JP2018146562A - 診断システム - Google Patents

Abstract

【課題】少ない検出部の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行う。【解決手段】異なるアクチュエータ２７、３３、３６、３７３によって駆動される複数個の可動部３４、３５、３６、３７を備えた設備装置１を、診断システムが診断する。診断システムは、検出部１１を有する。検出部１１は、複数個の可動部２３ａ、２３ｂ、２４、２５ａ、２５ｂ、２６、３４、３５、３６、３７の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きによって変形する弾性変形部材と、弾性変形部材の熱の流れを検出可能な熱流センサとを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、設備装置を診断する診断システムに関するものである。

特許文献１には、熱流を検出する熱流センサが記載されている。

特開２０１４−００７３７６号公報

発明者は、この熱流センサを用いて、製造設備装置等の設備装置の動作について診断を行う事を検討した。その際、発明者は設備装置には複数の可動部が設けられていることが多いことに着目した。そして、これら複数の可動部それぞれにセンサを配置していたのでは、センサの数が多くなってしまうことに気付いた。

また、発明者は、これら複数の可動部それぞれにセンサを配置していたのでは、それら種類の異なる複数のセンサの信号を統合するために、集計、処理、および判定を行うシステムが複雑になることに気付いた。集計、処理、および判定を行うシステムが複雑になると、高速な演算機能および大量のメモリが必要となる。

また、発明者は、各可動部に直接関係せず、なおかつ可動部が動いていないときでも発生する可能性のある要因の異常は、個別の可動部のために設けられたセンサで検出するのは困難であることに気付いた。

これらの事項は、熱流センサ以外の検出部が使用された場合にも当てはまる。本発明は上記点に鑑み、少ない検出部の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことを目的とする。

上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、異なるアクチュエータ（２７、３３、３６、３７３、７２、７５、７６）によって駆動される複数個の可動部（２３ａ、２３ｂ、２４、２５ａ、２５ｂ、２６、３４、３５、３６、３７、７３、７５、７６、７７）を備えた設備装置（１）を診断する診断システムであって、
前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた検出波形を出力する検出部（１１）と、
前記検出部が出力した前記検出波形を取得する取得部（３、４、５）と、を備えた診断システムである。

このようになっていることで、複数個の可動部が駆動されることによって発生する揺れ動きを検出部が検出することができる。したがって、少ない検出部の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことが可能になる。

なお、本欄および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載されて当該用語の例となる具体物等との対応関係を示すものである。

第１実施形態に係る製造設備システムの構成図である。 製造設備装置の正面図である。 製造設備装置の平面図である。 センサ部およびその周辺の拡大断面図である。 ロボットの平面図である。 熱流センサの平面図である。 図６中のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。 ＰＬＣが実現する機械動作を示す図である。 熱流センサから出力される信号の例を示すグラフである。 判定レシピの処理内容を示すフローチャートである。 投入コンベアの搬送ブロックにおける規準波形および検出波形を示すグラフである。 投入コンベアの搬送ブロックにおける規準波形および検出波形の絶対値の移動平均を示す図である。 上昇ブロックにおける規準波形および検出波形を示すグラフである。 ホスト装置が実行する処理を示す図である。 同じ時点で抽出する母集団を示す図である。 母集団に基づく平均値および標準偏差を示す図である。 ホスト装置が実行する処理を示す図である。 ホスト装置の可視化処理によって表示される情報の一例である。 ホスト装置の可視化処理によって表示される情報の一例である。 監視コードの構成を示す図である。 第２実施形態における製造設備装置の正面図である。 製造設備装置の平面図である。 センサ部およびその周辺の拡大断面図である。 圧電素子フィルムを用いた製造設備システムの構成図である。 圧電素子フィルムおよびその周辺の拡大断面図である。

（第１実施形態）
以下、第１実施形態について説明する。図１に示すように、製造設備システムは、製造設備装置１、プログラマブルロジックコントローラ（以下ＰＣＬという）２、計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５を備えている。計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５は、取得部を構成する。

製造設備装置１は、種々の製品を製造するための製造工程の一部を実現するための設備である。図２、図３に示すように、製造設備装置１は、検出部１１、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、ロボット３０、および設備ベース部４０を有している。また、製造設備装置１は、ボルト１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂを有している。

検出部１１は、検出部１１を除いた製造設備装置１の挙動を検出するためのセンサである。投入コンベア２０Ａは、製造設備装置１に供給されたパレットＰをロボット３０に近づけるための装置である。排出コンベア２０Ｂは、パレットＰをロボット３０から遠ざけて製造設備装置１の外部に供給する装置である。製造設備システムのうち、検出部１１、ＰＬＣ２、計測判定装置３、ホスト装置４、およびマネージメント装置５は、製造設備装置１を診断する診断システムを構成する。

パレットＰには、不図示のワークが載置されている。ワークは、上述の製造工程における加工対象の部材である。ロボット３０は、投入コンベア２０ＡからパレットＰを取って排出コンベア２０Ｂに移動させる装置である。

設備ベース部４０は、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、ロボット３０が載置されることで、製造設備装置１の土台部となる。例えば、設備ベース部４０は、床の上に置かれてもよい。あるいは、設備ベース部４０は、床に置かれた他の部材に固定されていてもよい。

投入コンベア２０Ａは、脚部２１ａ、脚部２１ｂ、テーブル２２、第１プーリ２３ａ、第２プーリ２３ｂ、メインベルト２４、第３プーリ２５ａ、第４プーリ２５ｂ、サブベルト２６、モータ２７、ケーシング２８を有している。

脚部２１ａの下端部は、ボルト１２ａ、１２ｂを介して設備ベース部４０に固定的に締結により繋げられている。脚部２１ｂの下端部は、ボルト１２ｃ、１２ｄを介して設備ベース部４０に固定的に締結により繋げられている。脚部２１ａおよび脚部２１ｂの上端部は、テーブル２２に固定されている。ボルト１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、取付媒介物に対応する。

テーブル２２は、板形状の部材である。テーブル２２のロボット３０から最も離れた側の端部に第１プーリ２３ａが取り付けられ、ロボット３０に最も近い側の端部に第２プーリ２３ｂが取り付けられている。テーブル２２の上側面および下側面には、環状のメインベルト２４が取り付けられている。また、テーブル２２には、ケーシング２８が固定されている。

第１プーリ２３ａは回転軸を有し、この回転軸の周りに回転可能な形態でテーブル２２のロボット３０から遠い側の端部に取り付けられている。第２プーリ２３ｂは回転軸を有し、この回転軸の周りに回転可能な形態でテーブル２２のロボット３０に近い側の端部に取り付けられている。第１プーリ２３ａの回転軸と第２プーリ２３ｂの回転軸は互いに対して平行になっている。

メインベルト２４は、環状の帯の形状を有する。メインベルト２４の内周側の一端には、第１プーリ２３ａの外周が接触している。メインベルト２４の内周側の他端には、第２プーリ２３ｂの外周が接触している。第３プーリ２５ａの回転動力がメインベルト２４を介して第１プーリ２３ａに伝わるので、第１プーリ２３ａ、第２プーリ２３ｂ、メインベルト２４は、共に同期して回転する。

また、メインベルト２４の内周側かつ第１プーリ２３ａと第２プーリ２３ｂの間に、テーブル２２が配置されている。メインベルト２４はテーブル２２に対して移動可能である。

第３プーリ２５ａは回転軸を有し、この回転軸の周りに回転可能な形態でケーシング２８に取り付けられている。第３プーリ２５ａの回転軸は、第２プーリ２３ｂの回転軸に固定的に接続されている。したがって、第３プーリ２５ａは、第２プーリ２３ｂと同軸に且つ第２プーリ２３ｂと同期して回転する。

第４プーリ２５ｂは回転軸を有し、この回転軸の周りに回転可能な形態でケーシング２８に取り付けられている。第４プーリ２５ｂの回転軸は、モータ２７の出力軸に固定的に接続されている。したがって、第３プーリ２５ａは、モータ２７の出力軸と同軸に且つ当該出力軸と同期して回転する。

サブベルト２６は、環状の帯の形状を有する。サブベルト２６の内周側の一端には、第３プーリ２５ａの外周が接触している。メインベルト２４の内周側の他端には、第４プーリ２５ｂの外周が接触している。第４プーリ２５ｂの回転動力がサブベルト２６を介して第３プーリ２５ａに伝わるので、第３プーリ２５ａ、第４プーリ２５ｂ、サブベルト２６は、共に同期して回転する。

モータ２７は、ＰＬＣ２からの電気信号である制御信号に従って作動することで回転動力を発生するアクチュエータである。モータ２７が作動すると、モータ２７の出力軸が回転し、この出力軸と同期して第４プーリ２５ｂも回転する。すると、第４プーリ２５ｂの回転動力がサブベルト２６を介して第３プーリ２５ａに伝達される。その結果、サブベルト２６および第３プーリ２５ａも、第４プーリ２５ｂと同期して回転する。

また、第３プーリ２５ａが回転すると、第３プーリ２５ａと同期して第２プーリ２３ｂも回転する。すると、第２プーリ２３ｂの回転動力がメインベルト２４を介して第１プーリ２３ａに伝達される。その結果、メインベルト２４および第１プーリ２３ａも、第２プーリ２３ｂと同期して回転する。

これにより、モータ２７が作動するとメインベルト２４の外周のうちテーブル２２よりも上側の部分が、ロボット３０に近付く方向に移動する。したがって、メインベルト２４の外周のうちテーブル２２よりも上側の部分に載置されたパレットＰは、メインベルト２４と共に、ロボット３０に近付く方向に移動する。

また、排出コンベア２０Ｂは、投入コンベア２０Ａと同等の構成を有している。したがって、排出コンベア２０Ｂも、投入コンベア２０Ａと同等の機構で作動する。また、排出コンベア２０Ｂのモータ２７も、ＰＬＣ２からの電気信号である制御信号に従って作動することで回転動力を発生するアクチュエータである。

したがって、排出コンベア２０Ｂにおいては、モータ２７が作動するとメインベルト２４の外周のうちテーブル２２よりも上側の部分が、ロボット３０から遠ざかる方向に移動する。したがって、メインベルト２４の外周のうちテーブル２２よりも上側の部分に載置されたパレットＰは、メインベルト２４と共に、ロボット３０から遠ざかる方向に移動する。

ロボット３０は、取付ベース部３１、ロボットベース部３２、モータ３３、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、手先部３７を有する。取付ベース部３１およびロボットベース部３２は、ロボット３０のうち作動時に可動部として機能しない部材である。

取付ベース部３１は、下端において、ボルト１４ａ、１４ｂを介して設備ベース部４０に固定的に締結により繋がれている。また取付ベース部３１は、上端において、ボルト１３ａ、１３ｂを介してロボットベース部３２に固定的に締結により繋がれている。このように、取付ベース部３１は、設備ベース部４０とロボットベース部３２との間に介在してロボットベース部３２を設備ベース部４０に対して固定的に支持する。

ロボットベース部３２の下端部は、ボルト１３ａ、ボルト１３ｂを介して取付ベース部３１に固定的に締結により繋がれている。また、ロボットベース部３２の上端部には、モータ３３の本体部が固定されている。したがって、ロボットベース部３２は、ロボット３０の可動部を支持する支持部に対応する。

モータ３３は、ＰＬＣ２からの電気信号である制御信号に従って作動することで回転動力を発生するアクチュエータである。モータ３３が作動すると、モータ３３の出力軸が軸Ｘを中心に回転する。

可動ケーシング３４は、モータ３３の出力軸に固定される。また、可動ケーシング３４は、ロッド３５の一部およびリニアアクチュエータ３６を収納する。ロッド３５は、リニアアクチュエータ３６によって支持されながら、可動ケーシング３４に対して上下方向ＤＲに移動する。

リニアアクチュエータ３６は、可動ケーシング３４に固定されている。リニアアクチュエータ３６は、ＰＬＣ２からの電気信号である制御信号に従って作動することで直線的に移動する動力を発生するモータである。リニアアクチュエータ３６が作動すると、ロッド３５がリニアアクチュエータ３６によって駆動されて、可動ケーシング３４に対して上下方向ＤＲに移動する。

このようになっていることで、モータ３３が作動すると、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、および手先部３７が、全体として、軸Ｘを中心に回転する。このとき、取付ベース部３１、ロボットベース部３２は回転せず停止したままである。

