JP2018136260A - 光学計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
本実施形態に係る、光学計測装置1の構成について、図1および図2を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る光学計測装置1の一例を示す概要図である。図2は、本実施形態1に係る光学計測装置1の装置構成の一例を示す模式図である。
続いて、図3のフローチャートを参照して、本実施形態に係る光学計測装置1の処理部70における処理の一例を説明する。
処理部70は、全てのコアに対応する距離を示す値の各々と閾値とを比較する。処理部70は、全ての距離を示す値が閾値以上、または全ての距離を示す値が閾値未満であるか否かを判定する。処理部70が、全てが閾値以上、または閾値未満と判定した場合(YES)には、ステップS12に移行する。処理部70が、一部が閾値以上で残りが閾値未満と判定した場合(NO)には、ステップS14に移行する。
処理部70は、全ての距離を示す値の平均値を算出する。
処理部70は、閾値以上の距離を示す値の平均値を算出する、または閾値未満の距離を示す値の平均値を算出する。距離を示す値の一部が閾値以上で残りが閾値未満の場合には、測定点が互いに異なる高さの2つの平面上に分布していることが想定されるので、閾値を境にそれぞれ平均値を算出することによって、それぞれの平面の高さを正確に測定できる。処理部70は、閾値以上の距離を示す値群と閾値未満の距離を示す値群とのうち、多数の値を含む方を平均値の算出に用いてもよい。
処理部70は、ステップS12またはステップS14で算出された平均値をセンサ計測値として出力する。
本発明の他の実施形態について、図6〜8に基づいて説明すれば、以下のとおりである。本実施形態に係る光学計測装置1は、実施形態1にて説明した部材と同じ機能を有する部材を備えているので、部材については、その説明を省略する。
図6は、本実施形態に係る光学計測装置1の処理部70における処理の一例を説明するフローチャートである。
処理部70は、全てのコアに対応する距離を示す値の各々と閾値とを比較する。処理部70は、全ての距離を示す値が閾値以上、または全ての距離を示す値が閾値未満であるか否かを判定する。処理部70が、全てが閾値以上、または閾値未満と判定した場合(YES)には、ステップS22に移行する。処理部70が、一部が閾値以上で残りが閾値未満と判定した場合(NO)には、ステップS24に移行する。
処理部70は、全ての距離を示す値の平均値を算出する。
ステップS24における処理を、図7を参照して説明する。
処理部70は、ステップS22またはステップS24で算出された平均値をセンサ計測値として出力する。
本発明の他の実施形態について、図9に基づいて説明すれば、以下のとおりである。図9の(a)は、本実施形態に係る光学計測装置1aの装置構成の一例を示す模式図である。
本発明の他の実施形態について、図10に基づいて説明すれば、以下のとおりである。図7は、本実施形態に係る光学計測装置1bの装置構成の一例を示す模式図である。
121,122,…,12N 光源
20 導光部
221,222,…,22N,241,242,…,24N,261,262,…,26N コア
40 光学系
50 分光器
60 受光部
Claims (6)
- 光源と、
前記光源からの照射光に対して配置される、前記照射光を計測対象物に照射し、前記計測対象物の計測面からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光された前記反射光を各波長成分に分離する少なくとも1つの分光器と、
前記分光器による分光方向に対応させて複数の受光素子が配置された受光部と、
複数のコアを含み、前記光源および前記光学系、ならびに前記光学系および前記分光器を光学的に接続する導光部と、
処理部と
を備え、
前記処理部は、
前記コアの各々に対応する前記反射光の各々について、前記反射光に応じて前記光学系と前記計測対象物との距離を算出し、
前記反射光の各々について、前記距離を示す値と閾値とを比較し、
全てのコアに対応する前記反射光において、前記距離を示す値が前記閾値以上、または前記距離を示す値が前記閾値未満である場合は、全ての距離を示す値の平均値を算出し、
一部のコアに対応する前記反射光において、前記距離を示す値が前記閾値以上であり、前記一部のコア以外のコアに対応する前記反射光において、前記距離を示す値が前記閾値未満である場合は、前記閾値以上の距離を示す値の平均値、または前記閾値未満の距離を示す値の平均値を算出する
光学計測装置。 - 前記処理部は、前記閾値を、距離が所定値よりも変化する場合の変化の前後の前記距離を示す値から算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の光学計測装置。 - 前記受光部が、前記コアに対応する反射光の各々に対応して複数設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の光学計測装置。
- 前記複数の受光素子は、前記受光部の受光面上に二次元配置されており、前記コアに対応する反射光の各々に対応して複数の受光素子が設けられている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光学計測装置。 - 前記光源が複数設けられているとともに、前記光源が発生する照射光の各々が前記計測対象物に照射される位置が異なっており、
前記処理部が、前記光源の各々に対して光照射タイミングを異ならせることによって、前記コアの各々に対応する前記反射光の各々について、前記反射光に応じて前記光学系と前記計測対象物との距離を算出することを特徴とする請求項1または2に記載の光学計測装置。 - 前記処理部が、前記コアの各々に関して、前記距離を示す値が前記閾値以上に変化する時間的変化点を抽出するとともに、前記コアの全てに関して前記時間的変化点を揃えた上で、前記閾値以上の距離を示す値の平均値、または前記閾値未満の距離を示す値の平均値を算出することを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の光学計測装置。
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