JP2018133524A

JP2018133524A - Work machine

Info

Publication number: JP2018133524A
Application number: JP2017027964A
Authority: JP
Inventors: 実可子大野; Mikako Ono; 健人浅岡; Taketo Asaoka; 将実川端; Masasane Kawabata; 利律清水; Toshinori Shimizu
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2017-02-17
Filing date: 2017-02-17
Publication date: 2018-08-23
Anticipated expiration: 2037-02-17
Also published as: JP6842946B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work machine capable of recognizing the location of a holder by a camera and correcting the location at an arbitrary predetermined position.SOLUTION: A work machine for a movement target object moves includes a holder that holds the movement target object when the movement target object moves, a camera that images the movement target object, a movement head that moves in a state in which the holder and camera are fixed, and a control unit that drives and controls the holder, the camera, and the movement head. The control unit executes mark processing to make a mark when causing the holder to move a predetermined location, and recognition processing to recognize the location of the holder by imaging the mark by the camera, and holder correction processing to correct the location of the holder on the basis of an error between the location of the holder recognized in the recognition processing and the predetermined location.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、保持具の位置をカメラで認識して補正する作業機に関するものである。 The present disclosure relates to a working machine that recognizes and corrects the position of a holder with a camera.

従来より、保持具の位置をカメラで認識して補正する作業機に関し、種々の技術が提案されている。 Conventionally, various techniques have been proposed for a working machine that recognizes and corrects the position of a holding tool with a camera.

例えば、下記特許文献１に記載の電気部品装着システムでは、吸着ノズルの回転中心とプリント配線板の基準マークを撮像する基準マークカメラとの相対位置ずれの検出精度を向上させている。具体的には、電気部品装着システムにおいて、静止して設けた較正台に較正ゲージを載置する。較正台には基準マークを、較正ゲージには基準穴を設ける。吸着ノズルと基準マークカメラとを交互に較正台上へ移動させ、吸着ノズルに較正ゲージを吸着させて９０度ずつ回転させては較正台に載置させ、基準マークカメラに撮像させる。それによって得られた複数の画像を処理することにより、吸着ノズルの回転中心と較正台の中心と基準マークカメラの相対位置誤差を取得する。較正台を媒介として、吸着ノズルの回転中心と基準マークカメラとの相対位置誤差が取得できる。 For example, in the electrical component mounting system described in Patent Document 1 below, the detection accuracy of the relative displacement between the rotation center of the suction nozzle and the reference mark camera that images the reference mark of the printed wiring board is improved. Specifically, in the electrical component mounting system, a calibration gauge is placed on a stationary calibration table. A reference mark is provided on the calibration table, and a reference hole is provided on the calibration gauge. The suction nozzle and the reference mark camera are alternately moved onto the calibration table, and the calibration gauge is sucked by the suction nozzle and rotated by 90 degrees to be placed on the calibration table and imaged by the reference mark camera. By processing the plurality of images obtained thereby, the rotation center of the suction nozzle, the center of the calibration table, and the relative position error of the reference mark camera are acquired. The relative position error between the rotation center of the suction nozzle and the reference mark camera can be acquired through the calibration table.

下記特許文献２に記載の表面実装機では、部品をより確実、かつ正確に部品供給部から吸着して搬送する。具体的には、表面実装機において、先端に吸着ノズルを具備した昇降可能な実装用ヘッドにより部品供給部から部品を吸着してプリント基板上に搬送、実装する場合に、予め偏心誤差測定を行う。この測定で求めた偏心誤差データに基づき、部品供給部における部品吸着時の目標位置を補正（偏心補正）するようにしている。偏心誤差測定は、実装用ヘッドを下降させて予め部品吸着高さ位置に配置したプレート（圧接媒体）にノズル先端を圧接させ、その位置を画像認識するとともにこの位置に対する理論上の位置との誤差（偏心誤差）を求めることにより行う。 In the surface mounting machine described in Patent Document 2 below, components are sucked and conveyed from the component supply unit more reliably and accurately. Specifically, in a surface mounter, when a component is picked up from a component supply unit by a liftable mounting head having a suction nozzle at the tip, and transported and mounted on a printed circuit board, an eccentricity error measurement is performed in advance. . Based on the eccentricity error data obtained by this measurement, the target position at the time of component suction in the component supply unit is corrected (eccentricity correction). Eccentric error measurement is performed by lowering the mounting head and bringing the nozzle tip into pressure contact with a plate (pressure contact medium) placed in advance at the component suction height position, recognizing the position of the image and making an error from this position relative to the theoretical position. This is done by obtaining (eccentric error).

特開２００１−２１７５９７号公報JP 2001-217597 A 特開２００５−２０１７３６号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-201736

しかしながら、上記特許文献１に記載の電気部品装着システムでは、電子部品がプリント配線板に装着される装着位置の一箇所のみにおいて吸着ノズルの位置補正が行われており、上記装着位置以外の位置における吸着ノズルの位置補正を行うことはできなかった。この点は、上記特許文献２に記載の表面実装機においても、同様である。 However, in the electrical component mounting system described in Patent Document 1, the position of the suction nozzle is corrected only at one mounting position where the electronic component is mounted on the printed wiring board. The suction nozzle position could not be corrected. This also applies to the surface mounter described in Patent Document 2.

そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、保持具の位置をカメラで認識して補正することを任意の所定位置で行うことが可能な作業機を提供することを課題とする。 Therefore, the present disclosure has been made in view of the above points, and it is an object of the present disclosure to provide a work machine that can recognize and correct the position of the holder with a camera at any predetermined position. And

本明細書は、移動対象物が移動する作業機であって、移動対象物の移動の際に、移動対象物を保持する保持具と、移動対象物を撮像するカメラと、保持具及びカメラが固定された状態で移動する移動ヘッドと、保持具とカメラと移動ヘッドとを駆動制御する制御部とを備え、制御部は、保持具を所定位置まで移動させた際にマークを付けるマーク処理と、マークをカメラで撮像することにより保持具の位置を認識する認識処理と、認識処理で認識した保持具の位置と所定位置との誤差に基づいて保持具の位置を補正する保持具補正処理とを実行する作業機を、開示する。 The present specification is a working machine for moving a moving object, and includes a holding tool that holds the moving object, a camera that images the moving object, a holding tool, and a camera when the moving object moves. A moving head that moves in a fixed state, and a control unit that drives and controls the holding tool, the camera, and the moving head, and the control unit performs mark processing for marking when the holding tool is moved to a predetermined position; A recognition process for recognizing the position of the holder by imaging the mark with a camera, and a holder correction process for correcting the position of the holder based on an error between the position of the holder recognized in the recognition process and a predetermined position; Disclosed is a working machine that performs the following.

本開示によれば、作業機は、保持具の位置をカメラで認識して補正することを任意の所定位置で行うことが可能である。 According to the present disclosure, the work machine can recognize and correct the position of the holding tool with the camera at an arbitrary predetermined position.

本開示の説明図である。It is explanatory drawing of this indication. 本開示のフローチャート図である。FIG. 6 is a flowchart diagram of the present disclosure. ワーク移載システム１０の概略が表された説明図である。1 is an explanatory diagram showing an outline of a workpiece transfer system 10. FIG. ワーク移載システム１０で行われる採取部２２の位置補正の説明図である。It is explanatory drawing of position correction | amendment of the sampling part 22 performed with the workpiece transfer system 10. FIG. ノズル管理装置８０の概略を表した説明図である。3 is an explanatory diagram illustrating an outline of a nozzle management device 80. FIG. ノズル管理装置８０で行われる保持チャック１２８の位置補正の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of position correction of the holding chuck 128 performed by the nozzle management device 80.

（１）本開示の概要
移動対象物を移動する作業機においては、例えば、カメラで認識された移動対象物を保持具で保持する。カメラ及び保持具が移動ヘッドに固定されている場合には、移動ヘッドがヨーイング、ピッチング、又はローイング等（以下、ヨーイング等と略記する。）の影響を受けていると、カメラを所定位置に移動させる制御が行われても、その所定位置と実際の移動位置との間にズレが生じる。この点は、保持具についても同様である。但し、カメラの移動制御においては、例えば、マトリックス基板等を使用した位置補正が予め行われることによって、ヨーイング等の影響が排除される。 (1) Outline of Present Disclosure In a working machine that moves a moving object, for example, the moving object recognized by the camera is held by a holder. When the camera and the holder are fixed to the moving head, the camera is moved to a predetermined position when the moving head is affected by yawing, pitching, rowing, or the like (hereinafter abbreviated as yawing). Even if the control is performed, a deviation occurs between the predetermined position and the actual movement position. The same applies to the holder. However, in the movement control of the camera, for example, the position correction using a matrix substrate or the like is performed in advance, thereby eliminating the influence of yawing or the like.

図１で説明する。カメラ２００及び保持具２０２が不図示の移動ヘッドに固定されている場合において、移動制御が行われると、カメラ２００の中心位置Ｃ１が、その移動制御で移動先に指令された位置と略一致する。なぜなら、上述したように、カメラ２００の位置補正が予め行われているためである。これに対して、保持具２０２の中心位置Ｃ２については、移動制御で移動先に指令された位置Ｃ３とは一致せず、その位置Ｃ３に対して位置ズレＥが生じる。 This will be described with reference to FIG. When movement control is performed when the camera 200 and the holder 202 are fixed to a moving head (not shown), the center position C1 of the camera 200 substantially coincides with the position commanded to the movement destination by the movement control. . This is because the position correction of the camera 200 is performed in advance as described above. On the other hand, the center position C2 of the holder 202 does not coincide with the position C3 commanded to the movement destination by the movement control, and a positional deviation E occurs with respect to the position C3.

