JP2018505545A - 熱制御された電子デバイス - Google Patents

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Abstract

電子デバイスは、少なくとも1つの電子構成要素(101)と、電子構成要素が発生する熱を伝導する熱電異方性に基づく勾配熱流束センサーGHFS(102)と、勾配熱流束センサーにより生成され勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号に少なくとも部分的に基づいて電子構成要素の電流を管理するように適合されたコントローラと、を備える。したがって、電子構成要素の電流ひいては発熱も同様に、電子構成要素により生成される熱流束に基づいて直接管理される。こうして、特に電子構成要素のスイッチング周波数が数百kHzから数MHzまでの範囲にある場合に充分な帯域幅で実施されるのが困難であり得る電圧及び電流の測定を必要とすることなく、電流を管理することができる。

Description

本開示は、概して電子デバイスの熱管理に関する。より詳細には、本開示は、電子デバイス内の電流を管理するための方法に関する。さらに、本開示は、例えば周波数変換器等の電力電子デバイスであり得るものの必ずしもこのようなデバイスである必要はない電子デバイスに関する。
例えば周波数変換器、整流器及びネットワークインバータ等のさまざまな電子デバイスが、電流及び電圧を修正するための電子構成要素を含んでいる。電子構成要素は、例えば、制御可能な電力電子スイッチ、例えばバイポーラ接合トランジスタ「BJT」、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ「IGBT」、サイリスタ、ゲートターンオフサイリスタ「GTO」、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ「MOSFET」、集積化ゲート転流型サイリスタ「IGCT」、電子注入促進型ゲートトランジスタ「IEGT」であり得る。電力電子スイッチがダイオードであることも同様に可能であるが、その場合のスイッチング動作は、ダイオードのアノードとカソードとの間の電圧のみに左右される。電子構成要素が電流を伝導するとき、ジュール効果に起因する電子構成要素の内部抵抗によって熱が生成される。スイッチとして使用される電子構成要素においては、導通状態と非導通状態との間の遷移の間、瞬間的加熱速度が特に高い可能性がある。例えば、導通状態から非導通状態への遷移において、電流がまだ減少していない間に内部抵抗がかなり高くなっている場合がある。こうして、加熱速度は、部分的に、スイッチング周波数に対して線形的又は非線形的に比例する。例えばプロセッサ等の電子構成要素において、加熱速度は、使用されているクロック周波数及び電圧レベルに、線形的又は非線形的に比例する。クロック周波数を増大させることは、プロセッサの内部キャパシタンスをより高い速度で充電し放電しなければならず、したがって、プロセッサの内部抵抗内で熱を生成する電流も同様に増大させられることを意味する。さらに、クロック周波数又はスイッチング周波数を増大させると、表皮効果に起因して内部有効抵抗、ひいては加熱速度も同様に増大する。
加熱速度が、利用可能な冷却の能力を上回った場合、電気的挙動の変化に影響を及ぼす温度上昇のリスクが存在し、そのため、考慮対象の電子構成要素内に熱損傷が発生し得る。したがって、加熱速度が冷却能力を上回らないように電子構成要素の電流を管理することが重要である。電流の管理は、例えば、短絡「SC」保護、スイッチング損失を制限するためにスイッチング周波数を限定することによる電流の高周波数成分の制御、電子構成要素の熱サイクル管理、電流の制限を目的とするプロセッサ等のクロック周波数の低減、及び/又は、並列接続された電子構成要素の電流の平衡化を含むことができる。
電流の上述の管理は、電子構成要素内の加熱速度を直接的又は間接的に示す測定情報を必要とする。加熱速度を測定するための1つの従来の技術には、測定された電圧及び電流の瞬間的値の積の積分が含まれる。加熱速度を測定するための別の従来の技術には、電子構成要素の表面上の1つ以上の測定点から表面温度を測定することが含まれる。しかしながら、これらの技術に課題が無いわけではない。電圧及び電流の瞬間的値の積に基づく技術には、電圧と電流との積が充分な精度で瞬間的電力を表わすのに充分なほど、示された電圧と実際の電圧との間の位相シフト及び示された電流と実際の電流との間の位相シフトが互いに近いものである、高精度の広帯域幅電圧電流センサーが必要とされる。特に電子構成要素のスイッチング周波数が数百kHzから数MHzの範囲にある場合、充分な精度で電圧及び電流の測定を実施するのが困難である可能性がある。測定された表面温度に基づく技術に関連する課題は、電子構成要素の接合部温度が少なくとも時折、表面温度よりも有意に高いものであり得ること、及び、測定された表面温度が遅延を伴って接合部温度に追従すること、にある。したがって、例えば、測定された表面温度に基づく短絡保護等は、電子構成要素を保護できるためには緩慢すぎる可能性がある。上述の技術の両方にとってのさらなる課題は、これらの技術では、電子構成要素が並列及び/又は直列に接続された多重チップを含むモジュールタイプの構成要素である場合に、個別の半導体チップの温度を観察することができないという点にある。異なるチップについての熱インピーダンスの差異に起因して、並びに/又は、異なるチップに関する寄生インダクタンス及び/若しくは抵抗の差異に起因して、発熱及び温度は概して、全てのチップについて同じではない。
