JP2018169559A - Galvano scanner - Google Patents

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一成 尾形
Kazunari Ogata
一成 尾形
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Citizen Watch Co Ltd
Citizen Chiba Precision Co Ltd
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Citizen Watch Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve dimensional accuracy in a rotation limit mechanism for limiting a rotation angle of a rotation axis of a Galvano scanner within a predetermined angular range.SOLUTION: A Galvano scanner (1) in which a rotation axis (21) is rotated within a predetermined angular range, and light with which a mirror (3) fixed to the rotation axis is irradiated is reflected in a direction corresponding to the rotation angle of the rotation axis comprises: a protruding structure (11) fixed to the rotation axis, and configured to rotate with the rotation axis; an impact absorbing material (12) fixed to a position corresponding to a margin of the angular range in a plane on which the protruding structure rotates, and configured to prevent the protruding structure from rotating beyond the margin, and to absorb an impact when the protruding structure collides; and a positioning part (13) fixed to a position not in contact with the protruding structure, and provided with a reference surface (31) for positioning the impact absorbing material, therein a part of a surface on a side with which the protruding structure collides in the impact absorbing material is pressed against the reference surface.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、ガルバノスキャナに関する。   The present invention relates to a galvano scanner.

例えばレーザ光線を使用するレーザ加工機および計測器などでは、レーザ光線の照射位置を高速に走査するために、ガルバノスキャナが広く用いられている（例えば、特許文献１〜３を参照）。ガルバノスキャナは、上限と下限が定められた角度範囲内でミラーを高速に微小回転させることにより、レーザ光源から入射したレーザ光線を、ミラーの回転角度に応じて異なる方向に反射させる。   For example, in laser processing machines and measuring instruments that use laser beams, galvano scanners are widely used to scan the irradiation position of the laser beams at high speed (see, for example, Patent Documents 1 to 3). The galvano scanner reflects the laser beam incident from the laser light source in different directions according to the rotation angle of the mirror by rotating the mirror minutely at high speed within an angle range in which an upper limit and a lower limit are determined.

また、特許文献４には、着磁片が一端に形成されたＴ字状の回転軸を電磁コイルの中心に回転自在に挿通すると共に、４個の永久磁石をそのＮ極とＳ極が着磁片に交互に相対するように電磁コイルの一端外周に所定間隔で配設し、電磁コイルに通電し着磁片をＮ極またはＳ極に磁化させることにより着磁片が永久磁石から吸引または反発を受け回転軸を定角度反復回転させるようにしたロータリーソレノイドであって、着磁片の反復回転角度を制限するストッパ部に着磁片と接触する緩衝用の弾性体を有するものが記載されている。   In Patent Document 4, a T-shaped rotating shaft having a magnetized piece formed at one end is rotatably inserted into the center of an electromagnetic coil, and four permanent magnets are attached to their N and S poles. The magnetized pieces are attracted from the permanent magnets by being arranged at predetermined intervals on the outer periphery of one end of the electromagnetic coil so as to be alternately opposed to the magnetic pieces, and by energizing the magnetized coil and magnetizing the magnetized pieces to the N or S poles. A rotary solenoid that repetitively rotates the rotating shaft at a constant angle in response to repulsion and has a buffering elastic body in contact with the magnetized piece at the stopper portion that limits the repeated rotation angle of the magnetized piece is described. ing.

特開２００３−３０７７００号公報JP 2003-307700 A 特開２００６−３５００１５号公報JP 2006-350015 A 特開２０１３−０７２９５２号公報JP 2013-072952 A 特開平７−１３５１１０号公報JP 7-135110 A

ガルバノスキャナのミラーは、正方向の上限角度と逆方向の下限角度の間で回転（回動）するので、回転軸（モータ）の回転角度を制限する機構が必要である。回転制限機構としては、例えばモータの回転軸に突起構造物を設け、その回転範囲の限界位置にそれ以上の回転を阻止する障壁部材を配置して、回転軸の回転範囲を機械的に制限することが考えられる。そうした障壁部材は、樹脂またはゴムなどの衝撃を緩和し易いもので構成して、衝撃吸収材とすることが望ましい。しかしながら、一般に、こうした材料は高精度に加工することが困難であり、加工公差にバラつきが出てしまう。加工公差のバラつきは、障壁部材の材料を金属にすれば減少するが、それでは突起構造物が衝突したときの衝撃が吸収されず、回転軸の破損に繋がるので、単に材料を変更するだけで回転制限機構の寸法精度を向上させることは難しい。   Since the mirror of the galvano scanner rotates (rotates) between the upper limit angle in the forward direction and the lower limit angle in the reverse direction, a mechanism for limiting the rotation angle of the rotating shaft (motor) is necessary. As the rotation limiting mechanism, for example, a protrusion structure is provided on the rotating shaft of the motor, and a barrier member that prevents further rotation is disposed at the limit position of the rotating range, thereby mechanically limiting the rotating range of the rotating shaft. It is possible. Such a barrier member is preferably made of a material such as resin or rubber that can easily mitigate an impact, and is used as an impact absorbing material. However, in general, it is difficult to process such materials with high accuracy, resulting in variations in processing tolerances. Variations in processing tolerances can be reduced if the material of the barrier member is made of metal, but this will not absorb the impact when the projecting structure collides, resulting in damage to the rotating shaft. It is difficult to improve the dimensional accuracy of the limiting mechanism.

本発明は、ガルバノスキャナの回転軸の回転角度を予め定められた角度範囲内に制限する回転制限機構の寸法精度を向上させることを目的とする。   An object of the present invention is to improve the dimensional accuracy of a rotation limiting mechanism that limits a rotation angle of a rotation shaft of a galvano scanner within a predetermined angle range.

予め定められた角度範囲内で回転軸を回転させ、回転軸に固定されたミラーに照射される光を回転軸の回転角度に応じた方向に反射させるガルバノスキャナであって、回転軸に固定され回転軸とともに回転する突起構造物と、突起構造物が回転する面内において角度範囲の限界に対応する位置に固定され、突起構造物が限界を超えて回転するのを阻止するとともに、突起構造物が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材と、突起構造物に接触しない位置に固定され、衝撃吸収材を位置決めするための基準面を有し、衝撃吸収材における突起構造物が衝突する側の面の一部が基準面に押し当てられている位置決め部とを有することを特徴とするガルバノスキャナが提供される。   A galvano scanner that rotates a rotating shaft within a predetermined angle range and reflects light applied to a mirror fixed to the rotating shaft in a direction corresponding to the rotating angle of the rotating shaft, and is fixed to the rotating shaft. A protruding structure that rotates together with the rotating shaft, and a protruding structure that is fixed at a position corresponding to the limit of the angular range in the plane of rotation of the protruding structure, prevents the protruding structure from rotating beyond the limit, and the protruding structure. The shock absorbing material that absorbs the impact when the shock collides, and the reference surface for positioning the shock absorbing material that is fixed at a position that does not contact the protruding structure, and the side where the protruding structure collides with the shock absorbing material The galvano scanner is provided with a positioning portion in which a part of the surface is pressed against the reference surface.