また、リニアアクチュエータ３６が作動すると、ロッド３５および手先部３７が、全体として、上下方向ＤＲに移動する。このとき、取付ベース部３１、ロボットベース部３２、モータ３３、可動ケーシング３４は移動せず停止したままである。

手先部３７は、ロッド３５の可動ケーシング３４よりも下側の端部に取り付けられており、パレットストッパ３７１、アーム３７２、チャックアクチュエータ３７３、チャック３７４を有している。

パレットストッパ３７１は、ロッド３５の最下端に固定されたブロック形状の部材である。このパレットストッパ３７１は、投入コンベア２０Ａによって動かされるパレットＰに当たることでパレットＰの移動を止めるための部材である。

アーム３７２は、可動ケーシング３４よりも下方かつパレットストッパ３７１よりも上方でロッド３５に固定され、チャックアクチュエータ３７３を支持する。

チャックアクチュエータ３７３は、アーム３７２に固定され、ＰＬＣ２からの電気信号である制御信号に従って作動することでチャック３７４を駆動するアクチュエータである。チャックアクチュエータ３７３は、チャック３７４を駆動することで、チャック３７４の開閉を切り替えることができる。

チャック３７４は、チャックアクチュエータ３７３によって駆動されることで開閉する部材である。チャック３７４が閉じることで物がチャック３７４に把持される。チャック３７４が開くことで物が開放される。

検出部１１は、図４、図５に示すように、スペーサ１１０、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２を有している。ロボットベース部３２と取付ベース部３１はボルト１３ａ、１３ｂで締結されており、ロボットベース部３２と取付ベース部３１の間にスペーサ１１０、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２が挟まれる。

図５に示すように、スペーサ１１０は、シート状の部材であり、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２と上下方向ＤＲに重ならない状態で、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間に挟まれている。

スペーサ１１０の上下方向ＤＲの厚みは、弾性変形部材１１１が適正な厚みに圧縮されるよう調整されている。上下方向ＤＲは、弾性変形部材１１１が圧縮される圧縮方向である。スペーサ１１０は、例えば上下方向ＤＲの厚みが２ｍｍのステンレス製のプレートであってもよい。

弾性変形部材１１１は、取付ベース部３１またはロボットベース部３２から力を受けて弾性変形するシート状の部材である。弾性変形部材１１１は熱流センサ１１２と上下方向ＤＲに重なっている。したがって、ロボットベース部３２、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２、取付ベース部３１は、この順に上下方向ＤＲに重なっている。

弾性変形部材１１１は、取付ベース部３１よりも、ロボットベース部３２よりも、スペーサ１１０よりも、熱流センサ１１２よりも、ヤング率が低い（すなわち変形し易い）。弾性変形部材１１１は、例えば上下方向ＤＲの厚みが２ｍｍのゴム硬度５０のバイトンゴムであってもよい。あるいは、弾性変形部材１１１は、ゴムより遙かにヤング率が高い材料で構成されていてもよい。

このように、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２が、ロボットベース部３２と取付ベース部３１の間に挟まれている。このようになっていることで、ロボット３０の複数の可動部が駆動されることによる揺れ動きを弾性変形部材１１１の変形に反映させることが、こうなっていない場合に比べ、より確実にできる。

また、スペーサ１１０が、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間における弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２のスペースを設ける。このスペーサ１１０の上下方向ＤＲの高さが増加すると、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間における弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２のスペースの上下方向ＤＲの幅が増加する。したがって、スペーサ１１０の上下方向ＤＲの高さが増大すると、弾性変形部材１１１の上下方向ＤＲの取り付け厚みが増大する。

したがって、スペーサ１１０の上下方向ＤＲの高さを調整することで、弾性変形部材１１１の弾性変形量を調整することができる。この例では、スペーサ１１０が、弾性変形調整部材に対応する。

スペーサ１１０の上下方向ＤＲの高さを下げて弾性変形部材１１１の圧縮率を上げると、弾性変形部材１１１が硬くなり、元の厚みに戻ろうとする反発力も強くなる。したがって、検出対象の急峻な揺れ動きにも追従しやすくなるメリットがある。その反面、揺れ動きの力が弱いと弾性変形部材１１１の反発力に負けて揺れ動き自体が抑制され、正確な計測ができなくなるデメリットもある。したがって、検出対象である揺れ動きの速度や力に応じて、弾性変形部材１１１の硬度、ヤング率と共に、圧縮率も調整することが好ましい。

この弾性変形部材１１１は、ロボット３０が作動していない状態（以下、基本状態という）では、ロボットベース部３２と熱流センサ１１２に挟まれて上下方向ＤＲに圧縮された状態となっている。

ロボットベース部３２の揺れ動きにより、ロボットベース部３２と取付ベース部３１の間の間隔は変化し、弾性変形部材１１１は伸縮変形する。基本状態から弾性変形部材１１１が上下方向ＤＲに圧縮されると、弾性変形部材１１１は発熱する。また、基本状態から弾性変形部材１１１が上下方向ＤＲに伸長されると、弾性変形部材１１１は吸熱する。

熱流センサ１１２は、弾性変形部材１１１と接触しかつ弾性変形部材１１１と上下方向ＤＲに重なることで、弾性変形部材１１１の熱の流れを検出可能になっている。このようになっていることで、複数個の可動部が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた熱の流れを熱流センサ１１２が検出することができる。したがって、１つの熱流センサ１１２の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことが可能になる。熱流センサ１１２の上下方向ＤＲの厚みは、例えば０．３ｍｍである。

スペーサ１１０、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２の上下方向ＤＲの厚みが、それぞれ、２ｍｍ、２ｍｍ、０．３ｍｍである場合、基本状態における弾性変形部材１１１の圧縮率は１５％となる。

なお、スペーサ１１０と取付ベース部３１との固定、スペーサ１１０とロボットベース部３２との固定、弾性変形部材１１１とロボットベース部３２との固定、弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２との固定、および、熱流センサ１１２と取付ベース部３１との固定は、いずれも接着剤または粘着テープで実現される。

図６、図７に示すように、熱流センサ１１２は、絶縁基材Ａ１００、表面保護部材Ａ１１０、裏面保護部材Ａ１２０が一体化され、この一体化されたものの内部で第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０が交互に直列に接続された構造を有する。絶縁基材Ａ１００、表面保護部材Ａ１１０、裏面保護部材Ａ１２０は、フィルム状であって、熱可塑性樹脂等の可撓性を有する樹脂材料で構成されている。

絶縁基材Ａ１００は、その厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホールＡ１０１、Ａ１０２が形成されている。第１、第２ビアホールに互いに異なる金属や半導体等の熱電材料で構成された第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０が埋め込まれている。絶縁基材Ａ１００の表面Ａ１００ａに配置された表面導体パターンＡ１１１によって第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０の一方の接続部が構成されている。絶縁基材Ａ１００の裏面Ａ１００ｂに配置された裏面導体パターンＡ１２１によって第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０の他方の接続部が構成されている。

熱流束が熱流センサ１１２を、その厚さ方向に通過すると、第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０の一方の接続部と他方の接続部に温度差が生じる。これにより、ゼーベック効果によって第１、第２層間接続部材Ａ１３０、Ａ１４０に熱起電力が発生する。熱流センサ１１２は、この熱起電力（例えば、電圧）をセンサ信号として出力する。

このような構成になっていることで、弾性変形部材１１１の変形量がサブミクロンオーダーであっても、弾性変形部材１１１の変形による熱の流れを熱流センサ１１２によって検出可能である。

ＰＬＣ２は、製造設備装置１のアクチュエータ（すなわち、投入コンベア２０Ａのモータ２７、排出コンベア２０Ｂのモータ２７、モータ３３、リニアアクチュエータ３６、チャックアクチュエータ３７３）を制御する。

より具体的には、設備担当の作業者が図示していない操作パネルを使って製造設備装置１の自動運転をＰＬＣ２に指示すると、ＰＬＣ２は、所定の機械動作サイクルを多数回繰り返し実現するよう、制御信号を上記アクチュエータに出力する。その際、ＰＬＣ２はホスト装置４に動作開始信号を出力し、それを受け取ったホスト装置４は計測判定装置３に計測判定開始の信号を出力する。また、休憩時間などにおいて作業者が同じく作業パネルを用いてＰＬＣ２に製造設備装置１の停止を指示すると、ＰＬＣ２は上記アクチュエータの作動を停止させることで製造設備装置１を停止する。それと同時にＰＬＣ２は、ホスト装置４に動作停止信号を出力し、それを受け取ったホスト装置４は計測判定装置３に計測判定停止の信号を送る。

１つの機械動作サイクルは、例えば、図８に示すように、まず、投入コンベア２０Ａを作動させる行程と、次に、ロボット３０を作動させる行程と、最後に排出コンベア２０Ｂを作動させる行程とを含む。

投入コンベア２０Ａを作動させる行程では、ＰＬＣ２は、パレット搬送ブロックという動作ブロックを実現する。このパレット搬送ブロックでは、ＰＬＣ２は、パレットＰを搬送してロボット３０に近づける動作を投入コンベア２０Ａに行わせる。具体的には、ＰＬＣ２は、投入コンベア２０Ａのモータ２７に制御信号を出力することで、モータ２７を作動させる。これにより、上述の通りメインベルト２４が回転する。その結果、メインベルト２４上に載置されたパレットＰがロボット３０に近付く方向に移動する。そしてＰＬＣ２は、パレットＰがロボット３０のパレットストッパ３７１当たるまで、モータ２７を駆動する。そしてＰＬＣ２は、パレットＰがロボット３０のパレットストッパ３７１当たると、モータ２７の駆動を停止し、それと共に、パレット搬送ブロックを終了する。

ロボット３０を作動させる行程では、ＰＬＣ２は、動作開始、チャック、上昇、搬送送り、下降、アンチャック、上昇、搬送戻し、下降という８個の動作ブロックをこの順に、間を置かずに、順番に実現する。

動作開始ブロックでは、ＰＬＣ２は、ロボット３０の動作を開始するための各種初期化処理を実行する。動作開始ブロックにおいては、どのアクチュエータも作動せず、ロボット３０の可動部は駆動されない。

チャックブロックでは、ＰＬＣ２は、チャックアクチュエータ３７３にチャック用の制御信号を出力する。これにより、チャックアクチュエータ３７３はチャック駆動を実現する。すなわち、チャックアクチュエータ３７３はチャック３７４を閉じる方向に移動させる。その結果、チャック３７４はパレットＰの上端部を把持する。チャックブロックは予め定められた時間だけ継続する。

チャックブロック直後の上昇ブロックでは、ＰＬＣ２は、リニアアクチュエータ３６に上昇用の制御信号を出力する。これにより、リニアアクチュエータ３６は上昇駆動を実現する。すなわち、リニアアクチュエータ３６はロッド３５を所定距離だけ上昇させる。その結果、ロッド３５および手先部３７が上昇すると共に、チャック３７４に把持されたパレットＰも上昇して投入コンベア２０Ａのメインベルト２４から離れる。リニアアクチュエータ３６が上記所定距離だけ上昇駆動を続けると、リニアアクチュエータ３６の上昇駆動が終了し、上昇ブロックが終了する。

搬送送りブロックでは、ＰＬＣ２は、モータ３３に送り用の制御信号を出力する。これにより、モータ３３は、軸Ｘを中心として順方向に所定角度だけ回転することで送り駆動を実現する。これにより、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、手先部３７が、図３中時計回り方向に回転する。その結果、チャック３７４に把持されたパレットＰが、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方から、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方に向かって、弧を描いて移動する。モータ３３が上記所定角度だけ回転すると、モータ３３の送り駆動が終了する。搬送送りブロックの開始から所定期間経過後に、搬送送りブロックが終了する。搬送送りブロックの終了時点で、チャック３７４に把持されているパレットＰは、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方に位置している。

搬送送りブロック直後の下降ブロックでは、ＰＬＣ２は、リニアアクチュエータ３６に下降用の制御信号を出力する。これにより、リニアアクチュエータ３６は下降駆動を実現する。すなわち、リニアアクチュエータ３６はロッド３５を所定距離だけ下降させる。その結果、ロッド３５および手先部３７が下降すると共に、チャック３７４に把持されたパレットＰも下降して排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４に当接する。リニアアクチュエータ３６が上記所定距離だけ下降駆動を行うと、リニアアクチュエータ３６の下降駆動が終了し、下降ブロックが終了する。

