JP2018155548A - 欠陥検査方法、欠陥検査プログラム、および欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記画像データから平均輝度値を求める段階(b)と、
前記画像データから、輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲、および輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲を判別する段階(c)と、
前記段階(c)で前記暗部を判別した場合に前記暗部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を前記画像データから判別する段階(d1)、または前記段階(c)で前記明部を判別した場合に前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を前記画像データから判別する段階(d2)と、
を有する、欠陥検査方法。
前記画像データから平均輝度値を求める段階(b)と、
前記画像データから、輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲を判別する段階(c1)と、
前記画像データから、前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲を判別する段階(c2)と、
前記画像データから、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を判別する段階(d1)と、
前記画像データから、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を判別する段階(d2)と、
を有する、欠陥検査方法。
前記被検査部材から取得した前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を前記評価式に当てはめて、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部が検出された欠陥部分が前記被検査部材に与える影響を評価する段階(e)をさらに有する、上記(2)に記載の欠陥検査方法。
前記淡い暗部の範囲を判別する段階(d2)は、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値より第4所定割合以下となっている範囲を判別する段階である、上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の欠陥検査方法。
前記被検査部材の表面を撮影する撮影部と、
前記撮影部が撮影した前記被検査部材の表面の画像データから平均輝度値を求め、前記画像データから輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲、および輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲を判別し、前記明部の範囲または前記暗部の範囲のうち判別した方の範囲が前記暗部の場合に、前記暗部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を前記画像データから判別し、または前記明部の範囲または前記暗部の範囲のうち判別した方の範囲が前記明部の場合に、前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を前記画像データから判別する評価部と、
を有する、欠陥検査装置。
前記被検査部材の表面を撮影する撮影部と、
前記撮影部が撮影した前記被検査部材の表面の画像データから平均輝度値を求め、前記画像データから輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲を判別し、前記明部の範囲に接していて輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲を判別し、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を判別し、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を判別する評価部と、
を有する、欠陥検査装置。
前記評価部は、前記被検査部材から取得した前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を前記評価式に当てはめて、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部が検出された欠陥部分が前記被検査部材に与える影響を評価する、上記(8)に記載の欠陥検査装置。
前記淡い暗部の範囲を判別する際に、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値より低い第4所定割合以下となっている範囲を前記淡い暗部の範囲と判別する、上記(7)〜(9)のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
前記撮影部は、前記被検査部材の表面の少なくとも前記遮光板に遮光されず前記被検査部材に照射されている光の部分を撮影するラインイメージセンサーを有し、
さらに前記光照射部および前記撮影部に対して前記被検査部材を相対的に移動させる移動部を有する、上記(7)〜(10)のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
式中、全体の面積=明部の面積+暗部の面積+淡い明部の面積+淡い暗部の面積であり、高さは光照射方向におけるフェレ径であり、全体の高さとは明部、暗部、淡い明部、および淡い暗部の合計範囲の高さということになる。幅は光照射方向と直交する方向の暗部のみのフェレ径であり、暗部の幅は暗部のみの幅ということになる。
101 光照射部、
102 撮影部、
103 支持部、
104 評価部、
108 遮光板、
110 光、
111 片側遮光光、
200 被検査部材、
211 明部、
212 暗部、
213 淡い明部、
214 淡い暗部。
Claims (11)
- 被検査部材の表面に一定方向から光を照射して当該表面を撮影した画像データを取得する段階(a)と、
前記画像データから平均輝度値を求める段階(b)と、
前記画像データから、輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲、および輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲を判別する段階(c)と、
