JP2018163033A - 平面度測定方法及びピン高さ調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板の上に水準器6が取り付けられた測定ユニット4を、多数のピンのうちの隣り合う三本のピンの上に載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板5の傾きを水準器6により測定し、このステップを各三本のピンに対して順次行う。二回目以降のステップでは、それまでに選択されたピンのうちの一本を重ねて選択しつつ全てのピンについて測定板5の傾きを選択する。測定板5の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの高さの差違が平面度として算出される。
【選択図】図2
Description
多数のピンの上端が成す仮想面が高い平面度を有していることは、例えばそのようなピンを用いて対象物を保持しながら対象物を取り扱う装置において必要になる。より具体的な例を示すと、各種電子製品や各種ディスプレイ製品の製造では、基板の表面に微細形状を造り込むため、フォトリソグラフィが行われる。フォトリソグラフィでは、基板を水平に保持しつつ所定のパターンの光を基板に照射する露光工程が存在している。露光工程では、基板に対する接触面積をなるべく小さくする等の要請から、垂直な姿勢の多数のピンによって基板を保持する構造が採用される場合がある。
しかしながら、発明者が調査したところでは、このような多数のピンの上端が成す仮想面の平面度を簡便に測定できる実用的な技術は、今のところ存在していない。
本願の発明は、この点を考慮して為されたものであり、多数のピンの上端が成す仮想面のような面の平面度を簡便に測定できる実用的な技術を提供することを課題としている。
平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する方法であり、
多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択されたピンのうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、水平方向の配置が既知である多数の測定点マークを備えた物体の上面の水平方向での平面度を測定する平面度測定方法であって、
平坦な上面を有する測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器と、測定板の下面から下方に垂直に延び、測定板の上面からの長さが均一である三本の足ピンとを備えた測定ユニットを使用する方法であり、
多数の測定点マークの配置は、隣り合ういずれの三個の測定点マークを選択した場合でも測定ユニットの三本の足ピンの配置と同じになる配置であり、
多数の測定点マークのうち隣り合う三個の測定点マークを選択し、選択された三個の測定点マークの上に測定ユニットの足ピンがそれぞれ載る状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを、各三個の測定点マークに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された三個の測定点マークのうちの一個を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全ての測定点マークについて水準器により測定板の上面の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の上面の傾きから、最も高い位置にある測定点マークと最も低い位置にある測定点マークとの高さの差違を算出するステップを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、ベース盤と、ベース盤の上面に取り付けられて垂直上方に延びる多数のピンとを備え、各ピンの突出高さが調整可能であるピンユニットにおいて、各ピンのベース盤からの突出高さを調整するピン高さ調整方法であって、
多数のピンの上端の高さ方向の位置の相違を当該多数のピンの先端が成す仮想面の平面度として測定する平面度測定工程と、
平面度測定工程における平面度の測定結果に従って各ピンの突出高さを調整する調整工程とを有しており、
平面度測定工程は、平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する工程であって、多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む工程であり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを、各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する工程であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された三本のうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する工程であり、
平面度測定工程は、各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含んであり、
調整工程は、平面度測定工程で測定された高さの差異を小さくするよう各ピンの突出高さを調整する方法であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項3の構成において、前記調整工程は、前記ベース盤と前記ピンとの間にシムを介在させる工程であり、前記平面度測定工程における測定結果に従ってシムの厚さを選択する工程であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項3又は4の構成において、前記調整工程を行った後、前記平面度測定工程を再度行い、各ピンの上端の高さの差異が一定の範囲内に入っているか判断し、入っていなければ、前記調整工程を再度行うという構成を有する。
