JP2019007824A - 光音響測定プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
図1において、光音響測定装置(以下、単に測定装置という)10は、光音響測定プローブ(以下、単にプローブという)11、回路部12を備える。プローブ11は、光照射部13と光音響波検出部14とを備え、筐体15に収容されている。回路部12は、駆動部16、検出回路17、濃度算出部18、及びこれらを統括的に制御する制御部19を備える。
第2実施形態は、集光部としてのレンズによる集光位置を可変にしたものである。なお、以下に説明するようにレンズが異なる他は、第1実施形態と同じであり、同じ構成部材には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第3実施形態は、センサ部よりも接触面側のプローブ内に集音部材を設けるとともに、カンチレバーのキャビティ側に気体層を設けたものである。なお、以下に説明する他は、第1実施形態と同じであり、同じ構成部材には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第4実施形態は、集光部として凹面鏡を用いたものである。なお、以下に説明するようにレンズに代えて凹面鏡を用いている他は、第1実施形態と同じであり、同じ構成部材には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第5実施形態は、光照射部と光音響波検出部とを別々の筐体部に収容したものである。なお、以下に説明する他は、第1実施形態と同じであり、同じ構成部材には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
11、60 光音響測定プローブ
13 光照射部
14 光音響波検出部
15a、75a、92 第1筐体部
15b、75b、93 第2筐体部
25b 第2板部
27 音響インピーダンス整合材
28 光源
29 カンチレバー
31 第1キャビティ
32 第2キャビティ
34 レンズ
36 連通孔
37 センサ部
38 気体層
39 液体層
48 ピエゾ抵抗層
51 ギャップ
61 可変焦点レンズ
77 第2仕切り板
78 集音部材
85 凹面鏡
Claims (10)
- 第1筐体部に収容され、強度変調した光を測定対象に向けて照射する光照射部と、
第2筐体部に収容され、前記測定対象からの光音響波を検出する光音響波検出部と
を備え、
前記光音響波検出部は、
前記第2筐体部の内部に形成されたキャビティと、
前記キャビティの内部と外部とを仕切る基部と、
前記基部に形成され、前記キャビティの内部と外部とを接続する連通孔と、
前記連通孔内に配され、基端が前記基部に支持された板状に形成され、前記連通孔の貫通方向に可撓性を有するとともに、表層に半導体からなる抵抗層が設けられたカンチレバーと、
前記カンチレバーの第1面側に設けられた気体層と、
前記カンチレバーよりも前記測定対象側に設けられた音響インピーダンス整合材と
を有することを特徴とする光音響測定プローブ。 - 前記第1面と反対側の前記カンチレバーの第2面側に設けられ、前記カンチレバーと前記連通孔の内面との間のギャップ及び前記第2面を覆い、前記ギャップの位置で前記気体層と界面を形成する液体層を有することを特徴とする請求項1に記載の光音響測定プローブ。
- 前記液体層は、前記キャビティ内に配され、
前記キャビティは、前記液体層以外の空間が気体で満たされており、
前記液体層の前記カンチレバーと反対側の面が前記キャビティ内の前記気体と接することを特徴とする請求項2に記載の光音響測定プローブ。 - 前記音響インピーダンス整合材は、液体であり、前記第1面と反対側の前記カンチレバーの第2面側に設けられ、前記カンチレバーと前記連通孔の内面との間のギャップ及び前記第2面を覆い、前記ギャップの位置で前記気体層と界面を形成することを特徴とする請求項1に記載の光音響測定プローブ。
- 前記光照射部は、光源と、前記光源からの光を集光するレンズとを有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光音響測定プローブ。
- 前記レンズは、可変焦点レンズであることを特徴とする請求項5に記載の光音響測定プローブ。
- 前記光照射部は、光源と、前記光源からの光を集光する凹面鏡を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光音響測定プローブ。
- 前記光音響波検出部は、前記カンチレバーよりも前記測定対象側に、前記測定対象側からの光音響波を前記カンチレバーの近傍に集める反射面を有する集音部材を備えることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光音響測定プローブ。
- 前記第1筐体部と前記第2筐体部とが一体に連結されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の光音響測定プローブ。
- 前記第1筐体部と前記第2筐体部とが互いに独立していることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の光音響測定プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017123351A JP6996679B2 (ja) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 光音響測定プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019007824A true JP2019007824A (ja) | 2019-01-17 |
JP6996679B2 JP6996679B2 (ja) | 2022-01-17 |
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ID=65025837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017123351A Active JP6996679B2 (ja) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 光音響測定プローブ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023120721A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 公立大学法人富山県立大学 | 光音響波測定装置、及び、光音響波測定システム |
WO2023120722A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 公立大学法人富山県立大学 | 光音響波測定装置、光音響波測定システム、及び、熱型光源 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002328086A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Yamatake Corp | 光音響ガスセンサ用光源およびその製造方法 |
US20110190617A1 (en) * | 2008-05-30 | 2011-08-04 | Stc.Unm | Photoacoustic imaging devices and methods of making and using the same |
JP2014142323A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Univ Of Tokyo | 感圧型センサ |
WO2015111581A1 (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 国立大学法人 東京大学 | センサ |
JP2016047182A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | プレキシオン株式会社 | 光音響画像化装置 |
JP2016130735A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 国立大学法人 東京大学 | 弾性波計測センサ |
JP2016202631A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 横河電機株式会社 | 光音響波検出装置、光音響イメージング装置 |
JP2017035335A (ja) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | プレキシオン株式会社 | 光音響検出ユニットおよび光音響画像化装置 |
JP2017041824A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 国立大学法人東北大学 | 検出装置 |
-
2017
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002328086A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Yamatake Corp | 光音響ガスセンサ用光源およびその製造方法 |
US20110190617A1 (en) * | 2008-05-30 | 2011-08-04 | Stc.Unm | Photoacoustic imaging devices and methods of making and using the same |
JP2014142323A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Univ Of Tokyo | 感圧型センサ |
WO2015111581A1 (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 国立大学法人 東京大学 | センサ |
JP2016047182A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | プレキシオン株式会社 | 光音響画像化装置 |
JP2016130735A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 国立大学法人 東京大学 | 弾性波計測センサ |
JP2016202631A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 横河電機株式会社 | 光音響波検出装置、光音響イメージング装置 |
JP2017035335A (ja) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | プレキシオン株式会社 | 光音響検出ユニットおよび光音響画像化装置 |
JP2017041824A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 国立大学法人東北大学 | 検出装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
鈴木明 他: "ヘルムホルツ共鳴を利用したマイクロ超音波センサ", PROCEEDINGS OF THE 2008 JSME CONFERENCE ON ROBOTICS AND MECHATRONICS, vol. 1P1-H08, JPN6021017284, 2008, JP, ISSN: 0004583343 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023120721A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 公立大学法人富山県立大学 | 光音響波測定装置、及び、光音響波測定システム |
WO2023120722A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 公立大学法人富山県立大学 | 光音響波測定装置、光音響波測定システム、及び、熱型光源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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