JP2018206806A - ステージ及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- プラズマ処理装置用のステージであって、
高周波電源からの高周波を伝送する伝送路を提供する給電部と、
導電性を有し、前記給電部上に設けられており、前記給電部に電気的に接続された基台、及び、前記基台上に設けられており、基板を静電引力により保持するよう構成されたチャック本体を有する静電チャックと、
を備え、
前記チャック本体は、
該チャック本体の中心軸線に直交する該チャック本体内の面上で分布するよう該チャック本体内に設けられた複数の第1のヒータと、
前記複数の第1のヒータの個数よりも多数の複数の第2のヒータであり、前記中心軸線に直交する該チャック本体内の別の面上で分布するよう該チャック本体内に複数の第2のヒータと、
を有し、
該ステージは、
第1の電源からの交流又は直流の出力により、前記複数の第1のヒータを駆動するように構成された第1のヒータコントローラと、
前記第1の電源からの前記出力の電力よりも低い電力を有する第2の電源からの交流又は直流の出力により、前記複数の第2のヒータを駆動するように構成された第2のヒータコントローラと、
を更に備える、
ステージ。 - 前記第1のヒータコントローラは、前記第1の電源からの交流出力により、前記複数の第1のヒータを交流駆動するように構成されており、
前記第2のヒータコントローラは、前記第2の電源からの直流出力により、前記複数の第2のヒータをそれぞれ直流駆動するように構成されている、
請求項1に記載のステージ。 - 前記複数の第1のヒータは、前記中心軸線に対して同軸に設けられており、
前記複数の第2のヒータは、前記中心軸線に交差する中心のゾーン、及び、該中心のゾーンを囲み、且つ、該中心軸線に対して同軸の複数の領域内で周方向に並ぶ複数のゾーンにそれぞれ設けられている、
請求項1又は2に記載のステージ。 - 前記チャック本体は、前記基台の側の表面である裏面、及び、該裏面とは反対側の表面である上面を有し、
前記複数の第2のヒータは、前記複数の第1のヒータと該上面との間に設けられている、
請求項1〜3の何れか一項に記載のステージ。 - 前記複数の第1のヒータにそれぞれ電気的に接続された複数の第1の給電線と、
前記複数の第2のヒータにそれぞれ電気的に接続された複数の第2の給電線と、
を更に備え、
前記第1のヒータコントローラは、前記第1の電源からの前記出力を分配して複数の第1の出力を生成し、個別に調整された電力量を有する該複数の第1の出力を、前記複数の第1の給電線を介して前記複数の第1のヒータのそれぞれに供給するよう構成されており、
前記第2のヒータコントローラは、前記第2の電源からの前記出力を分配して複数の第2の出力を生成し、個別に調整された電力量を有する該複数の第2の出力を、前記複数の第2の給電線を介して前記複数の第2のヒータのそれぞれに供給するよう構成されており、
前記給電部は、前記伝送路によって囲まれた収容空間を画成し、
前記複数の第1の給電線、前記第1のヒータコントローラ、前記複数の第2の給電線、及び、前記第2のヒータコントローラは、前記収容空間内に設けられている、
請求項1〜4の何れか一項に記載のステージ。 - 前記複数の第1の出力の電力は実質的に同一且つ一定であり、前記第1のヒータコントローラは、該複数の第1の出力がそれぞれ前記複数の第1のヒータに供給される供給時間長の所定時間長中の比率である複数の第1のデューティー比を制御するように構成されており、
前記複数の第2の出力の電力は実質的に同一且つ一定であり、前記第2のヒータコントローラは、該複数の第2の出力がそれぞれ前記複数の第2のヒータに供給される供給時間長の所定時間長中の比率である複数の第2のデューティー比を制御するように構成されている、
請求項5に記載のステージ。 - 前記複数の第1のヒータがそれぞれ配置されている複数のゾーンのそれぞれの温度を測定するように設けられた複数の温度センサを更に備え、
前記第1のヒータコントローラは、前記複数の温度センサの各々によって測定された温度の測定値と目標温度との間の誤差、又は、前記複数の温度センサの各々によって測定された温度の測定値の時系列から求められる移動平均値と該目標温度との間の誤差を減少させるように、前記複数の第1のデューティー比を調整するよう構成されており、
前記第2のヒータコントローラは、前記複数の第2の出力の各々の電力の測定値と前記複数の第2のデューティー比のうち対応の第2のデューティー比との積と目標値との間の誤差、又は、前記複数の第2の出力の各々の電力の測定値と該対応の第2のデューティー比との積の時系列から求められる移動平均値と該目標値との間の誤差を減少させるように、前記複数の第2のデューティー比を調整するよう構成されている、
請求項6に記載のステージ。 - 前記チャック本体は、その上に基板が載置される基板搭載領域、及び、前記中心軸線に対して径方向において外側から該基板搭載領域を囲む外周領域を有し、
前記複数の第1の給電線及び前記複数の第2の給電線が電気的に接続される複数の端子が前記外周領域に設けられている、
請求項5〜7の何れか一項に記載のステージ。 - 前記複数の端子は、前記外周領域の全周にわたって分散されている、請求項8に記載のステージ。
- 前記複数の第2のヒータは、前記基板搭載領域内に設けられており、
前記複数の第1のヒータのうち一部は、少なくとも前記外周領域内に設けられている、
請求項8又は9に記載のステージ。 - チャンバを提供するチャンバ本体と、
請求項1〜10の何れか一項に記載のステージであり、少なくとも前記静電チャックが前記チャンバ内に設けられた、該ステージと、
前記給電部に電気的に接続された高周波電源と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 該プラズマ処理装置の前記ステージは、請求項5〜10の何れか一項に記載のステージであり、
前記第1の電源への高周波の流入を抑制するための第1のフィルタであり、前記第1の電源と前記第1のヒータコントローラとの間の給電線を部分的に構成し、前記収容空間に対して前記給電部の外側に設けられた、該第1のフィルタと、
前記第2の電源への高周波の流入を抑制するための第2のフィルタであり、前記第2の電源と前記第2のヒータコントローラとの間の給電線を部分的に構成し、前記収容空間に対して前記給電部の外側に設けられた、該第2のフィルタと、
を更に備える請求項11に記載のプラズマ処理装置。
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