また、請求項2記載の発明によれば、物体の上面の平面度を簡便に測定することができる。測定に使用するツールについても、水準器と測定板と足ピンとを組み合わせたシンプルなものであるので、低コストで実現することができる。このため、極めて実用的な測定方法となる。
また、請求項3記載の発明によれば、測定ユニットを使用して測定ステップを繰り返すことで平面度を測定し、これに基づいてピン高さを調整するので、簡便な手順で測定結果を得て調整を行うことができる。このため、測定と調整を繰り返す場合でも、手間がかからず、煩雑にならない。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、シムを使用するので、各ピンの突出高さの調整が簡便で確実に行える。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、特に高い平面度が要求される場合に好適な方法が提供される。
この出願の発明は、ある面の平面度を測定する方法であるが、その実施形態は、垂直に延びる多数のピンの上端が成す仮想面についてその平面度を測定する方法と、ある部材の上面についてその平面度を測定する方法とに大別される。
以下、第一の実施形態として、多数のピンの上端が成す仮想面の平面度を測定する方法について説明する。図1は、第一の実施形態の平面度測定方法が実施されるピンユニットの斜視概略図である。
尚、図1に示すように、各ピン3は、碁盤の目上(直角格子の各交点上)の位置に配置されている。隣り合うピン3の間隔は皆同じである。
測定板5は、測定対象である各ピン3と水準器6との間に位置するため、必要な平坦性を有するものとなっている。即ち、測定板5は、十分に平坦な上面及び下面を有する一定の厚みの板となっている。測定板5の材質には特に制限はないが、ステンレスやアルミといった金属の場合が多い。測定板5は、図2に示すように、面取りされた直角二等辺三角形の形状である。
この実施形態では、水準器6は、無線通信によりデータを送るものとなっている。水準器6は、内蔵された送信部61と、送信部61から送信された測定データを受信する受信部62とを備えている。受信部62は、水準器6を制御するリモートコントローラとして機能するものである。送信部61及び受信部62は、特定小電力無線、赤外線通信、Bluetooth(登録商標)といった適宜の規格により無線通信するものとなっている。このような水準器6としては、例えば坂本電機製作所製のSEL−121BMを使用することができる。
実施形態の平面度測定方法は、直交する二つの水平方向における測定板5の傾きを測定することができるように、多数のピン3のうちの隣り合う三本のピン3を選択し、選択された三本のピン3の上に測定ユニット4を載せた状態で水準器6により測定板5の傾きを測定するステップ(以下、三点測定ステップという)を順次行う方法である。「順次行う」とは、各三本のピン3に対して順次行うということである。二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された三本ピン3のうちの一本を重ねて(共通して)選択する測定を行うステップである。
図3に示すピンの配列において、各ピンを識別するため、左下のピンをP11とし、右上のピンをPmnとする。そして、一番下の列をP11,P21,・・・Pm1とし、その上の列を、P12,P22,・・・Pm2とする。同様にして、最も上の列をP1n,P2n,・・・Pmnとする。
そして、その左側の三本のピンP(m−2)2,P(m−1)2,P(m−2)3に対して三点測定ステップを行い、以後、順次右側にシフトさせながら、三点測定ステップを行う。最も左側の三本のピンP12,P22,P13に対して三点測定ステップを行う。これで、二列目のピンに対する各三点測定ステップは終了である。
その後、測定ユニット4をそのままの姿勢で上にずらし、すぐ上側の三本のピンP13,P23,P14に対して三点測定ステップを行う。そして、今度は順次右側にシフトさせながら、各三本のピンに対して三点測定ステップを行う。
図5において、各ピンP11,P21,P12の上端の高さをH11,H21,H12とする。高さは、基準となる水平面が必要であるが、例えばベース盤2の上面とし得る。図5では、ピンP12の高さH12が最も高く、ピンP21の高さが最も低くなっているが、これは測定結果の一例である。
傾き角の正負について説明すると、図5において、ピンP11を原点とし、図3の紙面上右側に向かうX方向を+側とし、これを基準とした反時計回りの向きをX方向の傾き角における正の角度とする。Y方向についても、ピンP11を原点とし、図3の紙面上斜め上側に向かう+側とし、これを基準にした反時計回りの向きY方向の傾き角における正の角度とする。
このようにして、高さH11に対する高さH21の差異、高さH12の差異がそれぞれ算出される。
式3、式4において、dH3はH21に対するH31の差異、dH4はH21に対するH22の差異である。同様に、θX2はX方向の傾き角の測定データ、θY2はY方向の傾き角の測定データである。式3、式4に対して、式1、式2の算出結果を代入すると、2回目の三点測定ステップで測定した二本のピンP31,P22の高さH31,H22の高さH11に対する差異が求められる。
このようにして、算出結果を次の三点測定ステップでの測定データに代入して適用することで、全てのピンの高さについて、左下のピンP11の高さH11に対する差異が求められることになる。
尚、上記各測定データの処理において、最後の三点測定ステップでの測定データについては、測定ユニット4の向きを逆にして測定しているので、X方向、Y方向それぞれについて正負を逆にして傾き角の正負を判断する。
図6において、あるセル列Aには、三点測定ステップの番号が入力され、あるセル列Bには、対応する三点測定ステップの測定データのうち、X方向の傾き角が入力され、別のセル列Cには、Y方方向の傾き角が入力される。
