JP6587603B2 - Galvano scanner and laser processing device - Google Patents

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Description

本発明は、面倒れ振動を抑制したガルバノスキャナ及びこれを用いたレーザ加工装置に関する。   The present invention relates to a galvano scanner that suppresses surface tilt vibration and a laser processing apparatus using the galvano scanner.

スマートフォンをはじめとする電子情報機器の生産工程では、基板に穴開け加工を施すに当たって、レーザによる基板穴開け加工装置が一般的に用いられている。また、基板に穴開け加工を高速で行うためには、ガルバノスキャナによるレーザビームの走査位置決めも重要になっている。電子情報機器の高機能化及び小型化にともない、穴開け位置の精度向上が求められており、さらに、電子情報機器の需要増大とにともない、穴開け加工の高速化が求められている。   In the production process of electronic information equipment such as a smartphone, a substrate drilling apparatus using a laser is generally used for drilling a substrate. In addition, in order to perform drilling in a substrate at high speed, scanning positioning of a laser beam by a galvano scanner is also important. As electronic information devices become more functional and smaller, there is a need to improve the accuracy of the drilling position, and further, as the demand for electronic information devices increases, the speed of drilling is required.

ガルバノスキャナは、ガルバノミラーを設置したシャフトを駆動用のモータの前後の２箇所に配置した軸受で支持し、モータでシャフトを回動させることによってガルバノミラーの向きを変え、レーザビームの反射方向を変更する。   The galvano scanner supports the shaft on which the galvano mirror is installed with bearings arranged at two locations before and after the driving motor, and rotates the shaft with the motor to change the direction of the galvano mirror and change the direction of reflection of the laser beam. change.

ガルバノスキャナの駆動の高速化にともない、ガルバノミラーが設置されたシャフトの角加速度は増大するが、角加速度の増大はガルバノミラーの面倒れ振動を励起する加振力の増大を引き起こし、ひいては走査位置決め精度の悪化を引き起こす。   As the drive speed of the galvano scanner increases, the angular acceleration of the shaft on which the galvanometer mirror is installed increases. However, the increase in angular acceleration causes an increase in the excitation force that excites the surface tilt vibration of the galvanometer mirror, which in turn results in scanning positioning. Causes deterioration of accuracy.

特許文献１には、磁性流体軸受を用いてポリゴンスキャナの走査位置決め精度を高めた光ビーム走査装置が開示されている。   Patent Document 1 discloses a light beam scanning device that uses a magnetic fluid bearing to improve the scanning positioning accuracy of a polygon scanner.

特開平１１−１６０６４４号公報JP-A-11-160644

ガルバノミラーの面倒れ振動を抑制するために、特許文献１に開示されるような磁性流体軸受けを用いてガルバノミラーの先端部を支持すると、ガルバノミラー及びシャフトを３箇所で支持する構造となる。しかし、物体を３箇所で回転可能に支持しようとすると、芯出しが困難となり、角加速度を高めることは難しくなる。芯出しができていない状態でガルバノミラーの角加速度を増大させると、シャフトのこじりによる抵抗力に起因するトルクむらによって走査位置決め精度が悪化してしまう可能性がある。   In order to suppress the surface tilt vibration of the galvanometer mirror, when the tip of the galvanometer mirror is supported using a magnetic fluid bearing as disclosed in Patent Document 1, the galvanometer mirror and the shaft are supported at three locations. However, if the object is supported so as to be rotatable at three places, it is difficult to center the object and it is difficult to increase the angular acceleration. When the angular acceleration of the galvanometer mirror is increased in a state where the centering is not performed, the scanning positioning accuracy may be deteriorated due to torque unevenness caused by the resistance force due to the shaft twisting.

したがって、駆動の高速化と、走査位置決め精度の向上とを両立できるガルバノスキャナの実現が望まれていた。   Therefore, it has been desired to realize a galvano scanner that can achieve both high-speed driving and improved scanning positioning accuracy.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、駆動の高速化と走査位置決め精度の向上とを両立させたガルバノスキャナを得ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a galvano scanner that achieves both high-speed driving and improved scanning positioning accuracy.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、シャフトを備えた回転体と、シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、シャフトが回転の中心軸となる回転が可能に回転体を収容するフレームケースと、ガルバノミラーの先端に設置された制振部材と、制振部材と対向して配置された磁石と、制振部材の一部及び磁石を内部に収容する収容部材と、収容部材の内部に充填された磁性流体とを有する。制振部材の一部は、磁性流体に浸かっている。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention includes a rotating body including a shaft, a galvano mirror that is coupled to one end of the shaft and deflects incident light, and the shaft is a central axis of rotation. A frame case that accommodates a rotating body that can be rotated, a damping member installed at the tip of a galvano mirror, a magnet disposed opposite to the damping member, a part of the damping member and a magnet inside And a magnetic fluid filled in the housing member. A part of the damping member is immersed in the magnetic fluid.

本発明によれば、駆動の高速化と走査位置決め精度の向上とを両立させたガルバノスキャナを得られるという効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to obtain a galvano scanner that achieves both high-speed driving and improved scanning positioning accuracy.