前記段階(c)で前記暗部を判別した場合に前記暗部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を前記画像データから判別する段階(d1)、または前記段階(c)で前記明部を判別した場合に前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を前記画像データから判別する段階(d2)と、
を有する、欠陥検査方法。 - 被検査部材の表面に一定方向から光を照射して当該表面を撮影した画像データを取得する段階(a)と、
前記画像データから平均輝度値を求める段階(b)と、
前記画像データから、輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲を判別する段階(c1)と、
前記画像データから、前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲を判別する段階(c2)と、
前記画像データから、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を判別する段階(d1)と、
前記画像データから、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を判別する段階(d2)と、
を有する、欠陥検査方法。 - 前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を説明変数とし、前記被検査部材に与える影響を目的変数として評価式をあらかじめ作成しておいて、
前記被検査部材から取得した前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を前記評価式に当てはめて、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部が検出された欠陥部分が前記被検査部材に与える影響を評価する段階(e)をさらに有する、請求項2に記載の欠陥検査方法。 - 前記淡い明部の範囲を判別する段階(d1)は、輝度値が前記平均輝度値より第3所定割合以上で前記第1所定割合未満となっている範囲を判別する段階であり、
前記淡い暗部の範囲を判別する段階(d2)は、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値より第4所定割合以下となっている範囲を判別する段階である、請求項1〜3のいずれか一つに記載の欠陥検査方法。 - 前記被検査部材が複数の層を有するガスバリアフィルムである、請求項1〜4のいずれか一つに記載の欠陥検査方法。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の欠陥検査方法をコンピューターに実行させるプログラム。
- 被検査部材の表面に一定方向から光を照射する光照射部と、
前記被検査部材の表面を撮影する撮影部と、
前記撮影部が撮影した前記被検査部材の表面の画像データから平均輝度値を求め、前記画像データから輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲、および輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲を判別し、前記明部の範囲または前記暗部の範囲のうち判別した方の範囲が前記暗部の場合に、前記暗部の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を前記画像データから判別し、または前記明部の範囲または前記暗部の範囲のうち判別した方の範囲が前記明部の場合に、前記明部の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を前記画像データから判別する評価部と、
を有する、欠陥検査装置。 - 被検査部材の表面に一定方向から光を照射する光照射部と、
前記被検査部材の表面を撮影する撮影部と、
前記撮影部が撮影した前記被検査部材の表面の画像データから平均輝度値を求め、前記画像データから輝度値が前記平均輝度値より第1所定割合以上となっている明部の範囲を判別し、前記明部の範囲に接していて輝度値が前記平均輝度値より第2所定割合以下となっている暗部の範囲を判別し、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて、輝度値が前記平均輝度値を超えて第1所定割合未満となっている淡い明部の範囲を判別し、前記明部の範囲および前記暗部の範囲のうち少なくとも一方の範囲に接していて、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値未満となっている淡い暗部の範囲を判別する評価部と、
を有する、欠陥検査装置。 - 前記評価部は、前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を説明変数とし、前記被検査部材に与える影響を目的変数として評価式をあらかじめ記憶していて、
前記評価部は、前記被検査部材から取得した前記画像データ、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部から得られる特徴量を前記評価式に当てはめて、前記明部、前記暗部、前記淡い明部、および前記淡い暗部が検出された欠陥部分が前記被検査部材に与える影響を評価する、請求項8に記載の欠陥検査装置。 - 前記評価部は、前記淡い明部の範囲を判別する際に、輝度値が前記平均輝度値より高い第3所定割合以上で前記第1所定割合未満となっている範囲を前記淡い明部の範囲と判別し、
前記淡い暗部の範囲を判別する際に、輝度値が前記第2所定割合を超えて前記平均輝度値より低い第4所定割合以下となっている範囲を前記淡い暗部の範囲と判別する、請求項7〜9のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。 - 前記光照射部から前記被検査部材までの間または前記被検査部材から前記撮影部までの間のいずれかに光量を調整する遮光板を有し、
前記撮影部は、前記被検査部材の表面の少なくとも前記遮光板に遮光されず前記被検査部材に照射されている光の部分を撮影するラインイメージセンサーを有し、
さらに前記光照射部および前記撮影部に対して前記被検査部材を相対的に移動させる移動部を有する、請求項7〜10のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
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