JP2019031091A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム - Google Patents
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Abstract
【課題】使用する液体から受ける化学的影響を防止又は低減することができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射システムを提供する。【解決手段】ノズル開口に通じる第1流路が形成された第1流路形成部材と、前記第1流路の開口を封止する封止部材35と、前記第1流路に液体を供給するための第2流路を有する第2流路形成部材とが順次積層され、前記封止部材に形成された連通口55を介して前記第1流路の連通部と前記第2流路の連通部とが連通した液体噴射ヘッドであって、前記封止部材は前記第1流路の一面を構成するダイヤフラム層と、前記ダイヤフラム層に積層される樹脂層Cとを有しており、前記連通口の内壁の少なくとも一部が、前記樹脂層を形成する第1樹脂とは異なる第2樹脂からなる樹脂被覆層Aで覆われている。【選択図】図4
Description
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及び液体噴射システムに関する。
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ、FED(面発光ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッドは、共通インク室(共通液体室/リザーバ)から圧力室を通ってノズルに至るまでの一連の液体流路を備え、圧電振動子等の圧力発生手段を作動させて圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用して圧力室内のインクをノズルからインク滴として吐出可能に構成されている。そして、この記録ヘッドには、圧電振動子群を固定板に接合したアクチュエーターユニット(振動子ユニット)と、上記インク流路を形成した流路ユニットとを、ヘッドケースに固定して構成されたものがある。
上記の流路ユニットは、例えば、複数のノズル開口を列状に開設した金属板状のノズルプレートと、圧力室等のインク流路となる流路基部を形成した流路形成基板と、この流路形成基板の流路基部の開口を封止する封止板(振動板)とを備え、これらの各部材を積層状態で一体化することにより作製されている。封止板は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の支持板(支持基板)に樹脂製の弾性フィルム(弾性体膜)をラミネートし、支持板を部分的に除去した複合板材により構成され、弾性フィルム側の面を流路形成基板に接合するようになっている。この封止板における圧力室に対応する部分には、圧力室の容積を変化させるダイヤフラム部が設けられている。このダイヤフラム部は、圧電振動子の先端面が接合される部分を島部として残した状態で、この島部の周囲の支持板をエッチング等によって除去して弾性フィルムのみとすることで作製されている。また、封止板において共通インク室に対応する部分には、ヘッドケースのケース流路側からのインクをインク流路の一部である共通インク室に導入するためのインク導入穴(液体導入穴)が、支持板と弾性フィルムを貫通した状態で開設されている。
ヘッドケースは、例えば合成樹脂等によって中空のブロック状に形成された部材である。このヘッドケースには、アクチュエーターユニットを収容可能な収容室が形成されている。この収容室は、流路ユニット接合面となるヘッドケースの底面から、底面とは反対側の上面に渡って一連に形成されている。つまりこの収容室は、ヘッドケースの高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。また、ヘッドケースの内部には、高さ方向を貫通してケース流路が設けられている。このケース流路の上端は、インク導入針を備える導入針ユニットのインク導入路と連通し、ケース流路の下端は、封止板のインク導入穴を通じて流路ユニット内のインク流路に連通するようになっている。したがって、インク導入針から導入されたインクは、ケース流路とインク導入穴を通ってインク流路側に供給される。
上記構成のヘッドケースの底面には、流路ユニットが接合される。具体的には、収容室の底面側開口内に封止板のダイヤフラム部を配置し、インク導入穴を介してケース流路とインク流路とが液密に連通する状態で、封止板をヘッドケース底面に接着等によって接合することで、流路ユニットをヘッドケースに固定する。また、アクチュエーターユニットは、圧電振動子の自由端部を先頭にした姿勢で収容室の上面側開口から挿入され、自由端部の先端を島部の表面に当接させた状態で収容室内に収容される。そして、圧電振動子の自由端部の先端を島部に接合すると共に、固定板(固定基板)を収容室の内壁面に接着することで、アクチュエーターユニットが収容室内に固定される(特許文献1参照)。
上述のように複数部材が積層されて一連の流路が形成されるヘッドでは、部材そのものや部材間の接合に用いる接着層がインクからの影響を受けやすいという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、使用する液体から受ける化学的影響を防止又は低減することができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口に通じる第1流路が形成された第1流路形成部材と、前記第1流路の開口を封止する封止部材と、前記第1流路に液体を供給するための第2流路を有する第2流路形成部材とが順次積層され、前記封止部材に形成れた連通口を介して前記第1流路の連通部と前記第2流路の連通部とが連通した液体噴射ヘッドであって、前記封止部材は前記第1流路の一面を構成するダイヤフラム層と、前記ダイヤフラム層に積層される樹脂層とを有しており、前記連通口の内壁の少なくとも一部が、前記樹脂層を形成する第1樹脂とは異なる第2樹脂からなる樹脂被覆層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
ここで、前記封止部材と前記第1流路形成部材とは、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。
また、前記封止部材と前記第2流路形成部材とは、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。
また、前記ダイヤフラム層を変位させるアクチュエーターをさらに有し、前記アクチュエーターと前記ダイヤフラム層とが、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。