アンチャックブロックでは、ＰＬＣ２は、チャックアクチュエータ３７３にアンチャック用の制御信号を出力する。これにより、チャックアクチュエータ３７３はアンチャック駆動を実現する。すなわち、チャックアクチュエータ３７３はチャック３７４を開く方向に移動させる。その結果、チャック３７４はパレットＰを開放する。アンチャックブロックは予め定められた時間だけ継続する。

アンチャックブロック直後の上昇ブロックでは、ＰＬＣ２は、リニアアクチュエータ３６に上昇用の制御信号を出力する。これにより、リニアアクチュエータ３６は上昇駆動を実現する。すなわち、リニアアクチュエータ３６はロッド３５を所定距離だけ上昇させる。その結果、ロッド３５および手先部３７が上昇する。この際、チャック３７４はパレットＰを把持していない。リニアアクチュエータ３６が上記所定距離だけ上昇駆動を続けると、リニアアクチュエータ３６の上昇駆動が終了し、上昇ブロックが終了する。

搬送戻しブロックでは、ＰＬＣ２は、モータ３３に戻し用の制御信号を出力する。これにより、モータ３３は、軸Ｘを中心として搬送送りブロック時とは逆方向に所定角度だけ回転することで戻し駆動を実現する。これにより、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、手先部３７が、図３中反時計回り方向に上記所定角度だけ回転する。その結果、チャック３７４が、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方から、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方に向かって、弧を描いて移動する。モータ３３が上記所定角度だけ回転すると、モータ３３の戻し駆動が終了し、搬送戻しブロックが終了する。搬送戻しブロックの終了時点で、チャック３７４およびパレットストッパ３７１は、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方に位置している。

搬送戻しブロック直後の下降ブロックでは、ＰＬＣ２は、リニアアクチュエータ３６に下降用の制御信号を出力する。これにより、リニアアクチュエータ３６は下降駆動を実現する。すなわち、リニアアクチュエータ３６はロッド３５を所定距離だけ下降させる。その結果、ロッド３５および手先部３７が下降すると共に、チャック３７４およびパレットストッパ３７１も下降して投入コンベア２０Ａのメインベルト２４のすぐ上方に到達する。リニアアクチュエータ３６が上記所定距離だけ下降駆動を続けると、リニアアクチュエータ３６の下降駆動が終了し、下降ブロックが終了する。下降ブロックが終了した段階で、パレットＰは、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４上に載置された状態となっている。

排出コンベア２０Ｂを作動させる行程では、ＰＬＣ２は、パレット搬送ブロックという動作ブロックを実現する。このパレット搬送ブロックでは、ＰＬＣ２は、パレットＰを搬送してロボット３０から遠ざける動作を排出コンベア２０Ｂに行わせる。具体的には、ＰＬＣ２は、排出コンベア２０Ｂのモータ２７に制御信号を出力することで、モータ２７を作動させる。これにより、上述の通りメインベルト２４が回転する。その結果、メインベルト２４上に載置されたパレットＰがロボット３０から遠ざかる方向に移動する。なお、このパレット搬送ブロックは、ロボット３０を作動させる行程中のアンチャックブロックの直後に、上昇ブロックと同時並行で実現されてもよい。

このように、上記複数の動作ブロック間では、複数のアクチュエータの動作態様および複数の可動部の動作態様が、異なっている。つまり、複数のアクチュエータのうちどれが作動するか、および、複数の可動部のうちどれが動くかが、上記複数の動作ブロック間で異なっている。

投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、ロボット３０がこのような動作を行ったとき、アクチュエータであるモータ２７、モータ３３、リニアアクチュエータ３６、チャックアクチュエータ３７３の駆動によって、可動部が移動する。可動部は、第１プーリ２３ａ、第２プーリ２３ｂ、メインベルト２４、第３プーリ２５ａ、第４プーリ２５ｂ、サブベルト２６、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、パレットストッパ３７１、アーム３７２、チャックアクチュエータ３７３、チャック３７４である。

これら可動部は、異なるアクチュエータによって駆動される。例えば、可動ケーシング３４は、モータ３３によって駆動されるが、ロッド３５はモータ３３のみならずリニアアクチュエータ３６によっても駆動される。

また、パレットＰがパレットストッパ３７１に当たると、パレットストッパ３７１が僅かに移動する。

また、ＰＬＣ２は、上述の各種動作ブロックの切り替わりタイミングを示す同期信号を、計測判定装置３に出力する。

上述のような機械動作サイクルの結果、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、ロボット３０の可動部の各々が駆動されて動いた時に、当該可動部の重心が静的および動的に変動する。投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂにおける可動部の重心の変動は、設備ベース部４０、取付ベース部３１を介して検出部１１に伝わる。また、ロボット３０における可動部の重心の変動は、ロボットベース部３２を介して検出部１１に伝わる。

例えば、ロボット３０の可動部の重心の変動によりロボットベース部３２は、自身の弾性変形およびボルト１３ａ、１３ｂの弾性変形により、取付ベース部３１に対し揺れ動く。検出部１１は、ロボットベース部３２と取付ベース部３１の間に挟まれて取り付けられ、ロボットベース部３２の揺れ動きを検出する。したがって、検出部１１により、ロボットベース部３２の先にある複数の可動部の動作や加わった力の状態監視が可能になる。投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂについても同様である。

より具体的には、可動部の重心の変動に応じて、ロボットベース部３２の弾性変形量およびボルト１３ａ、１３ｂの弾性変形量が時間変化することに応じて、検出部１１の弾性変形部材１１１が収縮および伸長する。弾性変形部材１１１が収縮すると弾性変形部材１１１の内部で熱が発生する。すると、弾性変形部材１１１の内部から外部に向かう熱流速が発生する。熱流センサ１１２は、この熱流速の向きおよび大きさに応じた信号を出力する。

弾性変形部材１１１が伸長すると弾性変形部材１１１が吸熱する。すると、弾性変形部材１１１の外部から内部に向かう熱流速が発生する。熱流センサ１１２は、この熱流速の向きおよび大きさに応じた信号を出力する。

計測判定装置３は、いずれも不図示のＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等を有するコンピュータである。ＣＰＵが、ＲＯＭ、フラッシュメモリに記憶されたプログラムを実行し、その実行の際にＲＡＭを作業領域として使用する。このようなＣＰＵの作動により、計測判定装置３が当該プログラムに記述された機能を実現する。ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。計測判定装置３は、ホスト装置４から上述の計測判定開始の信号を受けると、作動を開始し、ホスト装置４から上述の動作停止信号を受けると、作動を停止する。

計測判定装置３には、熱流センサ１１２の出力した信号が入力される。入力される信号の波形（すなわち、検出波形）６２は、典型的には、図９に示すような波形になる。計測判定装置３は、この検出波形６２を用いた判定をリアルタイムで行うため、ホスト装置４とは独立に構成されている。すなわち計測判定装置３は、ホスト装置４と演算装置（すなわちＣＰＵ）を共用しないよう、構成されている。このようになっていることで、診断機能のリアルタイム性能を高めることができる。なお、計測判定装置３はホスト装置４とワークメモリ（すなわちＲＡＭ）を共用していても共用していなくてもよい。

図９では、横軸が時間、縦軸が信号の出力レベル（例えば出力電圧）を示している。弾性変形部材１１１の内部から外部への熱流速が大きいほど、出力レベルが高くなり、弾性変形部材１１１の外部から内部への熱流速が大きいほど、出力レベルが低くなる。弾性変形部材１１１の内部から外部への熱流速がゼロである場合、出力レベルもゼロになる。

図９に示すように、時点Ｔ０から時点Ｔ１までの信号が、投入コンベア２０Ａのパレット搬送ブロックにおける信号である。このパレット搬送ブロック中、時点Ｔ１の直前において、信号の振幅が大きくなっている部分がある。この振幅の増大は、パレットＰがパレットストッパ３７１に当たることにより発生している。つまり、パレットＰがパレットストッパ３７１に当たったときのパレットストッパ３７１の振動が、ロッド３５、可動ケーシング３４、モータ３３を介してロボットベース部３２に伝わる。そしてその結果、弾性変形部材１１１が変形し、熱流センサ１１２から出力される信号の振幅が増大する。

時点Ｔ１から時点Ｔ２までの信号が、動動作開始ブロックにおける信号である。このブロックにおいては、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、ロボット３０の可動部が動かないので、信号の振幅はほぼゼロである。

時点Ｔ２から時点Ｔ３までの信号が、チャックブロックにおける信号である。この期間の後半において、信号の振幅が僅かに大きくなっている部分がある。この振幅の増大は、チャック３７４がパレットＰを把持したことによってより発生している。つまり、パレットＰがチャック３７４を掴んだときのチャック３７４の振動が、チャックアクチュエータ３７３、アーム３７２、ロッド３５、可動ケーシング３４、モータ３３を介してロボットベース部３２に伝わる。そしてその結果、弾性変形部材１１１が変形し、熱流センサ１１２から出力される信号の振幅が増大する。

時点Ｔ３から時点Ｔ４までの信号が、チャックブロック直後の上昇ブロックにおける信号である。このブロックにおいてはロッド３５、手先部３７およびパレットＰが上昇することにより、信号の振幅が比較的大きくなる。この上昇ブロックにおいて、ロッド３５の上昇が終了すると、信号の振幅がほぼゼロに戻る。この上昇ブロックの開始時点Ｔ３から信号の振幅がほぼゼロに戻るまでの時間が長いほど、パレットＰの質量が大きい。

時点Ｔ４から時点Ｔ５までの信号が、搬送送りブロックにおける信号である。このブロックにおいては、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、手先部３７、パレットＰが軸Ｘの周りを旋回することにより、信号の振幅が非常に大きくなる。この搬送送りブロックにおいて、モータ３３の出力軸の回転が終了すると、製造設備装置１が静定し、信号の振幅がほぼゼロに戻る。この搬送送りブロックの開始時点Ｔ４から信号の振幅がほぼゼロに戻るまでの時間が長いほど、パレットＰの質量が大きい。

時点Ｔ５から時点Ｔ６までの信号が、搬送送りブロック直後の下降ブロックにおける信号である。このブロックにおいてはロッド３５、手先部３７およびパレットＰが下降することにより、信号の振幅が少し大きくなる。ただし、チャックブロック直後の上昇ブロックにおける信号の振幅と比べると、この下降ブロックにおける信号の振幅は小さい。この下降ブロックにおいて、ロッド３５の下降が終了すると、信号の振幅がほぼゼロに戻る。

時点Ｔ６から時点Ｔ７までの信号が、アンチャックブロックにおける信号である。この期間においてパレットＰの把持が開放されたときのスプリングバックが信号の振幅変動に反映されている。

時点Ｔ７から時点Ｔ８までの信号が、アンチャックブロック直後の上昇ブロックにおける信号である。このブロックにおいてはロッド３５、および手先部３７が上昇するが、パレットＰは上昇しないので、チャックブロック直後の上昇ブロックに比べると、信号の振幅が小さい。

時点Ｔ８から時点Ｔ９までの信号が、搬送戻しブロックにおける信号である。このブロックにおいては、可動ケーシング３４、ロッド３５、リニアアクチュエータ３６、手先部３７が軸Ｘの周りを搬送送りブロック時とは逆に旋回することにより、信号の振幅が大きくなる。ただし、このブロックにおいてはパレットＰは旋回しないので、搬送送りブロックに比べると、信号の振幅が小さい。

時点Ｔ９から時点Ｔ１０までの信号が、搬送戻しブロック直後の下降ブロックにおける信号である。このブロックにおいてはロッド３５、手先部３７が下降する。時点Ｔ１０の直前において、信号の振幅が比較的大きくなっている。

計測判定装置３は、上述の通り、プログラムに記述された機能を実現することで、このような熱流センサ１１２からの出力信号に基づいて、複数種類の判定アルゴリズムを使用して判定を行う。以下、判定アルゴリズムを、判定レシピという。

具体的には、計測判定装置３は、ＰＬＣ２から出力された同期信号に基づいて、現時点でどの動作ブロックが実行中であるかを特定する。ＰＬＣ２から出力される同期信号は、例えば、現在の動作ブロックが切り替わる毎に、その切り替わりのタイミングで値が上昇する、階段形状の経時変化を示す信号である。