本発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the galvano scanner which concerns on Embodiment 1 of this invention. 実施の形態１に係るガルバノスキャナの斜視図1 is a perspective view of a galvano scanner according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態１に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図The enlarged view of the front-end | tip part of the galvanometer mirror of the galvano scanner concerning Embodiment 1 実施の形態１に係るガルバノスキャナの変形例を示す図The figure which shows the modification of the galvano scanner which concerns on Embodiment 1. FIG. 本発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the galvano scanner which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the galvano scanner which concerns on Embodiment 3 of this invention. 実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the galvano scanner which concerns on Embodiment 3. FIG. 実施の形態３に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図The enlarged view of the front-end | tip part of the galvanometer mirror of the galvano scanner concerning Embodiment 3 実施の形態３に係るガルバノスキャナの制振部材の斜視図The perspective view of the damping member of the galvano scanner concerning Embodiment 3 本発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the galvano scanner which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態５に係るレーザ加工装置の構成図Configuration diagram of laser processing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention

以下に、本発明の実施の形態に係るガルバノスキャナ及びレーザ加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, a galvano scanner and a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。図２は、実施の形態１に係るガルバノスキャナの斜視図である。図３は、実施の形態１に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図である。ガルバノスキャナ１は、レーザ光源からのレーザ光を加工対象物上で走査させる。ガルバノスキャナ１は、回転体２６及び固定体２７で構成される。 Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a galvano scanner according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of the galvano scanner according to the first embodiment. FIG. 3 is an enlarged view of a tip portion of a galvano mirror of the galvano scanner according to the first embodiment. The galvano scanner 1 scans a processing target with laser light from a laser light source. The galvano scanner 1 includes a rotating body 26 and a fixed body 27.

回転体２６は、ガルバノミラー２、シャフト３及び磁石５を備える。回転体２６は、シャフト３を回転の中心軸とする回転が可能とされている。ガルバノミラー２は、入射した光を偏向させるミラーである。ガルバノミラー２は、シャフト３の一端に連結されている。以下の説明においては、シャフト３のガルバノミラー２が連結される側の端を前端３ａ、ガルバノミラー２が連結されない側の端を後端３ｂと定義する。したがって、ガルバノスキャナ１は、シャフト３の軸方向に沿って見た場合に、ガルバノミラー２が配置されている側が前であり、ガルバノミラー２が配置されている方と反対の側が後である。上記のように前後を定義すると、ガルバノミラー２は、シャフト３の前端３ａに連結されていると言うことができる。ミラーマウント１２は、シャフト３にガルバノミラー２を連結する。マウント押さえ具１３は、留め具１４が挿入された状態で、シャフト３にミラーマウント１２を固定する。磁石５は、シャフト３に固定されており、後述する前側軸受８及び後側軸受９の間に位置する。 The rotating body 26 includes a galvanometer mirror 2, a shaft 3, and a magnet 5. The rotating body 26 can be rotated with the shaft 3 as a central axis of rotation. The galvanometer mirror 2 is a mirror that deflects incident light. The galvanometer mirror 2 is connected to one end of the shaft 3. In the following description, the end of the shaft 3 on the side where the galvanometer mirror 2 is connected is defined as the front end 3a, and the end on the side where the galvanometer mirror 2 is not connected is defined as the rear end 3b. Therefore, when viewed along the axial direction of the shaft 3, the galvano scanner 1 is the front side on which the galvano mirror 2 is disposed and the opposite side to the side on which the galvano mirror 2 is disposed. When front and rear are defined as described above, it can be said that the galvanometer mirror 2 is connected to the front end 3 a of the shaft 3. The mirror mount 12 connects the galvanometer mirror 2 to the shaft 3. The mount presser 13 fixes the mirror mount 12 to the shaft 3 in a state where the fastener 14 is inserted. The magnet 5 is fixed to the shaft 3 and is positioned between a front bearing 8 and a rear bearing 9 described later.

固定体２７は、フレームケース４、コイル６及び鉄芯７を備える。コイル６は、磁石５の周囲に設けられている。鉄芯７は、コイル６の周囲に設けられている。リード線１８に接続された不図示の電源からコイル６へ電流が流れることで、コイル６は、電磁力を発生させる。磁石５の磁界の周囲に電磁力を作用させることで、磁石５を回転させる回転トルクが発生する。回転体２６は、磁石５に作用する回転トルクによって回転する。   The fixed body 27 includes the frame case 4, the coil 6, and the iron core 7. The coil 6 is provided around the magnet 5. The iron core 7 is provided around the coil 6. When a current flows from the power source (not shown) connected to the lead wire 18 to the coil 6, the coil 6 generates an electromagnetic force. By applying an electromagnetic force around the magnetic field of the magnet 5, a rotational torque that rotates the magnet 5 is generated. The rotating body 26 is rotated by a rotational torque acting on the magnet 5.

フレームケース４は、磁石５、コイル６及び鉄芯７を内部に収納する。フレームケース４は、回転体２６の磁石５を回転させる内部スペース４ｃを備えており、シャフト３が中心軸となる回転が可能に回転体２６を収容する。前側軸受８及び後側軸受９は、シャフト３を回転可能に支持する軸受である。前側軸受８は、フレームケース４の内部スペース４ｃのうち前側の端部に設けられている。後側軸受９は、フレームケース４の内部スペース４ｃのうち後側の端部に設けられている。 The frame case 4 houses the magnet 5, the coil 6, and the iron core 7 inside. The frame case 4 is provided with an internal space 4c for rotating the magnet 5 of the rotating body 26, and accommodates the rotating body 26 so that the shaft 3 can rotate about the central axis. The front bearing 8 and the rear bearing 9 are bearings that rotatably support the shaft 3. The front bearing 8 is provided at the front end of the internal space 4 c of the frame case 4. The rear bearing 9 is provided at the rear end of the internal space 4 c of the frame case 4.

後側軸受９は、フレームケース４に固定されている。一方、前側軸受８は、フレームケース４に固定されていない。予圧バネ１６は、座金１７を介して前側軸受８へ予圧を付与する。押さえ板１５は、フレームケース４の前端４ａと予圧バネ１６とに当接させて設けられている。   The rear bearing 9 is fixed to the frame case 4. On the other hand, the front bearing 8 is not fixed to the frame case 4. The preload spring 16 applies preload to the front bearing 8 via a washer 17. The holding plate 15 is provided in contact with the front end 4 a of the frame case 4 and the preload spring 16.