また、前記第1流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第1開口が設けられ、第2流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第2開口が設けられており、前記第1開口及び前記第2開口の径が前記連通口よりも小さくされることで、前記第1開口及び前記第2開口の内壁と前記連通口の内壁との間に段差部が形成され、当該段差部の間に前記樹脂被覆層が設けられていることが好ましい。
また、前記ダイヤフラム層がアラミド樹脂層であり、前記樹脂層がエポキシ樹脂からなることが好ましい。
また、前記樹脂被覆層がアミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤からなることが好ましい。
本発明の他の態様は、上述した態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体としての有機溶剤系インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記有機溶剤系インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システムにある。
ここで、例えば、前記有機溶剤系インクが、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、二塩基酸エステル類、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、及びアルコール系溶剤から選択される少なくとも1種を含むインクである。
また、さらに他の態様は、上述した態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体として光硬化型インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記光硬化型インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システムにある。
ここで、例えば、前記光硬化型インクが、(メタ)アクリレート類、(メタ)アクリルアミド類、及びN−ビニル化合物から選択される少なくとも1種を重合性化合物として含むインクである。
以上説明したように、本発明では、連通口の内壁の少なくとも一部が、ダイヤフラム層と支持板との間に介在する樹脂層を形成する第1樹脂とは異なる第2樹脂からなる樹脂被覆層で覆われていることにより、樹脂層が液体によって化学的影響を受け易い材質である場合においても、樹脂層を樹脂被覆層で被覆することにより、液体による化学的影響を防止することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射システムとして、図1に示す液体噴射装置であるインクジェット式プリンター(以下、プリンターと略記する)を例示する。図2は記録ヘッド2の構成を説明する要部断面図、図3は流路ユニットの構成を説明する分解斜視図、図4は図2における領域Xの拡大断面図、図5は図4における流路形成部材の拡大平面図である。
プリンター1は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド2を搭載すると共に液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ3を着脱可能に装着するキャリッジ4と、記録ヘッド2の下方に配設され、記録紙6(吐出対象物の一種)が搬送されるプラテン5と、キャリッジ4を記録紙6の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構7と、記録紙6を紙送り方向に搬送する紙送り機構8等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向(ヘッド走査方向)であり、紙送り方向とは、副走査方向(即ち、ヘッド走査方向に直交する方向)である。なお、インクカートリッジ3としては、本実施形態のようにキャリッジ4に装着するものには限らず、プリンター1の筐体側に装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド2に供給するタイプ(所謂オフキャリッジタイプ)のものを採用することもできる。
また、記録ヘッド2の移動範囲内であってプラテン5よりも外側には、記録ヘッド2の走査起点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、キャッピング機構11が設けられている。このキャッピング機構11は、キャップ部材によって記録ヘッド2のノズル形成面を封止し、ノズル開口37(図2等参照)からのインク溶媒の蒸発を防止する。また、このキャッピング機構11は、封止状態のノズル面に負圧を与えてノズル開口37からインクを強制的に吸引排出するクリーニング動作等にも用いられる。
例示した記録ヘッド2は、インク導入針13を立設する導入針ユニット14、アクチュエーターである複数の圧電振動子15を有する振動子ユニット16(アクチュエーターユニットに相当する)、インク流路(液体流路の一種)を形成する流路ユニット17、振動子ユニット16や流路ユニット17が固定されるヘッドケース18、及び、圧電振動子15に駆動信号を供給するための配線基板28等を備えて概略構成されている。
振動子ユニット16は、圧力発生手段としての圧電振動子15と、この圧電振動子15が接合される固定板27と、配線基板28からの駆動信号を圧電振動子15に供給するフレキシブルケーブル29等から構成される。本実施形態における圧電振動子15は、圧電体を電極で挟んで積層し、細長い櫛歯状に切り分けられた積層型の圧電振動子である。そして、この圧電振動子15は、縦方向(振動子長手方向)に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子15は、固定端部を固定板27上に接合することにより、自由端部を固定板27の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態となっている。そして、各圧電振動子15における自由端部の先端面は、後述するように、封止板35に形成されたダイヤフラム部47の島部49に接合される。
上記の圧電振動子15の表面には、個別外部電極30と共通外部電極31とが形成されている。個別外部電極30は、圧電振動子15の先端面部と、圧電振動子15における積層方向の一側面である配線接続面(フレキシブルケーブル29が接続される面)とに一連に形成された電極であり、圧電振動子15内部の個別内部電極(図示せず)と導通している。また、共通外部電極31は、圧電振動子15の先端面部とは反対側となる基端面部と、圧電振動子15における積層方向の他側面である固定板取付面とに一連に形成された電極であり、圧電振動子15内部の共通内部電極(図示せず)と導通している。これらの外部電極のうち、一方の個別外部電極30はフレキシブルケーブル29の個別端子と電気的に接続され、他方の共通外部電極31はフレキシブルケーブル29の共通端子(接地端子)と電気的に接続される。そして、フレキシブルケーブル29を通じて駆動信号を圧電振動子15に印加すると、個別外部電極30(個別内部電極)と共通外部電極31(共通内部電極)との電位差により圧電体が変形する。これにより、圧電振動子15を伸縮駆動することができる。
