JP2018174210A - 処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、多角形状に形成された真空搬送装置に複数の真空処理室が連結された、いわゆるクラスタ型の処理システムが開示されている。
また、特許文献2には、水平方向に長い直方体形状に形成された真空搬送装置の一方の側壁に複数の真空処理室が連結された処理システムが開示されている。
特許文献3には、それぞれに複数の真空処理室が連結された複数の真空搬送装置が、真空搬送中間室を介して連結された処理システムが開示されている。
また、たとえ、マルチリアクタ式の真空処理室で一括して処理可能な枚数のウェハを真空搬送装置が1回で搬送できたとしても、従前のマルチリアクタ式の真空処理室における真空搬送装置とのウェハの受け渡し位置は決まっているため、全てのウェハを真空処理室に搬出入するためには、ウェハを移動させる機構、例えば基板載置台を回転させる機構を、真空処理室に設ける必要がある。このような機構を設けると、マルチリアクタ式の真空処理室を小型化することができないため、処理システム全体が大型化してしまう。
処理ユニット2は、複数(本例では4つ)の真空処理室101〜104が所定の方向(図のX方向)に沿って並べられて構成される。真空処理室101〜104は、該処理室101〜104内において複数枚(図の例では4枚)のウェハWに対して同時に所定の処理が行われるマルチリアクタ式のものである。真空処理室101〜104それぞれで同種の処理が行われもよいし、異種の処理が行われてもよい。
真空処理室101の内部には、図2に示すように、4枚のウェハWが略水平に並んで載置される基板載置台11が設けられている。基板載置台11には、図示しない昇降ピンが設けられ、該昇降ピンによって基板載置台11にはウェハWが載置される構成となっている。
ローダーユニット3は、処理システム1へのウェハWの搬入と処理システム1からのウェハWの搬出を行うものであり、カセット載置部20と、大気圧雰囲気でウェハWを搬送する大気圧搬送装置21とを有する。
大気圧搬送装置21は、水平方向の断面が真空処理室101〜104の連設方向(以下、処理室連設方向という)と直交する方向(図のY方向)に長い矩形状に形成された大気圧搬送室22を有する。大気圧搬送室22は、処理室連設方向の一方の側面(図のX方向負側の側面)に、カセット載置部20が接続されており、処理室連設方向の他方の側面(図のX方向正側の側面)に、ロードロック室4がゲートバルブG9を介して連結されている。この大気圧搬送室22には、ウェハWを保持して搬送するための搬送機構23が設けられている。搬送機構23は、旋回及び伸縮自在な多関節式の搬送アーム23aを有し、該搬送アーム23aを用いて、カセット載置部20のカセットと、ロードロック室4との間でウェハWを搬送する。なお、図示は省略するが、大気圧搬送室22には、ウェハWのノッチ等を認識してウェハWの位置決めを行うアライメント装置が設けられている。
さらに、ロードロック室4は、処理室連設方向と垂直方向の一方の側面(図のY方向正側の側面)にゲートバルブG10を介して、第1の共通搬送装置30が連結され、処理室連設方向と直交する方向の他方の側面(図のY方向負側の側面)にゲートバルブG11を介して、第2の共通搬送装置31が連結されている。このように、ロードロック室4は、第1の共通搬送装置30に対するゲートバルブと第2の共通搬送装置31に対するゲートバルブが別々に設けられていること、すなわち、第1の共通搬送装置30に対するウェハの搬出入口と第2の共通搬送装置31に対するウェハの搬出入口が別々に設けられていることが好ましい。第1の共通搬送装置30によるロードロック室4からのウェハの搬出入と、第2の共通搬送装置31によるロードロック室4からのウェハの搬出入とを同時に行うことができるからである。
真空搬送室33は、処理室連設方向と直交する方向の他方の側面(図のY方向負側の側面)に、処理室連設方向のローダーユニット3側(X方向負側)から順に、ロードロック室4、真空処理室101、真空処理室102、真空処理室103、真空処理室104が、ゲートバルブG11、G2、G4、G6、G8を介して連結されている。
同様に、真空搬送室33には、ウェハWを保持して処理室連設方向に沿って搬送するための搬送機構35が設けられている。搬送機構35は、少なくとも処理室連設方向に移動自在且つ回動自在な一対の搬送アーム35a、35bを有し、該搬送アーム35a、35bを用いて、ロードロック室4と、真空搬送室33と、真空処理室101〜104との間でウェハWを搬送する。
これら真空搬送室32、33は、不図示の真空ポンプにより、真空引きすることが可能となっている。
まず、カセット載置部20上のカセット内から、未処理のウェハWを搬送アーム23aによって保持し、不図示のアライメント装置まで搬送する。そして、ウェハWの位置合わせを行う。
位置合わせ後、未処理のウェハWを搬送アーム23aによって保持し、ロードロック室4まで移動する。
これに伴い、ゲートバルブG9を開き、ロードロック室4内を開放する。そして、搬送アーム23aを駆動し、ロードロック室4内の基板載置台にウェハWを載置する。
その後、上述のウェハWの位置合わせと搬送アーム23aによるウェハWの搬送を繰り返し行い、ロードロック室4内の基板載置台に4枚のウェハWを載置する。
圧力調整後、ゲートバルブG10、G11を開放することにより、予め真空雰囲気になされている真空搬送室32、33とロードロック室4とを連通させる。そして、ロードロック室4内の真空搬送室32側に載置された2枚のウェハWを、真空搬送室32内の搬送アーム34a、34bによって受け取り、それと同時に、ロードロック室4内の真空搬送室33側に載置された2枚のウェハWを真空搬送室33内の搬送アーム35a、35bによって受け取る。
全ての処理が完了したウェハWは、前述した逆の経路を通って元のカセットに戻される。