ガルバノスキャナ１の駆動を継続するうち、回転体２６は、温度上昇による熱膨張を生じることがある。フレームケース４の内部では、外側に位置する固定体２７に対して、内側に位置する回転体２６の方が、熱がこもりやすいため、熱膨張は、固定体２７に比べて回転体２６のほうが大きくなる。   As the galvano scanner 1 continues to be driven, the rotating body 26 may undergo thermal expansion due to a temperature rise. Inside the frame case 4, the rotating body 26 positioned on the inner side is more likely to accumulate heat than the fixed body 27 positioned on the outer side. Therefore, the rotating body 26 is more thermally expanded than the fixed body 27. growing.

ガルバノスキャナ１は、後側軸受９をフレームケース４に固定する一方、前側軸受８をフレームケース４に固定しないことで、軸方向における回転体２６の熱膨張に対し、前側軸受８を軸方向において変位可能とする。これにより、ガルバノスキャナ１は、軸方向における回転体２６の寸法変化を吸収可能とする。   The galvano scanner 1 fixes the rear bearing 9 to the frame case 4, but does not fix the front bearing 8 to the frame case 4, so that the front bearing 8 can be moved in the axial direction against the thermal expansion of the rotating body 26 in the axial direction. Displaceable. Thereby, the galvano scanner 1 can absorb the dimensional change of the rotating body 26 in the axial direction.

一般に、ガルバノスキャナ１は、シャフト３の回転角度を検出するための角度検出器２８が取り付けられた状態で使用される。角度検出器２８は、シャフト３の後端３ｂ側に固定された円盤２９と、フレームケース４の後端４ｂに固定された検出器３１とで構成されている。角度検出器２８には、光学式又は磁気式を適用可能である。すなわち、角度検出器２８を光学式とする場合には、円盤２９に複数のスリットを設けるとともに、検出器３１には発光素子及び受光素子を設け、発光素子から出射され円盤２９のスリットを通過した光を受光素子で検出することによってシャフト３の回転角度を検出する。また、角度検出器２８を磁気式とする場合には、円盤２９の外周面をＳ極とＮ極とに交互に着磁させるとともに、検出器３１に磁界検出素子を設け、磁界の変化を磁界検出素子で検出することによってシャフト３の回転角度を検出する。   In general, the galvano scanner 1 is used in a state where an angle detector 28 for detecting the rotation angle of the shaft 3 is attached. The angle detector 28 includes a disk 29 fixed to the rear end 3 b side of the shaft 3 and a detector 31 fixed to the rear end 4 b of the frame case 4. An optical type or a magnetic type can be applied to the angle detector 28. That is, when the angle detector 28 is an optical type, the disk 29 is provided with a plurality of slits, and the detector 31 is provided with a light emitting element and a light receiving element. The light is emitted from the light emitting element and passes through the slit of the disk 29. The rotation angle of the shaft 3 is detected by detecting light with a light receiving element. Further, when the angle detector 28 is a magnetic type, the outer peripheral surface of the disk 29 is alternately magnetized to the S pole and the N pole, and a magnetic field detection element is provided in the detector 31 to change the magnetic field. The rotation angle of the shaft 3 is detected by detecting the detection element.

フレームケース４は、固定台１０に固定されている。固定台１０には、カップ状の鉄心１１が設置されている。鉄心１１は、シャフト３の前端３ａの延長上に支持されている。鉄心１１の底面１１ａには、磁石１９が設置されている。鉄心１１の内側の空間には磁性流体２１が充填されている。磁性流体２１は、磁石１９及び鉄心１１が形成する磁界の内側に閉じ込められているため、鉄心１１の外側には流出しない。鉄心１１は、透磁率が高く磁気抵抗が小さい磁性体であると、磁性流体２１を閉じ込める効果が高くなるため好ましい。   The frame case 4 is fixed to the fixed base 10. The fixed base 10 is provided with a cup-shaped iron core 11. The iron core 11 is supported on an extension of the front end 3 a of the shaft 3. A magnet 19 is installed on the bottom surface 11 a of the iron core 11. A space inside the iron core 11 is filled with a magnetic fluid 21. Since the magnetic fluid 21 is confined inside the magnetic field formed by the magnet 19 and the iron core 11, it does not flow out of the iron core 11. The iron core 11 is preferably a magnetic body having a high magnetic permeability and a small magnetic resistance because the effect of confining the magnetic fluid 21 is increased.

ガルバノミラー２の先端部には、非磁性体で形成された制振部材２２が設置されている。制振部材２２は、炭化ケイ素で形成すると、軽量かつ高剛性にすることができるが、この他の素材を用いてもよい。制振部材２２の一部である端部は、磁性流体２１に浸っており、磁石１９と制振部材２２とは対向して配置されている。したがって、鉄心１１は、制振部材２２の一部及び磁石１９を内部に収容する収容部材を構成している。制振部材２２の端部と鉄心１１との間及び制振部材２２の端部と磁石１９との間には隙間が空いている。換言すると、制振部材２２の端部は、鉄心１１及び磁石１９のどちらとも接触せずに、磁性流体２１に浸っている。すなわち、鉄心１１の内部には、制振部材２２の端部と磁石１９とが収容されており、制振部材２２の端部及び磁石１９は磁性流体２１に浸っている。なお、磁石１９は、制振部材２２と対向して配置されていればよく、必ずしも鉄心１１の底面１１ａに設置される必要はない。すなわち、磁石１９は、鉄心１１の底面１１ａと接することなく鉄心１１の側壁１１ｂに支持されてもよい。   A damping member 22 made of a non-magnetic material is installed at the tip of the galvanometer mirror 2. If the damping member 22 is formed of silicon carbide, it can be light and highly rigid, but other materials may be used. An end that is a part of the damping member 22 is immersed in the magnetic fluid 21, and the magnet 19 and the damping member 22 are disposed to face each other. Therefore, the iron core 11 constitutes a housing member that houses a part of the damping member 22 and the magnet 19 therein. There are gaps between the end of the damping member 22 and the iron core 11 and between the end of the damping member 22 and the magnet 19. In other words, the end of the vibration damping member 22 is immersed in the magnetic fluid 21 without being in contact with either the iron core 11 or the magnet 19. That is, the end of the damping member 22 and the magnet 19 are accommodated inside the iron core 11, and the end of the damping member 22 and the magnet 19 are immersed in the magnetic fluid 21. In addition, the magnet 19 should just be arrange | positioned facing the damping member 22, and does not necessarily need to be installed in the bottom face 11a of the iron core 11. FIG. That is, the magnet 19 may be supported on the side wall 11 b of the iron core 11 without contacting the bottom surface 11 a of the iron core 11.