上記流路ユニット17は、図3に示すように、ノズルプレート33、第1流路形成部材である流路形成部材34、及び封止部材である封止板35(振動板)から構成され、ノズルプレート33を流路形成部材34の一方の表面に配置し、封止板35をノズルプレート33とは反対側となる流路形成部材34の他方の表面に配置して、接着剤により接合して一体化することで構成されている。流路ユニット17において最下部に配設されるノズルプレート33は、複数のノズル開口37を列状に開設したステンレス鋼製の薄い板材である。本実施形態では、例えば、180dpiに対応するピッチで180個のノズル開口37を列状に開設し、これらのノズル開口37によってノズル列を構成している。このノズルプレート33は、記録紙等から発生する静電気の帯電やノイズを防止する目的で、図示しない金属製のカバーを通じて接地電位に調整される。
流路形成部材34は、例えば、シリコンウェハーから作製され、共通インク室38、インク供給口39、及び圧力室40からなる一連のインク流路(第1流路の一種)となる流路基部が区画形成された板状部材である。具体的には、圧力室40となる圧力室空部41、インク供給口39となる溝部42および共通インク室38となる空部(凹部)43等が、エッチング処理によって流路形成部材34上に作製されている。なお、流路形成部材は、複数のプレート部材を積層して構成される場合もある。
上記の圧力室40は、ノズル開口37の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口39は、圧力室40と共通インク室38との間を連通する流路幅の狭い狭窄部(オリフィス)として形成されている。また、共通インク室38は、インク導入針13から導入されてインク導入路22及びケース流路25を通じて供給されるインクを一時的に貯留する室である。この共通インク室38に貯留されたインクは、インク供給口39を通じて各圧力室40に分配供給される。
封止板35は、ステンレス鋼等の導電性を有する板材から成る支持基板45に絶縁性の可撓性フィルムから作製されたダイヤフラム層である弾性体膜46を、第1樹脂からなる樹脂層C(図4参照)を介在させた状態でラミネート加工した二重構造の複合板材であり、弾性体膜46側の面が流路形成部材34に、支持基板45側の面がヘッドケース18の底面に、それぞれ接着剤により接合されるようになっている。この封止板35は、圧力室40(圧力室空部41)の一方の開口面を封止して当該圧力室40の容積を変動させるためのダイヤフラム部47が形成されると共に、共通インク室38(凹部43)の一方の開口面を封止するコンプライアンス部48が形成された部材である。ダイヤフラム部47は、圧電振動子15の先端面を接合するための部分を島部49として残した状態で、その周囲の支持基板45をエッチング加工によって除去して弾性体膜46のみとすることで構成されている。即ち、この島部49は、支持基板45の他の部分から独立している。そして、その形状は、圧力室40の平面形状と同様に、ノズル開口37の列設方向と直交する方向に細長いブロック状となっている。
また、封止板35においてコンプライアンス部48として機能する部分、すなわち共通インク室38に対応する部分は、流路形成部材34の凹部43の開口形状にほぼ倣って支持基板45が除去され、弾性体膜46のみとなっている。このコンプライアンス部48を形成する際、封止板35における支持基板45の一部がコンプライアンス部48の縁部から中心側に向けて張り出したエプロン部44として残るようにエッチング加工が施されている(図3)。このエプロン部44には、インク導入穴50(本発明における連通口に相当)が、支持基板45と弾性体膜46を貫通した状態で開設されている。このインク導入穴50は、流路形成部材34との接合状態でインク流路の一部である共通インク室38と連通し、また、ヘッドケース18との接合状態でケース流路25と連通する。即ち、このインク導入穴50は、ヘッドケース18のケース流路25側から流下してくるインクを共通インク室38側に導入するための貫通穴であり、本実施形態においては円形の穴に形成されている。このインク導入穴50の寸法(内径D2)に関し、ケース流路25の連通部側の開口(第2流路形成部材の第2流路の連通部の連通口との連通する第2開口に相当する)内径(内径D1)よりも大きく設定されている。この点の詳細については後述する。
ヘッドケース18は、合成樹脂製の中空のブロック状部材であり、その内部には振動子ユニット16を収容可能な収容室53と、導入針ユニット14側からのインクを流路ユニット17側に供給するケース流路25(第2流路に相当)とが形成されている。ヘッドケース18の収容室53は、流路ユニット取付面となるヘッドケース18の底面から、導入針ユニット14や配線基板28が取り付けられる上面に亘って一連に形成されている。つまり、収容室53は、ヘッドケース18の高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。
上記のヘッドケース18には、まず、流路ユニット17が接合される。具体的には、収容室53の底面開口内に封止板35のダイヤフラム部47を配置すると共に、ケース流路25(即ち、第2流路の連通部)と共通インク室38(即ち、第1通路の連通部)とが封止板35のインク導入穴50(即ち、連通口)を介して液密に連通する状態で、封止板35の支持基板45側の面をヘッドケース18の底面に接着剤によって接着することで、流路ユニット17をヘッドケース18に接合する。これにより、ヘッドケース18の収容室53の底面開口には、ダイヤフラム部47(島部49)が臨む。次に、振動子ユニット16がヘッドケース18の収容室53に収容される。即ち、振動子ユニット16は、圧電振動子15の自由端部を先頭にした姿勢で収容室53の上面側開口から挿入され、自由端部の先端を対応する島部49の表面に当接させた状態で収容室53内に収容される。そして、圧電振動子15の自由端部の先端を島部49に接着剤で接合すると共に、固定板27を収容室53の内壁面に接着剤で接着することで、収容室53内に固定される。
流路ユニット17と振動子ユニット16がヘッドケース18に取り付けられた後、ヘッドケース18の上面に配線基板28が配設され、この配線基板28とフレキシブルケーブル29の配線が行われる。その後、ヘッドケース18の上面には、パッキン24を介在させた状態で導入針ユニット14が取り付けられる。これにより、導入針ユニット14のインク導入路22がパッキン24を介してヘッドケース18のケース流路25と液密に連通する。したがって、インク導入針13の導入孔21から導入されたインクは、インク導入路22及びケース流路25を通ってインク導入穴50から流路ユニット17のインク流路側、即ち、共通インク室38に供給される。