また、処理システム1と異なり、真空処理室に一方からのみウェハを搬出入し基板載置台上に全てのウェハを載置する場合、基板載置台を回転させる回転機構や、基板載置台の手前側(搬出入側)の部分から奥側の部分に搬送手段を用いて被処理体を移載する移載機構が必要となる。それに対し、処理システム1では、第1の共通搬送装置30と第2の共通搬送装置31は、マルチリアクタ式の真空処理室101〜104に対して互いに別方向から接続されているため、真空処理室101〜104内の基板載置台を回転さたりウェハWを真空処理室101〜104内で移載させたりしなくとも、該基板載置台上に4枚のウェハWを載置することができる。したがって、真空処理室101〜104に上記回転機構を設ける必要がないため、真空処理室101〜104を小型化することができ、これにより処理システム1も小型化することができる。さらに、真空処理室101〜104内に上記移載機構を設ける必要がないため、該移載機構に起因するプロセス処理への悪影響(同一真空処理室において同一処理条件で処理したときにウェハW間での均一性が悪くなること等)がない。
搬送機構35は、図6(A)及び図6(B)に示すように、保持部材としての一対の搬送アーム35a、35bを有する。これら搬送アーム35a、35bは、ウェハWを支持する支持部35cを一端に有し、互いに略同形状に形成され、また、略同じように動作するように構成されている。
また、第1のスライダ35dと第2のスライダ35eとの間の距離が変わるように、これらスライダ35d、35eを動かすことで搬送アーム35a、35bを回転させることができる。特に、図6(A)に示すように、第1のスライダ35dと第2のスライダ35eとの間の距離が小さくなるようにこれらスライダ35d、35eを動かすことで、例えば真空処理室101内に支持部35cが挿入される状態まで、搬送アーム35a、35bを連動させて回転させることができる。
一対のプーリー51は、ガイド35hの延伸方向すなわち処理室連設方向(図のX方向)に沿って並べられ、少なくとも一方が駆動源としてのモータ51aにより回転駆動される。プーリー51の外側には不図示の歯型が設けられている。
歯付ベルト52は、一対のプーリー51に架け渡され、第1のスライダ35dの短辺部35kが固定されるものである。また、歯付ベルト52の内側面には、プーリー51の歯型と噛み合う不図示の歯型が設けられている。
一対のプーリー53は、ガイド35hの延伸方向すなわち処理室連設方向(図のX方向)に沿って並べられ、少なくとも一方が駆動源としてのモータ53aにより回転駆動される。プーリー53の外側には不図示の歯型が設けられている。
歯付ベルト54は、一対のプーリー53に架け渡され、第2のスライダ35eの短辺部35mが固定されるものである。また、歯付ベルト54の内側面には、プーリー53の歯型と噛み合う不図示の歯型が設けられている。
なお、上述のプーリー51、53とは別に歯付ベルト52、54に対するテンショナーとして別のプーリー等を設けるようにしてもよい。
なお、カバー60内に溜めた、プーリー51、53等で発生した塵は、カバー60に排気口を設けておき、第2の共通搬送装置31を真空雰囲気とする真空引きとは別のタイミングで、上記排気口を介して外部に排出することが好ましい。排出の際、N2ガスなどのパージガスをカバー60内に導入し、外部への塵の排出が容易になるようにしてもよい。これにより、移動機構50で発生した塵が搬送中のウェハWに付着し悪影響を及ぼすのをより確実に防ぐことができる。
処理システム1では、前述のように、真空搬送室32、33の下側、すなわち、第1及び第2の共通搬送装置30、31の下側にスペースがあるため、従前は真空処理室の下方に収納していた排気機構や載置台の温度調節機構等を構成する処理室関連部品の少なくとも一部を、第1及び第2の共通搬送装置30、31の下側に配置することができる。したがって、このような処理室関連部品に作業者がアクセスし易いためこれら処理室関連部品のメンテナンス性を向上させることができる。また、処理システム1では、図10に示すように、四方にスライド可能な収納装置70を真空処理室101〜104の下部に設けることができる。したがって、処理室関連部品を収納装置70内に配置すれば、収納装置70すなわち処理室関連部品をスライドさせて引き出し、アクセスし易い位置に持ってくることができるので、処理室関連部品のメンテナンス性がよい。さらに、収納装置70は水平方向(図のXY方向)にスライドできるため、メンテナンス時に一の収納装置70に収納された処理室関連部品と他の収納装置70に収納された処理室関連部品との間の距離/スペースを大きく確保することができるので、更にメンテナンス性を向上させることができる。
図6の例では、搬送アームを軸支する第1のスライダ35dと、搬送アームを回転させるための第2のスライダ35eとが、2つの搬送アーム35a、35bで共通であった。
それに対し、図11の例では、第1のスライダ35dは2つの搬送アーム35a、35bで共通であるが、第2のスライダ35e1、35e2は2つの搬送アーム35a、35bで別に設けられている。このような構成にすることにより、2つの搬送アーム35a、35bを別々に回転させることができる。
第2のスライダ35e1、35e2を搬送アームごとに設ける場合は、第1のスライダ35dに対するガイド35h1と第2のスライダ35e1、35e2に対するガイド35h2とを別々にすることが好ましい。
第1のスライダと第2のスライダとを搬送アーム毎に別個に設けることで、各搬送アームを独立して移動させることができると共に、独立して回転させることができる。
2 処理ユニット
3 ローダーユニット
4 ロードロック室
5 搬送ユニット
101〜104 真空処理室
11 基板載置台
21 大気圧搬送装置
30 第1の共通搬送装置
31 第2の共通搬送装置
34、35 搬送機構
34a、34b、35a、35b 搬送アーム