そこで、本開示では、図２に表されたフローチャートによって、保持具２０２の位置補正が行われる。先ず、ステップＳ１０のカメラ補正処理が行われ、不図示のマトリックス基板等が使用されることによって、カメラ２００の位置補正が行われる。ステップＳ１２のマーク処理では、移動制御後の保持具２０２の中心位置Ｃ２がマークで示される。ステップＳ１４の認識処理では、上記マークがカメラ２００で撮像され、その撮像データが画像処理される。この画像処理によって、保持具２０２の中心位置Ｃ２が認識される。ステップＳ１６の保持具補正処理では、そのように認識された保持具２０２の中心位置Ｃ２と上記移動制御で保持具２０２の中心の移動先に指定された位置Ｃ３とから位置ズレＥが算出され、その算出された位置ズレＥによって保持具２０２の位置補正が行われる。従って、保持具２０２の位置は、カメラ２００の撮像データによって認識されることから、カメラ２００の撮像位置（つまり、不図示のマトリックス基板等を使用した位置補正がなされたもの）を基準にして補正される。尚、このような保持具２０２の位置補正は、上記移動制御で保持具２０２の中心の移動先に指定された位置Ｃ３について行われたものであるが、そのような位置Ｃ３以外の所望位置についても保持具２０２の位置補正が行われる場合（ステップＳ１８：ＹＥＳ）には、上記ステップＳ１２以降の処理が繰り返される。全ての所望位置について保持具２０２の位置補正が行われると（ステップＳ１８：ＮＯ）、保持具２０２の位置補正が終了する。 Therefore, in the present disclosure, the position correction of the holder 202 is performed according to the flowchart illustrated in FIG. First, the camera correction process in step S10 is performed, and the position of the camera 200 is corrected by using a matrix substrate (not shown) or the like. In the mark processing in step S12, the center position C2 of the holder 202 after movement control is indicated by a mark. In the recognition process in step S14, the mark is imaged by the camera 200, and the captured data is image-processed. By this image processing, the center position C2 of the holder 202 is recognized. In the holder correction processing in step S16, a positional deviation E is calculated from the center position C2 of the holder 202 recognized as such and the position C3 designated as the movement destination of the center of the holder 202 by the above movement control. The position of the holder 202 is corrected based on the calculated position deviation E. Accordingly, since the position of the holder 202 is recognized by the imaging data of the camera 200, the position is corrected based on the imaging position of the camera 200 (that is, the position corrected using a matrix substrate not shown). Is done. Such position correction of the holding tool 202 is performed for the position C3 designated as the movement destination of the center of the holding tool 202 by the movement control, but for a desired position other than the position C3. If the position of the holder 202 is corrected (step S18: YES), the processing from step S12 onward is repeated. When the position correction of the holding tool 202 is performed for all desired positions (step S18: NO), the position correction of the holding tool 202 ends.

以下、本開示の好適な具体例である第１実施形態及び第２実施形態を、図面を参照しながら説明する。尚、図面では、構成の一部が省略されて描かれていることがあり、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。 Hereinafter, a first embodiment and a second embodiment, which are preferable specific examples of the present disclosure, will be described with reference to the drawings. In the drawings, a part of the configuration may be omitted and drawn, and the dimensional ratio of each drawn part is not always accurate.

（２）第１実施形態
図３は、ワーク移載システム１０の斜視図である。第１実施形態では、本開示をワーク移載システム１０で実施する。 (2) First Embodiment FIG. 3 is a perspective view of the workpiece transfer system 10. In the first embodiment, the present disclosure is implemented by the workpiece transfer system 10.

（２−１）ワーク移載システム１０の構成
図３に表されたように、ワーク移載システム１０は、システム制御部１２、ワーク移載装置２０、ワーク供給装置４０、及びワーク収容部材６０を備えている。システム制御部１２は、システム全体を制御するものであり、不図示のＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等を備え、上記ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されている。システム制御部１２は、ワーク移載装置２０とワーク供給装置４０とに電気的に接続されており、これらの装置に信号を出力し、これらの装置から信号が入力されるものである。尚、ワーク移載システム１０における、左右方向（Ｘ軸)、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図３に示した通りとして以下説明する。 (2-1) Configuration of Work Transfer System 10 As shown in FIG. 3, the work transfer system 10 includes a system controller 12, a work transfer device 20, a work supply device 40, and a work storage member 60. I have. The system control unit 12 controls the entire system, and includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown), and is configured as a microprocessor centering on the CPU. The system control unit 12 is electrically connected to the workpiece transfer device 20 and the workpiece supply device 40, outputs signals to these devices, and receives signals from these devices. In the workpiece transfer system 10, the left-right direction (X-axis), the front-rear direction (Y-axis), and the up-down direction (Z-axis) will be described below as shown in FIG.

ワーク移載システム１０は、ワーク収容部材６０に収容された作業対象のワーク３７を、その後の作業に用いられる作業用載置部３６に移動、載置させる装置として構成されている。ワーク移載システム１０は、例えば、不定姿勢でワーク収容部材６０の採取用載置部６３に載置されたワーク３７を、後工程で作業者が作業しやすいように、所定の姿勢で整列させた状態で作業用載置部３６に載置させるものとしてもよい。ここで、不定姿勢とは、ワーク３７の位置、方向等が統一されていない状態をいうものとする。ワーク３７は、特に限定されないが、例えば、機械部品、電気部品、電子部品、又は化学部品等が挙げられ、例えば、ボルト、ナット、ワッシヤ、ねじ、釘、及びリベット等のうち１以上の締結部材としてもよい。ワーク３７は、少なくとも一部 (所定箇所３８) が磁性体で形成されているものとしてもよい。ワーク３７は、磁性体で形成された所定箇所３８が、ワーク移載装置２０やワーク供給装置４０が備える電磁石によって引き付けられ、移動する。作業用載置部３６は、ワーク３７を配列載置する部材である。作業用載置部３６は、磁力を帯びており、磁性体であるワーク３７を磁力で固定するパレットとして構成されている。作業用載置部３６では、ワーク３７は、その種別に応じて定められた位置に配設固定される。作業者は、ワーク移載システム１０によってワーク３７が配設固定された作業用載置部３６を用い、配設固定された位置に基づいてワーク３７を特定しながら、ワーク３７の組付け等を行う。ワーク移載システム１０は、例えば、ワーク３７としてのボルトを作業用載置部３６に配列させる工程や、ワーク３７としてのワッシャを配列されたボルトに組付ける工程等を実行するものとしてもよい。本実施形態において、ワーク３７は、その全体を磁性体とするボルトであり、所定箇所３８がネジ軸の先端部であり、ボルトの頭部を下方にして所定間隔で作業用載置部３６に配列させられる。 The workpiece transfer system 10 is configured as an apparatus that moves and places a work target workpiece 37 accommodated in a workpiece accommodation member 60 on a work placement unit 36 used for subsequent work. For example, the workpiece transfer system 10 aligns the workpiece 37 placed on the sampling placement portion 63 of the workpiece housing member 60 in an undefined posture in a predetermined posture so that the worker can easily work in a later process. It is good also as what is mounted in the mounting part 36 for work in the state. Here, the indefinite posture refers to a state where the position, direction, and the like of the workpiece 37 are not unified. The workpiece 37 is not particularly limited, and examples thereof include mechanical parts, electrical parts, electronic parts, chemical parts, and the like. For example, one or more fastening members among bolts, nuts, washers, screws, nails, rivets, and the like It is good. The work 37 may be at least partially (predetermined portion 38) formed of a magnetic material. The workpiece 37 moves by being attracted by an electromagnet included in the workpiece transfer device 20 and the workpiece supply device 40 at a predetermined portion 38 formed of a magnetic material. The work placement unit 36 is a member on which the workpieces 37 are placed. The work placement unit 36 has a magnetic force, and is configured as a pallet that fixes the magnetic work piece 37 with a magnetic force. In the work placement unit 36, the work 37 is disposed and fixed at a position determined according to its type. The operator uses the work placement unit 36 on which the work 37 is disposed and fixed by the work transfer system 10, and identifies the work 37 based on the position where the work 37 is disposed and fixed. Do. The workpiece transfer system 10 may execute, for example, a step of arranging bolts as the workpiece 37 on the work placement unit 36, a step of attaching a washer as the workpiece 37 to the arranged bolts, and the like. In the present embodiment, the workpiece 37 is a bolt having a magnetic body as a whole, the predetermined portion 38 is the tip of the screw shaft, and the bolt head is directed downward to the work placement portion 36 at a predetermined interval. Be arranged.

