JP2018190933A - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本開示の実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る配線基板1の構成について説明する。図1は、配線基板1を示す断面図である。
まず、電極基板10について説明する。電極基板10は、基板12と、第1電極22と、を有している。本例の電極基板10は、貫通電極基板である。
基板12は、第1面13、及び、第1面13の反対側に位置する第2面14を含む。また、基板12には、第1面13から第2面14に貫通する複数の貫通孔20が設けられている。
第1電極22は、貫通孔20の内部に位置し、且つ導電性を有する部材である。本実施形態において、第1電極22の厚みは、貫通孔20の幅よりも小さく、このため、貫通孔20の内部には、第1電極22が存在しない空間がある。すなわち、第1電極22は、貫通孔20の側壁21に設けられる、いわゆるコンフォーマルビアである。第1電極22の厚みは、例えば100nm以上且つ20μm以下である。
被覆層30は、絶縁層31、及び絶縁層31を貫通するように設けられた第2電極32を有する。
配線層40は、基板12側とは反対側で被覆層30上に設けられ、第2電極32に電気的に接続されている。したがって、第2電極32は、第1電極22と配線層40とを電気的に接続することになる。図1に示される配線層40は、所望のパターンにパターニングされている。
素子100は、基板12と配線層40との間で絶縁層31内に埋め込まれるように位置し、配線層40に電気的に接続されている。
以下、上述の配線基板1の製造方法の一例について、図2乃至図7を参照して説明する。
まず、基板12を準備する。次に、第1面13及び第2面14の少なくともいずれかにレジスト層を設ける。その後、レジスト層のうち貫通孔20に対応する位置に開口を設ける。次に、レジスト層の開口において基板12を加工することにより、図2に示すように、基板12に貫通孔20を形成することができる。基板12を加工する方法としては、反応性イオンエッチング法、深掘り反応性イオンエッチング法などのドライエッチング法や、ウェットエッチング法などを用いることができる。
(第1電極形成工程)
次に、図3に示すように、貫通孔20の側壁21に第1電極22を形成する。本実施形態においては、第1電極22と同時に、第1面13上及び第2面14上に導電性接続層24が形成される。これにより、電極基板10が準備されることになる。
次に、図4に示すように、第1電極22の内部にコア23が充填される。コア23は、例えば、第1面13上及び第2面14上に樹脂のフィルムを配置し、圧力差を利用してフィルムを第1電極22の内部に押し込むことで充填されてもよい。また、このようなフィルムは、ローラーによって第1電極22の内部に押し込まれてもよい。
次に、被覆層30特にその第2電極32と配線層40とから形成される、第1電極22に対する配線部分を形成する。この際、まず、図5に示すように、配線形成部材50が準備される。配線形成部材50は、電極基板10に設けられる前の被覆層30、配線層40及び素子100を一体化した部材であり、図示の例では、被覆層30側とは反対側で配線層40に接合された基材層60をさらに有している。
次に、図8〜図14を参照しつつ他の実施形態について説明する。図8は、本実施形態に係る配線基板2を示す断面図である。図9乃至図14は、配線基板2の製造工程を示す図である。本実施形態における構成部分のうちの上述の実施形態と同様のものには、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
まず、基板12及び第1電極22を有する電極基板10が、図2乃至図4を参照して説明した工程と同様の工程を経て準備される。
次に、被覆層30特にその第2電極と配線層40と第3電極122とから形成される、第1電極22に対する配線部分を形成する。この際、まず、図9乃至図14に示す工程を経て作製される図15に示す配線形成部材150が準備される。本実施形態における配線形成部材150は、電極基板10に設けられる前の被覆層30、配線層40及び素子100を一体化した部材であり、被覆層30側とは反対側で配線層40に接合された対向基板112をさらに有している。本例においても、配線層40はパターニングされているが、対向基板112上で配線層40が形成されていない部分には、被覆層30のうちの絶縁層31が位置している。
次に、図17を参照しつつ、さらに他の実施形態について説明する。本実施形態における構成部分のうちの上述の実施形態と同様のものには、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図17に示すように、この例では、第2面14から第1面13にへこむ有底孔20’が基板12に設けられ、有底孔20’の内部に第1電極22が位置する。図17では、第1電極22がフィルドビアとなっているが、コンフォーマルビアであってもよい。本実施形態にかかる電極基板も、上述の実施形態と同様の手順で製造され得る。なお、上述した対向基板112に、対向側貫通孔120に代えて有底孔が形成されてもよい。
図18は、本開示の実施形態に係る配線基板が搭載されることができる製品の例を示す図である。本開示の実施形態に係る配線基板は、様々な製品において利用され得る。例えば、ノート型パーソナルコンピュータ210、タブレット端末220、携帯電話230、スマートフォン240、デジタルビデオカメラ250、デジタルカメラ260、デジタル時計270、サーバ280等に搭載される。
10…電極基板
12…基板
13…第1面
14…第2面
20…貫通孔
20’…有底孔
21…側壁
22…第1電極
23…コア
24…導電性接続層
30…被覆層
31…絶縁層
31A…孔
32…第2電極
40…配線層
50…配線形成部材
60…基材層