以下では、さまざまな発明実施形態のいくつかの態様の基本的理解を提供するための簡略化された概要を提示する。この概要は、本発明の広範な概説ではない。本発明の主要な又は重大な要素を識別することが意図されるわけでも、本発明の範囲を詳しく説明することが意図されるわけでもない。以下の要約は単に、本発明の例示的実施形態のさらに詳しい説明に対する序章として、簡略化された形で本発明のいくつかの概念を提示する。
本発明によると、必然的にではなく、例えば、周波数変換器、整流器又はネットワークインバータ等の電力電子デバイスであり得る新規の電子デバイスが提供される。本発明に係る電子デバイスは、以下のものを備える:
少なくとも1つの電子構成要素、
熱電異方性に基づく勾配熱流束センサー「GHFS」であって、電子構成要素が発生する熱を伝導するように、かつ、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成するように、適合された、勾配熱流束センサー、及び
電気制御信号に対する応答性を有し、少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するように適合された、コントローラ。
勾配熱流束センサーの短い応答時間は、電流の管理において利用される。例えば、異方性熱電素子「AT」に基づく勾配熱流束センサーについては、応答時間τは、1ns...10nsの範囲にあり得る。こうして、応答時間τは、電流の充分に高速な管理を達成するために充分短い。その上、熱流束の方向での勾配熱流束センサーの厚みは小さくあることができ、例えば約0.1mmであり得る。したがって、勾配熱流束センサーは、熱流束測定を妨害し減速させるかもしれない有意な蓄熱容量を表わさない。勾配熱流束センサー「GHFS」のさらなる詳細は、例えば、Hanne K.Jussila、Andrey V.Mityakov、Sergey Z.Sapozhnikov、Vladimir Y.Mityakov及びJuha Pyrhonen、「無負荷時の永久磁石モータにおける局所的熱流束測定(Local Heat Flux Measurement in a Permanent Magnet Motor at No Load)」、電気電子技術者協会「IEEE」トランザクション・オン・インダストリアル・エレクトロニクス(Institute of Electrical and Electronics Engineers “IEEE” Transactions on Industrial Electronics)、2013年、第60巻、p.4852〜4860との刊行物から見出すことができる。
本発明によると、電子構成要素の電流を管理するための新しい方法も同様に提供される。本発明に係る方法は、以下のステップを備える:
熱電異方性に基づく勾配熱流束センサーからの電気制御信号を受信するステップであって、勾配熱流束センサーが、電子構成要素が発生する熱を伝導し、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成する、ステップ、及び、
少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するステップ。
添付の従属項には、一定数の本発明の非限定的な例示的実施形態が記載されている。
構造及び操作方法の両方に関する本発明のさまざまな非限定的な例示的実施形態は、その追加の目的及び利点と共に、添付図面と関連させて読まれた場合に、具体的で非限定的な例示的実施形態についての以下の説明から最も良く理解されるであろう。
「〜を備える」及び「〜を含む」なる動詞は、列挙されていない特徴の存在を排除せず要求もしない、開放的限定として本明細書中で使用される。従属項中に列挙されている特徴は、別段の明示的記述のないかぎり、相互に自由に組合せ可能である。その上、「a」又は「an」、すなわち単数形の使用は、本明細書全体を通して、複数を排除するものでないということを理解すべきである。
本発明の非限定的な例示的実施形態及びその利点は、例示の意図で、添付図面を参照して、以下でより詳細に説明される。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスを示す。 本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスを示す。 本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスを示す。 本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスの一部を示す。 本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスの一部を示す。 本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスの一部を示す。 電子構成要素の電流を管理するための本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法のフローチャートを示す。