ワーク移載装置２０は、移載部２１、搬送部３４、及び移載制御部３５を備えている。移載部２１は、１以上のワーク３７が載置されたワーク収容部材６０からワーク３７を採取し、採取したワーク３７を所定の配列で作業用載置部３６に移動載置するものである。移載部２１は、採取部２２、撮像部２５、アーム部２８、及び基部３３を備えている。採取部２２は、ワーク３７の所定箇所３８を引き付けて採取する部材であり、アーム部２８の先端に回動可能に装着されている。撮像部２５は、画像を撮像するユニットであり、採取部２２の先端側に固定されている。アーム部２８は、採取部２２と撮像部２５とが一端側に配置され、基部３３が他端側に配置され、基部３３によって支持されている。アーム部２８は、不図示のかさ歯車機構及び不図示のモータで回転駆動される。 The workpiece transfer device 20 includes a transfer unit 21, a transport unit 34, and a transfer control unit 35. The transfer unit 21 collects the workpiece 37 from the workpiece housing member 60 on which one or more workpieces 37 are placed, and moves and places the collected workpieces 37 on the work placement unit 36 in a predetermined arrangement. . The transfer unit 21 includes a collection unit 22, an imaging unit 25, an arm unit 28, and a base 33. The collection part 22 is a member that attracts and collects a predetermined portion 38 of the work 37 and is rotatably attached to the tip of the arm part 28. The imaging unit 25 is a unit that captures an image, and is fixed to the distal end side of the collection unit 22. In the arm unit 28, the collection unit 22 and the imaging unit 25 are arranged on one end side, the base unit 33 is arranged on the other end side, and is supported by the base unit 33. The arm portion 28 is rotationally driven by a bevel gear mechanism (not shown) and a motor (not shown).

搬送部３４は、作業用載置部３６の搬入・搬送、ワーク３７を移載するための作業用載置部３６の固定、及び作業用載置部３６の搬出を行うユニットである。搬送部３４は、１対のコンベアベルト１１を備えている。コンベアベルト１１は、図３の前後に間隔を開けて設けられ、左右方向に架け渡されている。作業用載置部３６は、コンベアベルト１１によって搬送される。 The conveyance unit 34 is a unit that carries in and conveys the work placement unit 36, fixes the work placement unit 36 for transferring the work 37, and carries out the work placement unit 36. The transport unit 34 includes a pair of conveyor belts 11. The conveyor belt 11 is provided at an interval in front and rear in FIG. 3 and is stretched in the left-right direction. The work placement unit 36 is conveyed by the conveyor belt 11.

移載制御部３５は、不図示のＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等を備えており、ワーク移載装置２０の全体を制御する。移載制御部３５は、採取部２２、撮像部２５、及び搬送部３４に信号を出力する。移載制御部３５には、撮像部２５からの信号が入力される。尚、アーム部２８には、不図示の位置センサが装備されている。移載制御部３５は、それらの位置センサから入力された位置情報に基づいて、上記モータを制御する。移載制御部３５は、採取部２２と撮像部２５とを制御する。この制御によって、移載制御部３５は、不定姿勢でワーク３７が載置された採取用載置部６３の撮像画像に基づいてワーク３７を認識し、その認識したワーク３７の所定箇所３８に採取部２２を移動させた後、採取部２２でワーク３７を所定の姿勢で整列させながら作業用載置部３６に載置する。 The transfer control unit 35 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown), and controls the entire workpiece transfer device 20. The transfer control unit 35 outputs signals to the collection unit 22, the imaging unit 25, and the transport unit 34. A signal from the imaging unit 25 is input to the transfer control unit 35. The arm unit 28 is equipped with a position sensor (not shown). The transfer control unit 35 controls the motor based on the position information input from these position sensors. The transfer control unit 35 controls the collection unit 22 and the imaging unit 25. With this control, the transfer control unit 35 recognizes the workpiece 37 based on the captured image of the sampling placement unit 63 on which the workpiece 37 is placed in an indefinite posture, and samples the sample at a predetermined location 38 of the recognized workpiece 37. After moving the part 22, the work 37 is placed on the work placement part 36 while being aligned in a predetermined posture by the sampling part 22.