より具体的には、図6の例では、セルD2にピンP11の高さ(=0)が入力され、セルE2にはピンP21の高さが入力され、セルF2にはピンP12の高さが入力される。セルE2はセルB2の測定データを式1に適用して計算した値(埋め込み計算の結果)であり、セルF2は、セルC2の測定データを式2に適用して計算した値である。このような計算が自動的にされるよう、セルE2,F2には、計算式が予め入力される。
尚、最後の三点測定ステップでの測定データにおいて、ピンPmnの高さの算出については、ピンPm(n−1)の高さを基準として算出しても良いし、ピンP(m−1)nの高さを基準として算出しても良く、いずれかを予め設定しておく。
尚、測定データは、水準器6の受信部からUSBを介して演算処理ユニット7に送られるが、セル列Bとセル列Cに順次測定データが入力されるよう表計算ソフトにおいてマクロプログラムが適宜設けられると好適である。つまり、測定データを受信するとX方向の傾き角をセル列Bのアクティブなセルに入力し、Y方向の傾き角をセル列Cのアクティブなセルに入力した後、一つ下の行のセル列Bとセル列Cとをアクティブにするようなマクロプログラムが設けられる。
上記実施形態の平面度測定方法において、各三本のピン3を選択していく順序については、上述した以外の場合もあり得る。一番下の列に対して測定を行った後、下から二列目については左端に戻って同じ向きで順次測定ユニット4をずらしていっても良い。したがって、重複したピンが直前の三点測定ステップで選択したピンでないこともある。重要なことは、どの三本のピン3の組についての測定であるか間違わないようにすることであり、予め決めた順番で各三本のピン3の組を選択して全てピン3について測定を行うことである。
上記説明では、測定ユニット4を作業者が手で持って各位置に配置するように説明したが、ロボット等で自動化する場合もあり得る。例えば、測定ユニット4の配置の位置及びそのルーチンをロボットに対してティーチングして行わせる場合もあり得る。
また、四本のピン3に対して測定ユニット4が載る状態として測定することも考えられ、理論的には平面度の算出も可能であるが、測定板5が四本のピン3の上端すべてに接触した状態とするのは難しいことや演算処理が複雑になることから、三本のピン3に測定ユニット4が載る構造の方が好ましい。
尚、上記説明では、水準器6における二軸とピン3の配列方向のXYは一致していると説明したが、一致していなくてもそのずれが既知であれば測定は可能である。水準器6における測定方向とピン3の配列方向のずれ角に応じて平面視での補正をした上で上記演算処理を適用すれば良い。但し、水準器6における二軸とピン3の配列方向が一致した方が演算処理は簡易となる。
実施形態のピン高さ調整方法は、上述した実施形態の平面度測定方法を利用したものである。即ち、上述したように平面度を測定した後、測定結果に応じて各ピン3の突出高さを調整することで各ピン3の上端の高さの差異を一定の範囲内に抑え込んでいくものである。
そして、もう一度平坦度を測定し、一定の範囲に入っていれば、調整終了とする。入っていなければ、再度、シム8の抜き差しをして調整し、一定の範囲に入るまで測定と調整を繰り返す。通常は、2〜3回程度の測定と抜き差しで調整は完了する。
また、シム8を使用するので、各ピン3の突出高さが簡便で確実に行える。他の方法として、各ピン3のネジ込み深さを調整しても良い。
尚、測定と調整を繰り返す上記実施形態の方法は、特に高い平面度が要求される場合に好適に採用される。
第一の実施形態は、多数のピン3の上端が成す仮想面の平面度を測定する方法であったたが、第二の実施形態は、物体の表面(実際の面)の平面度を測定する方法となっている。この方法は、例えば前述したベース盤2のような機械構造的に基準となる水平面を提供する部材の上面の平面度を測定する際に好適に行われる。
測定板5は、少なくとも上面が平坦な面となっている。平坦性は、測定する平面度の精度との関係で規定される。
下方に延びる三本の足ピン51は、少なくとも測定板5の上面からの長さが均一であることが必要である。典型的は、測定板5の下面を上面と同様に平坦な面とし、測定板5の厚さを均一なものとするとともに、足ピン51の長さを全て同じにすることで達成される。
測定シート9は、フィルム状又は薄い板状であり、フレキシブルなものでない場合もあり得る。測定点マーク91は、この例では測定シート9に設けた凹部となっている。例えば、薄い金属の板を精度良く切削加工し、測定点マーク91としての凹部を形成することが考えられる。
各測定点マーク91としての凹部の深さは、精度良く均一なものとなっている。凹部の開口は、足ピン51の太さより少し大きい程度である。尚、各足ピン51の下端を円錐状とし、各測定点マーク91をピボット状(すり鉢状)とする場合がある。
尚、この実施形態における平面度は、各測定点マーク91の直下の地点の高さの差異として表され、表面粗さと同趣旨であるとも言える。
また、測定点マークは、必ずしも凹部である必要はなく、印刷等の方法で形成された単なるマークであっても良い。但し、凹部に足ピン51を嵌め込む構造の方が、測定ユニット4を精度良く配置するのが容易であるので、好適である。尚、測定点マークが物体の上面に直接設けられる場合もある。
さらに、各三点測定ステップの測定結果から平面度を算出する演算処理については、ソフトウェアにより又はハードウェアにより自動的に行われる場合だけではなく、作業者が手計算で行う場合もあり得る。ピンの数が少ない場合には、その方が簡便なこともあり得る。
また、各方法が適用される装置としては、前述した露光装置の他、光配向装置のような他の装置もあり得る。
2 ベース盤
3 ピン
4 測定ユニット
5 測定板
51 足ピン
6 水準器
61 送信部
62 受信部
7 演算処理ユニット
8 シム
9 測定シート
91 測定点マーク
平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する方法であり、