図1aは、本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスを示す。この例示的ケースにおいて、電子デバイスは、端子132を介して3相ネットワークから電気エネルギーを受け取り、端子133を介して3相交流電圧を供給するように適合された周波数変換器である。電子デバイスは、各々が制御可能な電力電子スイッチ及び逆並列接続ダイオードを含む、6つの電子構成要素を備える。図1aにおいて、電子構成要素の1つは、参照番号101で示されている。この例示的ケースにおいて、電子構成要素の制御可能な電力電子スイッチは、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ「IGBT」である。電子デバイスが1つ以上の電力電子スイッチを備えるような本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスにおいては、各電力電子スイッチは、例えばIGBT、バイポーラ接合トランジスタ「BJT」、ダイオード、サイリスタ、ゲートターンオフサイリスタ「GTO」、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ「MOSFET」、集積化ゲート転流型サイリスタ「IGCT」、電子注入促進型ゲートトランジスタ「IEGT」であり得る。
電子デバイスは、勾配熱流束センサー「GHFS」を備え、勾配熱流束センサーは、電子構成要素が発生する熱を伝導するように、かつ、勾配熱流束センサーを通る熱流束に線形的に又は非線形的に比例する電気制御信号130を生成するように、適合されている。図1aにおいて、電子構成要素101が発生した熱を伝導するように適合された勾配熱流束センサーによって生成される電気制御信号は、参照番号131で示されている。電子デバイスは、電気制御信号130に対する応答性を有し少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するように適合された、コントローラ103を備えている。電気制御信号130に加えて、コントローラ103は、1つ以上の測定された温度、電流の測定された値、及び/又は、他の適切な情報に基づいて、電流を管理するように適合され得る。
図1bは、電子構成要素101の側面図を示す。勾配熱流束センサーは、図1bに示された部分断面図を用いて示されている。勾配熱流束センサーは、図1b中では、参照番号102で示されている。この例示的ケースでは、勾配熱流束センサー102は、電子構成要素101の発熱部分からヒートシンク要素104までの熱伝導経路の一部を構成している。ヒートシンク要素104は、熱を周囲空気へと伝導するための冷却用フィン及び/又は水等の冷却流体を導くための冷却用ダクトを備えていてもよい。この例示的ケースにおいて、電子構成要素101は、ヒートシンク要素に接しているベースプレート134を備えている。ヒートシンク要素104は、勾配熱流束センサーが電子構成要素101のベースプレート134に接するように、勾配熱流束センサー102のための空洞を備えている。図1bにおいて、電子構成要素101からヒートシンク要素104への熱の流れは、1本が参照番号135で示されている波状矢印を用いて描かれている。図1bでは、電子構成要素101の主電流端子の1つは、参照番号136で示され、制御端子、すなわちIGBTのゲート接続は、参照番号137で示されている。
図1a及び1bに示されている例示的電子デバイスにおいて、勾配熱流束センサーは、電子構成要素の表面上、すなわち電子構成要素のベースプレートに接して位置設定されている。しかしながら、これは、唯一の可能な選択肢ではない。勾配熱流束センサーを例えば電子構成要素のベースプレート又は電子構成要素のケーシングの別の場所に埋込むことも同様に可能である。同様に、勾配熱流束センサーが電子構成要素のケーシングの内部に存在するように、勾配熱流束センサーが例えば電子構成要素の統合された要素であることも可能である。電子構成要素が、例えばIGBT等の多くの半導体ユニットを備えるモジュールタイプの構成要素である場合には、このモジュールタイプの構成要素は、各半導体ユニットに1つの勾配熱流束センサーが具備されるように、多くの勾配熱流束センサーを備えてもよい。こうして、半導体ユニットに特定的な形でモジュールタイプの構成要素の熱挙動を監視することが可能である。
本発明は、電子構成要素が発生する熱を伝導するための勾配熱流束センサーを配置するいかなる特定の方法にも限定されない、という点に留意すべきである。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスにおいて、コントローラ103は、電気制御信号130が第1の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、電子構成要素のスイッチング周波数を低減させるように適合されている。スイッチング周波数を低減させることは、実際には、電流の高周波数成分を管理することである。したがって、スイッチング周波数を低減させることは、電子構成要素の電流を管理する方法を表わすものとみなすことができる。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスにおいて、コントローラ103は、電気制御信号130が第2の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、電子構成要素の短絡保護を起動するように適合されている。第2の安全限界は、スイッチング周波数を制御するために使用される上述の第1の安全限界よりも高いことが有利である。短絡保護には、例えば、電子構成要素の1つ以上を非導通状態に制御すること、及び/又は、電子構成要素の電流の1つ以上を他の形でオフに切換えること、が含まれていてよい。