ワーク供給装置４０は、供給部４１、移動部５４、供給制御部５５、及びワーク収容部材６０を備えている。供給部４１は、ワーク移載装置２０で採取可能となるよう、ワーク収容部材６０の貯蔵部６２に収容された１以上のワーク３７を採取し、不定姿勢でワーク収容部材６０の採取用載置部６３に供給する。供給部４１は、採取部４２、アーム部４８、及び基部５３を備えている。採取部４２は、多数のワーク３７を引き付けて採取する部材であり、アーム部４８の先端に回動可能に装着されている。アーム部４８は、不図示のかさ歯車機構及び不図示のモータで回転駆動される。 The workpiece supply device 40 includes a supply unit 41, a moving unit 54, a supply control unit 55, and a workpiece storage member 60. The supply unit 41 collects one or more workpieces 37 accommodated in the storage unit 62 of the workpiece storage member 60 so that the workpiece transfer device 20 can collect the sample, and the workpiece storage member 60 is placed in an unfixed posture for collection. To the unit 63. The supply unit 41 includes a collection unit 42, an arm unit 48, and a base unit 53. The collection part 42 is a member that attracts and collects a large number of workpieces 37 and is rotatably attached to the tip of the arm part 48. The arm portion 48 is rotationally driven by a bevel gear mechanism (not shown) and a motor (not shown).

移動部５４は、収容台５６及びレール５７を備えている。収容台５６は、１以上のワーク収容部材６０が載せられるものである。レール５７は、収容台５６を退避位置 (図３の点線参照) と移載処理位置との間で移動させるものである。収容台５６は、不図示の駆動部で移動させられる。作業者は、収容台５６を退避位置に移動させた後、ワーク収容部材６０に新たなワーク３７を追加する。 The moving unit 54 includes a storage table 56 and a rail 57. The storage table 56 is for placing one or more workpiece storage members 60 thereon. The rail 57 moves the storage table 56 between the retracted position (see the dotted line in FIG. 3) and the transfer processing position. The storage table 56 is moved by a drive unit (not shown). The operator moves the storage platform 56 to the retracted position, and then adds a new workpiece 37 to the workpiece storage member 60.

供給制御部５５は、不図示のＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等を備えており、ワーク供給装置４０の全体を制御する。供給制御部５５は、採取部４２及び移動部５４に信号を出力する。供給制御部５５は、供給部４１を制御する。この制御によって、供給部４１は、採取用載置部６３で採取可能なワーク３７がなくなるタイミングにおいて貯蔵部６２から複数のワーク３７を採取し、採取したワーク３７を採取用載置部６３に載置する。また、供給部４１は、所定のタイミングにおいて採取用載置部６３に載置された１以上のワーク３７を採取し、採取したワーク３７を貯蔵部６２に送る。 The supply control unit 55 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown), and controls the entire work supply device 40. The supply control unit 55 outputs signals to the sampling unit 42 and the moving unit 54. The supply control unit 55 controls the supply unit 41. By this control, the supply unit 41 collects a plurality of workpieces 37 from the storage unit 62 at a timing when the workpieces 37 that can be collected by the sampling placement unit 63 disappear, and places the collected workpieces 37 on the sampling placement unit 63. Put. The supply unit 41 collects one or more workpieces 37 placed on the collection placement unit 63 at a predetermined timing, and sends the collected workpieces 37 to the storage unit 62.

ワーク収容部材６０は、ワーク３７を貯蔵する部材であり、作業用載置部３６にワーク３７を移動載置するワーク移載装置２０に用いられるものである。ワーク収容部材６０は、上方が開放された箱体であり、傾斜部６１、貯蔵部６２、採取用載置部６３、及び筐体６４を備えている。傾斜部６１は、筐体６４内でワーク３７が滑り落ちることが可能な内面を有しており、ワーク収容部材６０に一つ形成されている。傾斜部６１の内面は、採取用載置部６３から落下したワーク３７を貯蔵部６２へ導く斜面である。傾斜部６１は、採取用載置部６３の真下に配設されている。貯蔵部６２は、傾斜部６１の下部に設けられている。貯蔵部６２は、多数のワーク３７を貯蔵する部分であり、上方から見て採取用載置部６３に隣り合うように、筐体６４の下方に形成されている。採取用載置部６３は、傾斜部６１の上部に配設され、貯蔵部６２から移載されたワーク３７を載置する部材である。採取用載置部６３は、矩形板状体であり、筐体６４の側面側から円柱状の支持部材６８で支持されている。尚、ワーク収容部材６０では、筐体６４の前後方向には支持部材６８がない。筐体６４は、ワーク収容部材６０の外壁を構成するものであり、傾斜部６１、貯蔵部６２、及び採取用載置部６３が形成されている。筐体６４の上部には、採取用載置部６３の周囲において、採取用載置部６３と貯蔵部６２との間をワーク３７が移動可能な移動用空間が形成されている。採取用載置部６３の上方には、ワーク移載装置２０でワーク３７を採取作業可能な採取用空間が形成されている。 The workpiece accommodating member 60 is a member that stores the workpiece 37 and is used in the workpiece transfer device 20 that moves and places the workpiece 37 on the work placement portion 36. The workpiece housing member 60 is a box body that is open at the top, and includes an inclined portion 61, a storage portion 62, a sampling placement portion 63, and a housing 64. The inclined portion 61 has an inner surface on which the work 37 can slide down in the housing 64, and is formed on the work accommodating member 60. The inner surface of the inclined portion 61 is an inclined surface that guides the work 37 dropped from the collection placing portion 63 to the storage portion 62. The inclined portion 61 is disposed directly below the collection placement portion 63. The storage unit 62 is provided below the inclined unit 61. The storage unit 62 is a part that stores a large number of workpieces 37 and is formed below the housing 64 so as to be adjacent to the collection mounting unit 63 as viewed from above. The collection mounting unit 63 is a member that is disposed on the upper portion of the inclined unit 61 and mounts the work 37 transferred from the storage unit 62. The collection mounting unit 63 is a rectangular plate-like body, and is supported by a columnar support member 68 from the side surface side of the housing 64. In the work accommodating member 60, there is no support member 68 in the front-rear direction of the housing 64. The housing 64 constitutes the outer wall of the workpiece housing member 60, and is formed with an inclined portion 61, a storage portion 62, and a collection placement portion 63. In the upper part of the housing 64, a movement space in which the workpiece 37 can move between the collection placement unit 63 and the storage unit 62 is formed around the collection placement unit 63. A sampling space in which the workpiece 37 can be sampled by the workpiece transfer device 20 is formed above the sampling mounting unit 63.

