定電圧源(図示せず)に接続されたp型層を介して撮像素子の外部に排出される。
図3は、図2(b)に示す画素構造を+y側から示すとともに、結像光学系の射出瞳面を示す図である。なお、図3においては、射出瞳面の座標軸と対応させるため、画素構造におけるx軸およびy軸を反転させている。
図3において、瞳領域500は、第1〜第4瞳部分領域501〜504を有し、第1瞳部分領域501および第3瞳部分領域503は、重心が+X方向に偏心している光電変換部301および303とMLとによって、概ね共役関係になっている。
第2瞳部分領域502および第4瞳部分領域504は、瞳面上で−X側にその重心が偏心している。第2瞳部分領域502および第4瞳部分領域504は、重心が+x方向に偏心している光電変換部302および304の受光面とMLとによって、概ね共役関係になっている。
なお、瞳領域500は、光電変換部301〜304の全て、つまり、単位画素200Gで受光可能な瞳領域である。
第1瞳部分領域501〜第4瞳部分領域504を通過した光は、撮像素子の各画素にそれぞれ異なる角度で入射する。ここでは、第1焦点検出画素201は第1瞳部分領域501を通過する光を受光する。第2焦点検出画素202は第2瞳部分領域502を通過する光を受光する。第3焦点検出画素203は第3瞳部分領域503を通過する光を受光する。第4焦点検出画素204は第4瞳部分領域504を通過する光束を受光する。
図示の例では、第1焦点検出画素201および第3焦点検出画素203の出力を加算して第1焦点信号とする。また、第2焦点検出画素202および第4焦点検出画素204の出力を加算して第2焦点信号とする。さらに、第1焦点検出画素201および第2焦点検出画素202の出力を加算して第3焦点信号とし、第3焦点検出画素203および第4焦点検出画素204の出力を加算して第4焦点信号とする。そして、これら第1〜4焦点検出信号に基づいて焦点検出が行われる。
例えば、x方向における焦点検出を行う際には、第1焦点信号および第2焦点検出信号が用いられ、y方向の焦点検出を行う際には第3焦点検出信号および第4焦点検出信号が用いられる。また、第1〜第4焦点検出画素201〜204の出力を加算して、有効画素数Nの解像度の撮像信号(撮像画像)が生成される。
なお、上述の例では、単位画素が第1〜第4焦点検出画素を備える例について説明したが、画像を生成する画素(撮像画素)と焦点検出用の画素とを区分して個別の画素構成とし、撮像画素配列に、第1焦点検出画素201および第2焦点検出画素202を配置するようにしてもよい。
図4は、図1に示す撮像素子における設計瞳距離と撮像光学系における射出瞳距離との関係を説明するための図である。そして、図4(a)〜図4(c)は射出瞳によるケラレを示す図である。
図4において、入射角受光感度特性601は第1焦点検出画素201に係る入射角受光感度特性を示し、入射角受光感度特性602は第2焦点検出画素202に係る入射角受光感度特性を示す。主光線605は中央像高における単位画素(撮像画素)に係る主光線を示し、主光線705a〜705cは周辺像高における撮像画素に係る主光線を示す。また、光束606は中央像高における撮像画素で受光される光束を示し、光束706a〜706cは周辺像高におれる撮像画素で受光される光束を示す。
設計瞳距離607は撮像素子の設計瞳距離を示し、距離608は中央像高における撮像画素の中心(MLの頂点と撮像画素の中心とは一致しそれぞれが撮像画素の中心である)から周辺像高におけるMLの頂点までの距離を示す。距離609は中央像高における撮像画素中心(開口部中心)から周辺像高における撮像画素中心までの距離を示す。射出瞳距離610aは撮像光学系の射出瞳距離を示し、射出瞳711a〜711cはそれぞれ撮像光学系における射出瞳を示す。
ここで、図4(a)を用いて、撮像素子の設計瞳距離について説明すると、距離609と比べて、距離608は短く設定されている。距離608と距離609とが同一の距離であると、光束706aには射出瞳711aによってケラレが生じて感度が低下する。距離609と比べて距離608は短くすれば、このような感度低下を抑制することができる。撮像素子の焦点検出性能を設計する際、設計瞳距離607と射出瞳距離610aとの関係が重要となる。
撮影レンズが交換可能なカメラおよびレンズ一体型のズームレンズを備えるカメラにおいて、設計瞳距離を設定する手法の一例として、想定される最大の射出瞳距離と最小の射出瞳距離とに基づいて設計瞳距離を設定する手法がある。