実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生すると、制振部材２２もガルバノミラー２とともに移動する。制振部材２２の端部は磁性流体２１に浸っているため、磁性流体２１の粘性によりガルバノミラー２の面倒れ振動を減衰させる力を受け、振動のエネルギーは熱エネルギーに変換される。したがって、制振部材２２の端部が磁性流体２１に浸っていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動が抑制される。なお、ガルバノミラー２がミラー面と平行な方向に振動する場合でも、振動のエネルギーは熱エネルギーに変換され、振動は抑制される。   In the galvano scanner 1 according to the first embodiment, when the galvano mirror 2 is subject to surface tilt vibration, the damping member 22 also moves together with the galvano mirror 2. Since the end of the damping member 22 is immersed in the magnetic fluid 21, the vibrational energy is converted into thermal energy by receiving a force that attenuates the surface tilt vibration of the galvanomirror 2 due to the viscosity of the magnetic fluid 21. Therefore, the end surface of the damping member 22 is immersed in the magnetic fluid 21, so that the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 is suppressed. Even when the galvanometer mirror 2 vibrates in a direction parallel to the mirror surface, the vibration energy is converted into thermal energy, and the vibration is suppressed.

実施の形態１に係るガルバノスキャナ１において、ガルバノミラー２の先端部に設置した制振部材２２は、端部が磁性流体２１に浸っているだけであり軸受のような固体で支持されてはいないため、ガルバノミラー２及びシャフト３の支持箇所は前側軸受８及び後側軸受９の２箇所である。磁性流体２１は液体であるため、熱膨張によって寸法に変化が生じたり、シャフト３の取り付け誤差が多少発生したりしても、支持箇所が３箇所である場合とは異なり、こじりによる不要な摩擦力は発生しない。したがって、芯出しの精度を高めなくても駆動時にシャフト３のこじりによる抵抗力に起因するトルクむらは発生しない。また、こじりによる不要な摩擦力を発生させないことにより、前側軸受８及び後側軸受９の寿命が短くなることを避けることができる。   In the galvano scanner 1 according to the first embodiment, the vibration damping member 22 installed at the tip of the galvanometer mirror 2 is only immersed in the magnetic fluid 21 and is not supported by a solid like a bearing. For this reason, the galvanometer mirror 2 and the shaft 3 are supported at two locations, the front bearing 8 and the rear bearing 9. Since the magnetic fluid 21 is a liquid, even if a change in size occurs due to thermal expansion or a slight error in mounting the shaft 3, unlike the case where there are three support points, unnecessary friction due to the twisting. No force is generated. Therefore, even if the accuracy of centering is not increased, torque unevenness due to the resistance force due to the twisting of the shaft 3 does not occur during driving. Further, it is possible to avoid shortening the life of the front bearing 8 and the rear bearing 9 by not generating unnecessary frictional force due to the twisting.

また、鉄心１１又は磁石１９と制振部材２２との間には隙間が存在しており、固体同士が摺動する箇所が存在しないため、機械摩耗及び粉塵の発生を回避できる。したがって、ガルバノスキャナ１から発生した粉塵が光学部品を汚損することは防止できる。   Moreover, since there is a gap between the iron core 11 or the magnet 19 and the damping member 22 and there is no place where the solids slide, mechanical wear and generation of dust can be avoided. Therefore, the dust generated from the galvano scanner 1 can be prevented from fouling the optical component.

磁性流体２１は粘性を持つため、ガルバノミラー２の面倒れ振動のエネルギーを熱エネルギーに変換し、加振力に共振周波数成分が多く含まれる場合においても振動の増大を抑止することができる。なお、通常の流体も粘性を持つが、鉄心１１の内側の空間から漏れ出ないように保持することは困難である。磁性流体２１は、磁場の中に留まる性質があるために、磁石１９及び鉄心１１で磁場を発生させることで、漏れることなく鉄心１１の内側に保持することができる。   Since the magnetic fluid 21 has viscosity, the surface tilt vibration energy of the galvanometer mirror 2 is converted into thermal energy, and an increase in vibration can be suppressed even when the excitation force includes a lot of resonance frequency components. In addition, although normal fluid also has viscosity, it is difficult to hold | maintain so that it may not leak from the space inside the iron core 11. FIG. Since the magnetic fluid 21 has the property of staying in the magnetic field, it can be held inside the iron core 11 without leaking by generating a magnetic field with the magnet 19 and the iron core 11.

実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、シャフト３が倒れ方向に振動する加振力、又は、ガルバノミラー２の面倒れ方向に振動する加振力が発生しても、磁性流体２１がシャフト３をセンタリングするため、抵抗力によって振動が抑えられる。したがって、走査位置決め精度を向上させることができる。   In the galvano scanner 1 according to the first embodiment, even if an excitation force that vibrates in the direction in which the shaft 3 tilts or a vibration force that vibrates in the direction in which the galvano mirror 2 tilts is generated, the magnetic fluid 21 is allowed to move to the shaft 3. Therefore, vibration is suppressed by the resistance force. Therefore, the scanning positioning accuracy can be improved.

磁性流体２１は、粘度が高い方が面倒れ振動を抑制する効果も高いが、ガルバノミラー２を回動させる抵抗も大きくなってしまう。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制する効果の大きさとガルバノミラー２を回動させる抵抗の大きさとに基づいて、適正な粘度を有する磁性流体２１を選定すれば良い。 The magnetic fluid 21 has a higher effect of suppressing the surface falling vibration when the viscosity is higher, but the resistance to rotate the galvanometer mirror 2 is also increased. Therefore, the magnetic fluid 21 having an appropriate viscosity may be selected based on the magnitude of the effect of suppressing the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 and the magnitude of the resistance for rotating the galvanometer mirror 2.