（２−２）採取部２２の位置補正
次に、ワーク移載システム１０で行われる採取部２２の位置補正を図４を用いて説明する。図４では、採取部２２、撮像部２５、作業用載置部３６、及びジグ３００が簡略化して描かれている。図４に表された採取部２２の位置補正は、作業用載置部３６の平面上でジグ３００を使用して行われるものであり、図２のフローチャートに基づきシステム制御部１２（のＣＰＵ）によって実行される。尚、作業用載置部３６の平面は、Ｘ軸及びＹ軸に平行な平面である。よって、図４に表された採取部２２の位置補正は、Ｘ軸及びＹ軸で定められる直交座標系を用いて行われる。 (2-2) Position Correction of the Collection Unit 22 Next, the position correction of the collection unit 22 performed in the workpiece transfer system 10 will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the collection unit 22, the imaging unit 25, the work placement unit 36, and the jig 300 are drawn in a simplified manner. The position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 is performed using the jig 300 on the plane of the work placement unit 36, and the system control unit 12 (CPU) is based on the flowchart of FIG. Executed by. In addition, the plane of the work placement unit 36 is a plane parallel to the X axis and the Y axis. Therefore, the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 is performed using an orthogonal coordinate system defined by the X axis and the Y axis.

先ず、作業者によって、不図示のマトリックス基板が搬送部３４（のコンベアベルト１１）上に載置される。その後、システム制御部１２は、ワーク３７を移載するときの作業用載置部３６と同様にして、不図示のマトリックス基板を搬送部３４で固定する。システム制御部１２は、そのような状態にある不図示のマトリックス基板を使用して、撮像部２５の位置補正を行う（図２のステップＳ１０）。従って、撮像部２５は、図１のカメラ２００に相当するものである。撮像部２５の位置補正に関するデータは、システム制御部１２のＲＡＭ等に記憶される。撮像部２５の位置補正が終了すると、不図示のマトリックス基板は、作業者によって搬送部３４から取り除かれる。 First, a matrix substrate (not shown) is placed on the transport unit 34 (the conveyor belt 11) by an operator. Thereafter, the system control unit 12 fixes the matrix substrate (not shown) by the transport unit 34 in the same manner as the work mounting unit 36 when the workpiece 37 is transferred. The system control unit 12 corrects the position of the imaging unit 25 using a matrix substrate (not shown) in such a state (step S10 in FIG. 2). Therefore, the imaging unit 25 corresponds to the camera 200 of FIG. Data relating to position correction of the imaging unit 25 is stored in the RAM or the like of the system control unit 12. When the position correction of the imaging unit 25 is completed, the matrix substrate (not shown) is removed from the transport unit 34 by the operator.

その後、システム制御部１２は、ワーク３７を移載するときと同様にして、搬送部３４で作業用載置部３６を固定する。更に、システム制御部１２は、ジグ３００を採取部２２に採取させる。尚、ジグ３００は、作業用載置部３６に載置可能な形状（例えば、円柱状等）を有している。更に、ジグ３００の部分のうち、採取部２２に採取される部分及び作業用載置部３６に載置される部分は、磁性体で形成されている。これによって、採取部２２ではジグ３００の採取状態が安定し、作業用載置部３６ではジグ３００の載置状態が安定する。 Thereafter, the system control unit 12 fixes the work placement unit 36 by the transport unit 34 in the same manner as when the workpiece 37 is transferred. Further, the system control unit 12 causes the collecting unit 22 to collect the jig 300. The jig 300 has a shape (for example, a columnar shape) that can be placed on the work placement portion 36. Further, of the jig 300, a portion collected by the collection unit 22 and a portion placed on the work placement unit 36 are formed of a magnetic material. As a result, the sampling state of the jig 300 is stabilized in the sampling unit 22, and the mounting state of the jig 300 is stabilized in the work mounting unit 36.