そして計測判定装置３は、実行中の動作ブロックが切り替わったタイミングで、新たに実行開始された動作ブロックに対応付けられた１つまたは複数の判定レシピをブロックレシピ対応情報に基づいて選び出し、選び出した判定レシピを実行する。

つまり、計測判定装置３は、複数の動作ブロックの各々について、１つの機械動作サイクルにおいて出力される検出波形６２のうち当該動作ブロックにおいて出力される時間区間を、当該動作ブロックに応じた判定レシピに従って、診断する。

ブロックレシピ対応情報は、計測判定装置３のフラッシュメモリに記録されている。ブロックレシピ対応情報には、複数の動作ブロックと複数の判定レシピとの間の対応付けの情報が記録されている。計測判定装置３は、後述する通り、このブロックレシピ対応情報を、ホスト装置４から取得して記録する。

このように、計測判定装置３は、１つの検出波形６２を複数の動作ブロックに対応する複数の時間区間に分ける。そして計測判定装置３は、それらの時間区間の各々に対して、当該時間区間に対応する動作ブロックに応じた判定レシピで、診断を行う。このようにすることで、１つの機械動作サイクルにおける検出波形６２に基づいて、容易に、複数の可動部の動作態様に適した診断を行うことができる。

以下、判定レシピが規定する具体的な判定内容について説明する。計測判定装置３は、熱流センサ１１２から出力された信号と所定の規準値との比較結果に基づいて、製造設備装置１がどのような状態であるかを判定する。

具体的には、計測判定装置３は、１つの判定レシピを実現する際に、図１０のフローチャートに示す処理を行う。計測判定装置３は、まずステップＳ１００で、当該判定レシピに対応する動作ブロックにおいて熱流センサ１１２から出力された信号を取得する。

続いて計測判定装置３は、ステップＳ１０３で、取得した信号と判定パラメータとの比較を行う。計測判定装置３は、判定パラメータの値を、あらかじめホスト装置４から取得してもよい。あるいは、計測判定装置３は、判定パラメータを、規準波形６１に基づいて算出してもよい。続いて計測判定装置３は、ステップＳ１０６で、ステップＳ１０３の比較結果に基づいて、製造設備装置１の状態を判定する。

例えば、投入コンベア２０Ａのパレット搬送ブロックに対応する２つの判定レシピについて説明する。これらの判定レシピにおいては、計測判定装置３は、ステップＳ１０３において、規準波形と、直前のステップＳ１００で熱流センサ１１２から取得した信号の波形（以下、検出波形という）の両方に対して、絶対値化および絶対値化に続く移動平均算出を行う。絶対値化では、対象の波形の各サンプル点における出力レベルの絶対値が算出される。移動平均算出では、絶対値化された波形の各サンプル点の出力レベルが、当該サンプル点を含んで連続する複数のサンプル点の平均値となる。

図１１に、絶対値化される前の規準波形６１および検出波形６２を示す。規準波形６１は、後述するように、マネージメント装置５で作成され、ホスト装置４を介して計測判定装置３に渡される。

また、図１２に、規準波形６１に対して絶対値化とそれに続く移動平均算出がなされた後の波形６６、および、検出波形６２に対して絶対値化とそれに続く移動平均算出がなされた後の波形６７を示す。図１１、図１２における時点Ｔｘと時点Ｔｙの間の期間は、投入コンベア２０Ａに搬送されてきたパレットＰがロボット３０のパレットストッパ３７１が受け止める期間である。

正常な規準波形６１、６６に対し、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の摩耗等の理由でパレットＰの移動速度が落ちると、検出波形６２、６７のように受け止める時間が遅れると共に、受け止める際の衝撃力が低下する。計測判定装置３は、これらの判定レシピにおいて、このような検出波形６２、６７の発生を異常と判定する。

具体的には、計測判定装置３は、これらの判定レシピのうち１つである衝突エネルギー判定レシピにおいて、ステップＳ１０３で、図１２に示すように、波形６６のピーク値よりも低い第１閾値Ｖａおよび第１閾値Ｖａよりも低い第２閾値Ｖｂを、波形６７のピーク値と比較する。第１閾値Ｖａ、第２閾値Ｖｂは、判定パラメータである。

そして、波形６７のピーク値が第２閾値Ｖｂより低い場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａに異常があると判定する。また、波形６７のピーク値が第１閾値Ｖａ以上である場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａが正常であると判定する。また、波形６７のピーク値が第１閾値Ｖａ未満かつ第２閾値Ｖｂ以上である場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａには異常はないが、投入コンベア２０Ａの交換時期が近い警告状態であると判定する。

第１閾値Ｖａおよび第２閾値Ｖｂは、波形６６のピーク値が大きくなるほど大きくなる値であってもよい。例えば、第１閾値Ｖａ、第２閾値Ｖｂは、それぞれ、波形６６のピーク値の０．９倍、０．８倍であってもよい。

また、計測判定装置３は、これらの判定レシピのうち他の１つである衝突タイミング判定レシピにおいては、ステップＳ１０３で、図１２に示すように、波形６６のピーク値が実現する時点よりも後の第１時点Ｔａおよび第１時点Ｔａよりも後の第２時点Ｔｂを、波形６７のピーク値が実現する時点と比較する。第１時点Ｔａ、第２時点Ｔｂは、それぞれ閾値であり且つ判定パラメータである。

そして、波形６７のピーク値が実現する時点が第２時点Ｔｂより遅い場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａに異常があると判定する。また、波形６７のピーク値が実現する時点が第１時点Ｔａ以前である場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａが正常であると判定する。また、波形６７のピーク値が実現する時点が第１時点Ｔａより後かつ第２時点Ｔｂ以前である場合に、ステップＳ１０６で、投入コンベア２０Ａには異常はないが、投入コンベア２０Ａの交換時期が近い警告状態であると判定する。

第１時点Ｔａおよび第２時点Ｔｂは、波形６６のピーク値が実現する時点が遅くなるほど遅くなる時点であってもよい。

次に、チャックブロック直後の上昇ブロックに対応する判定レシピである第１ロボット上昇判定レシピについて説明する。第１ロボット上昇判定レシピにおいては、計測判定装置３は、ステップＳ１０３において、図１３に示すように、規準波形６１と検出波形６２の両方について、当該上昇ブロックにおける上限ピーク値と下限ピーク値の差であるピーク幅ＤＰ１、ＤＰ２を算出する。上限ピーク値とは、最大の極大値であり、下限ピーク値とは、最小の極小値である。

当該上昇ブロックにおける波形６１、６２は、ロボット３０のチャック３７４がパレットＰを把持したまま持ち上げたときの状態を示す波形である。例えばパレット上Ｐのワークが落下する等の原因で、質量が減った場合、その影響が図１３に示すように検出波形６２に振幅の低下として現れる。この場合、計測判定装置３は、ロボット３０に異常があると判定する。

具体的には、計測判定装置３は、第１ロボット上昇判定レシピにおいて、ステップＳ１０３で、ピーク幅ＤＰ２と参照幅ＤＰｘとを比較する。そして、ピーク幅ＤＰ２が参照幅ＤＰｘ以上であるとき、計測判定装置３はステップＳ１０６でロボット３０は正常であると判定する。また、ピーク幅ＤＰ２が参照幅ＤＰｘより小さいとき、計測判定装置３はステップＳ１０６でロボット３０に異常が発生したと判定する。参照幅ＤＰｘは、ピーク幅ＤＰ１に基づいて、ピーク幅ＤＰ１よりも小さい値として設定される。例えば、参照幅ＤＰｘは、ピーク幅ＤＰ１の０．９倍であってもよい。参照幅ＤＰｘは、閾値であると共に判定パラメータである。

次に、チャックブロック直後の上昇ブロックに対応する判定レシピである第２ロボット上昇判定レシピについて説明する。第２ロボット上昇判定レシピにおいては、計測判定装置３は、ステップＳ１０３で、図１４に示すように、当該上昇ブロックに対応する期間内における、検出波形６２の複数のサンプル点の各々について、上限波形６１ａおよび下限波形６１ｂと比較を行う。

具体的には、計測判定装置３は、当該複数のサンプル点の各々について、当該サンプル点の出力レベルが、上限波形６１ａの当該サンプル点と同じ時点の出力レベル以下かつ下限波形６１ｂの当該時点の出力レベル以上の規準範囲に含まれるか否かを、判定する。図１４の例では、出力レベルが当該規準範囲に含まれないサンプル点が、期間Ｔｚ中に複数ある。

そして、計測判定装置３は、当該複数のサンプル点のうち、出力レベルが当該規準範囲に含まれないサンプル点の総数が、所定個数以上であるか否かを判定する。所定個数は、１でもよいし、５でもよいし、１０でもよい。

そして、計測判定装置３は、当該総数が当該所定個数未満である場合、計測判定装置３はステップＳ１０６でロボット３０は正常であると判定する。また、計測判定装置３は、当該総数が当該所定個数以上である場合、計測判定装置３はステップＳ１０６でロボット３０に異常が発生したと判定する。

なお、上限波形６１ａは、後述するように、規準波形６１に対して規準許容誤差が加算された波形である。また、下限波形６１ｂは、後述するように、規準波形６１に対して規準許容誤差が減算された波形である。規準許容誤差は、正の値である。

これら上限波形、下限波形は、後述するように、マネージメント装置５で作成され、ホスト装置４を介して計測判定装置３に渡される。上限波形６１ａの各時点の値、下限波形６１ｂの各時点の値、および所定個数は、閾値であると共に判定パラメータである。

計測判定装置３は、各機械動作サイクル中に、対応する機械動作サイクルで実行されたすべての判定レシピで行われた判定の結果を、複数の出力ビットから成るビット列という形で、ＰＬＣ２に出力する。

例えば、上述の衝突エネルギー判定レシピにおいては、計測判定装置３は、以下のようなビット列を判定結果としてＰＬＣ２に出力する。すなわち、計測判定装置３は、異常があると判定した場合はフラッグＡに対応するビット列をＰＬＣ２に出力し、警告状態であると判定した場合はフラッグＢに対応するビット列をＰＬＣ２に出力する。フラッグＡに対応するビット列は、例えば、第１出力ビットと第２出力ビットの両方をオンとするビット列である。フラッグＢに対応するビット列は、例えば、第１出力ビットだけをオンとし、第２出力ビットをオフとするビット列である。

フラッグＡ、Ｂ等の複数のフラッグは、互いに異なる内容のビット列に対応する。これら複数のフラッグとビット列との対応関係は、フラッグ情報として計測判定装置３のフラッシュメモリに記録されている。上記の例では、フラッグＡは緊急停止用のフラッグであり、フラッグＢは警告表示用のフラッグである。また、各判定レシピにおける複数の判定結果とフラッグとの対応関係は、フラッグ情報として計測判定装置３のフラッシュメモリに記録されている。計測判定装置３はフラッグ情報を、後述する通り、ホスト装置４から取得する。

ＰＬＣ２は、このようなビット列が計測判定装置３から出力されると、出力されたビット列の内容に応じた作動を行う。例えば、ＰＬＣ２は、フラッグＡに対応するビット列の情報を取得すると、製造設備装置１のアクチュエータの作動を即時停止させることで製造設備装置１を異常停止させる。また例えば、ＰＬＣ２は、フラッグＢに対応するビット列の情報を取得すると、ＰＬＣ２は、アクチュエータの制御は継続したまま、製造設備装置１の図示しない警告ランプを点灯させる。

このように、ＰＬＣ２では、ビット列と製造設備装置１の制御内容との対応関係があらかじめ定まっている。したがって、瞬時に作動を止める必要がある緊急性の高い異常の場合の瞬時停止や、緊急性は高く無いが一旦設備を止めて調査の必要がある異常の場合のサイクル停止など、レベルの異なる異常判定に応じた製造設備装置１の作動を実現することもできる。

また、計測判定装置３は、１つの機械動作サイクルが終了する毎に、当該機械動作サイクルに対応するサイクルデータをホスト装置４に出力する。サイクルデータには、対応する機械動作サイクル中のすべての動作ブロックに亘る規準波形６１、検出波形６２が含まれている。また、サイクルデータには、対応する機械動作サイクルにおいてＰＬＣ２から取得した同期信号が含まれている。また、サイクルデータには、対応する機械動作サイクルで実行されたすべての判定レシピの判定結果が、互いに関連付けられた１まとまりのデータとして、含まれる。判定レシピの判定結果の情報は、どの動作ブロックで、どの判定レシピが使用されて、どのような判定結果が得られたかを示す。