上記のガルバノスキャナでは、位置決め部は金属またはセラミックからなる材料で構成され、基準面は平面であることが好ましい。   In the galvano scanner described above, the positioning portion is preferably made of a material made of metal or ceramic, and the reference plane is preferably a flat surface.

上記のガルバノスキャナでは、衝撃吸収材における突起構造物が衝突する面と位置決め部の基準面に押し当てられる面とは同一面であることが好ましい。   In the galvano scanner described above, it is preferable that the surface of the impact absorbing material on which the protruding structure collides and the surface pressed against the reference surface of the positioning portion are the same surface.

上記のガルバノスキャナは、突起構造物に接触しない位置において衝撃吸収材を間に挟んで位置決め部とは反対側に配置され、衝撃吸収材を固定するための溝部を位置決め部との間に形成する固定機能部をさらに有することが好ましい。   The galvano scanner is disposed on the opposite side of the positioning portion with the impact absorbing material interposed between the positioning portion and the positioning portion so as not to contact the protruding structure. It is preferable to further have a fixed function part.

上記のガルバノスキャナでは、固定機能部の衝撃吸収材との対向面は傾斜面であることが好ましい。   In the galvano scanner described above, it is preferable that the surface of the fixed function portion that faces the shock absorber is an inclined surface.

上記のガルバノスキャナは、衝撃吸収材に当接するように衝撃吸収材に沿って固定機能部の傾斜面上に配置された柱状部材をさらに有し、位置決め部と固定機能部との間に衝撃吸収材と柱状部材とが接着により固定されていることが好ましい。   The galvano scanner further includes a columnar member disposed on the inclined surface of the fixed function portion along the shock absorber so as to contact the shock absorber, and absorbs shock between the positioning portion and the fixed function portion. It is preferable that the material and the columnar member are fixed by adhesion.

上記のガルバノスキャナでは、回転軸の回転角度を予め定められた角度範囲内に制限する回転制限機構の寸法精度が向上する。   In the galvano scanner described above, the dimensional accuracy of the rotation limiting mechanism that limits the rotation angle of the rotation shaft within a predetermined angle range is improved.

ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。1 is a schematic block diagram of a galvano scanner 1. FIG. モータ２の部分断面図である。2 is a partial cross-sectional view of a motor 2. FIG. 比較例の回転制限機構１００の斜視図である。It is a perspective view of the rotation limiting mechanism 100 of the comparative example. ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０の斜視図である。2 is a perspective view of a rotation limiting mechanism 10 of the galvano scanner 1. FIG. 回転制限機構１０の断面図である。2 is a cross-sectional view of a rotation limiting mechanism 10. FIG. 別の回転制限機構１０Ａ〜１０Ｃの説明図である。It is explanatory drawing of another rotation limitation mechanism 10A-10C.

以下、図面を参照しつつ、ガルバノスキャナについて説明する。ただし、本発明は図面または以下に記載される実施形態には限定されないことを理解されたい。   Hereinafter, the galvano scanner will be described with reference to the drawings. However, it should be understood that the present invention is not limited to the drawings or the embodiments described below.

図１は、ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。ガルバノスキャナ１は、モータ２、ミラー３、位置変換器４および駆動回路５を有する。   FIG. 1 is a schematic block diagram of a galvano scanner 1. The galvano scanner 1 includes a motor 2, a mirror 3, a position converter 4, and a drive circuit 5.

モータ２は、例えばブラシレスモータであり、駆動回路５から供給される駆動電流５３に応じて駆動されて、回転軸２１を回転させる。ガルバノスキャナ１のモータ２は、回転軸２１を一方向に連続的に回転させるのではなく、上限と下限が定められた角度範囲内で、回転軸２１を時計回りおよび反時計回り（正方向および逆方向）に交互に回転（回動）させる回転制限モータである。   The motor 2 is a brushless motor, for example, and is driven according to the drive current 53 supplied from the drive circuit 5 to rotate the rotary shaft 21. The motor 2 of the galvano scanner 1 does not continuously rotate the rotating shaft 21 in one direction, but rotates the rotating shaft 21 clockwise and counterclockwise (positive direction and It is a rotation limiting motor that rotates (rotates) alternately in the reverse direction.

ミラー３は、回転軸２１の一方の先端に固定され、回転軸２１を介してモータ２に連結されている。ミラー３は、モータ２の駆動によって例えば正方向の上限角度と逆方向の下限角度の間で回転して、図示しないレーザ光源から入射したレーザ光線を回転軸２１の回転角度に応じて異なる方向に反射させる。   The mirror 3 is fixed to one end of the rotating shaft 21 and is connected to the motor 2 via the rotating shaft 21. The mirror 3 is rotated between the upper limit angle in the forward direction and the lower limit angle in the reverse direction, for example, by driving the motor 2, and the laser beam incident from a laser light source (not shown) is changed in different directions according to the rotation angle of the rotary shaft 21. Reflect.

位置変換器４は、例えば特許第５５９５５５０号公報に記載されたもののような、回転軸２１（あるいは、モータ２またはミラー３）の現在の回転角度を検出するためのセンサである。位置変換器４は、検出した回転角度に応じた電圧の信号を、位置フィードバック信号５２として、駆動回路５に出力する。   The position converter 4 is a sensor for detecting the current rotation angle of the rotating shaft 21 (or the motor 2 or the mirror 3) such as that described in Japanese Patent No. 5595550. The position converter 4 outputs a voltage signal corresponding to the detected rotation angle to the drive circuit 5 as a position feedback signal 52.

駆動回路５は、外部から入力される位置指令信号５１と、位置変換器４から入力される位置フィードバック信号５２とに基づいて、モータ２の駆動電流５３を生成する。位置指令信号５１は、目標とするミラー３の回転角度を示すアナログ信号であり、位置フィードバック信号５２は、ミラー３の現在の回転角度を示すアナログ信号である。例えば、位置指令信号５１が示す目標の回転角度が１０度であり、位置フィードバック信号５２が示す現在の回転角度が９度である場合には、駆動回路５は、差の１度分だけミラー３を回転させるための駆動電流５３を生成し、これをモータ２に供給する。   The drive circuit 5 generates a drive current 53 for the motor 2 based on a position command signal 51 input from the outside and a position feedback signal 52 input from the position converter 4. The position command signal 51 is an analog signal indicating the target rotation angle of the mirror 3, and the position feedback signal 52 is an analog signal indicating the current rotation angle of the mirror 3. For example, when the target rotation angle indicated by the position command signal 51 is 10 degrees and the current rotation angle indicated by the position feedback signal 52 is 9 degrees, the drive circuit 5 causes the mirror 3 to move by the difference of 1 degree. Is generated and supplied to the motor 2.