次に、システム制御部１２は、採取部２２が作業用載置部３６の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御する。これによって、採取部２２に採取されたジグ３００は、図４（ａ）に表されたように、システム制御部１２の制御によって実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）に存在する。その後、システム制御部１２は、採取部２２に採取させたジグ３００を、図４（ｂ）に表されたように、システム制御部１２の制御によって実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）から作業用載置部３６に載置させる（図２のステップＳ１２）。従って、採取部２２は、図１の保持具２０２に相当するものである。 Next, the system control unit 12 controls the sampling unit 22 to move to the first predetermined position P1 of the work placement unit 36. As a result, as shown in FIG. 4A, the jig 300 collected by the collection unit 22 is actually moved by the control of the system control unit 12 (on the position corresponding to the first predetermined position P1). Exists. Thereafter, the system control unit 12 moves the jig 300 collected by the collection unit 22 to the position (first predetermined position P1) where the jig 300 is actually moved by the control of the system control unit 12 as shown in FIG. 4B. From the corresponding position), it is placed on the work placement unit 36 (step S12 in FIG. 2). Therefore, the collection unit 22 corresponds to the holder 202 of FIG.

その後、システム制御部１２は、撮像部２５が作業用載置部３６の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御する。この制御によって、システム制御部１２は、図４（ｃ）に表されたように、ジグ３００を撮像部２５の撮像視野３０２内に含ませる。更に、システム制御部１２は、撮像部２５でジグ３００を撮像し、その撮像データを使用した画像処理によってジグ３００の位置を認識する。但し、ジグ３００の位置は、採取部２２の位置として認識される（図２のステップＳ１４）。 Thereafter, the system control unit 12 controls the imaging unit 25 to move to the first predetermined position P1 of the work placement unit 36. By this control, the system control unit 12 includes the jig 300 in the imaging field of view 302 of the imaging unit 25 as shown in FIG. Furthermore, the system control unit 12 images the jig 300 with the imaging unit 25 and recognizes the position of the jig 300 by image processing using the captured image data. However, the position of the jig 300 is recognized as the position of the sampling unit 22 (step S14 in FIG. 2).

その後、システム制御部１２は、そのようにして認識した採取部２２の位置と第１所定位置Ｐ１との位置ずれを算出し、その位置ずれに基づいて採取部２２の位置補正を行う（図２のステップＳ１６）。採取部２２の位置補正に関するデータは、システム制御部１２のＲＡＭ等に記憶される。ここで、採取部２２の位置は、撮像部２５の撮像データを使用して認識されることから、撮像部２５の撮像位置（つまり、第１所定位置Ｐ１に相当する位置であって、不図示のマトリックス基板を使用して位置補正がなされたもの）を基準にして補正される。 Thereafter, the system control unit 12 calculates a positional deviation between the position of the sampling unit 22 recognized as described above and the first predetermined position P1, and corrects the position of the sampling unit 22 based on the positional deviation (FIG. 2). Step S16). Data relating to the position correction of the collection unit 22 is stored in the RAM or the like of the system control unit 12. Here, since the position of the collection unit 22 is recognized using the imaging data of the imaging unit 25, it is an imaging position of the imaging unit 25 (that is, a position corresponding to the first predetermined position P1, which is not illustrated). The correction is performed on the basis of the position correction using the matrix substrate.

その後、システム制御部１２は、採取部２２の位置補正を第１所定位置Ｐ１以外の所望位置で行う場合には（図２のステップＳ１８：ＹＥＳ）、第１所定位置Ｐ１に相当する位置で作業用載置部３６に載置されているジグ３００を、作業用載置部３６の所望位置の上まで移動させる。そのために、システム制御部１２は、図４（ｄ）に表されたように、採取部２２が作業用載置部３６の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御する。更に、システム制御部１２は、ジグ３００を採取部２２に採取させる。 Thereafter, when the position correction of the sampling unit 22 is performed at a desired position other than the first predetermined position P1 (step S18 in FIG. 2: YES), the system control unit 12 operates at a position corresponding to the first predetermined position P1. The jig 300 placed on the work placement unit 36 is moved to a desired position on the work placement unit 36. Therefore, the system control unit 12 controls the sampling unit 22 to move to the first predetermined position P1 of the work placement unit 36 as illustrated in FIG. Further, the system control unit 12 causes the collecting unit 22 to collect the jig 300.

そして、システム制御部１２は、例えば、図４（ｅ）に表されたように、採取部２２の位置補正を第１所定位置Ｐ１以外の第２所定位置Ｐ２で行う場合には（図２のステップＳ１８：ＹＥＳ）、採取部２２が作業用載置部３６の第２所定位置Ｐ２上まで移動するように制御する。これによって、採取部２２に採取させたジグ３００は、システム制御部１２の制御によって実際に移動した位置（第２所定位置Ｐ２に相当する位置上）に存在する。 Then, for example, as shown in FIG. 4E, the system control unit 12 performs the position correction of the sampling unit 22 at the second predetermined position P2 other than the first predetermined position P1 (FIG. 2). Step S18: YES), the collection unit 22 is controlled to move to the second predetermined position P2 of the work placement unit 36. As a result, the jig 300 collected by the collection unit 22 is present at the position actually moved by the control of the system control unit 12 (on the position corresponding to the second predetermined position P2).

以後、システム制御部１２は、作業用載置部３６の第２所定位置Ｐ２について、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に表された各動作を行うことによって、採取部２２の位置補正を行う。但し、システム制御部１２は、採取部２２の位置補正を行う所望位置が無くなった場合には（図２のステップＳ１８：ＮＯ）、図４に表された採取部２２の位置補正を終了する。 Thereafter, the system controller 12 corrects the position of the sampling unit 22 by performing the operations shown in FIGS. 4B and 4C for the second predetermined position P2 of the work placement unit 36. I do. However, the system control unit 12 ends the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 when there is no desired position for correcting the position of the sampling unit 22 (step S18 in FIG. 2: NO).