ホスト装置４は、いずれも不図示のＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等を有するコンピュータである。ＣＰＵが、ＲＯＭ、フラッシュメモリに記憶されたプログラムを実行し、その実行の際にＲＡＭを作業領域として使用する。このようなＣＰＵの作動により、ホスト装置４が当該プログラムに記述された機能を実現する。ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。

ホスト装置４は、計測判定装置３から１つの機械動作サイクル毎に出力されたサイクルデータを取得する。またホスト装置４は、上述のプログラムに記述された機能を実現することで、当該サイクルデータに基づいて、図１７に示すデータ蓄積処理４１、可視化処理４２、動作条件変更処理４３、およびエンコード処理４４を実行する。

データ蓄積処理４１では、ホスト装置４は、サイクルデータを取得する毎に当該サイクルデータをフラッシュメモリに逐次記録する。

また、当該機械動作サイクルで加工対象となっているワークに不良が発生した場合、作業者は、当該機械動作サイクルを特定する情報と、当該ワークの不良の種別（例えば、フラックス塗布不良、ろう付け不良）とを、ホスト装置４に入力する。入力は、作業者がホスト装置４の入力装置（例えばキーボード）を使用して行う。するとホスト装置４は、データ蓄積処理４１において、入力された情報に基づいて、不良が発生した機械動作サイクルに対応するサイクルデータに対して、当該ワークの不良の種別を関連付けるように、当該ワークの不良の種別をフラッシュメモリに記録する。このようにして記録された不良の種別は、良・不良データである。不良が発生しなかった機械動作サイクルに対応するサイクルデータには、空の良・不良データが記録されることになる。つまり、良・不良データが空であるということは、不良がなかったということを示している。また、良・不良データに不良の種別が含まれているということは、不良が発生したということを示している。すなわち、蓄積されたデータに基づいて作成された規準波形および判定パラメータと、検出波形との比較に基づき、品質保証を行うことが可能となる。これにより、各々がセンサを有する複数の製造設備装置から成るシステムにおいて、個々の製造設備装置における工程内で、他の製造設備装置内の工程を必要とせず、自工程完結を実現することができる。自工程完結とは、ある１つの製造設備装置における工程で得られた物は、その１つの製造設備装置において品質が検査および保証されることをいう。

また、可視化処理４２では、ホスト装置４は、データ蓄積処理４１によって蓄積されたサイクルデータに基づいて、図示しない画像表示装置を用いて、作業者へ情報表示を行う。例えば、ホスト装置４は、図１８に示すように、同じ１つの機械動作サイクルにおける規準波形６１、検出波形６２、および同期信号６３を、時間軸を合わせて、画像表示装置の一画面に同時に表示させる。これにより、画像表示装置は、同期信号６３の変化タイミングに対する検出波形６２の変化のずれを、作業者に対して可視化することができる。

また例えば、ホスト装置４は、図１９に示すように、複数の機械動作サイクルにおける検出波形６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、および同じ複数の機械動作サイクルにおける同期信号６３ａ、６３ｂ、６３ｃを、時間軸を合わせて、画像表示装置の一画面に同時に表示させる。これにより、作業者は、複数の機械動作サイクル間における同期信号６３の変化タイミングのずれが時間の経過と共に少しずつ増えていき、検出波形６２ａ、６２ｂ、６２ｃの変動タイミングがずれていることを把握できる。また作業者は、これにより、パレットＰに載置されたワークの質量に違いがあることを認識することができる。

動作条件変更処理４３では、ホスト装置４は、データ蓄積処理４１によって蓄積されたサイクルデータに基づいて、動作条件を変更する。動作条件（例えば加工条件）の変更としては、例えば、モータ２７の回転速度の変更、モータ３３の回転速度の変更等がある。そしてホスト装置４は、加工条件の変更内容をＰＬＣ２に出力する。ＰＬＣ２は、出力された加工条件の変更内容を反映した上で、アクチュエータを制御する。なお、ホスト装置４は、加工条件変更処理４３において、加工条件を変更した場合は、可視化処理４２において、加工条件が変更されたことを画像表示装置に表示してもよい。

また、ホスト装置４は、データ蓄積処理４１によって蓄積されたサイクルデータのデータを、マネージメント装置５に送信する。エンコード処理４４については後述する。

マネージメント装置５は、いずれも不図示のＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等を有するコンピュータである。ＣＰＵが、ＲＯＭ、フラッシュメモリに記憶されたプログラムを実行し、その実行の際にＲＡＭを作業領域として使用する。このようなＣＰＵの作動により、マネージメント装置５が当該プログラムに記述された機能を実現する。ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。

製造設備装置１、ＰＬＣ２、計測判定装置３、ホスト装置４は、同じ建物内に配置されている。マネージメント装置５は、製造設備装置１、ＰＬＣ２、計測判定装置３、ホスト装置４が配置された建物内に配置されていてもよいし、当該建物外の遠隔地に配置されていてもよい。ホスト装置４とマネージメント装置５との接続形態は、有線接続でもよいし、無線接続でもよい。

マネージメント装置５は、上記プログラムに記述された機能を実現することで、図１に示すように監視コード作成処理５１、シミュレーション処理５２、および規準波形作成処理５３を実行する。

監視コード作成処理５１は、複数のブロックの各々についてどのような判定レシピを使用するかを示すブロックレシピ対応情報を作成する処理である。マネージメント装置５は、監視コード作成処理５１を実行することで作成部として機能する。

シミュレーション処理５２は、製造設備装置１の複数の機械動作サイクルにおいて熱流センサ１１２が出力した複数の検出波形６２の各々に対して、ブロックレシピ対応情報に従った判定レシピを適用する処理である。マネージメント装置５は、シミュレーション処理５２を実行することでシミュレーション部として機能する。

規準波形作成処理５３は、製造設備装置１の複数の機械動作サイクルにおいて熱流センサ１１２が出力した複数の検出波形６２に基づいて、新たな規準波形６１、上限波形６１ａ、および下限波形６１ｂを作成する処理である。

監視コード作成処理５１では、マネージメント装置５は、不図示の画像表示装置を用いてホスト装置４から取得したサイクルデータのうち１つまたは複数を作業者に表示する。そしてマネージメント装置５は、当該作業者が不図示の入力装置（例えばキーボード）に対して監視コード作成操作を行った場合、当該操作の内容に従って監視コードを作成する。

作業者は、表示された多数の機械動作サイクルの各々における規準波形６１、検出波形６２、同期信号６３、および動作ブロック別のワークの不良の種別に基づいて、不良の種別と検出波形６２の振る舞いとの対応関係を動作ブロック毎に判断する。そして作業者は、その判断結果に基づいて、どの動作ブロックでどのような判定レシピを実行すべきかを決定する。更に作業者は、実行すべきと決定した判定レシピについて、判定に使用する判定パラメータの値および判定結果の種類を決定する。このような決定は、１つの熱流センサ１１２からの出力だけに基づいて決めればよいので、複数のセンサの出力に基づいて決定する場合に比べ、決定作業が容易である。

判定パラメータは、例えば、上述の衝突エネルギー判定レシピにおいては第１閾値Ｖａ、第２閾値Ｖｂである。判定パラメータの値としては、例えば、規準波形６１のピーク値の０．９倍等である。判定結果は、例えば、上述の衝突エネルギー判定レシピにおいては、正常、異常、および警告状態である。

そして作業者は、決定した内容を上記入力装置を用いて入力する。これにより、マネージメント装置５は、入力された情報をフラッシュメモリに記録する。

なお、マネージメント装置５自体が監視コード作成処理５１において、規準波形６１のピーク値の０．９倍として判定パラメータである第１閾値Ｖａの値を自動的に決定し、決定した値をフラッシュメモリに記録してもよい。

上述の通り、計測判定装置３は、検出波形６２とこの判定パラメータとの比較結果に基づいて、複数の可動部の動作を診断する。このように、製造設備装置１の複数の機械動作サイクルにおける複数の検出波形６２を用いて複数の可動部の動作を診断することで、当該製造設備装置１の特性に合った診断ができる。

また、使用する検出波形６２が熱流センサ１１２からの検出信号の波形のみなので、複数個のセンサからの信号を用いて統計的に判定パラメータを作成する場合に比べ、非常に容易に判定パラメータを決定することができる。実際、複数の機械動作サイクルにおける熱流センサ１１２からの検出波形６２を平均化した規準波形６１から、自動化できる程度に容易に、判定パラメータを作成できる。

上記のようにマネージメント装置５に記録された情報は、図２０に示すような構造となっている。以下、この情報を監視コード９０という。監視コード９０は、１つのブロックレシピ対応情報９１、複数のレシピパラメータ情報９２、および複数のフラッグ情報９３を含んでいる。

ブロックレシピ対応情報９１は、複数の動作ブロックの各々について、その動作ブロックで使用される判定レシピ、その動作ブロックで使用される判定レシピに対応するフラッグが記載されている。フラッグは、対応する判定レシピにおいて出力される判定結果の種別を示す。

複数のレシピパラメータ情報９２は、ブロックレシピ対応情報９１中の複数の判定レシピと１対１に対応付けられている。複数のレシピパラメータ情報９２の各々は、対応する判定レシピで使用される判定パラメータの具体的な値を含んでいる。

複数のフラッグ情報９３は、ブロックレシピ対応情報９１中の複数のフラッグと１対１に対応付けられている。複数のフラッグ情報９３の各々は、対応する判定レシピで使用されるフラッグに対応するビット列の情報を含んでいる。また、複数のフラッグ情報９３の各々は、当該複数のフラッグ情報９３に対応するフラッグが、どの判定レシピのどのような判定結果に対応するかの情報も、含んでいる。

マネージメント装置５は、監視コード作成処理５１において、このようにして記録した監視コードをホスト装置４に送信してもよい。あるいは、マネージメント装置５に記録された監視コード９０は、ポータブルメモリに保存された状態で人によってホスト装置４まで移動させられ、ポータブルメモリからホスト装置４に転送されてもよい。ポータブルメモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。

ホスト装置４は、上述のエンコード処理４４にて、このようにして取得した監視コード９０に基づいて、監視コード９０のエンコードを行う。エンコードとは、ブロックレシピ対応情報９１に記述された動作ブロック毎の判定レシピを計測判定装置３が実現できるようなプログラムを作成することをいう。このようにして作成された監視コード９０のプログラムは、レシピパラメータ情報９２、複数のフラッグ情報９３の情報も反映している。

ホスト装置４は、このようにして作成された監視コード９０のプログラムおよびフラッグ情報９３を、計測判定装置３に出力する。上述した計測判定装置３による判定レシピに基づく作動は、計測判定装置３のＣＰＵがこの監視コード９０のプログラムを実行し、その際にフラッグ情報９３を参照することで、実現する。

なお、監視コード作成処理５１において作業者がこのようにして行う決定を、マネージメント装置５が自動的に実行するようになっていてもよい。

シミュレーション処理５２では、マネージメント装置５は、ホスト装置４から取得した複数のサイクルデータ中の規準波形６１、検出波形６２、同期信号６３を用いて、監視コード作成処理５１によって作成された監視コード９０のシミュレーションを行う。

具体的には、マネージメント装置５は、同期信号６３に基づいて、検出波形６２を複数の動作ブロックに対応する複数の時間区間に分ける。そしてマネージメント装置５は、それら複数の動作ブロックの各々について、監視コード９０のブロックレシピ対応情報９１で当該動作ブロックに対応付けられた判定レシピを、レシピパラメータ情報９２、複数のフラッグ情報９３に従った形態で、実現する。これにより、規準波形６１のうち各動作ブロックに対応する時間区間中の波形が、当該動作ブロックに対応する判定レシピの判定対象となる。そしてその際、検出波形６２も判定閾値の具体的値を決めるために用いられる。

そしてマネージメント装置５は、このようにして行われたシミュレーションの結果として、各サイクルデータの各動作ブロックにおける判定レシピの判定結果および各サイクルデータ中の良・不良データが示す内容を、画像表示装置に出力する。作業者は、これら判定レシピの判定結果と良・不良データの内容に基づいて、監視コード９０が適切なものであるか否かを判断することができる。