そして、上記構成の記録ヘッド2において、上記配線基板28からフレキシブルケーブル29を通じて圧電振動子15に駆動信号が印加されると、この圧電振動子15が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部49が圧力室40に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室40の容積が変化し、圧力室40内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によって、ノズル開口37からインク滴(液滴の一種)が吐出される。
本発明に係る記録ヘッド2では、図4および図5に示すように、流路形成部材34の封止板35との接合面に、支持基板45および弾性体膜46に形成したインク導入穴50を覆う大きさに形成された被覆部54を形成し、この被覆部54にインク導入穴50と液体流路を構成するインク流路側の連通部、即ち、共通インク室38と連通する連通部の連通第1開口である連通穴55を開設し、インク導入穴50の内径D2をケース流路25および連通穴55の内径D1よりも大きく設定する(換言すると、ケース流路25および流路形成部材34の連通穴55の内径D1を、支持基板45におけるインク導入穴50の内径D2よりも小さく設定する)ことにより、ケース流路25および連通穴55との間に段差部56を形成し、この段差部56の間に樹脂被覆層Aを導入して固着させている。そして、この樹脂被覆層Aによって支持基板45のインク導入穴50の内壁(内周面)を覆い隠している。
すなわち、封止板35の支持基板45および弾性体膜46に形成したインク導入穴50が流路形成部材34の被覆部54の連通穴55の縮径された段差部56によってインク導入穴50の内周面を覆う樹脂被覆層Aが流れ落ちることが防止されて、インク導入穴50の内周面が樹脂被覆層Aにより完全に覆われている。これにより、支持基板45と弾性体膜46とを接着している第1樹脂からなる樹脂層Cのインク導入穴50の内周面への露出がなくなり、インクとの接触が防止される。
なお、流路形成部材34に形成する被覆部54および連通穴55は、図5に示すように、例えば、シリコンウェハーから作製され、ドライエッチングによって被覆部54を共通インク室38側に半円形に突き出すように形成すると共に、連通穴55を円形に形成する。これにより、連通穴55を高精度に形成することができ、ケース流路25を通ってインク導入穴50および連通穴55から流路ユニット17側の共通インク室38にインクが供給される場合の圧力損失を抑える等の形状および寸法を最適にすることが可能となる。
ここで、樹脂被覆層Aとしては、樹脂層Cを形成する第1樹脂とは異なる第2樹脂で形成し、使用するインクの化学的影響をより受け難い材料を用いればよい。
すなわち、樹脂層Cを構成する第1樹脂は、ダイヤフラム部47を構成する観点から選択され、耐インク性の観点を優先した選択ができない場合がある。本実施形態では、樹脂層Cは、ステンレス鋼等の支持基板45と、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やアラミド樹脂などの絶縁性の可撓性フィルムから作製されたダイヤフラム層である弾性体膜46との接着性やダイヤフラム部47を構成する観点から選択され、例えば、ウレタン系接着剤やビスフェノール型エポキシ樹脂系接着剤等が用いられる。
一方、樹脂被覆層Aに用いられる第2樹脂は、耐インク性を考慮し、例えば、溶剤系インクを用いる場合には、耐溶剤性の高い材料を選択し、光硬化型インクを用いる場合には、光UV硬化型インクに用いられる溶剤などの材料から化学的影響を受け難い材料を選択する。
また、樹脂被覆層Aは、段差部56の間のみを固着するものとしてもよいが、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合する接着剤と共用することもでき、本実施形態においては、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合するための接着剤を利用している。このように、樹脂被覆層Aとして、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合するための接着剤を利用した場合、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合するための接着剤を段差部56の間にはみ出させるだけで比較的容易に樹脂被覆層Aを形成できる。具体的には以下のように形成できる。
ヘッドケース18と流路ユニット17を接合する際、ヘッドケース18の流路ユニット接合面にシート状の接着剤を転写し、この転写部分に流路ユニット17の封止板35側の面を接着する。この際、上述のようにインク導入穴50と連通穴55との間に段差部56が形成されるようになっているため、図4に示すように、接着剤の一部がインク導入穴50側に流れ込んで段差部56で流れ落ちが防止され、この流れ込んだ接着剤がインク導入穴50の内周面を覆った状態で固化し、上記樹脂被覆層Aとして機能する。
本実施形態では、樹脂被覆層Aを、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合する接着剤と共用し、樹脂層Cに用いられている樹脂材料とは異なるp−アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤とした。ここで、p−アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤は、樹脂成分として、p−アミノフェノール型エポキシ樹脂を主として含有する接着剤であり、さらに、硬化成分を含有するものである。
これにより、封止板35を構成する支持基板45と弾性体膜46との間に介在している樹脂層Cがインクによって化学的影響を受け易い材質である場合においても、この樹脂層Cを樹脂被覆層Aで被覆することにより、樹脂層Cがインクから受ける化学的影響を防止又は低減することができ、これにより支持基板45と弾性体膜46の接着信頼性を確保することができる。
ここで、樹脂層Cは、有機溶剤系インクや、例えば、紫外線(UV)硬化型インクなどの光硬化型インクによって浸食を受けやすい場合がある。よって、このようなインクを用いる場合には、これらのインクに対して浸食され難い樹脂材料を樹脂被覆層Aとして用いればよく、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合するための接着剤としても利用できる場合には、共用するのがさらに好ましい。さらに、各圧電振動子15における自由端部の先端面と、封止板35に形成されたダイヤフラム部47の島部49との接合に用いられる接着剤を封止板35とヘッドケース18とを接合する接着剤と同様なものとすることで、同一プロセスでアクチュエーターユニットを簡便に配置することができる。
ここで、有機溶剤系インクは、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、二塩基酸エステル類、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤の何れか1種以上を含有するインクである。
グリコールエーテル系溶剤としては、アルキレングリコールモノエーテルや、アルキレングリコールジエーテル等が挙げられる。