図４は、実施の形態１に係るガルバノスキャナの変形例を示す図である。実施の形態１の変形例に係るガルバノスキャナは、制振部材２２の端部には、円盤状のフランジ２２１が設けられている。したがって、制振部材２２が磁性流体２１と接する面積は、フランジ２２１が設けられていない場合よりも大きくなっている。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動が発生した場合に、制振部材２２が磁性流体２１から受ける抵抗力も大きくなる。一方、シャフト３が回動する際に制振部材２２が磁性流体２１から受ける抵抗力も大きくなるが、フランジ２２１が円盤状であるため、ガルバノミラー２の面倒れ振動によって受ける抵抗力の増分と比べると、シャフト３の回動によって受ける抵抗力の増分は小さい。したがって、ガルバノスキャナ１の高速駆動を妨げることなく、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制できる。   FIG. 4 is a diagram illustrating a modification of the galvano scanner according to the first embodiment. In the galvano scanner according to the modification of the first embodiment, a disc-shaped flange 221 is provided at the end of the damping member 22. Therefore, the area where the damping member 22 contacts the magnetic fluid 21 is larger than when the flange 221 is not provided. Therefore, when the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 occurs, the resistance force that the damping member 22 receives from the magnetic fluid 21 also increases. On the other hand, the resistance force that the damping member 22 receives from the magnetic fluid 21 when the shaft 3 rotates increases, but since the flange 221 has a disk shape, it is compared with the increment of the resistance force that is received by the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2. And the increment of the resistance force received by rotation of the shaft 3 is small. Therefore, the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 can be suppressed without hindering the high speed driving of the galvanometer scanner 1.

実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、磁石１９及び鉄心１１という比重の大きい部材が固定台１０側に設置され、ガルバノミラー２側には非磁性の比重が小さい部材が設置されるため、高速駆動の妨げとはなりにくく、高速駆動と走査位置決め精度の向上とを両立させることができる。   In the galvano scanner 1 according to the first embodiment, a member having a large specific gravity such as the magnet 19 and the iron core 11 is installed on the fixed base 10 side, and a member having a small non-magnetic specific gravity is installed on the galvanometer mirror 2 side. It is difficult to hinder driving, and both high-speed driving and improved scanning positioning accuracy can be achieved.

実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態２に係るガルバノスキャナ２０では、制振部材２２は、カップ状に形成されており、円筒状の壁部２２ａと円板状の底面部２２ｂとを備えている。制振部材２２の壁部２２ａは、鉄心１１と磁石１９との間に挿入されている。壁部２２ａと磁石１９との間には、０．１ｍｍから０．４ｍｍの隙間が空いている。壁部２２ａと鉄心１１との間にも、０．１ｍｍから０．４ｍｍの隙間が空いている。ガルバノミラー２の面倒れ振動の振幅は高々２０μｍ程度であるため、磁石１９又は鉄心１１と壁部２２ａとの間に０．１ｍｍの隙間があれば、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生しても、制振部材２２は鉄心１１又は磁石１９に衝突しない。 Embodiment 2. FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration of the galvano scanner according to the second embodiment of the present invention. In the galvano scanner 20 according to the second embodiment, the damping member 22 is formed in a cup shape, and includes a cylindrical wall portion 22a and a disk-shaped bottom surface portion 22b. The wall portion 22 a of the damping member 22 is inserted between the iron core 11 and the magnet 19. A gap of 0.1 mm to 0.4 mm is provided between the wall portion 22a and the magnet 19. A gap of 0.1 mm to 0.4 mm is also provided between the wall portion 22a and the iron core 11 . Since the amplitude of the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 is about 20 μm at most, if there is a gap of 0.1 mm between the magnet 19 or the iron core 11 and the wall portion 22a, the surface tilt vibration is generated in the galvanometer mirror 2. However, the damping member 22 does not collide with the iron core 11 or the magnet 19.

制振部材２２の底面部２２ｂは、磁性流体２１に浸っていても良いし、浸っていなくても良い。底面部２２ｂが磁性流体２１に浸かっていると、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時に磁性流体２１から受ける抵抗力が大きくなるため、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制する効果が高くなる。一方、底面部２２ｂが磁性流体２１に浸かっていないと、ガルバノミラー２を回動させる際に、底面部２２ｂが磁性流体２１から抵抗力を受けないため、高速駆動を実現しやすくなる。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動の抑制効果と高速駆動とのどちらを優先するかに基づいて、底面部２２ｂを磁性流体２１に浸すか否かを決定することができる。なお、底面部２２ｂを磁性流体２１に浸す場合には、底面部２２ｂに貫通孔を設けることで、制振部材２２と磁石１９との間に気泡が残ることを防止できる。   The bottom surface portion 22b of the vibration damping member 22 may be immersed in the magnetic fluid 21 or not. When the bottom surface portion 22 b is immersed in the magnetic fluid 21, the resistance force received from the magnetic fluid 21 when the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 occurs increases, so that the effect of suppressing the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 is enhanced. On the other hand, if the bottom surface portion 22b is not immersed in the magnetic fluid 21, when the galvano mirror 2 is rotated, the bottom surface portion 22b does not receive a resistance force from the magnetic fluid 21, so that high-speed driving is easily realized. Therefore, it is possible to determine whether or not to immerse the bottom surface portion 22b in the magnetic fluid 21 based on which of the priority is given to the effect of suppressing the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 or high speed driving. When the bottom surface portion 22 b is immersed in the magnetic fluid 21, bubbles can be prevented from remaining between the damping member 22 and the magnet 19 by providing a through hole in the bottom surface portion 22 b.