もし監視コード９０が適切でないなら、作業者は監視コード９０を修正した上で修正後の監視コード９０を対象としてシミュレーション処理５２をマネージメント装置５に行わせる。そして作業者は、シミュレーション処理５２によって適切であると判断できた監視コード９０について、ホスト装置４に渡すための操作を行う。これにより、シミュレーション処理５２によって適切であると判明した監視コード９０のみが、ホスト装置４に渡される。

このようなシミュレーション処理５２により、監視コード作成処理５１で作成されたブロックレシピ対応情報９１が適切か否かを、当該ブロックレシピ対応情報９１が実際に計測判定装置３で用いられる前に、作業者が判断することができる。

規準波形作成処理５３では、マネージメント装置５は、計測判定装置３の判定レシピにおいて用いられる規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂを作成する。具体的には、マネージメント装置５は、まず、複数のサイクルデータ中の検出波形６２を抽出する。そして、抽出した検出波形６２のサンプル点に対応する複数の時点の各々について、平均値および標準偏差σを算出する。

個々の時点における平均値および標準偏差σの算出方法は、以下の通りである。マネージメント装置５は、抽出した複数の検出波形６２から、図１５に示すように、当該時点（例えば時点ｔ）と同じ時点における複数の出力レベル６２ｘを母集団として抽出する。

そしてマネージメント装置５は、図１６に示すように、母集団として抽出した複数の出力レベル６２ｘの平均値および標準偏差σを算出する。ここで、同じ時点とは、機械動作サイクルの開始時点からの経過時間が同じ時点をいう。これにより、個々の時点における平均値および標準偏差σの算出が完了する。

そして、マネージメント装置５は、これら複数の時点の各々における平均値から成る波形を、新たな規準波形６１とする。また、マネージメント装置５は、新たな規準波形６１に対して、規準許容誤差だけ加算された波形を、新たな上限波形６１ａとする。また、マネージメント装置５は、新たな規準波形６１に対して、当該規準許容誤差だけ減算された波形を、新たな下限波形６１ｂとする。

規準許容誤差は、時点毎に値が異なるよう、マネージメント装置５によって算出される。具体的には、マネージメント装置５は、各時点の基準許容誤差を、当該時点において算出された標準偏差σに係数ｋを乗算した値とする。係数ｋの値は、時点によらず一定である。係数ｋの値は、３であってもよいし、１であってもよいし、２であってもよい。このように、規準許容誤差は、規準波形６１の作成に用いられた複数のサイクルデータのばらつきが大きいほど大きい統計量である。

なお、規準波形作成処理５３で規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂの作成に用いられる複数のサイクルデータからは、不良が発生した機械動作サイクルに対応するサイクルデータが、すなわち、不良の種別が記録されたサイクルデータが、除外される。つまり、規準波形作成処理５３で用いられる複数のサイクルデータは、不良が発生しなかった機械動作サイクルに対応するサイクルデータである。

マネージメント装置５は、規準波形作成処理５３において、このようにして作成した新たな規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂをホスト装置４に送信してもよい。あるいは、このように作成された新たな規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂは、ポータブルメモリに保存された状態で人によってホスト装置４まで移動させられ、ポータブルメモリからホスト装置４に転送されてもよい。ポータブルメモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。

ホスト装置４は、このようにして取得した規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂを、計測判定装置３に出力する。計測判定装置３は、このようにして取得した規準波形６１、上限波形６１ａ、下限波形６１ｂを、上述の通り、判定レシピに基づく作動において使用する。

以上説明した通り、検出部１１の熱流センサ１１２は、複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた検出波形を出力する。

熱流センサ１１２を用いて、製造設備装置等の設備装置の動作について診断を行う事を検討した。その際、発明者は設備装置には複数の可動部が設けられていることが多い。これら複数の可動部それぞれにセンサを配置していたのでは、センサの数が多くなってしまう。

また、これら複数の可動部それぞれにセンサを配置していたのでは、それら種類の異なる複数のセンサの信号を統合するために、集計、処理、判定を行うシステムが複雑になる。集計、処理、判定を行うシステムが複雑になると、高速な演算機能および大量のメモリが必要となる。

また、各可動部に直接関係せず、なおかつ可動部が動いていないときでも発生する可能性のある要因の異常は、個別の可動部のために設けられたセンサで検出するのは困難である。これらの事項は、熱流センサ以外の検出部が使用された場合でも同じである。

これに対し、本実施形態の熱流センサ１１２は、複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する各可動部共通の支持部（すなわちロボットベース部３２）の揺れ動きを計測する。したがって、可動部毎にセンサを設ける必要がなくなる。また、複数の信号統合も不要になるため、集計、処理、および判定のシステムが複雑になる可能性が低減される。すなわち、診断システムを低スペックな構成で実現することが可能になる。また、製造設備装置１の外部からの外力によってもロボットベース部３２は揺れ動くので、熱流センサ１１２は外力の異常も検出できるようになる。

（第２実施形態）
次に第２実施形態について説明する。本実施形態の製造設備システムは、第１実施形態の製造設備システムに対して、図２、図３、図４に示す製造設備装置１を図２１、図２２、図２３に示す製造設備装置１に置き換えたものである。

本実施形態の製造設備装置１は、検出部８１、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、Ｐ＆Ｐ装置７０、および設備ベース部４０を有している。また、製造設備装置１は、ボルト１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｃを有している。

本実形態の診断システムは、検出部８１、ＰＬＣ２、計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５を有している。

検出部８１は、検出部８１を除いた製造設備装置１の挙動を検出するためのセンサである。投入コンベア２０Ａは、製造設備装置１に供給されたパレットＰをＰ＆Ｐ装置７０に近づけるための装置である。排出コンベア２０Ｂは、パレットＰをＰ＆Ｐ装置７０から遠ざけて製造設備装置１の外部に供給する装置である。パレットＰには、加工対象のワークが載置されている。このワークが、加工後に製品となる。投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂの構成および作動は、第１実施形態と同じである。

Ｐ＆Ｐ装置７０は、投入コンベア２０ＡからパレットＰを取って排出コンベア２０Ｂに移動させる装置である。

設備ベース部４０は、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、Ｐ＆Ｐ装置７０、検出部８１が載置される土台である。例えば、設備ベース部４０は、床の上に置かれてもよい。あるいは、設備ベース部４０は、床に置かれた他の部材に固定されていてもよい。

Ｐ＆Ｐ装置７０は、脚部７１、搬送シリンダ７２、搬送可動部７３、ガイドレール７４、上下シリンダ７５、チャックシリンダ７６、チャック７７、固定アーム７８、パレットストッパ７９を有する。

脚部７１の下端は、図２３に示すように、脚部本体７１１、脚部固定部７１２ａ、脚部固定部７１２ｂを有している。脚部本体７１１は、上下方向に伸びる棒形状の部材である。図２１に示すように、脚部本体７１１の上端は搬送シリンダ７２および搬送シリンダ７２にボルト締結等の取付媒介物によって固定されている。また図２１に示すように、脚部本体７１１の上部には、固定アーム７８が固定されている。

脚部固定部７１２ａは、図２３に示すように、ボルト１５ａを介して設備ベース部４０に固定的に締結により繋げられていると共に、ボルト１６ａを介して脚部本体７１１の下端部に固定的に締結により繋げられている。脚部固定部７１２ｂは、図２３に示すように、ボルト１５ｂを介して設備ベース部４０に固定的に締結により繋げられていると共に、ボルト１６ｂを介して脚部本体７１１の下端部に固定的に締結により繋げられている。このように、脚部７１は、ボルト１５ａ、１５ｂによって、設備ベース部４０に固定されている。ボルト１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂは、取付媒介物である。また、脚部７１の脚部固定部７１２ｂは、Ｐ＆Ｐ装置７０の可動部を支持する支持部材に対応する。

搬送シリンダ７２は、脚部７１の上端部に固定され、搬送可動部７３を空気圧によって駆動する周知のエアシリンダである。搬送シリンダ７２はアクチュエータである。

搬送可動部７３は、搬送シリンダ７２によって駆動されることで、ガイドレール７４に支持されながらガイドレール７４に沿って水平方向に（すなわちは図２２中の紙面上下方向に）移動する。ガイドレール７４は、脚部７１の上端部に固定されて、搬送可動部７３を摺動可能に支持する。

上下シリンダ７５は、搬送可動部７３に固定され、チャックシリンダ７６を空気圧によって駆動する周知のエアシリンダである。上下シリンダ７５はアクチュエータである。

チャックシリンダ７６は、チャックシリンダ７６によって上下方向（すなわち図２１の紙面上下方向）に駆動される。また、チャックシリンダ７６は、チャック７７を空気圧によって開閉駆動する周知のエアシリンダである。チャックシリンダ７６はアクチュエータである。

チャック７７は、チャックシリンダ７６によって駆動されることで開閉する部材である。チャック７７が閉じることで物がチャック７７に把持される。チャック７７が開くことで物が開放される。

固定アーム７８は、脚部７１に固定され、脚部７１の上端部付近から投入コンベア２０Ａ側に伸びる棒形状の部材である。パレットストッパ７９は、図２１、図２２に示すように、固定アーム７８の投入コンベア２０Ａ側の先端に取り付けられる。このパレットストッパ７９は、投入コンベア２０Ａによって動かされるパレットＰに当たることでパレットＰの移動を止めるための部材である。

Ｐ＆Ｐ装置７０のうち、脚部７１、搬送シリンダ７２、ガイドレール７４、固定アーム７８、パレットストッパ７９が可動部でない部材である。また、搬送可動部７３、上下シリンダ７５、チャックシリンダ７６、チャック７７が可動部に該当する。

これら可動部は、異なるアクチュエータによって駆動される。例えば、搬送可動部７３は搬送シリンダ７２によって駆動されるが、チャックシリンダ７６は搬送シリンダ７２のみならず上下シリンダ７５によっても駆動される。

検出部８１は、図２３に示すように、センサ固定部材８１０、弾性変形部材１１１、熱流センサ１１２を有している。

センサ固定部材８１０は、脚部固定部７１２ｂと熱流センサ１１２の間に挟まって配置されていると共に、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２とボルト１５ｂとの間に配置されている。センサ固定部材８１０は、弾性変形部材１１１の初期圧縮寸法を適正に決め、且つ熱流センサ１１２の位置を固定させるための部材である。センサ固定部材８１０は、第１実施形態のスペーサ１１０と類似の機能を実現する。

弾性変形部材１１１は、センサ固定部材８１０または設備ベース部４０から力を受けて弾性変形するシート状の部材である。弾性変形部材１１１は熱流センサ１１２およびセンサ固定部材８１０と上下方向に重なっている。また、弾性変形部材１１１は熱流センサ１１２とセンサ固定部材８１０の間に挟まれている。弾性変形部材１１１の形状および材質は、第１実施形態と同等である。

弾性変形部材１１１は、脚部固定部７１２ｂよりも、設備ベース部４０よりも、センサ固定部材８１０よりも、熱流センサ１１２よりも、ヤング率が低い（すなわち変形し易い）。

この弾性変形部材１１１は、Ｐ＆Ｐ装置７０が作動していない状態（以下、基本状態という）では、センサ固定部材８１０と熱流センサ１１２に挟まれて上下方向に圧縮された状態となっている。

Ｐ＆Ｐ装置７０の揺れ動きにより、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間の間隔は変化し、弾性変形部材１１１は伸縮変形する。この基本状態から弾性変形部材１１１が上下方向ＤＲに圧縮されると、弾性変形部材１１１は発熱する。また、この基本状態から弾性変形部材１１１が上下方向に伸長されると、弾性変形部材１１１は吸熱する。

熱流センサ１１２は、弾性変形部材１１１と設備ベース部４０の間に挟まれている。熱流センサ１１２は、弾性変形部材１１１と接触しかつ弾性変形部材１１１と上下方向に重なることで、弾性変形部材１１１の熱の流れを検出可能になっている。熱流センサ１１２の構成は、第１実施形態と同じである。

このように、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２が、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間に挟まれている。より具体的には、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２が、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間にあるセンサ固定部材８１０の凹みに収容されている。これにより、Ｐ＆Ｐ装置７０の複数の可動部が駆動されることによる揺れ動きを弾性変形部材１１１の変形に反映させることが、こうなっていない場合に比べ、より確実になる。

また、センサ固定部材８１０における凹みが、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間における弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２のスペースを設ける。センサ固定部材８１０の上下方向の凹みの深さが増加すると、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間における弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２のスペースの上下方向の幅が増加する。したがって、センサ固定部材８１０の凹みの上下方向の高さが増大すると、弾性変形部材１１１の上下方向の取り付け厚みが増大する。

