JP2019004133A - ウエハ・チャック及びウエハ・チャック使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ウエハを構造的に支持する第1サイドを有する支持機構と、
該支持機構の上記第1サイド上に形成され、上記支持機構の上記第1サイドの凹面から広がるリングによって少なくとも部分的に境界が形成されるバキューム・ゾーンと、
該バキューム・ゾーン中に配置され、1つ以上が上記支持機構を通って伸びるチャンネルと結合される複数の吸引カップと、
上記チャンネルと流体連結され、上記チャンネルを通して吸引を供給するよう構造的に構成される1つ以上のバキュームと
を具えている。
複数の上記バキューム・ホールと流体連結される第1バキュームと、
上記チャンネルと流体連結される第2バキュームと
を有している。
上記第1バキューム・ゾーンの周りを囲む第2バキューム・ゾーンを具え、該第2バキューム・ゾーンは、少なくとも一部分は上記第1リングによって境界が形成されると共に、少なくとも一部分は上記支持機構の上記第1サイドの上記凹面から広がる第2リングによって境界が形成され、このとき、上記第2リングは、上記第1リングより大きい直径を有し、上記第2バキューム・ゾーンは、上記チャンネルと結合された複数の上記吸引カップの1つ以上を有している。
上記第1バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第1バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第1バキュームと、
上記第2バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第2バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第2バキュームと
を有している。
上記第1バキューム・ゾーン及び上記第2バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記バキューム・ホールと流体連結された第1バキュームと、
上記第1バキューム・ゾーン及び上記第2バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記吸引カップと流体連結された第2バキュームと
を有している。
ウエハ・チャックの第1サイド上でウエハを受ける処理と、
上記ウエハが、複数の吸引カップの夫々と、上記ウエハ・チャックの上記第1サイド上に形成されるバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングとに接触し、これによって、その歪みを緩和するように、複数の吸引カップの1つ以上と結合されたチャンネルを通して上記ウエハに第1吸引を加える処理と
を具えている。
101 ウエハ
102 z軸
104 中心軸
110 支持機構
112 第1サイド
114 第2サイド
116 凹面
120 第1バキューム・ゾーン
122 第1リング
130 第2バキューム・ゾーン
132 第2リング
140 吸引カップ
141 スタンドオフ(スペーサ)
142 茎部
143 壁部
144 接触面
146 チャンネル
148 空洞
150 バキューム・ホール
160 バキューム
162 バキューム・ライン
164 第1バキューム
166 第2バキューム
168 水分離器
170 ポスト
502 z軸の高さ
810 超音波顕微鏡
820 位置決めロボット
830 コントローラ
832 プロセッサ
834 メモリ
840 コンピューティング装置
850 データ・ネットワーク
852 通信インタフェース
860 他のリソース
1000 システム
Claims (11)
- ウエハを構造的に支持する第1サイドを有する支持機構と、
該支持機構の上記第1サイド上に形成され、上記支持機構の上記第1サイドの凹面から広がるリングによって少なくとも部分的に境界が形成されるバキューム・ゾーンと、
該バキューム・ゾーン中に配置され、1つ以上が上記支持機構を通って伸びるチャンネルと結合される複数の吸引カップと、
上記チャンネルと流体連結され、上記チャンネルを通して吸引を供給するよう構造的に構成される1つ以上のバキュームと
を具えるウエハ・チャック。 - 上記バキューム・ゾーンに配置され、上記支持機構を通って伸びる複数のバキューム・ホールを更に具え、
1つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結され、複数の上記バキューム・ホールを通して吸引を供給するよう構造的に構成される請求項1のウエハ・チャック。 - 1つ以上の上記バキュームによって吸引が供給される前において、上記支持機構に載置されるウエハが、最初は、複数の上記吸引カップの1つ以上に支えられるように、複数の上記吸引カップの1つ以上の接触面は、上記リングのz軸の高さより高い、少なくとも第1高さH1まで突き出ている請求項1のウエハ・チャック。
- 1つ以上の上記バキュームによって上記ウエハに吸引が加えられたとき、上記ウエハが複数の上記吸引カップの夫々及び上記リングと接触し、これによって、上記ウエハを引き寄せて、その歪みを緩和する請求項3のウエハ・チャック。
- 上記バキューム・ゾーンは第1バキューム・ゾーンであり、上記リングは第1リングであって
上記第1バキューム・ゾーンの周りを囲む第2バキューム・ゾーンを更に具え、該第2バキューム・ゾーンは、少なくとも一部分は上記第1リングによって境界が形成されると共に、少なくとも一部分は上記支持機構の上記第1サイドの上記凹面から広がる第2リングによって境界が形成され、上記第2リングは、上記第1リングより大きい直径を有し、上記第2バキューム・ゾーンは、上記チャンネルと結合された複数の上記吸引カップの1つ以上を有する請求項1のウエハ・チャック。 - 上記第1バキューム・ゾーン及び上記第2バキューム・ゾーンの夫々に配置された複数のバキューム・ホールを更に具え、複数の上記バキューム・ホールは、上記支持機構を通って伸び、1つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結している請求項5のウエハ・チャック。
- 1つ以上の上記バキュームが、
上記第1バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第1バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第1バキュームと、
上記第2バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第2バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第2バキュームと
を有する請求項6のウエハ・チャック。 - 1つ以上の上記バキュームが、
上記第1バキューム・ゾーン及び上記第2バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記バキューム・ホールと流体連結された第1バキュームと、
上記第1バキューム・ゾーン及び上記第2バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記吸引カップと流体連結された第2バキュームと
を有する請求項1のウエハ・チャック。 - 複数の上記吸引カップの夫々が、上記ウエハを支持するよう構造的に構成される接触面に接続される茎部を含む請求項1のウエハ・チャック。
- ウエハ・チャックを使用するための方法であって、
上記ウエハ・チャックの第1サイド上でウエハを受ける処理と、
上記ウエハが、複数の吸引カップの夫々と、上記ウエハ・チャックの上記第1サイド上に形成されるバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングとに接触し、これによって、その歪みを緩和するように、複数の吸引カップの1つ以上と結合されたチャンネルを通して上記ウエハに第1吸引を加える処理と
を具えるウエハ・チャックを使用するための方法。 - 複数のバキューム・ホールを通して上記ウエハに第2吸引を加える処理を更に具え、これによって、上記ウエハ・チャックの凹面の方向へ上記ウエハを引き寄せると共に、その歪みを更に緩和するウエハ・チャックを使用するための請求項10の方法。
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