アルキレングリコールモノエーテルとしては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル、トリエチエレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノメチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノエチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。
アルキレングリコールジエーテルとしては、例えば、エチレングリコールジメチルエー
テル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジエチルエーテル、テトラエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等が挙げられる。
テル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジエチルエーテル、テトラエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等が挙げられる。
また、グリコールエーテルエステル類としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−3−メチル−1−ブチルアセテートなどが挙げられる。
二塩基酸エステル類としては、ジカルボン酸(例えば、グルタル酸、アジピン酸、コハク酸等の脂肪族ジカルボン酸)のモノエステル、ジエステル等が挙げられる。具体的には、ジメチル−2−メチルグルタレート等が挙げられる。
エステル系溶剤としては、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソペンチル、酢酸sec−ブチル、酢酸アミル、酢酸メトキシブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、カプリル酸メチル、ラウリル酸メチル、ラウリル酸イソプロピル、ミリスチン酸イソプロピル、パルミチン酸イソプロピル、パルミチン酸イソオクチル、パルミチン酸イソステアリル、オレイン酸メチル、オレイン酸エチル、オレイン酸イソプロピル、オレイン酸ブチル、リノール酸メチル、リノール酸イソブチル、リノール酸エチル、イソステアリン酸イソプロピル、大豆油メチル、大豆油イソブチル、トール油メチル、トール油イソブチル、アジピン酸ジイソプロピル、セバシン酸ジイソプロピル、セバシン酸ジエチル、モノカプリン酸プロピレングリコール、トリス(2−エチルヘキサン酸)トリメチロールプロパン、トリス(2−エチルヘキサン酸)グリセリル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。
炭化水素系溶剤としては、脂肪族炭化水素(例えば、パラフィン、イソパラフィン)、脂環式炭化水素(例えば、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン等)、芳香族炭化水素(例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン、テトラリン等)等が挙げられる。このような炭化水素系溶剤としては、市販品を用いてもよく、IPソルベント1016、IPソルベント1620、IPクリーンLX(以上全て、出光興産株式会社製の商品名)、Isopar(アイソパー)G、Isopar L、Isopar H、Isopar M、Exxsol D40、Exxsol D80、Exxsol D100、Exxsol D130、Exxsol D140(以上全て、Exxon社製の商品名)、NSクリーン100、NSクリーン110、NSクリーン200、NSクリーン220(以上全て、JX日鉱日石エネルギー株式会社の商品名)、ナフテゾール160、ナフテゾール200、ナフテゾール220(以上全て、JX日鉱日石エネルギー株式会社の商品名)等の脂肪族炭化水素または脂環式炭化水素や、ソルベッソ200(Exxon社製の商品名)等の芳香族炭化水素が挙げられる。
アルコール系溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、1−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、3−ペンタノール、2−メチル−1−ブタノール、2−メチル−2−ブタノール、イソアミルアルコール、3−メチル−2−ブタノール、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、4−メチル−2−ペンタノール、アリルアルコール、1−ヘキサノール、1−ヘプタノール、2−ヘプタノール、3−ヘプタノール、イソミリスチルアルコール、イソパルミチルアルコール、イソステアリルアルコール、オレイルアルコール等が挙げられる。
一方、光硬化型インク組成物は、例えば、(メタ)アクリレート類、(メタ)アクリルアミド類、N−ビニル化合物のいずれかを重合性化合物として含むインクが挙げられる。
単官能(メタ)アクリレートとしては、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、tert−オクチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、4−n−ブチルシクロへキシル(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルジグリコール(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−クロロエチル(メタ)アクリレート、4−ブロモブチル(メタ)アクリレート、シアノエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブトキシメチル(メタ)アクリレート、3−メトキシブチル(メタ)アクリレート、アルコキシメチル(メタ)アクリレート、アルコキシエチル(メタ)アクリレート、2−(2−メトキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、2−(2−ブトキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、2,2,2−テトラフルオロエチル(メタ)アクリレート、1H,1H,2H,2H−パーフルオロデシル(メタ)アクリレート、4−ブチルフェニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2,4,5−テトラメチルフェニル(メタ)アクリレート、4−クロロフェニル(メタ)アクリレート、フェノキシメチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、グリシジロキシブチル(メタ)アクリレート、グリシジロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジロキシプロピル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、トリメトキシシリルプロピル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリメトキシシリルプロピル(メタ)アクリレート、トリメチルシリルプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレンオキシドモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリエチレンオキシド(メタ)アクリレート、オリゴエチレンオキシド(メタ)アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノアルキルエーテル(メタ)アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレンオキシドモノアルキルエーテル(メタ)アクリレート、オリゴプロピレンオキシドモノアルキルエーテル(メタ)アクリレート、2−メタクリロイロキシエチルコハク酸、2−メタクリロイロキシヘキサヒドロフタル酸、2−メタクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシプロピルフタレート、ブトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチルエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、EO変性フェノール(メタ)アクリレート、EO変性クレゾール(メタ)アクリレート、EO変性ノニルフェノール(メタ)アクリレート、PO変性ノニルフェノール(メタ)アクリレート、EO変性−2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられる。
多官能(メタ)アクリレートとしては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(DPGD(M)A)、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(TPGD(M)A)、2,4−ジメチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ブチルエチルプロパンジオールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンメタノールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート(TEGD(M)A)、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、オリゴエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールFポリエトキシジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、オリゴプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート等の2官能の(メタ)アクリレートが挙げられる。
さらに、多官能の(メタ)アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのアルキレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスルトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ((メタ)アクリロイルオキシプロピル)エーテル、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ヒドロキシピバルアルデヒド変性ジメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ソルビトールトリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレート:以上3官能、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート:以上4官能、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート:以上5官能、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート:以上6官能、等が挙げられる。
(メタ)アクリルアミド類としては、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−エチル(メタ)アクリルアミド、N−プロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリロイルモルフォリンが挙げられる。
N−ビニル化合物は、ビニル基が窒素に結合した構造(>N−CH=CH2)を有する。N−ビニル化合物の具体例としては、例えば、N−ビニルホルムアミド、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルインドール、N−ビニルピロール、N−ビニルアセトアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、およびそれらの誘導体が挙げられ、これらの化合物の中でも特にN−ビニルカプロラクタムが好ましい。
このような有機溶剤系インクや光硬化型インクに対して化学的耐性に優れた樹脂材料としては、アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤、特に、p−アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤を挙げることができる。この材料は、樹脂層Cに用いられる樹脂材料(例えば、ウレタン樹脂系接着剤やビスフェノール型エポキシ樹脂系接着剤)よりも上述のような有機溶剤系インクや光硬化型インクに対する化学的耐性が高く、樹脂被覆層Aの材料として好適である。
このように構成した記録ヘッド2を搭載したプリンター1によれば、インクによる樹脂層Cへ化学的影響を防止することができるので、信頼性の高い吐出制御を行うことが可能となる。また、本実施形態では、樹脂被覆層Aとして、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合する接着剤を利用しているので、別個に樹脂材料を用意する必要が無く、且つ段差部56を設けて封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合する接着剤を段差部56の間にはみ出させて樹脂被覆層Aを形成しているので、樹脂被覆層Aを設ける工程も比較的簡便である。
また、換言すると、封止板35と、ヘッドケース18及び流路ユニット17とを接合する接着剤として、樹脂被覆層Aと同様に耐インク性に優れた接着剤を用いることになるので、インクと接触があっても、接合状態に影響を与えることがない。
