JP2019020416A - 金属薄板検査装置および金属薄板の検査方法 - Google Patents
金属薄板検査装置および金属薄板の検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
そこで本発明の目的は、金属薄板の形状欠陥や表面欠陥等が微小なものであっても簡易に検出することができる、金属薄板検査装置および金属薄板の検査方法を提供することである。
金属薄板を載置するための検査台と、
前記検査台上に縞状光を照射する第一光源部と、
前記縞状光とは異なる方向から、前記検査台に向けて光を照射する第二光源と、を有する金属薄板検査装置である。
好ましくは、前記第一光源部は、前記検査台に向けて光を照射する第一光源と、
前記第一光源と前記検査台との間に配置され、前記第一光源からの光により検査台上に縞模様を照射する、縞模様形成部材と、を備える。
好ましくは前記検査台は、水平状態から所定の角度で傾斜可能である。
好ましくは前記第二光源は前記第一光源部よりも前記検査台に近い位置にある。
前記検査台に検査用の金属薄板を載置し、前記金属薄板に前記第一光源部からの縞状光を照射し、照射された縞模様の形態から前記金属薄板を検査する第一欠陥検査工程と、
前記第二光源から光を前記金属薄板に照射し、前記金属薄板を検査する第二欠陥検査工程と、を備えることを特徴とする、金属薄板の検査方法である。
好ましくは、前記金属薄板は、厚さが1mm以下であり、表面粗さが、Ra≦0.2μm、Rz≦2.0μmである。
まず、用意した検査対象の金属薄板を検査台上に載置し、第二光源からの光が照射されていない状態で第一光源からの光を縞模様形成部材に透過させて、縞状光を金属薄板に照射し、照射された縞模様の形態から金属薄板の形状欠陥を検査する。この際に縞模様が金属薄板上で見難い場合、縞模様形成部材を±5°の範囲内で傾斜させることで、縞模様の映り具合を調整することができる。また第一欠陥検査工程時に、検査台を傾斜させても良い。この第一欠陥検査工程では、主に金属薄板のうねり、折れ、打痕、ロールマークといった形状欠陥を捕捉することができる。金属薄板上に上述したような形状欠陥が存在した場合、図5に示すように縞模様が歪むため、容易に形状欠陥を捕捉することができる。
本実施形態では続いて第一光源からの光が照射されていない状態で、第二光源からの光を金属薄板に照射し、金属薄板の欠陥を検査する。第一欠陥検査工程では、例えばキズの深さが1μm以下と非常に浅い表面欠陥を検出することは困難であるが、この第二欠陥検査工程により、正常部と欠陥部とで反射特性が変化するため、上述した微小な表面欠陥も捕捉することができる。この第二欠陥検査工程では、検査台の角度を±30°の範囲内で変化させながら金属薄板を観察することが好ましい。これにより金属薄板表面の反射特性を変更させ、微小な表面欠陥を捕捉し易くすることができる。なお本実施形態では第一欠陥検査工程、第二欠陥検査工程の順に行ったが、第二欠陥検査工程を先に実施してもよい。
2 第二光源
3 検査台
4 縞模様形成部材
5 枠体
10 光遮断部
16 ダレ部
20 第一光源部
h1 第一光源と縞模様形成部材との距離
h2 縞模様形成部材と検査台との距離
L1 光遮断部の幅
L2 光遮断部の間隔
α 第一光源角度
β 第二光源角度
γ 縞模様形成部材の傾斜角度
θ1、θ2 検査台の傾斜角度
Claims (6)
- 金属薄板を検査するための金属薄板検査装置において、
金属薄板を載置するための検査台と、
前記検査台上に縞状光を照射する第一光源部と、
前記縞状光とは異なる方向から、前記検査台に向けて光を照射する第二光源と、を有する金属薄板検査装置。 - 前記第一光源部は、
前記検査台に向けて光を照射する第一光源と、
前記第一光源と前記検査台との間に配置され、前記第一光源からの光により検査台上に縞模様を照射する縞模様形成部材と、を備える請求項1に記載の金属薄板検査緒装置。 - 前記検査台は、水平状態から所定の角度で傾斜可能であることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属薄板検査装置。
- 前記第二光源は前記第一光源部よりも前記検査台に近い位置にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の金属薄板検査装置。
- 請求項1から請求項4の何れかに記載の検査装置を用いる金属薄板の検査方法において、
前記検査台に検査用の金属薄板を載置し、前記金属薄板に前記第一光源部からの縞状光を照射し、照射された縞模様の形態から前記金属薄板を検査する第一欠陥検査工程と、
前記第二光源から光を前記金属薄板に照射し、前記金属薄板を検査する第二欠陥検査工程と、
を備えることを特徴とする、金属薄板の検査方法。 - 前記金属薄板は、厚さが1mm以下であり、表面粗さが、Ra≦0.2μm、Rz≦2.0μmであることを特徴とする、請求項5に記載の金属薄板の検査方法。
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2018
- 2018-07-17 JP JP2018134084A patent/JP7110777B2/ja active Active
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