円筒状の壁部２２ａは、ガルバノミラー２の回動時に磁性流体２１内で抵抗を受けにくく、かつ、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時には、磁性流体２１内で抵抗力を受ける面積が大きい。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動の抑制効果とガルバノスキャナ２０の高速駆動とを両立させることができる。   The cylindrical wall portion 22a is less likely to receive resistance in the magnetic fluid 21 when the galvano mirror 2 is rotated, and has a large area to receive resistance force in the magnetic fluid 21 when surface vibration of the galvano mirror 2 occurs. . Therefore, it is possible to achieve both the effect of suppressing the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 and the high speed driving of the galvano scanner 20.

実施の形態３．
図６及び図７は、本発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。図８は、実施の形態３に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図である。図９は、実施の形態３に係るガルバノスキャナの制振部材の斜視図である。実施の形態３に係るガルバノスキャナ３０では、制振部材２２は、カップの側壁に相当する部分円筒状の壁部２２ａがガルバノミラー２の面と平行な方向を中心とする一定の角度範囲には設けられておらず、垂直な方向を中心とする角度範囲に部分的に設けられている。 Embodiment 3 FIG.
6 and 7 are cross-sectional views showing the configuration of the galvano scanner according to the third embodiment of the present invention. FIG. 8 is an enlarged view of the tip of the galvanometer mirror of the galvano scanner according to the third embodiment. FIG. 9 is a perspective view of the vibration damping member of the galvano scanner according to the third embodiment. In the galvano scanner 30 according to the third embodiment, the damping member 22 has a certain angular range centered in a direction in which the partial cylindrical wall portion 22a corresponding to the side wall of the cup is parallel to the surface of the galvanometer mirror 2. It is not provided, but is provided partially in an angular range centered on a vertical direction.

ガルバノミラー２の面と垂直な方向を中心とする角度範囲に部分的に壁部２２ａが設けられていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時には磁性流体２１内で振動方向に垂直な面積が大きくなり、振動抑制効果が増大するとともに、ガルバノミラー２の回動時に磁性流体２１内で受ける抵抗は小さいため、ガルバノスキャナ３０の駆動の高速化の妨げとはなりにくい。制振部材２２をカップ状とするよりも軽量化を図れる点でも、ガルバノスキャナ３０の駆動の高速化の妨げとなりにくい。 The wall portion 22a is partially provided in an angular range centering on a direction perpendicular to the surface of the galvanometer mirror 2, so that when the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 occurs, it is perpendicular to the vibration direction in the magnetic fluid 21. The area is increased, the vibration suppressing effect is increased, and the resistance received in the magnetic fluid 21 when the galvano mirror 2 is rotated is small, so that it is difficult to prevent the galvano scanner 30 from being driven at high speed. The speed reduction of the drive of the galvano scanner 30 is hardly hindered in that the vibration damping member 22 can be reduced in weight as compared with the cup shape.

実施の形態４．
図１０は、本発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０は、ガルバノミラー２の先端に棒状の磁石１９が付いている。実施の形態４において、鉄心１１は、磁性流体２１を内部に収容する収容部材を構成しており、磁石１９は、収容部材である鉄心１１に充填された磁性流体２１に浸かっている。磁石１９のＮ極及びＳ極は、シャフト３の軸方向に沿って並んでいる。磁石１９は、円柱状であると、ガルバノミラー２を回動させる際の抵抗が小さくなるため好ましい。 Embodiment 4 FIG.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a configuration of a galvano scanner according to Embodiment 4 of the present invention. In the galvano scanner 40 according to the fourth embodiment, a rod-shaped magnet 19 is attached to the tip of the galvanometer mirror 2. In the fourth embodiment, the iron core 11 constitutes an accommodating member that accommodates the magnetic fluid 21 therein, and the magnet 19 is immersed in the magnetic fluid 21 filled in the iron core 11 that is the accommodating member. The N pole and S pole of the magnet 19 are arranged along the axial direction of the shaft 3. It is preferable that the magnet 19 has a cylindrical shape because resistance when the galvanometer mirror 2 is rotated becomes small.

実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０は、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生すると、磁石１９もガルバノミラー２とともに移動する。磁石１９は磁性流体２１に浸っているため、磁性流体２１の粘性によりガルバノミラー２の面倒れ振動を減衰させる力を受ける。したがって、磁石１９が磁性流体２１に浸っていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動が抑制される。   In the galvano scanner 40 according to the fourth embodiment, the magnet 19 also moves together with the galvano mirror 2 when the galvano mirror 2 undergoes surface tilt vibration. Since the magnet 19 is immersed in the magnetic fluid 21, the magnet 19 receives a force that attenuates the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 due to the viscosity of the magnetic fluid 21. Therefore, when the magnet 19 is immersed in the magnetic fluid 21, the surface tilt vibration of the galvanometer mirror 2 is suppressed.

実施の形態５．
図１１は、本発明の実施の形態５に係るレーザ加工装置の構成図である。レーザ加工装置５０はパルスレーザ光の照射によって加工対象物に微細穴を穴開け加工する装置である。レーザ加工装置５０は、加工対象物に設定された複数の加工位置を順次走査し、各加工位置に対してのレーザ照射を複数サイクルで行う加工処理を実施する。 Embodiment 5. FIG.
FIG. 11 is a configuration diagram of a laser processing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention. The laser processing apparatus 50 is an apparatus that forms a fine hole in a processing target by irradiation with pulsed laser light. The laser processing apparatus 50 sequentially scans a plurality of processing positions set on the processing object, and performs processing for performing laser irradiation on each processing position in a plurality of cycles.

レーザ加工装置５０は、レーザ発振器５１、ベンドミラー５２、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３、Ｘ軸ガルバノスキャナ５４、スキャンミラー５５，５６、ｆθレンズ５７、ガルバノドライバ６０及び制御装置６１を有する。   The laser processing device 50 includes a laser oscillator 51, a bend mirror 52, a Y-axis galvano scanner 53, an X-axis galvano scanner 54, scan mirrors 55 and 56, an fθ lens 57, a galvano driver 60, and a control device 61.