さらに、各圧電振動子15における自由端部の先端面と、封止板35に形成されたダイヤフラム部47の島部49との接合に用いられる接着剤も樹脂被覆層Aと同様な樹脂材料とするのが望ましい。この場合、封止板35とヘッドケース18との接合プロセスにおいてアクチュエーターユニットを接合することができ、プロセスが簡便となる。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
図6は、本発明の第2の実施形態の構成を説明する要部平面図、図7は要部断面図、図8は要部底面図である。この第2実施形態では、流路形成部材34に形成する被覆部54および連通穴55を、シリコンウェハーをウェットエッチングすることによって被覆部54を共通インク室38側に結晶面に沿ったギザギザな多角形状に突き出すように形成すると共に、連通穴55も結晶面に沿ったギザギザな2つの台形状を組み合わせて形成してある。これにより、流路形成部材34の作製の際に、エッチング時間を調整することで、共通インク室38などの作製と同時に、被覆部54や連通穴55を簡単に形成することが可能となる。そして、このようなウェットエッチングで作製した被覆部54や連通穴55によってインク導入穴50に段差部56を形成することができ、接着剤を段差部56上に留めて底面への廻り込みを防止することができる。これにより、接着剤の剥げ落ちを防止することができると共に、支持基板45がインクと接触することをより確実に防止することができる。要は、インク導入穴50に対して、その周囲に被覆部54の連通穴55で段差部56を形成できれば良く、被覆部54や連通穴55の形状は任意で良く、作製方法も適宜選択すれば良い。
また、上述した各実施形態では、液体噴射装置は記録ヘッド2がキャリッジ4に支持されて、紙幅方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド2が固定されて、記録紙6を紙送り方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式の液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
さらに、上記実施の形態においては、液体噴射システムの一例として、液体噴射装置を例示して説明したが、所望の液体を噴射するように設計された液体噴射ヘッドである記録ヘッドと、所望の液体を貯留する液体貯留部材との組み合わせ部材も、本発明の液体噴射システムの1種である。このような記録ヘッドと液体貯留部材との組み合わせ部材は、所定のプリンター本体に取り付けることにより、印刷等を行うことができるものであり、上述した本発明の効果を奏するものである。
さらに、上記実施の形態においては、インクを吐出する液体噴射ヘッド(ヘッドユニット)を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広くヘッドユニット及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するヘッドユニットや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他のヘッドユニットとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のヘッドユニット、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッドユニット、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッドユニット、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドユニット等が挙げられ、かかるヘッドユニットを備えた液体噴射装置にも適用できる。
1…プリンター,2…記録ヘッド,15…圧電振動子,16…振動子ユニット,17…流路ユニット,18…ヘッドケース,25…ケース流路,33…ノズルプレート,34…流路形成部材,35…封止板,37…ノズル開口,38…共通インク室,40…圧力室,45…支持基板,46…弾性体膜,47…ダイヤフラム部,49…島部,50…インク導入穴,53…収容室,54…被覆部,55…連通穴,56…段差部,A…樹脂被覆層,C…樹脂層,D1…連通穴の内径,D2…インク導入穴の内径
Claims (11)
- ノズル開口に通じる第1流路が形成された第1流路形成部材と、前記第1流路の開口を封止する封止部材と、前記第1流路に液体を供給するための第2流路を有する第2流路形成部材とが順次積層され、前記封止部材に形成れた連通口を介して前記第1流路の連通部と前記第2流路の連通部とが連通した液体噴射ヘッドであって、
前記封止部材は前記第1流路の一面を構成するダイヤフラム層と、前記ダイヤフラム層に積層される樹脂層とを有しており、
前記連通口の内壁の少なくとも一部が、前記樹脂層を形成する第1樹脂とは異なる第2樹脂からなる樹脂被覆層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記封止部材と前記第1流路形成部材とは、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記封止部材と前記第2流路形成部材とは、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ダイヤフラム層を変位させるアクチュエーターをさらに有し、前記アクチュエーターと前記ダイヤフラム層とが、前記第2樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項3記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第1開口が設けられ、第2流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第2開口が設けられており、前記第1開口及び前記第2開口の径が前記連通口よりも小さくされることで、前記第1開口及び前記第2開口の内壁と前記連通口の内壁との間に段差部が形成され、当該段差部の間に前記樹脂被覆層が設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ダイヤフラム層がアラミド樹脂層であり、前記樹脂層がエポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
- 前記樹脂被覆層がアミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤からなることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜7の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体としての有機溶剤系インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記有機溶剤系インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システム。