したがって、センサ固定部材８１０の凹みの上下方向の深さを調整することで、弾性変形部材１１１の弾性変形量を調整することができる。この例では、センサ固定部材８１０が、弾性変形調整部材に対応する。

なお、センサ固定部材８１０と脚部固定部７１２ｂとの固定、センサ固定部材８１０と弾性変形部材１１１との固定、弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２との固定は、いずれも接着剤または粘着テープで実現される。

本実施形態では、ＰＬＣ２は、製造設備装置１のアクチュエータ（すなわち、投入コンベア２０Ａのモータ２７、排出コンベア２０Ｂのモータ２７、搬送シリンダ７２、上下シリンダ７５、チャックシリンダ７６）を制御する。

より具体的には、ＰＬＣ２は、ホスト装置４から動作開始信号を受けると、所定の機械動作サイクルを多数回繰り返し実現するよう、制御信号を上記アクチュエータに出力する。またＰＬＣ２は、ホスト装置４から動作停止信号を受けると、上記アクチュエータの作動を停止させる。

１つの機械動作サイクルは、例えば、図８に示すように、まず、投入コンベア２０Ａを作動させる行程と、次に、Ｐ＆Ｐ装置７０を作動させる行程と、最後に排出コンベア２０Ｂを作動させる行程とを含む。

投入コンベア２０Ａを作動させる行程では、ＰＬＣ２は、パレット搬送ブロックを実現する。このパレット搬送ブロックでは、ＰＬＣ２は、パレットＰを搬送してＰ＆Ｐ装置７０に近づける動作を投入コンベア２０Ａに行わせる。この際、ＰＬＣ２による投入コンベア２０Ａのモータ２７の制御内容は、第１実施形態の作動においてパレットストッパ３７１をパレットストッパ７９に置き換えたものと同じである。

Ｐ＆Ｐ装置７０を作動させる行程では、ＰＬＣ２は、第１実施形態のロボット３０を作動させる行程と同じく、動作開始、チャック、上昇、搬送送り、下降、アンチャック、上昇、搬送戻し、下降という８個の動作ブロックをこの順で、間を置かずに順番に実現する。

動作開始ブロックでは、ＰＬＣ２は、Ｐ＆Ｐ装置７０の動作を開始するための各種初期化処理を実行する。動作開始ブロックにおいては、どのアクチュエータも作動せず、Ｐ＆Ｐ装置７０の可動部は駆動されない。

チャックブロックでは、ＰＬＣ２は、チャックシリンダ７６にチャック用の制御信号を出力する。これにより、チャックシリンダ７６はチャック駆動を実現する。すなわち、チャックシリンダ７６はチャック７７を閉じる方向に移動させる。その結果、チャック７７はパレットＰの上端部を把持する。チャックブロックは予め定められた時間だけ継続する。

チャックブロック直後の上昇ブロックでは、ＰＬＣ２は、上下シリンダ７５に上昇用の制御信号を出力する。これにより、上下シリンダ７５は上昇駆動を実現する。すなわち、上下シリンダ７５はチャックシリンダ７６を所定距離だけ上昇させる。その結果、チャックシリンダ７６およびチャック７７が上昇すると共に、チャック７７に把持されたパレットＰも上昇して投入コンベア２０Ａのメインベルト２４から離れる。上下シリンダ７５が上記所定距離だけ上昇駆動を続けると、上下シリンダ７５の上昇駆動が終了し、上昇ブロックが終了する。

搬送送りブロックでは、ＰＬＣ２は、搬送シリンダ７２に送り用の制御信号を出力する。これにより、搬送シリンダ７２は送り駆動を実現する。これにより、搬送可動部７３、上下シリンダ７５、チャックシリンダ７６、チャック７７が、ガイドレール７４に沿って図２２中上方向に移動する。その結果、チャック７７に把持されたパレットＰが、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方から、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方に向かって、直線的に移動する。チャック７７が排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方に到達すると、搬送シリンダ７２の送り駆動が終了し、搬送送りブロックが終了する。

搬送送りブロック直後の下降ブロックでは、ＰＬＣ２は、上下シリンダ７５に下降用の制御信号を出力する。これにより、上下シリンダ７５は下降駆動を実現する。すなわち、上下シリンダ７５はチャックシリンダ７６を所定距離だけ下降させる。その結果、チャックシリンダ７６およびチャック７７が下降すると共に、チャック７７に把持されたパレットＰも下降して排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４に当接する。上下シリンダ７５が上記所定距離だけ下降駆動を行うと、上下シリンダ７５の下降駆動が終了する。下降ブロックの開始から所定期間経過後に、下降ブロックが終了する。

アンチャックブロックでは、ＰＬＣ２は、チャックシリンダ７６にアンチャック用の制御信号を出力する。これにより、チャックシリンダ７６はアンチャック駆動を実現する。すなわち、チャックシリンダ７６はチャック７７を開く方向に移動させる。その結果、チャック７７はパレットＰを開放する。アンチャックブロックは予め定められた時間だけ継続する。

アンチャックブロック直後の上昇ブロックでは、ＰＬＣ２は、上下シリンダ７５に上昇用の制御信号を出力する。これにより、上下シリンダ７５は上昇駆動を実現する。すなわち、上下シリンダ７５はチャックシリンダ７６を所定距離だけ上昇させる。その結果、チャックシリンダ７６およびチャック７７が上昇する。この際、チャック７７はパレットＰを把持していない。上下シリンダ７５が上記所定距離だけ上昇駆動を続けると、上下シリンダ７５の上昇駆動が終了し、上昇ブロックが終了する。

搬送戻しブロックでは、ＰＬＣ２は、搬送シリンダ７２に戻し用の制御信号を出力する。これにより、搬送シリンダ７２は戻し駆動を実現する。これにより、搬送可動部７３、上下シリンダ７５、チャックシリンダ７６、チャック７７が、ガイドレール７４に沿って搬送送りブロック時とは逆方向に移動する。その結果、チャック７７が、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４の上方から、投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方に向かって、直線的に移動する。チャック７７が投入コンベア２０Ａのメインベルト２４の上方に到達すると、搬送シリンダ７２の送り駆動が終了し、搬送戻しブロックが終了する。

搬送戻しブロック直後の下降ブロックでは、ＰＬＣ２は、上下シリンダ７５に下降用の制御信号を出力する。これにより、上下シリンダ７５は下降駆動を実現する。すなわち、上下シリンダ７５はチャックシリンダ７６を所定距離だけ下降させる。その結果、チャックシリンダ７６およびチャック７７が下降すると共に、チャック７７も下降して投入コンベア２０Ａのメインベルト２４のすぐ上方に到達する。上下シリンダ７５が上記所定距離だけ下降駆動を続けると、上下シリンダ７５の下降駆動が終了し、下降ブロックが終了する。下降ブロックが終了した段階で、パレットＰは、排出コンベア２０Ｂのメインベルト２４上に載置された状態となっている。

排出コンベア２０Ｂを作動させる行程では、ＰＬＣ２は、パレット搬送ブロックを実現する。このパレット搬送ブロックでは、ＰＬＣ２は、パレットＰを搬送してＰ＆Ｐ装置７０から遠ざける動作を排出コンベア２０Ｂに行わせる。この際、ＰＬＣ２による排出コンベア２０Ｂのモータ２７の制御内容は、第１実施形態の作動と同等である。

また、ＰＬＣ２は、第１実施形態と同様、上述の各種動作ブロックの切り替わりタイミングを示す同期信号を、計測判定装置３に出力する。

上述のような機械動作サイクルの結果、投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂ、Ｐ＆Ｐ装置７０の可動部の各々が駆動されて動いた時に、当該可動部の重心が静的および動的に変動する。投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂにおける可動部の重心の変動は、設備ベース部４０を介して検出部１１に伝わる。また、Ｐ＆Ｐ装置７０における可動部の重心の変動は、脚部本体７１１および脚部固定部７１２ｂを介して検出部８１に伝わる。

例えば、Ｐ＆Ｐ装置７０の可動部の重心の変動により脚部固定部７１２ｂは、自身の弾性変形およびボルト１５ｂの弾性変形により、設備ベース部４０に対し揺れ動く。検出部８１は、脚部固定部７１２ｂと設備ベース部４０の間に挟まれて取り付けられ、脚部固定部７１２ｂの揺れ動きを検出する。したがって、検出部８１により、Ｐ＆Ｐ装置７０の先にある複数の可動部の動作や加わった力の状態監視が可能になる。投入コンベア２０Ａ、排出コンベア２０Ｂについても同様である。

より具体的には、可動部の重心の変動に応じて、脚部固定部７１２ｂの弾性変形量およびボルト１５ｂの弾性変形量が時間変化することに応じて、検出部８１の弾性変形部材１１１が収縮および伸長する。弾性変形部材１１１の収縮および伸長に応じて熱流センサ１１２が出力する信号は、第１実施形態と同様である。

第１実施形態において実現する動作ブロックの順序および内容は、本実施形態において実現する動作ブロックの順序および内容と概ね同じである。したがって、本実施形態における１つの機械動作サイクルで熱流センサ１１２が出力する検出波形６２は、第１実施形態と同じである。したがって、ＰＬＣ２、計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５の他の作動は、第１実施形態と同じである。

（他の実施形態）
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。特に、ある量について複数個の値が例示されている場合、特に別記した場合および原理的に明らかに不可能な場合を除き、それら複数個の値の間の値を採用することも可能である。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。また、本発明は、上記各実施形態に対する以下のような変形例および均等範囲の変形例も許容される。なお、以下の変形例は、それぞれ独立に、上記実施形態に適用および不適用を選択できる。すなわち、以下の変形例のうち任意の組み合わせを、上記実施形態に適用することができる。

（変形例１）
上記実施形態において、ＰＬＣ２は、各機械動作サイクルで、加工対象となっているワークの各々について、良、不良を検出し、その検出結果を示す良・不良データを計測判定装置３に出力してもよい。そして、計測判定装置３は、この良・不良データを、当該機械動作サイクルのサイクルデータに含めてもよい。

（変形例２）
上記第１実施形態において、スペーサ１１０を廃し、その代わりに、ロボットベース部３２に凹みを設けられてもよい。その場合、その凹みに弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２が配置される。

このようになっていると、ロボットベース部３２のうち凹みを形成する部分が、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間における弾性変形部材１１１と熱流センサ１１２のスペースを設ける。この凹みの上下方向ＤＲの深さが増加すると、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間における弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２のスペースの上下方向ＤＲの幅が増加する。したがって、この凹みの上下方向ＤＲの深さが増大すると、弾性変形部材１１１の上下方向ＤＲの取り付け厚みが増大する。

したがって、この凹みの上下方向ＤＲの深さを調整することで、弾性変形部材１１１の弾性変形量を調整することができる。この例では、ロボットベース部３２のうち凹みを形成する部分が、弾性変形調整部材に対応する。

（変形例３）
上記実施形態においては、取付媒介物としてはボルト（すなわち締結部材）が用いられている。しかし、取付媒介物は、ボルトに限らず、溶接に用いられる溶接ビートであってもよいし、接着剤であってもよい。

（変形例４）
上記実施形態では、弾性変形部材１１１はゴム製であったが、ゴム製に限らず、樹脂、金属など、弾性変形するものであればどのようなものでもよい。

（変形例５）
上記実施形態では、計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５が別の装置となっている。しかし、計測判定装置３とホスト装置４が同じ装置であってもよい。また、ホスト装置４とマネージメント装置５が同じ装置であってもよい。また、計測判定装置３とホスト装置４とマネージメント装置５が同じ装置であってもよい。

（変形例６）
上記第２実施形態において、脚部固定部７１２ｂおよび検出部８１は、製造設備装置１とは別に製造、販売されてもよい。その場合、脚部固定部７１２ｂおよび検出部８１から成る装置は、製造設備システムの一例に該当する。

（変形例７）
上記実施形態では、設備装置の例として製造設備装置１が記載されているが、設備装置は、加工設備装置でもよいし、搬送設備装置でもよい。

（変形例８）
上記実施形態では、１つの診断システムにおいて熱流センサ１１２が１つだけ用いられている。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。１つの診断システムが複数の熱流センサを有していてもよい。その場合であっても、それら複数の熱流センサの各々が、複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きによって変形する弾性変形部材の熱の流れを検出可能であれば、各熱流センサは、上記実施形態と同様の効果をもたらす。