多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択されたピンのうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、水平方向の配置が既知である多数の測定点マークを備えた物体の上面の水平方向での平面度を測定する平面度測定方法であって、
平坦な上面を有する測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器と、測定板の下面から下方に垂直に延び、測定板の上面からの長さが均一である三本の足ピンとを備えた測定ユニットを使用する方法であり、
多数の測定点マークの配置は、隣り合ういずれの三個の測定点マークを選択した場合でも測定ユニットの三本の足ピンの配置と同じになる配置であり、
多数の測定点マークのうち隣り合う三個の測定点マークを選択し、選択された三個の測定点マークの上に測定ユニットの足ピンがそれぞれ載る状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを、各三個の測定点マークに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された三個の測定点マークのうちの一個を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全ての測定点マークについて水準器により測定板の上面の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の上面の傾きから、最も高い位置にある測定点マークと最も低い位置にある測定点マークとの高さの差違を算出するステップを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、ベース盤と、ベース盤の上面に取り付けられて垂直上方に延びる多数のピンとを備え、各ピンの突出高さが調整可能であるピンユニットにおいて、各ピンのベース盤からの突出高さを調整するピン高さ調整方法であって、
多数のピンの上端の高さ方向の位置の相違を当該多数のピンの先端が成す仮想面の平面度として測定する平面度測定工程と、
平面度測定工程における平面度の測定結果に従って各ピンの突出高さを調整する調整工程とを有しており、
平面度測定工程は、平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する工程であって、多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む工程であり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを、各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する工程であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された三本のうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する工程であり、
平面度測定工程は、各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含んでおり、
調整工程は、平面度測定工程で測定された高さの差異を小さくするよう各ピンの突出高さを調整する方法であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項3の構成において、前記調整工程は、前記ベース盤と前記ピンとの間にシムを介在させる工程であり、前記平面度測定工程における測定結果に従ってシムの厚さを選択する工程であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項3又は4の構成において、前記調整工程を行った後、前記平面度測定工程を再度行い、各ピンの上端の高さの差異が一定の範囲内に入っているか判断し、入っていなければ、前記調整工程を再度行うという構成を有する。
そして、その左側の三本のピンP(m−2)2,P(m−1)2,P(m−2)3に対して三点測定ステップを行い、以後、順次左側にシフトさせながら、三点測定ステップを行う。最も左側の三本のピンP12,P22,P13に対して三点測定ステップを行うと、二列目のピンに対する各三点測定ステップは終了である。
その後、測定ユニット4をそのままの姿勢で上にずらし、すぐ上側の三本のピンP13,P23,P14に対して三点測定ステップを行う。そして、今度は順次右側にシフトさせながら、各三本のピンに対して三点測定ステップを行う。
Claims (5)
- 水平方向の配置が既知であって垂直に延びる多数のピンの上端の高さ方向の位置の相違を当該多数のピンの先端が成す仮想面の平面度として測定する平面度測定方法であって、
平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する方法であり、
多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択されたピンのうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含むことを特徴とする平面度測定方法。 - 水平方向の配置が既知である多数の測定点マークを備えた物体の上面の水平方向での平面度を測定する平面度測定方法であって、
平坦な上面を有する測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器と、測定板の下面から下方に垂直に延び、測定板の上面からの長さが均一である三本の足ピンとを備えた測定ユニットを使用する方法であり、
多数の測定点マークの配置は、隣り合ういずれの三個の測定点マークを選択した場合でも測定ユニットの三本の足ピンの配置と同じになる配置であり、
多数の測定点マークのうち隣り合う三個の測定点マークを選択し、選択された三個の測定点マークの上に測定ユニットの足ピンがそれぞれ載る状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む方法であって、