- 前記有機溶剤系インクが、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、二塩基酸エステル類、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、及びアルコール系溶剤から選択される少なくとも1種を含むインクであることを特徴とする請求項8記載の液体噴射システム。
- 請求項1〜7の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体として光硬化型インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記光硬化型インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システム。
- 前記光硬化型インクが、(メタ)アクリレート類、(メタ)アクリルアミド類、及びN−ビニル化合物から選択される少なくとも1種を重合性化合物として含むインクであることを特徴とする請求項10記載の液体噴射システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018183624A JP2019031091A (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
CN201910903858.1A CN110962461B (zh) | 2018-09-28 | 2019-09-24 | 液体喷射头和液体喷射*** |
JP2019172650A JP7352823B2 (ja) | 2018-09-28 | 2019-09-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
US16/584,607 US10850516B2 (en) | 2018-09-28 | 2019-09-26 | Liquid ejecting head and liquid ejecting system with a sealing member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018183624A JP2019031091A (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019031091A true JP2019031091A (ja) | 2019-02-28 |
Family
ID=65522897
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018183624A Pending JP2019031091A (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
JP2019172650A Active JP7352823B2 (ja) | 2018-09-28 | 2019-09-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019172650A Active JP7352823B2 (ja) | 2018-09-28 | 2019-09-24 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10850516B2 (ja) |
JP (2) | JP2019031091A (ja) |
CN (1) | CN110962461B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6933054B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-09-08 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
JP6825404B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-02-03 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3620293B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2005-02-16 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP4654458B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-03-23 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置 |
JP2009137211A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP6003149B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014005421A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録用インク組成物、インクジェット記録方法 |
JP6098267B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2016068539A (ja) * | 2014-10-02 | 2016-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
-
2018
- 2018-09-28 JP JP2018183624A patent/JP2019031091A/ja active Pending
-
2019
- 2019-09-24 CN CN201910903858.1A patent/CN110962461B/zh active Active
- 2019-09-24 JP JP2019172650A patent/JP7352823B2/ja active Active
- 2019-09-26 US US16/584,607 patent/US10850516B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110962461A (zh) | 2020-04-07 |
CN110962461B (zh) | 2021-03-16 |
JP2020055305A (ja) | 2020-04-09 |
JP7352823B2 (ja) | 2023-09-29 |
US20200101735A1 (en) | 2020-04-02 |
US10850516B2 (en) | 2020-12-01 |
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