図5は、図4に示す設計瞳距離および射出瞳距離における線像の一例を説明するための図である。そして、図5(a)は図4(a)に示す条件における線像を示す図であり、図5(b)は図4(b)に示す条件における線像を示す図である。また、図5(c)は図4(c)に示す条件における線像を示す図である。
図5(a)には、図4(a)に示す光束706aの射出瞳711aによるケラレを考慮した線像が示されており、図5(b)には、図4(b)に示す光束706bの射出瞳711bによるケラレを考慮した線像が示されている。また、図5(c)には、図4(c)に示す光束706cの射出瞳711cによるケラレを考慮した線像が示されている。
図5において、光軸901a〜901cはそれぞれ線像801a〜801cの光軸(線像の重心又はピーク位置)を示し、光軸902a〜902cはそれぞれ線像802a〜802cの光軸を示す。距離903a〜903cはそれぞれ光軸901a〜901cから光軸902a〜902cまでの距離を示す。
線像はデフォーカス量に比例して変化する。よって、第1焦点検出信号および第2焦点検出信号の位相差を用いて焦点検出を行う場合には、距離903a〜903cの大きさに焦点検出精度が依存していることが分かる。具体的には、距離903a〜903cが大きい程、焦点検出精度が向上する。
図5(b)と図5(c)とを比較すると、図5(b)の方が焦点検出精度は低いことが分かる。図5(b)に示す線像は、図4(b)を参照すると、設計瞳距離607に対して射出瞳距離610bが短い場合の線像であることが分かる。設計瞳距離607に対して射出瞳距離610bが短い場合には、撮像素子における入射角受光特性に関して、厳しい角度の光を周辺像高の撮像画素が受光しやすい。設計瞳距離607を射出瞳距離610bに近づけると、射出瞳距離610bにおける焦点検出精度の向上を図ることができるものの、射出瞳距離610a又は610cにおける焦点検出精度は低下する。
撮影レンズが交換可能なカメラにおいては、交換レンズ毎にその射出瞳距離は大きく異なる。このため、射出瞳距離が異なる交換レンズにおいて所定以上の焦点検出性能を保証するためには、距離608と距離609との関係を調整するのみでは対応可能な交換レンズは限られる。
この解決策の1つとして、撮像画素に互いに異なる設計瞳距離を有する画素(光電変換部)を設けるようにすればよい。撮像画素が4つの焦点検出用画素を備える場合には、x方向およびy方向において光導波路分離帯の位置および高さを変えるようにすればよい。
図6は、図4に示す周辺像高に配置された撮像画素を拡大して示す図である。そして、図6(a)〜図6(c)はそれぞれ光導波路分離帯の位置および高さを異ならせて撮像画素を示す図である。
なお、図6(a)〜図6(c)に示す光導波路分離帯はそれぞれ図4(a)〜図4(c)に示す状態に対応する。また、図6において、図2に示す構成要素と同一の構成要素については同一の参照番号を付す。
図6において、中心904は撮像画素の中心を示し、高さ905は光導波路分離帯310aの基準高さ(中央像高における撮像画素の光導波路分離帯の高さ)を示す。また、偏心量906bおよび906cはそれぞれ撮像画素中心904から光導波路分離帯310bおよび310cの中心までの偏芯量を示す。さらに、高低差907bおよび907cはそれぞれ基準高さ905から光導波路分離帯310bおよび310cのz軸方向の頂点までの高低差を示す。
図6(a)に示す状態(基準瞳距離)から、設計瞳距離を短くするためには、図6(b)に示すように、光導波路分離帯310bの位置を撮像画素中心904から外周方向に(図6(b)中では−x方向)に偏芯させる。さらに、光導波路分離帯310bのz方向の頂点の高さを基準高さ905よりも高くする。これによって、設計瞳距離が短くなる。
一方、図6(a)に示す状態から設計瞳距離を長くするためには、図6(c)に示すように、光導波路分離帯310cの位置を撮像画素中心904から撮像素子の中心方向にずらす(図6(c)中では+x方向)。さらに、光導波路分離帯310cのz方向の頂点の高さを基準高さ905よりも低くする。これによって、設計瞳距離が長くなる。
なお、図6においては、x方向における設計瞳距離を変更する場合について説明したが、同様の設定をy方向において行えば、y方向についても設計瞳距離を変更することができる。このようにして、x方向およびy方向において設計瞳距離を異ならせることによって、1つの撮像画素で異なる設計瞳距離を設定することが可能となる。