図２は、モータ２の部分断面図である。図２では、ミラー３（図２では図示せず）が設けられている側のモータ２の断面を拡大して示している。モータ２は、回転軸（ロータシャフト）２１に加えて、軸受２２、ケース２３、コイル２４および永久磁石２５を有する。   FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the motor 2. 2, the cross section of the motor 2 on the side where the mirror 3 (not shown in FIG. 2) is provided is shown enlarged. The motor 2 includes a bearing 22, a case 23, a coil 24, and a permanent magnet 25 in addition to a rotating shaft (rotor shaft) 21.

回転軸２１は、ケース２３の内部において軸受２２により回転可能に保持されており、永久磁石２５は、ケース２３の内部における回転軸２１の外周面に固定されている。また、コイル２４は、ケース２３の内部において、永久磁石２５に対向して配置されている。回転軸２１および永久磁石２５はモータ２の回転子を構成し、軸受２２、ケース２３およびコイル２４はモータ２の固定子を構成する。モータ２は、コイル２４に電流を流すことで生じる磁場と、永久磁石２５が作る磁場とによりトルクを生成して、そのトルクにより回転軸２１を回転させる。   The rotating shaft 21 is rotatably held by the bearing 22 inside the case 23, and the permanent magnet 25 is fixed to the outer peripheral surface of the rotating shaft 21 inside the case 23. Further, the coil 24 is disposed inside the case 23 so as to face the permanent magnet 25. The rotating shaft 21 and the permanent magnet 25 constitute a rotor of the motor 2, and the bearing 22, the case 23 and the coil 24 constitute a stator of the motor 2. The motor 2 generates torque by a magnetic field generated by passing a current through the coil 24 and a magnetic field generated by the permanent magnet 25, and rotates the rotating shaft 21 by the torque.

図２に示すように、ガルバノスキャナ１は、回転軸２１の一端部であって軸受２２よりもモータ２の外側に回転制限機構１０を有する。回転制限機構１０は、回転軸２１に設けられた突起構造物と、その回転範囲の限界位置に配置され突起構造物のそれ以上の回転を阻止する障壁部材とで構成される。回転制限機構１０は、回転軸２１の回転を予め定められた角度範囲内に機械的に制限するとともに、突起構造物と障壁部材との衝突の衝撃を吸収するダンパー構造である。以下では、まず、比較例の回転制限機構を説明し、その次に、ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０を説明する。   As shown in FIG. 2, the galvano scanner 1 has a rotation limiting mechanism 10 at one end portion of the rotating shaft 21 and outside the motor 2 than the bearing 22. The rotation limiting mechanism 10 includes a protruding structure provided on the rotating shaft 21 and a barrier member that is disposed at a limit position of the rotation range and prevents further rotation of the protruding structure. The rotation limiting mechanism 10 is a damper structure that mechanically limits the rotation of the rotating shaft 21 within a predetermined angle range and absorbs the impact of the collision between the protruding structure and the barrier member. In the following, the rotation limiting mechanism of the comparative example will be described first, and then the rotation limiting mechanism 10 of the galvano scanner 1 will be described.

図３は、比較例の回転制限機構１００の斜視図である。回転制限機構１００は、ストッパカラー１０１およびゴムストッパ１０２を有する。図３では、ガルバノスキャナのミラーが固定される側のモータの端部を示しており、符号２１，２３で示す回転軸およびケースは、モータ２のものと同じである。   FIG. 3 is a perspective view of the rotation limiting mechanism 100 of the comparative example. The rotation limiting mechanism 100 has a stopper collar 101 and a rubber stopper 102. In FIG. 3, the end of the motor on the side where the mirror of the galvano scanner is fixed is shown, and the rotating shaft and case indicated by reference numerals 21 and 23 are the same as those of the motor 2.

ストッパカラー１０１は、モータの回転軸２１に固定され、回転軸２１の長手方向に垂直な同じ平面内で１８０度の角をなす方向に突出する２個の突起部を有する突起構造物である。ストッパカラー１０１は、モータが駆動されると、図中に矢印Ｃで示すように、回転軸２１とともに正方向および逆方向に回転する。   The stopper collar 101 is a protruding structure having two protruding portions that are fixed to the rotating shaft 21 of the motor and protrude in a direction that forms an angle of 180 degrees in the same plane perpendicular to the longitudinal direction of the rotating shaft 21. When the motor is driven, the stopper collar 101 rotates in the forward direction and the reverse direction together with the rotating shaft 21 as indicated by an arrow C in the drawing.

ゴムストッパ１０２は、ストッパカラー１０１を収容する開口部１１０を有し、開口部１１０の内壁によってストッパカラー１０１の回転範囲を制限する障壁部材である。ゴムストッパ１０２の開口部１１０の内部が、回転軸２１の回転によりストッパカラー１０１が移動可能な領域に相当する。ゴムストッパ１０２は、樹脂またはゴムなどの衝撃を吸収し易い部材で構成され、ストッパカラー１０１が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材を兼ねている。   The rubber stopper 102 is an obstacle member that has an opening 110 that accommodates the stopper collar 101 and restricts the rotation range of the stopper collar 101 by the inner wall of the opening 110. The inside of the opening 110 of the rubber stopper 102 corresponds to a region where the stopper collar 101 can be moved by the rotation of the rotating shaft 21. The rubber stopper 102 is formed of a member that easily absorbs an impact such as resin or rubber, and also serves as an impact absorbing material that absorbs an impact when the stopper collar 101 collides.

回転制限機構１００では、回転軸２１（モータ）の回転角度が目標の角度範囲内に収まるように、ゴムストッパ１０２の開口部１１０の寸法が設計される。ただし、樹脂またはゴムなどの材料を高精度に加工することは難しいため、ゴムストッパ１０２の開口部１１０は、加工公差として、例えば±０．２ｍｍ〜±０．３ｍｍ程度のバラつきを持ってしまう。このため、回転制限機構１００を用いたガルバノスキャナでは、開口部１１０の加工公差に応じてストッパカラー１０１の回転範囲のバラつきも大きくなるので、回転軸２１の回転角度（ミラーの振れ角）を厳密に制御することが難しい。   In the rotation limiting mechanism 100, the size of the opening 110 of the rubber stopper 102 is designed so that the rotation angle of the rotation shaft 21 (motor) is within a target angle range. However, since it is difficult to process a material such as resin or rubber with high accuracy, the opening 110 of the rubber stopper 102 has a variation of, for example, about ± 0.2 mm to ± 0.3 mm as a processing tolerance. For this reason, in the galvano scanner using the rotation limiting mechanism 100, the variation in the rotation range of the stopper collar 101 increases according to the processing tolerance of the opening 110, and therefore the rotation angle of the rotation shaft 21 (mirror deflection angle) is strictly set. Difficult to control.