100…素子
101…バンプ
112…対向基板
113…対向側第1面
114…対向側第2面
120…対向側貫通孔
122…第3電極
123…コア
150…配線形成部材
Claims (17)
- 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに、前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔または前記第1面及び前記第2面のうちの一方から他方にへこむ有底孔が設けられた基板と、
前記貫通孔または前記有底孔に位置する第1電極と、
絶縁層及び前記絶縁層を貫通するように設けられた第2電極を有し、前記基板から露出する前記第1電極を覆うように前記第1面及び前記第2面のうちの両方または一方の面上に設けられ且つ前記第2電極を前記第1電極に電気的に接続させた被覆層と、
前記被覆層上に設けられ、前記第2電極に電気的に接続された配線層と、
前記基板と前記配線層との間で前記絶縁層内に位置し、前記配線層に電気的に接続された素子と、
を備え、
前記第2電極は導電性粒子とバインダとを含む導電性部材を有し、前記第1電極と前記配線層とを電気的に接続している、配線基板。 - 前記素子は、前記第2電極が有する導電性部材と同じ材料からなる導電性部材を介して前記配線層に電気的に接続されている、請求項1に記載の配線基板。
- 前記第2電極は、前記第1面上または前記第2面上に設けられた導電性接続層を介して前記第1電極に電気的に接続する、請求項1又は2に記載の配線基板。
- 前記配線層及び前記被覆層を介して前記基板と向き合うように位置する対向基板をさらに備え、
前記対向基板は、前記配線層及び前記被覆層を介して前記基板と一体になっている、請求項1乃至3のいずれかに記載の配線基板。 - 前記基板及び前記対向基板は、ガラス基板からなる、請求項4に記載の配線基板。
- 前記対向基板は、対向側第1面及び前記対向側第1面の反対側に位置する対向側第2面を含むとともに、前記対向側第1面から前記対向側第2面に貫通する対向側貫通孔または前記対向側第1面及び前記対向側第2面のうちの一方から他方にへこむ対向側有底孔が設けられ、
前記対向側貫通孔または前記対向側有底孔には、前記配線層に電気的に接続される第3電極が位置している、請求項4又は5に記載の配線基板。 - 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに、前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔または前記第1面及び前記第2面のうちの一方から他方にへこむ有底孔が設けられた基板と、前記貫通孔または前記有底孔に位置する第1電極とを有する電極基板を準備する工程と、
絶縁層、前記絶縁層を貫通するように設けられた第2電極及び前記絶縁層内に位置する素子を含む被覆層と、前記被覆層上に設けられ前記第2電極及び前記素子に電気的に接続された配線層とを有し、前記第2電極が導電性粒子とバインダとを含む導電性部材を有して前記絶縁層から突出している配線形成部材を準備する工程と、
前記第2電極が前記第1電極に電気的に接続されるように、前記配線形成部材を前記電極基板に接合する工程と、を備える配線基板の製造方法。 - 前記配線形成部材は、前記絶縁層が前記基板に溶着することで前記電極基板に接合される、請求項7に記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線形成部材は、前記基板に向けて加熱及び加圧されて前記電極基板に接合される、請求項8に記載の配線基板の製造方法。
- 前記素子は、前記第2電極が有する導電性部材と同じ材料からなる導電性部材を介して前記配線層に電気的に接続されている、請求項7乃至9のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2電極は、前記第1面上または前記第2面上に設けられた導電性接続層を介して前記第1電極に電気的に接続される、請求項7乃至10のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記導電性部材は、導電性ペーストを用いて形成されている、請求項7乃至11のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線形成部材が、前記被覆層側とは反対側で前記配線層に接合された基材層をさらに有している、請求項7乃至12のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記基材層は、前記配線層から剥離可能な剥離層であり、前記配線形成部材を前記電極基板に接合した後に剥離される、請求項13に記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線形成部材が、前記被覆層側とは反対側で前記配線層に接合された対向基板をさらに有し、
前記対向基板は、前記配線形成部材を前記電極基板に接合した後に前記配線層及び前記被覆層を介して前記基板と向き合うように位置し、前記配線層及び前記被覆層を介して前記基板と一体になる、請求項7乃至12のいずれかに記載の配線基板の製造方法。 - 前記基板及び前記対向基板は、ガラス基板からなる、請求項15に記載の配線基板の製造方法。
- 前記対向基板は、対向側第1面及び前記対向側第1面の反対側に位置する対向側第2面を含むとともに、前記対向側第1面から前記対向側第2面に貫通する対向側貫通孔または前記対向側第1面及び前記対向側第2面のうちの一方から他方にへこむ対向側有底孔が設けられ、
前記対向側貫通孔または前記対向側有底孔には、前記配線層に電気的に接続される第3電極が位置している、請求項15又は16に記載の配線基板の製造方法。
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