35d 第1のスライダ
35e 第2のスライダ
35h ガイド
40 レール
41 クレーン
50 移動機構
51、53 プーリー
51a、53a モータ
52、54 歯付ベルト
60 カバー
70 収納装置
G1〜G11 ゲートバルブ
Claims (11)
- 被処理体を搬出入し、大気圧雰囲気で被処理体を搬送する大気圧搬送装置と、
該大気圧搬送装置に、真空引き可能なロードロック室を介して接続され、真空雰囲気で被処理体を搬送する搬送ユニットと、
該搬送ユニットに接続された複数の真空処理室を有し、該真空処理室内で被処理体に所定の処理を行う真空処理ユニットと、を備える処理システムであって、
前記真空処理ユニットは、1の前記真空処理室において複数の被処理体に対して同時に所定の処理を行うものであり、前記複数の真空処理室が所定の方向に沿って並べられて構成され、
前記搬送ユニットは、それぞれ前記所定の方向に沿って設けられ、それぞれ前記所定の方向に沿って被処理体を搬送する第1及び第2の共通搬送装置を有し、
前記第1の共通搬送装置は、前記所定の方向と直交する方向の一方から、前記複数の真空処理室それぞれに接続され、
前記第2の共通搬送装置は、前記所定の方向と直交する方向の他方から、前記複数の真空処理室それぞれに接続されていることを特徴とする処理システム。 - 前記第1及び前記第2の共通搬送装置は、同一の前記真空処理室に対して被処理体の搬出入を同時に行うことを特徴とする請求項1に記載の処理システム。
- 前記ロードロック室は、第1の共通搬送装置に対する被処理体の搬出入口と第2の共通搬送装置に対する被処理体の搬出入口とが別々に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の処理システム。
- 前記第1及び前記2の共通搬送装置はそれぞれ、前記所定の方向に沿って被処理体を搬送する搬送機構を有し、
該搬送機構は、
被処理体を保持する保持部材と、
前記所定の方向に沿って移動すると共に、前記保持部材を軸支する第1のスライダと、
前記所定の方向に沿って移動すると共に、前記保持部材を回転させるために当該保持部材に接続された第2のスライダと、を有し、
前記第1のスライダと前記第2のスライダとを同速度で移動することにより、前記保持部材を前記所定の方向に沿って移動させ、異速度で移動することにより、前記保持部材を回転させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の処理システム。 - 前記搬送機構は、前記第1のスライダを移動させる第1の移動機構と前記第2のスライダを移動させる第2の移動機構と有し、
前記第1及び前記第2の移動機構はそれぞれ、
前記所定の方向に沿って並べられ、少なくとも一方が駆動源により回転駆動される一対のプーリーと、
該一対のプーリーに架け渡され、前記第1のスライダまたは前記第2のスライダが固定され、前記プーリーの回転に合わせて動くベルトと、を有することを特徴とする請求項4に記載の処理システム。 - 前記第1及び前記第2の移動機構は、所定の方向に沿って延伸するガイドを有し、前記第1及び前記第2のスライダは前記ガイドに沿って移動することを特徴とする請求項5に記載の処理システム。
- 前記ガイドは、前記第1及び前記第2の移動機構で共通であることを特徴とする請求項6に記載の処理システム。
- 前記搬送機構は、前記第1及び前記第2の移動機構を覆うカバーを有することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の処理システム。
- 前記保持部材は複数設けられ、
前記複数の保持部材は、共通の前記第1のスライダにより軸支され、共通の前記第2のスライダに接続されていることを特徴とする請求項4〜8のいずれか1項に記載の処理システム。 - 前記保持部材は複数設けられ、
前記複数の保持部材は、共通の前記第1のスライダにより軸支され、それぞれ別の前記第2のスライダに接続されていることを特徴とする請求項4〜8のいずれか1項に記載の処理システム。 - 前記保持部材は複数設けられ、
前記複数の保持部材は、それぞれ別の前記第1のスライダにより軸支され、それぞれ別の前記第2のスライダに接続されていることを特徴とする請求項4〜8のいずれか1項に記載の処理システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021034495A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7253955B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-04-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7402658B2 (ja) * | 2019-11-01 | 2023-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板収容ユニット及び基板搬送装置における真空搬送ユニットのメンテナンス方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08119409A (ja) * | 1994-10-27 | 1996-05-14 | Tokyo Electron Ltd | 集合処理装置 |
JPH11262881A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-09-28 | Hitachi Koki Co Ltd | リンクアーム機構の制御方法 |
JP2007095740A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Jel Research:Kk | 基板搬送装置 |