図４は、ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０の斜視図である。回転制限機構１０は、ストッパカラー１１、ゴムストッパ１２、ストッパホルダ１３，１４および金属ピン１５を有する。図４では、図３と同様に、ミラー３が固定される側のモータ２の端部を示している。なお、図２では、図４に符号ＩＩで示す一点鎖線に沿った切断面を示している。   FIG. 4 is a perspective view of the rotation limiting mechanism 10 of the galvano scanner 1. The rotation limiting mechanism 10 includes a stopper collar 11, a rubber stopper 12, stopper holders 13 and 14, and a metal pin 15. 4 shows the end of the motor 2 on the side where the mirror 3 is fixed, as in FIG. Note that FIG. 2 shows a cut surface along the alternate long and short dash line indicated by reference numeral II in FIG.

ストッパカラー１１は、突起構造物の一例であり、図３のストッパカラー１０１と同様に、回転軸２１に固定され、回転軸２１の長手方向に垂直な同じ平面内で１８０度の角をなす方向に突出する２個の突起部を有する。ストッパカラー１１は、モータ２が駆動されると、回転軸２１とともに正方向および逆方向に回転する。なお、ストッパカラー１１は、回転軸２１とは別の部材として形成され回転軸２１に接着などにより固定されたものであってもよいし、回転軸２１と一体に形成されたものであってもよい。また、ストッパカラー１１の突起部の個数は、２個に限らず何個でもよい。特に、ストッパカラー１１の突起部が１個であっても、回転軸２１の回転範囲を制限することは可能である。   The stopper collar 11 is an example of a protruding structure, and is fixed to the rotating shaft 21 and forms an angle of 180 degrees in the same plane perpendicular to the longitudinal direction of the rotating shaft 21, similarly to the stopper collar 101 of FIG. 3. Have two protrusions protruding from the top. When the motor 2 is driven, the stopper collar 11 rotates in the forward direction and the reverse direction together with the rotating shaft 21. The stopper collar 11 may be formed as a member different from the rotation shaft 21 and fixed to the rotation shaft 21 by bonding or the like, or may be formed integrally with the rotation shaft 21. Good. Further, the number of the protrusions of the stopper collar 11 is not limited to two and may be any number. In particular, even if the stopper collar 11 has one protrusion, the rotation range of the rotating shaft 21 can be limited.

ゴムストッパ１２は、樹脂またはゴムなどで構成された４個の角柱状の部材であり、ストッパカラー１１が回転する面内において、その回転範囲の限界に対応する位置に固定されている。図示した例では、ストッパカラー１１が２個の突起部を有するため、４個のゴムストッパ１２のうちの２個は一方の突起部の回転範囲の両端に、残り２個のゴムストッパ１２は他方の突起部の回転範囲の両端に、それぞれ配置されている。対になる２個のゴムストッパ１２の間の領域が、回転軸２１の回転によりストッパカラー１１が移動可能な領域に相当する。ゴムストッパ１２は、ストッパカラー１１が回転範囲の限界を超えて回転するのを阻止する障壁部材の一例であり、かつストッパカラー１１が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材の一例である。なお、ゴムストッパ１２の個数は、ストッパカラー１１の正方向および逆方向の回転を制限できればよいため、必ずしも４個でなくてもよい。   The rubber stopper 12 is four prismatic members made of resin, rubber, or the like, and is fixed at a position corresponding to the limit of the rotation range in the plane in which the stopper collar 11 rotates. In the illustrated example, since the stopper collar 11 has two protrusions, two of the four rubber stoppers 12 are at both ends of the rotation range of one protrusion, and the remaining two rubber stoppers 12 are the other. Are disposed at both ends of the rotation range of the protrusions. A region between the two rubber stoppers 12 that form a pair corresponds to a region in which the stopper collar 11 can be moved by the rotation of the rotating shaft 21. The rubber stopper 12 is an example of a barrier member that prevents the stopper collar 11 from rotating beyond the limit of the rotation range, and is an example of an impact absorbing material that absorbs an impact when the stopper collar 11 collides. Note that the number of rubber stoppers 12 is not necessarily limited to four as long as the rotation of the stopper collar 11 in the forward and reverse directions is limited.

ストッパホルダ１３，１４は、金属材料で形成された１つの部材（一体品）であり、ゴムストッパ１２を位置決めし固定するための保持部材として機能する。ストッパホルダ１３，１４は、符号１３で示す２つの突出部と、符号１４で示す２つの突出部とを有し、これらの突出部は、回転軸２１を中心とするストッパカラー１１よりも外周側であってストッパカラー１１に接触しない位置にそれぞれ配置されている。以下では、符号１３で示す部分を「突出部１３」、符号１４で示す部分を「突出部１４」ともいう。   The stopper holders 13 and 14 are one member (integral product) formed of a metal material and function as a holding member for positioning and fixing the rubber stopper 12. The stopper holders 13 and 14 have two protrusions indicated by reference numeral 13 and two protrusions indicated by reference numeral 14, and these protrusions are on the outer peripheral side of the stopper collar 11 centering on the rotating shaft 21. However, they are arranged at positions that do not contact the stopper collar 11. Hereinafter, the portion indicated by reference numeral 13 is also referred to as “projection 13”, and the portion indicated by reference numeral 14 is also referred to as “projection 14”.

突出部１３は、回転軸２１とストッパカラー１１の２個の突起部を間に挟んで互いに向かい合い、かつそれぞれが２個のゴムストッパ１２により挟まれるように配置された２個の略４角形の部分である。突出部１４は、ストッパカラー１１が回転する面内で、突出部１３とは回転軸２１の周りに９０度ずれた位置に、回転軸２１を間に挟んで互いに向かい合うように配置された２個の略３角形（扇形）の部分である。回転制限機構１０では、ストッパホルダ１３，１４の計４個の突出部により、回転軸２１とストッパカラー１１の周囲が取り囲まれている。   The protruding portion 13 has two substantially quadrangular shapes that are arranged so as to face each other with the two protruding portions of the rotating shaft 21 and the stopper collar 11 sandwiched therebetween and are sandwiched by the two rubber stoppers 12. Part. Two protrusions 14 are arranged in a plane where the stopper collar 11 rotates, and are arranged so as to face each other with the rotation shaft 21 interposed therebetween at a position shifted by 90 degrees around the rotation shaft 21 from the protrusion 13. Is a substantially triangular (fan-shaped) portion. In the rotation limiting mechanism 10, the periphery of the rotating shaft 21 and the stopper collar 11 is surrounded by a total of four protruding portions of the stopper holders 13 and 14.