図1cは、勾配熱流束センサー102の斜視図を示す。図1b及び図1cに関連する視野方向は、図1b及び図1cに示された座標系190を用いて示されている。勾配熱流束センサー102は、センサー要素111、112、113、114、115、116、117及び118を備え、これらのセンサー要素は、変化する磁束によって誘発されるセンサー要素111〜118に対する妨害電圧が少なくとも部分的に互いに相殺するように適合されるべく、電気的に直列接続されている。図1cに示された電圧Uは、勾配熱流束センサー102により生成された電気制御信号を表わす。有利には、勾配熱流束センサーは、センサー要素111〜118のうちの隣接するものの間に電気絶縁材料片を含む。さらに、勾配熱流束センサー102は、電気絶縁性であるものの充分な熱伝導性を有する材料で製造され得る絶縁体プレート119を含むことができる。絶縁体プレート119は、例えば雲母で製造され得る。勾配熱流束センサー102の作動環境に応じて、センサー要素111〜118の他の側面に類似の他の絶縁体プレートが存在し得る。他の絶縁体プレートは、図1c中に示されていない。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスにおいて、センサー要素111〜118の各々は、勾配熱流束センサーを通る熱流束に平行な第2の温度勾配成分に対し横断方向の第1の温度勾配成分に比例する電圧Uの一部を生成するための異方性材料を備える。この場合、第1の温度勾配成分は座標系190のx軸に平行であり、第2の温度勾配成分は座標系190のz軸に平行である。異方性材料は、例えばビスマスであり得、センサー要素111〜118の各々はビスマスの単結晶であり得る。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスにおいて、センサー要素111〜118の各々は、電圧Uの一部を生成するための多層構造を備える。多層構造の層は、電子構成要素から熱流束を受け取るための勾配熱流束センサーの表面に対して、斜めになっている。多層構造は、複数の第1の層と複数の第2の層とを含み、第2の層が第1の層と交互配置されるようになっている。第2の層は、例えば半導体材料で製造され得、第1の層は、例えば金属若しくは金属合金、又は、第1の層の半導体材料とは異なる半導体材料で製造され得る。
上述の勾配熱流束センサーは単なる例であり、本発明は、勾配熱流束センサーのいずれかの特定の材料及び/又は構造及び/又は製造方法に限定されない、という点に留意すべきである。
図2aは、本発明の非限定的な例示的実施形態に係る電子デバイスの一部を示す。この例示的ケースにおいて、電子デバイスは、2つの並列接続された電子構成要素201及び221を備える。各電子構成要素は、制御可能な電力電子スイッチと、逆並行接続ダイオードと、を備える。この例示的ケースにおいて、制御可能な電力電子スイッチは、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ「IGBT」である。電子デバイスは、勾配熱流束センサー「GHFS」を備え、勾配熱流束センサーは、電子構成要素が発生する熱を伝導するように、かつ、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成するように、適合されている。電子デバイスは、電気制御信号に対する応答性を有し少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するように適合された、コントローラ203を備える。コントローラ203は、並列接続された電子構成要素の電流の平衡を保つために少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて、並列接続された電子構成要素201及び221の動作を制御するように適合されている。その上、コントローラは、勾配熱流束センサーにより生成された電気制御信号に基づいて、電子構成要素201及び221のスイッチング周波数を制御するように及び/又は短絡「SC」保護を制御するように適合され得る。上述の電気制御信号に加えて、コントローラ203は、1つ以上の測定された温度、電流の測定された値、及び/又は、適切な情報に基づいて、電子構成要素201及び221の電流を管理するように適合され得る。
図2b及び図2cは、電子構成要素201及び221の側面図を示す。勾配熱流束センサーは、図2b及び図2cに示された部分断面図を用いて示されている。勾配熱流束センサーは図2b及び図2cにおいて、参照番号202及び222で示されている。
図3は、電子構成要素の電流を管理するための本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法のフローチャートを示す。この方法は、以下のアクションを備える:
アクション301: 電子構成要素が発生する熱を伝導する熱電異方性に基づく勾配熱流束センサー「GHFS」からの電気制御信号を受信するステップであって、勾配熱流束センサーが、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成する、ステップ、及び、
アクション302: 少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するステップ。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法において、電気制御信号は、勾配熱流束センサーの少なくとも2つの直列接続されたセンサー要素から受信され、ここで変化する磁束により誘発されるセンサー要素に対する妨害電圧は、少なくとも2つのセンサー要素の直列接続において少なくとも部分的に互いに相殺し合う。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法は、電気制御信号が第1の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、電子構成要素のスイッチング周波数を低減させるステップを備える。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法は、電気制御信号が第2の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、電子構成要素の短絡保護を起動するステップを備える。
本発明の非限定的な例示的実施形態に係る方法は、電気制御信号及び他の勾配熱流束センサーから受信した他の電気制御信号に基づいて、電子構成要素の電流と他の電子構成要素の電流との平衡を保つステップを備え、他の勾配熱流束センサーは、他の電子構成要素が発生する熱を伝導し、かつ、他の勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する他の電気制御信号を生成する。
以上に記載の説明中で提供されている具体的実施例は、添付の特許請求の範囲の適用可能性及び/又は解釈を限定するものとみなされるべきではない。本明細書中で提供されている例のリスト及び群は、別段の明示的記述の無いかぎり、非網羅的リスト及び群であるということが指摘される。
本発明によると、必然的にではなく、例えば、周波数変換器、整流器又はネットワークインバータ等の電力電子デバイスであり得る新規の電子デバイスが提供される。本発明に係る電子デバイスは、以下のものを備える:
少なくとも1つの電子構成要素、
ヒートシンク要素、
熱電異方性に基づく勾配熱流束センサー「GHFS」であって、電子構成要素が発生する熱を伝導するように、かつ、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成するように、適合され、電子構成要素の発熱部分からヒートシンク要素までの熱伝導経路の少なくとも一部を構成している、勾配熱流束センサー、及び
電気制御信号に対する応答性を有し、少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するように適合された、コントローラ。
本発明によると、電子構成要素の電流を管理するための新しい方法も同様に提供される。本発明に係る方法は、以下のステップを備える:
熱電異方性に基づく勾配熱流束センサーからの電気制御信号を受信するステップであって、勾配熱流束センサーが、電子構成要素が発生する熱を伝導し、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成し、勾配熱流束センサーが、電子構成要素の発熱部分からヒートシンク要素までの熱伝導経路の少なくとも一部を構成している、ステップ、及び、
少なくとも部分的に電気制御信号に基づいて電子構成要素の電流を管理するステップ。

Claims (16)

  1. 少なくとも1つの電子構成要素(101、201、221)を備える電子デバイスであって、
    熱電異方性に基づく勾配熱流束センサー(102、202、222)であって、前記電子構成要素が発生する熱を伝導するように、かつ、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成するように、適合された、勾配熱流束センサーと、
    前記電気制御信号に対する応答性を有し、少なくとも部分的に前記電気制御信号に基づいて前記電子構成要素の電流を管理するように適合された、コントローラ(103、203)と、
    をさらに備えることを特徴とする、電子デバイス。
  2. 前記勾配熱流束センサー(102)が、前記電子構成要素の発熱部分から前記電子デバイスのヒートシンク要素(104)までの熱伝導経路の少なくとも一部を構成している、請求項1に記載の電子デバイス。
  3. 前記勾配熱流束センサーは、少なくとも2つのセンサー要素(111〜118)を備え、前記少なくとも2つのセンサー要素は、変化する磁束によって誘発される当該センサー要素に対する妨害電圧が実質的に同じである状況を達成するように、並置され、かつ、前記変化する磁束によって誘発される前記センサー要素に対する前記妨害電圧が少なくとも部分的に互いに相殺するように適合されるべく、電気的に直列に接続されている、請求項1又は2に記載の電子デバイス。