加工対象物であるワーク５８は、具体例を挙げるとプリント基板である。ワーク５８は、不図示のＸＹテーブルに載置されている。ＸＹテーブルは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む二次元方向へワーク５８を移動させる。   The work 58 that is the object to be processed is a printed circuit board as a specific example. The work 58 is placed on an XY table (not shown). The XY table moves the work 58 in a two-dimensional direction including the X-axis direction and the Y-axis direction.

レーザ光源であるレーザ発振器５１は、レーザ光６２を射出する。レーザ光６２は、パルス状に出力されるレーザビームである。プリント基板の加工のレーザビームには、９μｍ以上１０μｍ以下の波長の赤外光、０．５μｍの波長の紫外光のいずれかが用いられる。ベンドミラー５２は、レーザ発振器５１からのレーザ光６２を反射して、スキャンミラー５５へ進行させる。   A laser oscillator 51 which is a laser light source emits laser light 62. The laser beam 62 is a laser beam output in a pulse shape. As the laser beam for processing the printed circuit board, either infrared light having a wavelength of 9 μm or more and 10 μm or less or ultraviolet light having a wavelength of 0.5 μm is used. The bend mirror 52 reflects the laser light 62 from the laser oscillator 51 and advances it to the scan mirror 55.

スキャンミラー５５は、レーザ発振器５１からのレーザ光６２を反射する。スキャンミラー５５は、入射したレーザ光６２を偏向させるミラーである。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、スキャンミラー５５を駆動する。スキャンミラー５６は、スキャンミラー５５からのレーザ光６２を反射する。スキャンミラー５６は、入射したレーザ光６２を偏向させるミラーである。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、スキャンミラー５６を駆動する。   The scan mirror 55 reflects the laser light 62 from the laser oscillator 51. The scan mirror 55 is a mirror that deflects the incident laser light 62. The Y-axis galvano scanner 53 drives the scan mirror 55. The scan mirror 56 reflects the laser light 62 from the scan mirror 55. The scan mirror 56 is a mirror that deflects the incident laser light 62. The X-axis galvano scanner 54 drives a scan mirror 56.

スキャンミラー５５は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３のシャフトに連結されている。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、シャフトが回転の中心軸となって回転体を往復回転させる。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、ワーク５８におけるレーザ光６２の照射位置をＹ軸方向において走査させる。   The scan mirror 55 is connected to the shaft of the Y-axis galvano scanner 53. The Y-axis galvano scanner 53 reciprocally rotates the rotating body with the shaft serving as the central axis of rotation. The Y-axis galvano scanner 53 scans the irradiation position of the laser beam 62 on the workpiece 58 in the Y-axis direction.

スキャンミラー５６は、Ｘ軸ガルバノスキャナ５４のシャフトに連結されている。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、シャフトが回転の中心軸となって回転体を往復回転させる。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、ワーク５８におけるレーザ光６２の照射位置をＸ軸方向において走査させる。   The scan mirror 56 is connected to the shaft of the X-axis galvano scanner 54. The X-axis galvano scanner 54 reciprocally rotates the rotating body with the shaft serving as the central axis of rotation. The X-axis galvano scanner 54 scans the irradiation position of the laser beam 62 on the workpiece 58 in the X-axis direction.

ｆθレンズ５７は、スキャンミラー５６からのレーザ光６２を、ワーク５８の加工表面に対して垂直なレーザ光６３とする。ｆθレンズ５７は、ワーク５８内の加工位置５９にレーザ光６３を集光させる。ガルバノドライバ６０は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４を駆動する。   The fθ lens 57 changes the laser beam 62 from the scan mirror 56 into a laser beam 63 perpendicular to the processed surface of the workpiece 58. The fθ lens 57 condenses the laser beam 63 at the machining position 59 in the work 58. The galvano driver 60 drives the Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54.

制御部である制御装置６１は、レーザ加工装置５０の全体の動作を制御する。制御装置６１は、レーザ発振器５１のレーザ光６２の発振、ガルバノドライバ６０によるＹ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４の駆動を制御する。また、制御装置６１は、ＸＹテーブルを駆動する不図示のモータを制御する。   The control device 61 as a control unit controls the overall operation of the laser processing device 50. The control device 61 controls the oscillation of the laser beam 62 of the laser oscillator 51 and the driving of the Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54 by the galvano driver 60. The control device 61 controls a motor (not shown) that drives the XY table.

Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、実施の形態１に係るガルバノスキャナ１と同様の構成を備える。従って、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、ガルバノミラーの面倒れ振動の共振を低減でき、高い位置精度を実現できる。レーザ加工装置５０は、正確な加工位置５９へレーザ光６３を進行可能とし、高精度な加工ができるという効果を奏する。   The Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54 have the same configuration as the galvano scanner 1 according to the first embodiment. Therefore, the Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54 can reduce the resonance of the surface tilt vibration of the galvanometer mirror, and can realize high positional accuracy. The laser processing apparatus 50 has the effect that the laser beam 63 can be advanced to the correct processing position 59 and high-precision processing can be performed.

Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、実施の形態２に係るガルバノスキャナ２０、実施の形態３に係るガルバノスキャナ３０及び実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０のいずれかと同様の構成を備えるものであっても良い。レーザ加工装置５０は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４の少なくともいずれかが、実施の形態１から実施の形態４のガルバノスキャナ１，２０，３０，４０のいずれかと同様の構成を備えるものであれば良いものとする。いずれの場合も、レーザ加工装置５０は、正確な加工位置５９へレーザ光６３を照射可能とし、高精度な加工を実現できる。   The Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54 have the same configuration as any of the galvano scanner 20 according to the second embodiment, the galvano scanner 30 according to the third embodiment, and the galvano scanner 40 according to the fourth embodiment. It may be a thing. In the laser processing apparatus 50, at least one of the Y-axis galvano scanner 53 and the X-axis galvano scanner 54 has the same configuration as any of the galvano scanners 1, 20, 30, and 40 of the first to fourth embodiments. If it is a thing, it shall be good. In any case, the laser processing apparatus 50 can irradiate the accurate processing position 59 with the laser beam 63, and can realize highly accurate processing.