図示した例では、ストッパホルダ１３，１４は、モータ２のケース２３とは別部材であり、ケース２３の端面にねじにより固定されることで、ストッパカラー１１が回転する面内に突出している。ただし、ストッパホルダ１３，１４は、ケース２３の端面において***するように、ケース２３と一体に形成されたものであってもよい。また、突出部１３と突出部１４とはそれぞれ別体品であってもよい。しかしながら、突出部１３と突出部１４とを別体品とする場合には、治具を使用してそれらを互いに位置決めするなどの手間が生じるため、ストッパホルダ１３，１４は一体品である方が好ましい。   In the illustrated example, the stopper holders 13 and 14 are separate members from the case 23 of the motor 2, and are fixed to the end surface of the case 23 with screws, so that the stopper collar 11 protrudes in the rotating surface. However, the stopper holders 13 and 14 may be formed integrally with the case 23 so as to protrude from the end surface of the case 23. Further, the protruding portion 13 and the protruding portion 14 may be separate products. However, when the projecting portion 13 and the projecting portion 14 are separate components, it takes time to position them together using a jig. Therefore, the stopper holders 13 and 14 should be integrated. preferable.

また、仮にストッパカラー１１が３個の突出部を有する場合には、それらに対応して突出部１３を３個配置し、突出部１３同士の間に計３個の突出部１４を配置すればよい。ストッパホルダ１３，１４の突出部の個数は、ストッパカラー１１の形状に応じて変更してもよく、必ずしも２個ずつでなくてもよい。   Also, if the stopper collar 11 has three protrusions, three protrusions 13 are arranged corresponding to them, and a total of three protrusions 14 are arranged between the protrusions 13. Good. The number of protrusions of the stopper holders 13 and 14 may be changed according to the shape of the stopper collar 11 and may not necessarily be two.

突出部１３は、位置決め部の一例であり、ゴムストッパ１２を位置決めするための２つの基準面３１を有する。基準面３１は、金属加工により形成された平面である。また、ゴムストッパ１２の突出部１３との対向面も平面であり、この面は、ストッパカラー１１が衝突する面でもある。そのうちで、回転軸２１から遠い外周側は突出部１３に突き当たる突き当て部３２に、回転軸２１に近い中心側はストッパカラー１１の突起部に衝突されてその回転を制限する回転制限部３３に、それぞれ相当する。すなわち、回転制限機構１０では、ゴムストッパ１２におけるストッパカラー１１が衝突する面（回転制限部３３）と突出部１３の基準面３１に押し当てられる面（突き当て部３２）とは同一面である。   The protruding portion 13 is an example of a positioning portion, and has two reference surfaces 31 for positioning the rubber stopper 12. The reference surface 31 is a flat surface formed by metal processing. Further, the surface of the rubber stopper 12 facing the protruding portion 13 is also a flat surface, and this surface is also a surface on which the stopper collar 11 collides. Among them, the outer peripheral side far from the rotating shaft 21 is abutting portion 32 that abuts against the protruding portion 13, and the center side near the rotating shaft 21 is collided with the protruding portion of the stopper collar 11 to restrict the rotation. , Respectively. That is, in the rotation limiting mechanism 10, the surface of the rubber stopper 12 on which the stopper collar 11 collides (the rotation limiting portion 33) and the surface pressed against the reference surface 31 of the protruding portion 13 (the butting portion 32) are the same surface. .

ゴムストッパ１２は、突き当て部３２が突出部１３の基準面３１に押し当てられた状態で、例えば接着剤により固定されている。このため、ゴムストッパ１２の回転制限部３３の位置は、突出部１３の基準面３１に倣って決まり、ストッパカラー１１の回転範囲は、突出部１３を挟む２個のゴムストッパ１２の配置間隔により決まる。   The rubber stopper 12 is fixed by, for example, an adhesive in a state where the abutting portion 32 is pressed against the reference surface 31 of the projecting portion 13. For this reason, the position of the rotation restricting portion 33 of the rubber stopper 12 is determined following the reference surface 31 of the protruding portion 13, and the rotation range of the stopper collar 11 depends on the arrangement interval of the two rubber stoppers 12 sandwiching the protruding portion 13. Determined.

回転制限機構１０では、回転制限部３３と位置決め用の基準面３１とを別部材に分けることにより、例えば、回転制限部３３（ゴムストッパ１２）を樹脂またはゴムなどの材料で、基準面３１を金属またはセラミックスからなる材料で、それぞれ形成することができる。このため、回転制限部３３をストッパカラー１１の破損が起きにくい柔らかい材料で形成するとともに、基準面３１を例えば切削または研削などの機械加工により高精度に形成することができる。したがって、回転制限機構１０では、金属の加工精度で回転軸２１の回転角度の範囲を規定することができるので、図３に示した回転制限機構１００のようにゴムストッパ１０２だけで回転制限する構造に比べて、寸法精度が向上する。   In the rotation limiting mechanism 10, the rotation limiting portion 33 and the positioning reference surface 31 are separated into different members, so that, for example, the rotation limiting portion 33 (rubber stopper 12) is made of a material such as resin or rubber, and the reference surface 31 is formed. Each can be formed of a material made of metal or ceramics. For this reason, the rotation restricting portion 33 can be formed of a soft material that is unlikely to cause damage to the stopper collar 11, and the reference surface 31 can be formed with high accuracy by machining such as cutting or grinding. Therefore, in the rotation limiting mechanism 10, the range of the rotation angle of the rotating shaft 21 can be defined with metal processing accuracy, so that the rotation is limited only by the rubber stopper 102 as in the rotation limiting mechanism 100 shown in FIG. Compared with dimensional accuracy is improved.

突出部１３の材料は必ずしも金属またはセラミックスに限られないが、これらの材料である方が、基準面３１を機械加工により精度よく形成できるため好ましい。また、温度変化のある環境でガルバノスキャナ１が使用される場合には、突出部１３の材料として、プラスチックなどよりも金属またはセラミックスを用いる方が、熱膨張が起こりにくく、回転制限される角度範囲が使用時に変化しにくいため好ましい。   The material of the protruding portion 13 is not necessarily limited to metal or ceramics, but these materials are preferable because the reference surface 31 can be formed with high precision by machining. In addition, when the galvano scanner 1 is used in an environment with temperature changes, it is less likely that thermal expansion occurs and the rotation is limited when a metal or ceramic is used as the material of the protruding portion 13 rather than plastic. Is preferable because it hardly changes during use.