  4. 前記コントローラが、前記電気制御信号が第1の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、前記電子構成要素のスイッチング周波数を低減させるように適合されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  5. 前記コントローラが、前記電気制御信号が第2の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、前記電子構成要素の短絡保護を起動するように適合されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  6. 前記電子デバイスは、他の電子構成要素(221)と、他の勾配熱流束センサー(222)であって、前記他の電子構成要素が発生する熱を伝導するようにかつ当該他の勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する他の電気制御信号を生成するように適合された、他の勾配熱流束センサーと、を備え、前記電子構成要素(201、221)が、並列に接続されており、前記コントローラが、前記並列接続された電子構成要素の電流の平衡を保つために少なくとも部分的に前記電気制御信号に基づいて前記並列接続された電子構成要素の動作を制御するように適合されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  7. 前記勾配熱流束センサーは、当該勾配熱流束センサーを通る前記熱流束に平行な第2の温度勾配成分に対し横断方向の第1の温度勾配成分に比例する前記電気制御信号を生成するための異方性材料を備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  8. 前記異方性材料が、ビスマスである、請求項7に記載の電子デバイス。
  9. 前記勾配熱流束センサーは、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に平行な第2の温度勾配成分に対し横断方向の第1の温度勾配成分に比例する電気制御信号を生成するための多層構造を備え、前記多層構造の層が、前記熱流束を受けるための前記勾配熱流束センサーの表面に対して、斜めになっている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  10. 前記多層構造は、複数の第1の層と複数の第2の層とを備え、前記第2の層が、半導体材料で製造されており、かつ、前記第1の層と交互配置されており、前記第1の層が、金属、金属合金又は半導体材料で製造されている、請求項9に記載の電子デバイス。
  11. 前記電子構成要素が、バイポーラ接合トランジスタ「BJT」、ダイオード、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ「IGBT」、サイリスタ、ゲートターンオフサイリスタ「GTO」、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ「MOSFET」、集積化ゲート転流型サイリスタ「IGCT」、電子注入促進型ゲートトランジスタ「IEGT」のうちの少なくとも1つを備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載の電子デバイス。
  12. 電子構成要素が発生する熱を伝導する熱電異方性に基づく勾配熱流束センサーからの電気制御信号を受信するステップ(301)であって、前記勾配熱流束センサーが、当該勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する電気制御信号を生成する、ステップと、
    少なくとも部分的に前記電気制御信号に基づいて前記電子構成要素の電流を管理するステップ(302)と、
    を備える、方法。
  13. 前記電気制御信号が、前記勾配熱流束センサーの少なくとも2つの並置された直列接続されたセンサー要素から受信され、変化する磁束により誘発される前記センサー要素に対する妨害電圧が、前記少なくとも2つのセンサー要素の並置に起因して実質的に同じであり、前記妨害電圧が、前記少なくとも2つのセンサー要素の直列接続に少なくとも部分的に起因して互いに相殺し合う、請求項12に記載の方法。
  14. 前記電気制御信号が第1の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、前記電子構成要素のスイッチング周波数を低減させるステップを備える、請求項12又は13に記載の方法。
  15. 前記電気制御信号が第2の安全限界を超える熱流束を示している状況に応答して、前記電子構成要素の短絡保護を起動するステップを備える、請求項12〜14のいずれか一項に記載の方法。
  16. 前記電気制御信号及び他の勾配熱流束センサーから受信した他の電気制御信号に基づいて、前記電子構成要素の電流と他の電子構成要素の電流との平衡を保つステップを備え、前記他の勾配熱流束センサーが、前記他の電子構成要素が発生する熱を伝導し、かつ、当該他の勾配熱流束センサーを通る熱流束に比例する前記他の電気制御信号を生成する、請求項12〜15のいずれか1項に記載の方法。
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