JP2018197780A - フィルタ制御式導出方法、光計測システム、ファブリペロー干渉フィルタの制御方法、及び、フィルタ制御プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
上記実施形態に基づいて製造された光検出装置について、導出されたフィルタ制御式の精度を評価した。本実施例では、30個のサンプルを用意した。本実施例では、各サンプルについて、フィルタ制御式から得られたピーク透過波長と、実測によって得られたピーク透過波長との差に基づいて評価が行われた。環境温度及び電圧を変動させた際の差の最大値を透過波長制御精度として評価対象とした。図15の(a)は、式(7)において、d及びeがいずれも3次式で近似された結果を示す。図15の(b)は、式(7)において、d及びeがいずれも1次式で近似された結果を示す。図15の(c)は、式(7)において、d及びeがいずれも1次式であって、各係数が30個のサンプルの平均値である場合の結果を示す。図15の(a)〜(c)では、透過波長制御精度ごとのサンプル数が集計されている。すなわち、透過波長制御精度の値が小さいサンプル数が多いほど高精度である。図15の(a)に示すように、d及びeがいずれも3次式で近似された場合、透過波長制御精度の値が0.4nm以下のサンプルが多く、高精度で波長の制御がなされていることが確認できた。図15の(b)に示すように、d及びeがいずれも1次式で近似された場合、3次式の近似に比べて透過波長制御精度の値が0.1nm程度大きくなっているものの、十分に高い精度で波長の制御がなされていることが確認できた。図15の(c)に示すように、d及びeが1次式の平均で近似された場合、透過波長制御精度の値に若干のばらつきが見られるが、求められる測定精度によって十分有用であることが確認できた。
Claims (6)
- 電圧が印加された際に、固定ミラー部と可動ミラー部との間に生じる静電気力と前記可動ミラー部に生じる弾性力とが釣り合うことにより、前記固定ミラー部と前記可動ミラー部との間の距離が制御されるファブリペロー干渉フィルタを準備する準備ステップと、
準備した前記ファブリペロー干渉フィルタについて、所定の環境温度下において所定の計測を実施することにより、前記可動ミラー部の弾性指標が前記可動ミラー部のたわみ量を変数とする2次以上の多項式として記述された、前記たわみ量と前記弾性指標との関係式を導出する第1導出ステップと、
前記たわみ量と前記弾性指標との前記関係式、及び、前記静電気力と前記弾性力との関係式に基づいて、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長と前記電圧との関係式をフィルタ制御式として導出する第2導出ステップと、を備え、
前記第1導出ステップでは、前記所定の計測として、互いに異なる複数の電圧のそれぞれを前記電圧として印加した状態で、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長を計測する、フィルタ制御式導出方法。 - 準備した前記ファブリペロー干渉フィルタに対応する他のファブリペロー干渉フィルタについて、前記所定の環境温度を含み且つ互いに異なる複数の環境温度のそれぞれの温度下において前記所定の計測を実施することにより、前記たわみ量及び環境温度の変化量を変数とする補正項を導出する第3導出ステップを更に備え、
前記第2導出ステップでは、前記補正項を含むように、前記透過波長と前記電圧との前記関係式を前記フィルタ制御式として導出する、請求項1に記載のフィルタ制御式導出方法。 - 前記第1導出ステップでは、準備した前記ファブリペロー干渉フィルタについて、前記所定の環境温度を含み且つ互いに異なる複数の環境温度のそれぞれの温度下において前記所定の計測を実施することにより、前記たわみ量及び環境温度の変化量を変数とする補正項を導出し、
前記第2導出ステップでは、前記補正項を含むように、前記透過波長と前記電圧との前記関係式を前記フィルタ制御式として導出する、請求項1に記載のフィルタ制御式導出方法。 - 電圧が印加された際に、固定ミラー部と可動ミラー部との間に生じる静電気力と前記可動ミラー部に生じる弾性力とが釣り合うことにより、前記固定ミラー部と前記可動ミラー部との間の距離が制御されるファブリペロー干渉フィルタと、
前記可動ミラー部のたわみ量を変数とする2次以上の多項式として記述された前記可動ミラー部の弾性指標を含む前記静電気力と前記弾性力との関係式に基づいて、前記電圧を制御する制御装置と、を備える、光計測システム。 - 電圧が印加された際に、固定ミラー部と可動ミラー部との間に生じる静電気力と前記可動ミラー部に生じる弾性力とが釣り合うことにより、前記固定ミラー部と前記可動ミラー部との間の距離が制御されるファブリペロー干渉フィルタにおいて、前記電圧を制御する制御方法であって、
前記可動ミラー部のたわみ量を変数とする2次以上の多項式として記述された前記可動ミラー部の弾性指標を含む前記静電気力と前記弾性力との関係式に基づいて、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長に対応する電圧を導出するステップと、
導出した前記電圧を、印加する前記電圧として設定するステップと、を備える、ファブリペロー干渉フィルタの制御方法。 - 電圧が印加された際に、固定ミラー部と可動ミラー部との間に生じる静電気力と前記可動ミラー部に生じる弾性力とが釣り合うことにより、前記固定ミラー部と前記可動ミラー部との間の距離が制御されるファブリペロー干渉フィルタにおいて、前記電圧を制御する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記コンピュータを、
前記可動ミラー部のたわみ量を変数とする2次以上の多項式として記述された前記可動ミラー部の弾性指標を含む前記静電気力と前記弾性力との関係式に基づいて、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長に対応する電圧を導出する電圧導出部、及び、
導出した前記電圧を、印加する前記電圧として設定する電圧設定部、として機能させる、フィルタ制御プログラム。
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