上述の手法を用いる際には、撮像の際に、x方向およびy方向おいて異方性が生じる。この異方性を低減するためには、図6に示す偏芯量906bおよび906cと高低差907bおよび907cとを撮像素子の像高に比例して連続的に変化させることが望ましい。撮像素子の中央像高から周辺像高に向うにつれて連続的に光導波路分離帯の偏芯量を増すか又は像高に拘わらず一律の偏心量とするかについては、撮像素子の用途に応じて決定される。
上述のように、複数の設計瞳距離を有する撮像素子を用いて焦点検出を行う際には、撮像光学系の射出瞳距離に応じて設計瞳距離を選択するか複数の設計瞳距離の撮像画素を用いて焦点検出して重み付けを行って最終の焦点検出結果を得る。
このようにして、本実施形態による撮像素子では、光導波路分離帯によって1つの撮像画素に複数の設定瞳距離を有する焦点検出画素を規定することができる。
以上にように、本発明の実施の形態による撮像素子では、1つの撮像画素に複数の設定瞳距離を有する撮像画素を設けるようにしたので、射出瞳距離が異なる撮影レンズを用いた際においても高精度に焦点検出を行うことができる。
図7は、本発明の実施の形態による撮像素子を用いた撮像装置の一例についてその構成を示す図である。なお、図示の撮像装置は、例えば、デジタルカメラ(以下単にカメラと呼ぶ)である。
撮像光学系(結像光学系)はその先端に第1レンズ群101が配置されており、当該第1レンズ群101は光軸に沿って進退可能に保持されている。第1レンズ群101の後段には絞り兼用シャッタ102が配置され、絞り兼用シャッタ102はその開口径が調節すされて撮影の際に光量調節を行うとともに、静止画撮影の際には露光秒時調節用シャッタとして機能する。絞り兼用シャッタ102の後段には第2レンズ群103が配置されている。そして、絞り兼用シャッタ102および第2レンズ群103は一体となって光軸に沿って進退し、第1レンズ群101の進退動作と動して変倍作用(ズーム)が行われる。
さらに、第2レンズ群103の後段には、第3レンズ群105が配置され、第3レンズ群105が光軸に沿って進退することによって、焦点調節が行われる。第3レンズ群105の後段には光学的ローパスフィルタ106が配置され、光学的ローパスフィルタ106は撮影画像における偽色およびモアレを軽減するための光学素子として用いられる。そして、光学的ローパスフィルタ106の後段には、前述の撮像素子107が配置される。
なお、撮像素子107は2次元CMOSセンサーおよびその周辺回路を有し、結像光学系の結像面に配置される。
ズームアクチュエータ111はカム筒(図示せず)を回動させて第1レンズ群111〜第3レンズ群103を光軸に沿って駆動して変倍作用を行う。絞りシャッタアクチュエータ112は絞り兼用シャッタ102の開口径を制御して撮影光量を調節するととともに静止画撮影の際には露光時間制御を行う。フォーカスアクチュエータ114は、第3レンズ群105を光軸に沿って駆動して焦点調節を行う。
被写体照明用電子フラッシュ115は撮影の際に被写体を照明する。電子フラッシュ115として、例えば、キセノン管を用いた閃光照明装置が用いられるが、連続発光するLEDを備えた照明装置を用いるようにしてもよい。
AF補助光発光部116は、所定の開口パターンを有するマスク像を、投光レンズを介して被写界に投影して、暗い被写体又は低コントラスト被写体に対する焦点検出能力を向上させる。
CPU121はカメラ全体の制御を司る。CPU121は、例えば、演算部、ROM、RAM、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、および通信インターフェイス回路を有している。そして、CPU121はROMに記憶された所定のプログラムに基づいて、カメラを駆動制御して、AF、撮影、画像処理、およびと記録などの一連の動作を実行する。なお、CPU121は、AFの際には撮像素子107で得られた複数の焦点検出信号に応じて像面位相差方式による焦点検出を行う。
電子フラッシュ制御回路122は、撮影動作に同期して電子フラッシュ115を点灯制御する。補助光駆動回路123は焦点検出動作に同期してAF補助光発光部116を点灯制御する。撮像素子駆動回路124は撮像素子107における撮像動作を制御するとともに、撮像素子107の出力である画像信号をA/D変換してCPU121に送る。画像処理回路125は画像データについてγ変換処理、カラー補間処理、およびJPEG圧縮などの所定の処理を行う。