例えば回転制限機構以外（駆動電流など）を同じ条件とした比較実験において、回転制限機構１００で所望の回転制限角度範囲に対して±５度程度のずれがあるときには、回転制限機構１０では、その所望の回転制限角度範囲に対するずれが±１度以下に改善される。なお、回転制限機構１０では、高精度に加工された基準面に倣ってゴムストッパ１２の回転制限部３３の位置が決まるため、ゴムストッパ１２の幅寸法（図４に示すゴムストッパ１２の短手方向幅の寸法）に個体間でバラつきが生じても、回転制限部３３の位置（回転制限角度）には影響しにくい。また、さらには、図４に示すように、ゴムストッパの突き当て部３２と回転制限部３３とは同一面であることから、基準面３１の角度を正確に回転制限部３３に反映することができる。   For example, in a comparative experiment in which a condition other than the rotation limiting mechanism (such as drive current) is the same, when the rotation limiting mechanism 100 has a deviation of about ± 5 degrees from the desired rotation limiting angle range, Deviation from the desired rotation limit angle range is improved to ± 1 degree or less. In the rotation limiting mechanism 10, the position of the rotation limiting portion 33 of the rubber stopper 12 is determined following the reference surface processed with high accuracy, so that the width dimension of the rubber stopper 12 (the short side of the rubber stopper 12 shown in FIG. 4) is determined. Even if variations occur in the dimension of the width in the direction), the position of the rotation limiter 33 (rotation limit angle) is hardly affected. Furthermore, as shown in FIG. 4, since the rubber stopper abutting portion 32 and the rotation limiting portion 33 are the same surface, the angle of the reference surface 31 can be accurately reflected in the rotation limiting portion 33. it can.

図５は、回転制限機構１０の断面図である。図５では、図４に符号Ｖで示す一点鎖線に沿った切断面を示している。次に、図５を用いて、突出部１４と金属ピン１５を説明する。   FIG. 5 is a cross-sectional view of the rotation limiting mechanism 10. In FIG. 5, the cut surface along the dashed-dotted line shown with the code | symbol V in FIG. 4 is shown. Next, the protrusion 14 and the metal pin 15 will be described with reference to FIG.

突出部１４は、固定機能部の一例であり、ストッパカラー１１に接触しない位置においてゴムストッパ１２を間に挟んで突出部１３とは反対側に配置され、ゴムストッパ１２を固定するための溝部３４（図４を参照）を突出部１３との間に形成する。突出部１４のゴムストッパ１２との対向面は、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直ではなく、その面に対して斜めになった傾斜面３５である。   The protruding portion 14 is an example of a fixed function portion, and is disposed on the opposite side of the protruding portion 13 with the rubber stopper 12 interposed therebetween at a position where the protruding portion 14 does not contact the stopper collar 11, and a groove portion 34 for fixing the rubber stopper 12. (Refer to FIG. 4) is formed between the protrusions 13. The surface of the protrusion 14 facing the rubber stopper 12 is an inclined surface 35 that is not perpendicular to the rotation surface of the stopper collar 11 but is inclined with respect to the surface.

金属ピン１５は、柱状部材の一例であり、ゴムストッパ１２に当接するように、ゴムストッパ１２に沿って突出部１４の傾斜面３５上に配置されている。回転制限機構１０では、ゴムストッパ１２と同数の４本の金属ピン１５が、それぞれ、対応するゴムストッパ１２に平行に配置されている。ゴムストッパ１２と金属ピン１５の組は、それぞれ、突出部１３と突出部１４との間の溝部３４内に、例えば接着剤により固定されている。金属ピン１５は、ゴムストッパ１２を基準面３１に突き当てて接着するときに、ゴムストッパ１２がずれないように保つための重しとして使用される。   The metal pin 15 is an example of a columnar member, and is disposed on the inclined surface 35 of the protruding portion 14 along the rubber stopper 12 so as to contact the rubber stopper 12. In the rotation limiting mechanism 10, the same number of four metal pins 15 as the rubber stoppers 12 are arranged in parallel to the corresponding rubber stoppers 12. Each set of the rubber stopper 12 and the metal pin 15 is fixed in a groove 34 between the protruding portion 13 and the protruding portion 14 by, for example, an adhesive. The metal pin 15 is used as a weight for keeping the rubber stopper 12 from shifting when the rubber stopper 12 is abutted against the reference surface 31 and bonded.

ゴムストッパ１２の接着は、例えば、溝部３４内にゴムストッパ１２を、傾斜面３５上に金属ピン１５をそれぞれ配置し、上方から金属ピン１５を適切な圧力で押圧してゴムストッパ１２を基準面３１に押し付けた上で、金属ピン１５の周辺に接着剤を流すことで行われる。金属ピン１５を用いることで、より確実にゴムストッパ１２を基準面３１に突き当て、かつゴムストッパ１２の位置ずれを防止することができる。   The rubber stopper 12 is bonded by, for example, disposing the rubber stopper 12 in the groove 34 and the metal pin 15 on the inclined surface 35 and pressing the metal pin 15 from above with an appropriate pressure so that the rubber stopper 12 is brought into the reference surface. This is performed by flowing an adhesive around the metal pin 15 after being pressed against the metal pin 15. By using the metal pin 15, the rubber stopper 12 can be abutted against the reference surface 31 more reliably and the displacement of the rubber stopper 12 can be prevented.

なお、金属ピン１５を使用せずに、接着剤のみでゴムストッパ１２を固定してもよい。ただし、金属ピン１５を使用した方が、上記の通り接着時にゴムストッパ１２の位置がずれにくくなる。また、金属ピン１５には、ストッパカラー１１がゴムストッパ１２に衝突したときのゴムストッパ１２の変形を阻止する効果もあるため、金属ピン１５を使用した方が、ゴムストッパ１２の強度が向上する。したがって、ゴムストッパ１２の回転制限部３３とは反対側の面には、金属ピン１５を配置することが好ましい。   Note that the rubber stopper 12 may be fixed only with an adhesive without using the metal pin 15. However, when the metal pin 15 is used, the position of the rubber stopper 12 is less likely to shift during bonding as described above. Further, since the metal pin 15 has an effect of preventing the deformation of the rubber stopper 12 when the stopper collar 11 collides with the rubber stopper 12, the strength of the rubber stopper 12 is improved when the metal pin 15 is used. . Therefore, it is preferable to arrange the metal pin 15 on the surface of the rubber stopper 12 opposite to the rotation restricting portion 33.