（変形例９）
上記第１実施形態では、弾性変形部材１１１は、ロボット３０の動作だけでなく、ロボット３０の外部の影響による揺れによっても変形する。したがって、熱流センサ１１２は、ロボット３０の外部の影響による揺れに応じた検出信号も出力する。

例えば、排出コンベア２０Ｂで搬送されたパレットＰが排出コンベア２０Ｂの出口で不図示のストッパに当たると、その衝撃は排出コンベア２０Ｂを通して設備ベース部４０をゆする。したがって、ロボット３０も揺れ動き、熱流センサ１１２も検出信号を出力する。このようにして熱流センサ１１２から出力された信号も、１つの機械動作サイクルにおいて通常生じるものであるから、正常な信号である。

また、製造設備装置１の全体に物が衝突する等の場合でも、弾性変形部材１１１は弾性変形して熱流センサ１１２もその弾性変形に応じた検出信号を出力する。この例では、製造設備装置１に何らかの異常な外力が加わったとして異常と判定することができる。このように検出対象ユニット（なわち、第１実施形態におけるロボット３０）の外部から検出対象ユニットをゆするような外力に対しても、計測判定装置３は、正常異常状態の監視をすることができる。

（変形例１０）
上記第１実施形態では、検出部１１の構成要素として弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２が例示されている。しかし、検出部１１の構成要素としては、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２に置き換えて、図２４、図２５に示すような圧電素子フィルム１１５を用いてもよい。

圧電素子フィルム１１５は、取付ベース部３１とロボットベース部３２の間に挟まって、取付ベース部３１とロボットベース部３２に接触している。この圧電素子フィルム１１５は、ポリフッ化ビニリデンから成るＰＶＤＦ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｃｅ ｆｌｕｏｒｉｄｅ）フィルムと、信号電極と、グラウンド電極とを有する。ＰＶＤＦが、信号電極およびグラウンド電極に挟まれている。

これにより、圧電素子フィルム１１５が圧電素子として機能する。具体的には、ロボットベース部３２の揺れ動きによって圧電素子フィルム１１５に印加された圧力変動に応じて、信号電極とグラウンド電極の間に電位差が発生する。この結果、信号電極は、圧電素子フィルム１１５の振動および変形に応じた検出波形を計測判定装置３に出力する。

このようになっていることで、ロボット３０の複数個の可動部が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた圧力変動を圧電素子フィルム１１５が検出することができる。

より具体的には、可動部の重心の変動に応じて、ロボットベース部３２の弾性変形量およびボルト１３ａ、１３ｂの弾性変形量が時間変化することに応じて、圧電素子フィルム１１５に印加される圧力が変動する。そして、圧電素子フィルム１１５がこの圧力変動に応じた検出波形を出力する。したがって、圧電素子フィルム１１５の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことが可能になる。

なお、圧電素子フィルム１１５を用いる場合、スペーサ１１０を第１実施形態と同様に配置してもよいし、廃してもよい。

第２実施形態でも同様に、弾性変形部材１１１および熱流センサ１１２を圧電素子フィルム１１５で置き換えることができる。これにより、Ｐ＆Ｐ装置７０の複数個の可動部が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた圧力変動を圧電素子フィルム１１５が検出することができる。したがって、圧電素子フィルム１１５の出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことが可能になる。

なお、熱流センサ１１２、１１３を圧電素子フィルム１１５に置き換えた場合でも、計測判定装置３、ホスト装置４、マネージメント装置５の作動内容は、第１、第２実施形態と同じである。

（まとめ）
上記各実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、診断システムは、異なるアクチュエータによって駆動される複数個の可動部を備えた設備装置を診断する。診断システムは、前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた検出波形を出力する検出部と、前記検出部が出力した前記検出波形を取得する取得部とを備える。

また、第２の観点によれば、複数の可動部を支持する支持部は、支持部が取り付けられる先のベース部に、取付媒介物によって繋がれている。検出部は、複数個の可動部の各々が駆動されて動いた時の当該可動部の重心の変動によって生じる支持部または取付媒介物の弾性変形量の時間変化に応じて、検出波形を出力する。このようにすることで、複数の可動部が駆動されることによる揺れ動きをより確実に検出できる。

また、第３の観点によれば、前記検出部は、前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きによって変形する弾性変形部材と、前記弾性変形部材の熱の流れを検出可能な熱流センサと、を備える。このようになっていることで、１つの熱流センサの出力に基づいて複数の可動部の動作の診断を行うことが可能になる。

また、第４の観点によれば、前記複数の可動部を支持する支持部は、前記支持部が取り付けられる先のベース部に、取付媒介物によって繋がれている。前記弾性変形部材は、前記支持部と前記ベース部との間に挟まれており、前記検出部は、前記支持部と前記ベース部の間で前記弾性変形部材のスペースを設ける弾性変形調整部材を有する。

このようになっていることで、複数の可動部が駆動されることによる揺れ動きを弾性変形部材の変形に反映させることがより確実にできる。

また、第５の観点によれば、前記検出部は、前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた圧力変動を検出可能な圧電素子フィルムを有する。このようになっていることで、複数個の可動部が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた圧力変動を圧電素子フィルムが検出することができる。

また、第６の観点によれば、前記設備装置の１つの機械動作サイクルにおいて複数の動作ブロックが順番に実行される。前記複数の動作ブロック間で前記複数の可動部の動作態様が異なる。前記取得部は、前記複数の動作ブロックの各々について、前記１つの機械動作サイクルにおいて出力される前記検出波形のうち当該動作ブロックにおいて出力される時間区間を、当該動作ブロックに応じたアルゴリズムに従って、診断する。

このように、取得部は、１つの検出波形を複数の動作ブロックに対応する複数の時間区間に分ける。そして取得部は、それらの時間区間の各々に対して、その時間区間に対応する動作ブロックに応じたアルゴリズムで、診断を行うことができる。このようにすることで、１つの機械動作サイクルにおける検出波形に基づいて、容易に、複数の可動部の動作態様に適した診断を行うことができる。

また、第７の観点によれば、前記取得部は、前記検出波形に基づいて前記複数の可動部の動作を診断する計測判定装置と、マネージメント装置とを備える。前記計測判定装置は、前記複数の動作ブロックの各々について、前記１つの機械動作サイクルにおいて出力される前記検出波形のうち当該動作ブロックにおいて出力される時間区間を、当該動作ブロックに応じたアルゴリズムに従って、診断する。前記マネージメント装置は、前記複数のブロックの各々についてどのようなアルゴリズムを使用するかを示す対応情報を作成する作成部を備える。前記マネージメント装置は、前記設備装置の複数の機械動作サイクルにおいて前記検出部が出力した複数の検出波形の各々に対して、前記対応情報に従ったアルゴリズムを適用するシミュレーション部を有する。

これにより、作成部で作成された対応情報が適切か否かを、当該対応情報が実際に計測判定装置で用いられる前に、作業者が判断することができる。

また、第８の観点によれば、前記取得部は、前記検出波形に基づいて前記複数の可動部の動作を診断する計測判定装置と、前記検出波形を画像表示装置に表示させるホスト装置とを備える。前記計測判定装置は前記ホスト装置と演算装置を共用しない。

このように、検出波形に基づいて診断する計測判定装置は、検出波形を表示させるホスト装置が、前記ホスト装置と演算装置を共用しないことで、診断機能のリアルタイム性能を高めることができる。

また、第９の観点によれば、診断システムは、前記取得部は、前記設備装置の複数の機械動作サイクルにおいて前記検出部が出力した複数の検出波形に基づいて、判定パラメータを決定する。前記取得部は、前記検出波形と判定パラメータとの比較結果に基づいて、前記複数の可動部の動作を診断することにより品質保証を行い、自工程完結を可能にした。

このように、設備装置の複数の機械動作サイクルにおける複数の検出波形を用いて複数の可動部の動作を診断することで、当該設備装置の特性に合った診断ができる。

１ 製造設備装置
１１ 検出部
３０ ロボット
３１ 取付ベース部
３２ ロボットベース部
４０ 設備ベース部
７０ Ｐ＆Ｐ装置
７１ 脚部
１１１ 弾性変形部材
１１２ 熱流センサ
１１５ 圧電素子フィルム

Claims (9)

1. 異なるアクチュエータ（２７、３３、３６、３７３、７２、７５、７６）によって駆動される複数個の可動部（２３ａ、２３ｂ、２４、２５ａ、２５ｂ、２６、３４、３５、３６、３７、７３、７５、７６、７７）を備えた設備装置（１）を診断する診断システムであって、
   前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた検出波形を出力する検出部（１１、８１）と、
   前記検出部が出力した前記検出波形を取得する取得部（３、４、５）と、を備えた診断システム。
2. 前記複数の可動部を支持する支持部（３２、７１）は、前記支持部が取り付けられる先のベース部（３１、４０）に、取付媒介物（１３ａ、１３ｂ、１５ｂ）によって繋がれており、
   前記検出部は、前記複数個の可動部の各々が駆動されて動いた時の当該可動部の重心の変動によって生じる前記支持部または前記取付媒介物の弾性変形量の時間変化に応じて、前記検出波形を出力する請求項１に記載の診断システム。
3. 前記検出部は、
   前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きによって変形する弾性変形部材（１１１）と、
   前記弾性変形部材の熱の流れを検出可能な熱流センサ（１１２）と、を有する請求項１または２に記載の診断システム。
4. 前記複数の可動部を支持する支持部（３２、７１）は、前記支持部が取り付けられる先のベース部（３１、４０）に、取付媒介物（１３ａ、１３ｂ、１５ｂ）によって繋がれており、
   前記弾性変形部材は、前記支持部（３２、７１）と前記ベース部（４０）との間に挟まれており、
   前記検出部は、前記支持部と前記ベース部の間で前記弾性変形部材のスペースを設ける弾性変形調整部材（１１０、８１０）を有する請求項３に記載の診断システム。
5. 前記検出部は、前記複数個の可動部の各々が駆動されることによって発生する揺れ動きに応じた圧力変動を検出可能な圧電素子フィルム（１１５）を有する請求項１または２に記載の診断システム。
6. 前記設備装置の１つの機械動作サイクルにおいて複数の動作ブロックが順番に実行され、
   前記複数の動作ブロック間で前記複数の可動部の動作態様が異なり、
   前記取得部は、前記複数の動作ブロックの各々について、前記１つの機械動作サイクルにおいて出力される前記検出波形のうち当該動作ブロックにおいて出力される時間区間を、当該動作ブロックに応じたアルゴリズムに従って、診断する請求項１ないし５のいずれか１つに記載の診断システム。
7. 前記取得部は、前記検出波形に基づいて前記複数の可動部の動作を診断する計測判定装置（３）と、マネージメント装置（５）とを備え、
   前記計測判定装置は、前記複数の動作ブロックの各々について、前記１つの機械動作サイクルにおいて出力される前記検出波形のうち当該動作ブロックにおいて出力される時間区間を、当該動作ブロックに応じたアルゴリズムに従って、診断し、
   前記マネージメント装置は、前記複数のブロックの各々についてどのようなアルゴリズムを使用するかを示す対応情報（９１）を作成する作成部（５１）と、前記設備装置の複数の機械動作サイクルにおいて前記検出部が出力した複数の検出波形の各々に対して、前記対応情報に従ったアルゴリズムを適用するシミュレーション部（５２）とを有する請求項１ないし５のいずれか１つに記載の診断システム。
8. 前記取得部は、前記検出波形に基づいて前記複数の可動部の動作を診断する計測判定装置（３）と、前記検出波形を画像表示装置に表示させるホスト装置（４）とを備え、
   前記計測判定装置は前記ホスト装置と演算装置を共用しない請求項１ないし５のいずれか１つに記載の診断システム。
9. 前記取得部は、前記設備装置の複数の機械動作サイクルにおいて前記検出部が出力した複数の検出波形に基づいて、判定パラメータ（Ｖａ、Ｖｂ、Ｔａ、Ｔｂ、ＤＰｘ）を決定し、前記検出波形と判定パラメータとの比較結果に基づいて、前記複数の可動部の動作を診断することにより品質保証を行い、自工程完結を可能にした請求項１ないし５のいずれか１つに記載の診断システム。

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