三点測定ステップを、各三個の測定点マークに対して順次行うことで平面度を測定する方法であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択された測定点マークのうちの一個を重ねて選択して測定を行うステップであり、
三点測定ステップを順次行うことで全ての測定点マークについて水準器による測定板の上面の傾きを測定する方法であり、
各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の上面の傾きから、最も高い位置にある測定点マークと最も低い位置にある測定点マークの高さの差違を算出するステップを含むことを特徴とする平面度測定方法。 - ベース盤と、ベース盤の上面に取り付けられて垂直上方に延びる多数のピンとを備え、各ピンの突出高さが調整可能であるピンユニットにおいて、各ピンのベース盤からの突出高さを調整するピン高さ調整方法であって、
多数のピンの上端の高さ方向の位置の相違を当該多数のピンの先端が成す仮想面の平面度として測定する平面度測定工程と、
平面度測定工程における平面度の測定結果に従って各ピンの突出高さを調整する調整工程とを有しており、
平面度測定工程は、平坦な上面及び下面を有し均一な厚さの測定板と、測定板の上に取り付けられた水準器とから成る測定ユニットを使用する工程であって、多数のピンのうちの隣り合う三本のピンを選択し、選択された三本のピンの上に測定ユニットを載せた状態で、直交する二つの水平方向における測定板の傾きを水準器により測定する三点測定ステップを含む工程であり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを、各三本のピンに対して順次行うことで平面度を測定する工程であり、
二回目以降の三点測定ステップは、それまでに選択されたピンのうちの一本を重ねて選択して測定を行うステップであり、
平面度測定工程は、三点測定ステップを順次行うことで全てのピンについて水準器により測定板の傾きを測定する工程であり、
平面度測定工程は、各三点測定ステップにおける前記二つの水平方向の測定板の傾きから、上端が最も高い位置にあるピンと上端が最も低い位置にあるピンとの当該高さの差違を算出するステップを含んであり、
調整工程は、平面度測定工程で測定された高さの差異を小さくするよう各ピンの突出高さを調整する方法であることを特徴とするピン高さ調整方法。 - 前記調整工程は、前記ベース盤と前記ピンとの間にシムを介在させる工程であり、前記平面度測定工程における測定結果に従ってシムの厚さを選択する工程であることを特徴とする請求項3記載のピン高さ調整方法。
- 前記調整工程を行った後、前記平面度測定工程を再度行い、各ピンの上端の高さの差異が一定の範囲内に入っているか判断し、入っていなければ、前記調整工程を再度行うことを特徴とする請求項3又は4記載のピン高さ調整方法。
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CN111561861A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-08-21 | 张长勤 | 一种建筑工程地面平整度测量装置 |
CN112082070A (zh) * | 2020-09-12 | 2020-12-15 | 国网山东省电力公司烟台市福山区供电公司 | 一种标准台架施工专用测量工具 |
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CN113624097A (zh) * | 2021-10-13 | 2021-11-09 | 江苏金晓电子信息股份有限公司 | 一种高密距显示终端磁钢座检验治具 |
CN113819875A (zh) * | 2021-10-26 | 2021-12-21 | 中国建筑第八工程局有限公司 | 玻璃幕墙的弯曲度检测装置及其检测方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59116501A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-07-05 | Hoya Corp | 平面度測定具及び平面度測定方法 |
JPS63174013U (ja) * | 1986-12-09 | 1988-11-11 | ||
JPH04372342A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-25 | Toyota Motor Corp | 定盤歪み補正装置及び定盤歪み補正方法 |
JP2006234427A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Takashi Nomura | 平面度測定方法と装置 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1011541B (zh) * | 1988-08-18 | 1991-02-06 | 清华大学 | 六点接触式平面度高精度测量方法及装置 |
US5656769A (en) * | 1994-08-11 | 1997-08-12 | Nikon Corporation | Scanning probe microscope |
JP3482362B2 (ja) * | 1999-01-12 | 2003-12-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機、表面性状測定機用の傾斜調整装置および表面性状測定機における測定対象物の姿勢調整方法 |
JP2000304501A (ja) * | 1999-04-21 | 2000-11-02 | Toshiba Corp | スラスト回転板すべり面の平坦度測定方法及び装置 |