また、突出部１４のゴムストッパ１２との対向面を傾斜面３５にせず、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直な面にしてもよい。その場合には、金属ピン１５の代わりに、突出部１３と突出部１４との間の溝内に、ゴムストッパ１２とともに、必要に応じて適当な厚さのスペーサを配置すればよい。ただし、突出部１４の対向面を垂直面とする場合には、ゴムストッパ１２の厚さに応じてスペーサの厚さを調整する必要がある。突出部１４の対向面が傾斜面３５である方が、ゴムストッパ１２の接着時にゴムストッパ１２を当て易く、しかも、ゴムストッパ１２の厚みにバラつきがあっても、そのバラつきの影響を受けにくい。このため、突出部１４の対向面を傾斜面３５として、金属ピン１５を使用する方が、部品コストと製造工数が抑えられ、回転制限機構１０を作製し易いという利点がある。   Alternatively, the surface of the protrusion 14 facing the rubber stopper 12 may be a surface perpendicular to the rotation surface of the stopper collar 11, instead of the inclined surface 35. In that case, instead of the metal pin 15, a spacer having an appropriate thickness may be disposed in the groove between the protruding portion 13 and the protruding portion 14 together with the rubber stopper 12 as necessary. However, when the opposing surface of the protrusion 14 is a vertical surface, the thickness of the spacer needs to be adjusted according to the thickness of the rubber stopper 12. When the opposing surface of the projecting portion 14 is the inclined surface 35, the rubber stopper 12 can be easily applied when the rubber stopper 12 is bonded, and even if the thickness of the rubber stopper 12 varies, it is less likely to be affected by the variation. For this reason, using the metal pin 15 with the opposed surface of the projecting portion 14 as the inclined surface 35 has the advantage that the component cost and manufacturing man-hour are reduced, and the rotation limiting mechanism 10 is easy to manufacture.

図６（Ａ）は、別の回転制限機構１０Ａの説明図である。回転制限機構１０Ａは、回転制限機構１０のゴムストッパ１２がゴムストッパ１２Ａに置き換えられている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ａ）では、回転制限機構１０Ａのうちで、突出部１３、ゴムストッパ１２Ａ、突出部１４および金属ピン１５がそれぞれ１個ずつ配置されている一部分のみを示している。図４に示した回転制限機構１０のゴムストッパ１２では、突き当て部３２と回転制限部３３とが同一平面であるが、例えば図６（Ａ）に示すように回転制限部３３に突起３３Ａを形成したり、あるいは逆に回転制限部３３の一部を窪ませたりしてもよい。   FIG. 6A is an explanatory diagram of another rotation limiting mechanism 10A. The rotation limiting mechanism 10A is different from the rotation limiting mechanism 10 only in that the rubber stopper 12 of the rotation limiting mechanism 10 is replaced with a rubber stopper 12A, and has the same configuration as the rotation limiting mechanism 10 in other points. FIG. 6 (A) shows only a part of the rotation limiting mechanism 10A where one protruding portion 13, one rubber stopper 12A, one protruding portion 14, and one metal pin 15 are arranged. In the rubber stopper 12 of the rotation limiting mechanism 10 shown in FIG. 4, the butting portion 32 and the rotation limiting portion 33 are on the same plane. For example, as shown in FIG. Alternatively, it may be formed, or conversely, a part of the rotation restricting portion 33 may be recessed.

また、例えば、図６（Ｄ）および図６（Ｅ）に示すゴムストッパ１２Ｄ，１２Ｅのように、突き当て部３２と回転制限部３３とをともに平面とした上で、両者に段差を設けてもよい。この場合、ゴムストッパ１２Ｄのように、突き当て部３２と比べて回転制限部３３がストッパカラー１１の側に突出していてもよく、逆に、ゴムストッパ１２Ｅのように、突き当て部３２の方が回転制限部３３と比べて突出していてもよい。ただし、ゴムストッパ１２Ｄまたはゴムストッパ１２Ｅを使用する場合には、ストッパカラー１１の角度範囲に影響しないように、図６（Ｄ）および図６（Ｅ）に符号ｄで示した突き当て部３２と回転制限部３３との段差の寸法精度を高くする必要がある。これは図６（Ａ）の構成でも同様であり、回転制限部３３の突起３３Ａの突き当て部３２に対する段差も寸法精度よく形成する必要がある。   Further, for example, like the rubber stoppers 12D and 12E shown in FIGS. 6D and 6E, the abutting portion 32 and the rotation restricting portion 33 are both flat, and a step is provided on both. Also good. In this case, the rotation restricting portion 33 may protrude toward the stopper collar 11 as compared with the abutting portion 32 as in the rubber stopper 12D, and conversely, as in the rubber stopper 12E, May protrude as compared with the rotation restricting portion 33. However, when the rubber stopper 12D or the rubber stopper 12E is used, the abutting portion 32 indicated by reference sign d in FIGS. 6D and 6E is used so as not to affect the angle range of the stopper collar 11. It is necessary to increase the dimensional accuracy of the step with the rotation limiting portion 33. The same applies to the configuration of FIG. 6A, and the step difference between the protrusion 33A of the rotation restricting portion 33 and the abutting portion 32 needs to be formed with high dimensional accuracy.

図６（Ｂ）は、さらに別の回転制限機構１０Ｂの説明図である。回転制限機構１０Ｂは、回転制限機構１０の金属ピン１５に対応するものがなく、回転制限機構１０の突出部１４が突出部１４Ｂに置き換えられている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ｂ）では、回転制限機構１０Ｂのうちで、突出部１３、ゴムストッパ１２および突出部１４Ｂがそれぞれ１個ずつ配置されている一部分のみを示している。   FIG. 6B is an explanatory diagram of still another rotation limiting mechanism 10B. There is no rotation limiting mechanism 10B corresponding to the metal pin 15 of the rotation limiting mechanism 10, and only the point that the protruding portion 14 of the rotation limiting mechanism 10 is replaced with the protruding portion 14B is different from the rotation limiting mechanism 10. This has the same configuration as the rotation limiting mechanism 10. FIG. 6B shows only a part of the rotation limiting mechanism 10B where one protrusion 13, the rubber stopper 12, and one protrusion 14B are arranged.

突出部１４Ｂは、矢印Ａで示す方向およびその逆方向に移動可能（すなわち、突出部１３に対して相対移動可能）であり、突出部１３との間でゴムストッパ１２を挟んで固定されることで、突出部１３の基準面に対してゴムストッパ１２を押圧する。突出部１４Ｂのゴムストッパ１２との対向面は、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直な平面である。回転制限機構１０Ｂでは、突出部１３と突出部１４Ｂとの間にゴムストッパ１２を配置し、突出部１４Ｂを矢印Ａ方向に移動させて、突出部１４Ｂによりゴムストッパ１２を突出部１３に対して押圧した状態で、ゴムストッパ１２が固定される。このように、回転制限機構では、相対移動可能な突出部を用いてゴムストッパ１２を固定してもよい。   The protrusion 14B is movable in the direction indicated by the arrow A and in the opposite direction (that is, is movable relative to the protrusion 13), and is fixed with the rubber stopper 12 between the protrusion 13 and the protrusion 14B. Thus, the rubber stopper 12 is pressed against the reference surface of the protruding portion 13. The surface of the protrusion 14 </ b> B that faces the rubber stopper 12 is a flat surface that is perpendicular to the rotation surface of the stopper collar 11. In the rotation limiting mechanism 10B, the rubber stopper 12 is disposed between the protruding portion 13 and the protruding portion 14B, the protruding portion 14B is moved in the arrow A direction, and the rubber stopper 12 is moved relative to the protruding portion 13 by the protruding portion 14B. The rubber stopper 12 is fixed in the pressed state. As described above, in the rotation limiting mechanism, the rubber stopper 12 may be fixed by using a relatively movable protrusion.