フォーカス駆動回路126は焦点検出結果に基づいてフォーカスアクチュエータ114を駆動制御して、第3レンズ群105を光軸に沿って駆動して焦点調節を行う。絞りシャッタ駆動回路128は絞りシャッタアクチュエータ112を駆動制御して、絞り兼用シャッタ102の開口を制御する。ズーム駆動回路129は、撮影者によるズーム操作に応じてズームアクチュエータ111を駆動制御する。
表示装置131は、例えば、LCDである。表示装置131には、カメラの撮影モードに関する情報、撮影前のプレビュー画像と撮影後の確認用画像、そして、焦点検出の際の合焦状態を示す画像などが表示される。操作スイッチ132には、例えば、電源スイッチ、レリーズ(撮影トリガ)スイッチ、ズーム操作スイッチ、および撮影モード選択スイッチなどが備えられている。フラッシュメモリ133はカメラに対して着脱可能であり、フラッシュメモリ133には撮影によって得られた画像データが記録される。
図示のカメラには、前述の撮像素子が備えられているので、射出瞳距離が異なる結像光学系を用いたとしても高精度に焦点検出を行うことができる。
以上、本発明について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。
107 撮像素子
121 CPU
200 単位画素部
201,202,203,204 焦点検出画素
301,302.303.304 光電変換部
305 マイクロレンズ(ML)
311,312 光導波路
310a,310b,310c 光導波路分離帯
500 瞳領域
501,502,503,504 瞳部分領域

Claims (10)

  1. 複数の画素を備える単位画素部が2次元マトリックス状に配列された撮像素子であって、
    前記複数の画素に対してそれぞれ光を導く複数の光導波路と、
    前記複数の導波路の間に形成された分離体と、を有し、
    前記分離体の高さおよび位置を像高に応じて変化させ、前記単位画素部の各々において前記複数の画素の瞳距離を異ならせることを特徴とする撮像素子。
  2. 前記単位画素部の各々に対応して配置された集光レンズを備え、
    前記集光レンズは前記撮像素子の中心から離れるにつれて前記単位画素部の中心に対して偏心して配置されることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
  3. 前記複数の画素には、所定の基準瞳距離よりも瞳距離が短い第1の画素と、前記基準瞳距離よりも瞳距離が長い第2の画素とがあることを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像素子。
  4. 前記分離体の位置を前記単位画素部の中心から前記撮像素子の外周方向に偏心させるとともに、前記分離体の高さを所定の基準高さよりも高くして前記瞳距離が短い前記第1の画素を規定することを特徴とする請求項3に記載の撮像素子。
  5. 前記分離体の位置を前記単位画素部の中心から前記撮像素子の中心方向に偏心させるとともに、前記分離体の高さを所定の基準高さよりも低くして前記瞳距離が長い前記第2の画素を規定することを特徴とする請求項4に記載の撮像素子。
  6. 前記分離体の位置の偏心量および前記基準高さとの高低差を像高に比例して連続的に変化させることを特徴とする請求項5に記載の撮像素子。
  7. 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子と、
    前記単位画素部に備えられた複数の画素の出力を加算して画像信号を生成する生成手段と、
    を有することを特徴とする撮像装置。
  8. 前記単位画素部に備えられた複数の画素の出力を用いて像面位相差方式による焦点検出を行う焦点検出手段を備えることを特徴とする請求項7に記載の撮像装置。
  9. 前記撮像素子に光学像を結像させる撮像光学系を備えることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
  10. 前記焦点検出手段は、前記撮像光学系の射出瞳距離に応じた前記瞳距離を有する画素の出力を用いて前記像面位相差方式による焦点検出を行うことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。
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