KR200224542Y1 (ko) * | 2000-12-15 | 2001-05-15 | 최기봉 | 슈미트해머의 타격점 표시장치 |
CN1851386A (zh) * | 2005-04-22 | 2006-10-25 | 上海申菲激光光学***有限公司 | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 |
JP5122775B2 (ja) * | 2006-08-23 | 2013-01-16 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
JP2008216200A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Cores:Kk | 端子平坦度測定装置及び端子平坦度測定方法 |
JP2009063541A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 幾何学量計測方法及び幾何学量計測装置 |
JP5611507B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2014-10-22 | 日鐵住金建材株式会社 | 平坦度測定装置 |
JP5100613B2 (ja) * | 2008-10-29 | 2012-12-19 | 住友重機械工業株式会社 | 真直度測定方法及び真直度測定装置 |
KR101215991B1 (ko) * | 2010-12-15 | 2012-12-27 | 에이피시스템 주식회사 | 평탄도 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 검사 방법 |
CN202420447U (zh) * | 2011-11-25 | 2012-09-05 | 深圳众为兴技术股份有限公司 | 一种板平面度测量装置 |
CN102589488B (zh) * | 2012-02-20 | 2014-10-22 | 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 | 光学标尺检测平面度和倾斜度的方法 |
CN102706315A (zh) * | 2012-03-20 | 2012-10-03 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 平台台面的平面度测量装置及测量方法 |
CN103017721B (zh) * | 2012-12-05 | 2015-07-15 | 山东科技大学 | 陶瓷涂布刮刀平面度误差测量装置及其测量方法 |
JP6224348B2 (ja) * | 2013-05-15 | 2017-11-01 | ヤマハ発動機株式会社 | 判定装置、表面実装機 |
JP2015018927A (ja) | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 株式会社ニコン | 基板保持方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
CN204301670U (zh) * | 2014-11-17 | 2015-04-29 | 天津市胜奥精密冲压技术有限公司 | 可调式节气门板平面度测量仪 |
JP6430874B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-11-28 | 尚一 島田 | 測定方法 |
CN204807074U (zh) * | 2015-07-22 | 2015-11-25 | 南京金城精密机械有限公司 | 一种大型盖类产品的平面测量装置 |
CN105241399B (zh) * | 2015-09-09 | 2018-04-10 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种精密定位平台动态平面度的测量方法 |
CN105203008A (zh) * | 2015-09-23 | 2015-12-30 | 东南大学 | 一种平板天线的平面度检测方法及其快速可调节工装 |
CN105203009A (zh) * | 2015-10-27 | 2015-12-30 | 苏州金螳螂建筑装饰股份有限公司 | 平整度测量装置 |
CN105716510B (zh) * | 2016-04-07 | 2018-04-10 | 合肥美桥汽车传动及底盘***有限公司 | 一种后桥被齿平面度和圆度的综合检测装置 |
CN205860974U (zh) * | 2016-08-11 | 2017-01-04 | 闫士武 | 建筑工程用平整度测量装置 |
CN206037923U (zh) * | 2016-09-19 | 2017-03-22 | 河南省水利科学研究院 | 一种混凝土表面粗糙度测量装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59116501A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-07-05 | Hoya Corp | 平面度測定具及び平面度測定方法 |
JPS63174013U (ja) * | 1986-12-09 | 1988-11-11 | ||
JPH04372342A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-25 | Toyota Motor Corp | 定盤歪み補正装置及び定盤歪み補正方法 |
JP2006234427A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Takashi Nomura | 平面度測定方法と装置 |
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