図６（Ｃ）は、さらに別の回転制限機構１０Ｃの説明図である。回転制限機構１０Ｃは、回転制限機構１０の金属ピン１５が柱状の金属部材１５Ｃに置き換えられてゴムストッパ１２と一体化されている点、および回転制限機構１０の突出部１４が図６（Ｂ）と同様の突出部１４Ｂに置き換えられかつその長手方向長さが突出部１３の基準面と対応する長さとなっている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ｃ）に示すように、回転制限機構１０のゴムストッパ１２と金属ピン１５Ｃを一体化してゴムストッパ１２Ｃとしてもよい。金属ピン１５Ｃはゴムストッパ１２の変形防止の機能を有するため、突出部１４Ｂはゴムストッパ１２を突出部１３の基準面に押し当てる機能のみを有すればよい。このため図６（Ｃ）の突出部１４Ｂは、突出部１３の基準面に対向する部分にのみ設けられている。   FIG. 6C is an explanatory diagram of yet another rotation limiting mechanism 10C. In the rotation limiting mechanism 10C, the metal pin 15 of the rotation limiting mechanism 10 is replaced with a columnar metal member 15C and integrated with the rubber stopper 12, and the protrusion 14 of the rotation limiting mechanism 10 is shown in FIG. Is different from the rotation limiting mechanism 10 only in that it is replaced with the same projecting portion 14B and the length in the longitudinal direction thereof corresponds to the reference plane of the projecting portion 13, and in other respects, Have the same configuration. As shown in FIG. 6C, the rubber stopper 12 of the rotation limiting mechanism 10 and the metal pin 15C may be integrated into a rubber stopper 12C. Since the metal pin 15C has a function of preventing deformation of the rubber stopper 12, the protruding portion 14B only needs to have a function of pressing the rubber stopper 12 against the reference surface of the protruding portion 13. For this reason, the protrusion part 14B of FIG.6 (C) is provided only in the part facing the reference plane of the protrusion part 13. FIG.

１ ガルバノスキャナ
２ モータ
３ ミラー
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ 回転制限機構
１１ ストッパカラー
１２，１２Ａ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ ゴムストッパ
１３，１４ ストッパホルダ（突出部）
１５ 金属ピン
２１ 回転軸
３１ 基準面
３２ 突き当て部
３３ 回転制限部
３４ 溝部
３５ 傾斜面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Galvano scanner 2 Motor 3 Mirror 10, 10A, 10B, 10C Rotation limiting mechanism 11 Stopper collar 12, 12A, 12C, 12D, 12E Rubber stopper 13, 14 Stopper holder (protrusion)
15 Metal Pin 21 Rotating Shaft 31 Reference Surface 32 Abutting Portion 33 Rotation Limiting Portion 34 Groove Portion 35 Inclined Surface

Claims (6)

予め定められた角度範囲内で回転軸を回転させ、前記回転軸に固定されたミラーに照射
前記突起構造物が回転する面内において前記角度範囲の限界に対応する位置に固定され、前記突起構造物が前記限界を超えて回転するのを阻止するとともに、前記突起構造物が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材と、
前記突起構造物に接触しない位置に固定され、前記衝撃吸収材を位置決めするための基される光を前記回転軸の回転角度に応じた方向に反射させるガルバノスキャナであって、
前記回転軸に固定され前記回転軸とともに回転する突起構造物と、
準面を有し、前記衝撃吸収材における前記突起構造物が衝突する側の面の一部が前記基準面に押し当てられている位置決め部と、
を有することを特徴とするガルバノスキャナ。 Rotating a rotating shaft within a predetermined angle range and irradiating a mirror fixed to the rotating shaft. The protruding structure is fixed at a position corresponding to the limit of the angular range in a plane in which the protruding structure rotates. A shock absorber that prevents an object from rotating beyond the limit and absorbs a shock when the protruding structure collides;
A galvano scanner that is fixed at a position not in contact with the protruding structure and reflects light based on positioning the shock absorber in a direction corresponding to a rotation angle of the rotation shaft;
A protruding structure fixed to the rotating shaft and rotating together with the rotating shaft;
A positioning portion having a quasi-surface, and a part of the surface of the impact absorbing material on which the protruding structure collides is pressed against the reference surface;
A galvano scanner, comprising: 前記位置決め部は金属またはセラミックからなる材料で構成され、前記基準面は平面である、請求項１に記載のガルバノスキャナ。   The galvano scanner according to claim 1, wherein the positioning portion is made of a material made of metal or ceramic, and the reference plane is a plane. 前記衝撃吸収材における前記突起構造物が衝突する面と前記位置決め部の前記基準面に押し当てられる面とは同一面である、請求項２に記載のガルバノスキャナ。   3. The galvano scanner according to claim 2, wherein a surface of the impact absorbing material on which the protruding structure collides and a surface pressed against the reference surface of the positioning portion are the same surface. 前記突起構造物に接触しない位置において前記衝撃吸収材を間に挟んで前記位置決め部とは反対側に配置され、前記衝撃吸収材を固定するための溝部を前記位置決め部との間に形成する固定機能部をさらに有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のガルバノスキャナ。   Fixing that is disposed on the opposite side of the positioning portion with the shock absorbing material in between at a position that does not contact the protruding structure, and that forms a groove portion for fixing the shock absorbing material between the positioning portion and the positioning portion. The galvano scanner according to claim 1, further comprising a functional unit. 前記固定機能部の前記衝撃吸収材との対向面は傾斜面である、請求項４に記載のガルバノスキャナ。   The galvano scanner according to claim 4, wherein a surface of the fixed function portion that faces the shock absorbing material is an inclined surface. 前記衝撃吸収材に当接するように前記衝撃吸収材に沿って前記固定機能部の前記傾斜面上に配置された柱状部材をさらに有し、
前記位置決め部と前記固定機能部との間に前記衝撃吸収材と前記柱状部材とが接着により固定されている、請求項５に記載のガルバノスキャナ。 A columnar member disposed on the inclined surface of the fixed function portion along the shock absorber so as to abut against the shock absorber;
The galvano scanner according to claim 5, wherein the shock absorbing material and the columnar member are fixed by adhesion between the positioning portion and the fixed function portion.
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