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。   The configuration described in the above embodiment shows an example of the contents of the present invention, and can be combined with another known technique, and can be combined with other configurations without departing from the gist of the present invention. It is also possible to omit or change the part.

１，２０，３０，４０ ガルバノスキャナ、２ ガルバノミラー、３ シャフト、３ａ，４ａ 前端、３ｂ，４ｂ 後端、４ フレームケース、４ｃ 内部スペース、５ 磁石、６ コイル、７ 鉄芯、８ 前側軸受、９ 後側軸受、１０ 固定台、１１ 鉄心、１１ａ 底面、１１ｂ 側壁、１２ ミラーマウント、１３ マウント押さえ具、１４ 留め具、１５ 押さえ板、１６ 予圧バネ、１７ 座金、１８ リード線、１９ 磁石、２１ 磁性流体、２２ 制振部材、２２ａ 壁部、２２ｂ 底面部、２６ 回転体、２７ 固定体、２８ 角度検出器、２９ 円盤、３１ 検出器、５０ レーザ加工装置、５１ レーザ発振器、５２ ベンドミラー、５３ Ｙ軸ガルバノスキャナ、５４ Ｘ軸ガルバノスキャナ、５５，５６ スキャンミラー、５７ ｆθレンズ、５８ ワーク、５９ 加工位置、６０ ガルバノドライバ、６１ 制御装置、６２，６３ レーザ光、２２１ フランジ。 1,20,30,40 Galvano scanner, 2 Galvano mirror, 3 shaft, 3a, 4a front end, 3b, 4b rear end, 4 frame case, 4c internal space, 5 magnet, 6 coil, 7 iron core, 8 front bearing , 9 Rear bearing, 10 Fixing base, 11 Iron core, 11a Bottom surface, 11b Side wall, 12 Mirror mount, 13 Mount presser, 14 Fastener, 15 Presser plate, 16 Preload spring, 17 Washer, 18 Lead wire, 19 Magnet, 21 Magnetic fluid, 22 Damping member, 22a Wall portion, 22b Bottom portion, 26 Rotating body, 27 Fixed body, 28 Angle detector, 29 Disc, 31 Detector, 50 Laser processing device, 51 Laser oscillator, 52 Bend mirror, 53 Y-axis galvano scanner, 54 X-axis galvano scanner, 55, 56 Scan mirror, 57 fθ lens, 58 Workpiece, 59 Processing position Device , 60 galvano driver, 61 control device, 62 , 63 laser light, 221 flange.

Claims (6)

シャフトを備えた回転体と、
前記シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、
前記シャフトが中心軸となる回転が可能に前記回転体を収容するフレームケースと、
前記ガルバノミラーの先端に設置された制振部材と、
前記制振部材と対向して前記シャフトの軸方向に配置された磁石と、
前記制振部材の一部及び前記磁石を内部に収容する収容部材と、
前記収容部材の内部に充填された磁性流体とを有し、
前記制振部材の一部は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とするガルバノスキャナ。 A rotating body with a shaft;
A galvanometer mirror connected to one end of the shaft and deflecting incident light;
A frame case that accommodates the rotating body such that the shaft can be rotated as a central axis;
A damping member installed at the tip of the galvanometer mirror;
A magnet disposed in the axial direction of the shaft facing the damping member;
A housing member for housing a part of the damping member and the magnet inside;
A magnetic fluid filled inside the housing member,
A part of the vibration damping member is immersed in the magnetic fluid. 前記磁石は円柱状であり、
前記制振部材は、円筒状の壁部と円板状の底面部とを備えたカップ状であり、
前記壁部は、前記磁石及び前記収容部材の双方に対して間を空けて配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。 The magnet is cylindrical,
The vibration damping member has a cup shape including a cylindrical wall portion and a disk-shaped bottom surface portion,
The galvano scanner according to claim 1, wherein the wall portion is disposed so as to be spaced from both the magnet and the housing member. 前記制振部材は、前記底面部に貫通孔が形成されており、
前記底面部は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とする請求項２に記載のガルバノスキャナ。 The vibration damping member has a through hole formed in the bottom surface,
The galvano scanner according to claim 2, wherein the bottom portion is immersed in the magnetic fluid. 前記磁石は円柱状であり、
前記制振部材は、前記ガルバノミラーの面に垂直な方向のみに壁部を備えた形状であり、
前記制振部材の壁部は、前記磁石及び前記収容部材の双方に対して間を空けて配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。 The magnet is cylindrical,
The vibration damping member has a shape including a wall only in a direction perpendicular to the surface of the galvanometer mirror,
The galvano scanner according to claim 1, wherein the wall portion of the vibration damping member is disposed with a space between both the magnet and the housing member. シャフトを備えた回転体と、
前記シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、
前記シャフトが中心軸となる回転が可能に前記回転体を収容するフレームケースと、
前記ガルバノミラーの先端に設置された磁石と、
前記シャフトの一端の延長上に支持された収容部材と、
前記収容部材の内部に充填された磁性流体とを有し、
前記磁石は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とするガルバノスキャナ。 A rotating body with a shaft;
A galvanometer mirror connected to one end of the shaft and deflecting incident light;
A frame case that accommodates the rotating body such that the shaft can be rotated as a central axis;
A magnet installed at the tip of the galvanometer mirror;
A receiving member supported on an extension of one end of the shaft;
A magnetic fluid filled inside the housing member,
The galvano scanner, wherein the magnet is immersed in the magnetic fluid. 請求項１から５のいずれか１項に記載のガルバノスキャナを備えたレーザ加工装置。   A laser processing apparatus comprising the galvano scanner according to claim 1.
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