JP2018187741A - ソーワイヤー及び切断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[切断装置]
まず、本実施の形態に係るソーワイヤーを備える切断装置の概要について、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態に係る切断装置1の斜視図である。
本実施の形態に係るソーワイヤー10は、レニウム(Re)とタングステン(W)との合金(ReW)からなる金属線を備える。本実施の形態では、ソーワイヤー10は、金属線そのものである。
以下では、上記特徴を有するソーワイヤー10の製造方法について、図3を用いて説明する。図3は、本実施の形態に係るソーワイヤー10の製造方法を示す遷移図である。
以上のように、本実施の形態に係るソーワイヤー10は、タングステン合金からなる金属線を備え、金属線の表面粗さRaは、0.15μm以下であり、金属線の弾性率は、350GPa以上450GPa以下であり、金属線の引張強度は、3500MPa以上であり、金属線の線径φは、60μm以下である。また、例えば、金属線の引張強度は、6000MPa以下である。
続いて、上記の実施の形態の変形例について説明する。以下では、上記の実施の形態との相違点を中心に説明し、共通点の説明を省略又は簡略化する。
以上、本発明に係るソーワイヤー及び切断装置について、上記の実施の形態及びその変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
10 ソーワイヤー
Claims (6)
- タングステン又はタングステン合金からなる金属線を備え、
前記金属線の表面粗さRaは、0.15μm以下であり、
前記金属線の弾性率は、350GPa以上450GPa以下であり、
前記金属線の引張強度は、3500MPa以上であり、
前記金属線の線径は、60μm以下である
ソーワイヤー。 - 前記タングステン合金は、レニウムとタングステンとの合金であり、
前記タングステン合金におけるレニウムの含有率は、0.1wt%以上10wt%以下である
請求項1に記載のソーワイヤー。 - 前記タングステンからなる前記金属線には、カリウムがドープされており、
前記金属線のカリウムの含有率は、0.005wt%以上0.010wt%以下である
請求項1に記載のソーワイヤー。 - 前記金属線の引張強度は、6000MPa以下である
請求項1〜3のいずれか1項に記載のソーワイヤー。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のソーワイヤーを備える切断装置。
- さらに、前記ソーワイヤーにかかる張力を緩和する張力緩和装置を備える
請求項5に記載の切断装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022112015A (ja) * | 2021-01-20 | 2022-08-01 | 厦門虹鷺▲きん▼▲ぼく▼工業有限公司 | 合金線材とその製造方法及び用途 |
WO2022176766A1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-08-25 | 株式会社 東芝 | タングステン線およびそれを用いたタングステン線加工方法並びに電解線 |
WO2022259927A1 (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ソーワイヤ用電着線及び金属線、並びに、ソーワイヤ用電着線の製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6249319B1 (ja) * | 2017-03-30 | 2017-12-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ソーワイヤー及び切断装置 |
JP6751900B2 (ja) * | 2018-01-29 | 2020-09-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 金属線及びソーワイヤー |
JP7108878B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2022-07-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | タングステン線及び弾性部材 |
JP7223967B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2023-02-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | タングステン線及びソーワイヤー |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6416876B1 (en) * | 1999-09-27 | 2002-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Copper matrix composites |
US20020145373A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-10-10 | General Electric Company | Tungsten-rhenium filament and method for producing same |
WO2003031668A1 (fr) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Fil de tungstene, element de chauffage de cathode et filament pour lampe anti-vibrations |
JP2008036766A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
JP2009077779A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | クラッドワイヤ |
JP2010115375A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Kaneka Corp | 医療用バルーンカテーテル |
JP2015155119A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及び切断加工方法 |
JP6063076B1 (ja) * | 2016-03-02 | 2017-01-18 | ジャパンファインスチール株式会社 | レジンボンドソーワイヤおよびその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4055700A (en) * | 1974-09-03 | 1977-10-25 | Lumalampan Ab | Thin composite wire saw with surface cutting crystals |
US7744583B2 (en) * | 2003-02-03 | 2010-06-29 | Boston Scientific Scimed | Systems and methods of de-endothelialization |
JP4387361B2 (ja) * | 2003-10-27 | 2009-12-16 | 三菱電機株式会社 | マルチワイヤソー |
JP2006123024A (ja) | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Nakamura Choko:Kk | 固定砥粒式ワイヤーソーとその製造方法 |
JP4930974B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2012-05-16 | 国立大学法人 長崎大学 | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、半導体インゴットの切断方法及びワイヤソー |
CN101083202A (zh) * | 2006-06-01 | 2007-12-05 | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 | 一种卤素灯丝及制造方法 |
US20120037140A1 (en) * | 2009-04-29 | 2012-02-16 | Nv Bekaert Sa | Fixed abrasive sawing wire with a rough interface between core and outer sheath |
EP2497602A1 (en) * | 2009-11-05 | 2012-09-12 | Nakamura Choko Co., Ltd | Super-abrasive grain fixed type wire saw, and method of manufacturing super-abrasive grain fixed type wire saw |
WO2013040423A2 (en) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
CN202439133U (zh) * | 2012-02-05 | 2012-09-19 | 江苏赛伦博新材料有限公司 | 用于切割硬脆材料的金刚石线锯 |
KR20150020527A (ko) * | 2012-05-31 | 2015-02-26 | 리드 가부시키가이샤 | 고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그것을 이용한 워크의 절단 방법 |
TW201404527A (zh) * | 2012-06-29 | 2014-02-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
CN106944675A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-07-14 | *** | 金刚石线的制备工艺 |
-
2017
- 2017-05-10 JP JP2017094243A patent/JP7113365B2/ja active Active
-
2018
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2022
- 2022-03-03 JP JP2022032231A patent/JP2022082552A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6416876B1 (en) * | 1999-09-27 | 2002-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Copper matrix composites |
US20020145373A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-10-10 | General Electric Company | Tungsten-rhenium filament and method for producing same |
WO2003031668A1 (fr) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Fil de tungstene, element de chauffage de cathode et filament pour lampe anti-vibrations |
JP4263098B2 (ja) * | 2001-10-09 | 2009-05-13 | 株式会社東芝 | タングステン線およびカソードヒータ並びに耐振電球用フィラメント |
JP2008036766A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
JP2009077779A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | クラッドワイヤ |
JP2010115375A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Kaneka Corp | 医療用バルーンカテーテル |
JP2015155119A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及び切断加工方法 |
JP6063076B1 (ja) * | 2016-03-02 | 2017-01-18 | ジャパンファインスチール株式会社 | レジンボンドソーワイヤおよびその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022112015A (ja) * | 2021-01-20 | 2022-08-01 | 厦門虹鷺▲きん▼▲ぼく▼工業有限公司 | 合金線材とその製造方法及び用途 |
JP7419412B2 (ja) | 2021-01-20 | 2024-01-22 | 厦門虹鷺▲きん▼▲ぼく▼工業有限公司 | 合金線材とその製造方法及び用途 |
WO2022176766A1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-08-25 | 株式会社 東芝 | タングステン線およびそれを用いたタングステン線加工方法並びに電解線 |
WO2022259927A1 (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ソーワイヤ用電着線及び金属線、並びに、ソーワイヤ用電着線の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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