US20070231109A1 (en) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Pak Samuel S | Apparatus and method for processing substrates using one or more vacuum transfer chamber units |
US20080038095A1 (en) * | 2002-11-15 | 2008-02-14 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Apparatus for vacuum treating two dimensionally extended substrates and method for manufacturing such substrates |
JP2016051860A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1347566A (zh) * | 1999-04-16 | 2002-05-01 | 东京电子株式会社 | 半导体器件的制造方法及其制造生产线 |
JP2002324829A (ja) | 2001-07-13 | 2002-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2004349503A (ja) | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の処理システム及び処理方法 |
US7798764B2 (en) * | 2005-12-22 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool |
US7651306B2 (en) * | 2004-12-22 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian robot cluster tool architecture |
CN101164138B (zh) * | 2005-04-22 | 2012-10-17 | 应用材料公司 | 笛卡尔机械臂群集工具架构 |
WO2009072426A1 (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-11 | Ulvac, Inc. | 真空処理装置及び基板処理方法 |
JP5921200B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2016-05-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法、縮退運用プログラムおよび生産リストの作成プログラム |
JP6120621B2 (ja) | 2013-03-14 | 2017-04-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置及びその運転方法 |
KR101785330B1 (ko) * | 2015-05-29 | 2017-10-18 | 국제엘렉트릭코리아 주식회사 | 퍼니스형 기판 처리 장치, 기판 처리용 클러스터 설비 및 기판 처리 방법 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08119409A (ja) * | 1994-10-27 | 1996-05-14 | Tokyo Electron Ltd | 集合処理装置 |
JPH11262881A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-09-28 | Hitachi Koki Co Ltd | リンクアーム機構の制御方法 |
US20080038095A1 (en) * | 2002-11-15 | 2008-02-14 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Apparatus for vacuum treating two dimensionally extended substrates and method for manufacturing such substrates |
JP2007095740A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Jel Research:Kk | 基板搬送装置 |
US20070231109A1 (en) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Pak Samuel S | Apparatus and method for processing substrates using one or more vacuum transfer chamber units |
JP2016051860A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021034495A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
JP7365822B2 (ja) | 2019-08-22 | 2023-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
Also Published As
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CN108695202B (zh) | 2022-04-05 |
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