尚、図４に表された採取部２２の位置補正において、撮像部２５が作業用載置部３６の第１所定位置Ｐ１上まで移動することによって、採取部２２が作業用載置部３６の第２所定位置Ｐ２上まで移動する場合には、以下のようにして、図４に表された採取部２２の位置補正が続行されてもよい。 In the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4, when the imaging unit 25 moves to the first predetermined position P <b> 1 of the work placement unit 36, the collection unit 22 has the work placement unit 36. When moving to the second predetermined position P2, the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 may be continued as follows.

すなわち、システム制御部１２は、第１所定位置Ｐ１に相当する位置で作業用載置部３６に載置されているジグ３００を撮像部２５で撮像する以前において、そのジグ３００と同一の形状・材質で別個のジグを採取部２２に採取させる。その採取されたジグは、第１所定位置Ｐ１に相当する位置で作業用載置部３６に載置されているジグ３００が撮像部２５で撮像されるときに（図２のステップＳ１４）、システム制御部１２の制御によって実際に移動した位置（第２所定位置Ｐ２に相当する位置上）から作業用載置部３６に載置される（図２のステップＳ１２）。 That is, the system control unit 12 has the same shape and shape as the jig 300 before the imaging unit 25 images the jig 300 placed on the work placement unit 36 at a position corresponding to the first predetermined position P1. The collecting part 22 is made to collect separate jigs of the material. The collected jig is used when the imaging unit 25 images the jig 300 placed on the work placement unit 36 at a position corresponding to the first predetermined position P1 (step S14 in FIG. 2). From the position actually moved by the control of the control unit 12 (on the position corresponding to the second predetermined position P2), it is placed on the work placement unit 36 (step S12 in FIG. 2).

このようにして、図４に表された採取部２２の位置補正は、作業用載置部３６の第１所定位置Ｐ１及び第２所定位置Ｐ２等について行われているが、第１所定位置Ｐ１及び第２所定位置Ｐ２等のうち、いずれかの一箇所のみについて行われてもよい。また、図４に表された採取部２２の位置補正は、作業用載置部３６上にジグ３００を載置して行われているが、採取用載置部６３上にジグ３００を載置して行われてもよい。そのような場合には、採取用載置部６３に不図示のマトリックス基板を固定して、撮像部２５の位置補正を行ってもよい。また、図４に表された採取部２２の位置補正は、システム制御部１２で実行されているが、システム制御部１２の指令を受けた移載制御部３５で実行されてもよい。 In this manner, the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 is performed for the first predetermined position P1, the second predetermined position P2, and the like of the work placement unit 36, but the first predetermined position P1. And only one of the second predetermined position P2 and the like may be performed. Further, the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 is performed by mounting the jig 300 on the work mounting unit 36, but the jig 300 is mounted on the sampling mounting unit 63. May be performed. In such a case, the position correction of the imaging unit 25 may be performed by fixing a matrix substrate (not shown) to the collection mounting unit 63. Further, although the position correction of the sampling unit 22 shown in FIG. 4 is executed by the system control unit 12, it may be executed by the transfer control unit 35 that receives a command from the system control unit 12.

ちなみに、第１実施形態において、ワーク移載システム１０は、作業機の一例である。システム制御部１２は、制御部の一例である。移載部２１は、移動ヘッドの一例である。採取部２２は、保持具の一例である。撮像部２５は、カメラの一例である。ワーク３７は、移動対象物の一例である。ジグ３００（の載置）は、マークの一例である。第１所定位置Ｐ１は、所定位置の一例である。第２所定位置Ｐ２は、所定位置の一例である。 Incidentally, in the first embodiment, the workpiece transfer system 10 is an example of a work machine. The system control unit 12 is an example of a control unit. The transfer unit 21 is an example of a moving head. The collection unit 22 is an example of a holder. The imaging unit 25 is an example of a camera. The work 37 is an example of a moving object. The jig 300 (placement) is an example of a mark. The first predetermined position P1 is an example of a predetermined position. The second predetermined position P2 is an example of a predetermined position.

（３）第２実施形態
図５は、ノズル管理装置８０の斜視図である。第２実施形態では、本開示をノズル管理装置８０で実施する。尚、ノズル管理装置８０における、左右方向（Ｘ軸)、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図５に示した通りとして以下説明する。 (3) Second Embodiment FIG. 5 is a perspective view of the nozzle management device 80. In the second embodiment, the present disclosure is implemented by the nozzle management device 80. The left and right direction (X axis), the front and rear direction (Y axis), and the up and down direction (Z axis) in the nozzle management device 80 will be described below as shown in FIG.

（３−１）ノズル管理装置８０の構成
図５に表されたように、ノズル管理装置８０は、電子部品装着装置で使用された吸着ノズル１６０に対して、洗浄、乾燥、及び検査等を行うものである。ノズル管理装置８０は、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル洗浄装置９６、ノズル検査装置９８、及びコントローラ１７０を備えている。コントローラ１７０は、不図示のＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等を備えており、ノズル管理装置８０の全体を制御する。尚、図５は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。 (3-1) Configuration of Nozzle Management Device 80 As shown in FIG. 5, the nozzle management device 80 performs cleaning, drying, inspection, and the like on the suction nozzle 160 used in the electronic component mounting device. Is. The nozzle management device 80 includes a management device main body 90, a pallet storage device 92, a nozzle transfer device 94, a nozzle cleaning device 96, a nozzle inspection device 98, and a controller 170. The controller 170 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown), and controls the entire nozzle management device 80. FIG. 5 is a perspective view showing a state where the outer shell member of the nozzle management device 80 is removed, and shows the internal structure of the nozzle management device 80.

管理装置本体９０は、フレーム部１００と、そのフレーム部１００に上架されたビーム部１０２とによって構成されている。フレーム部１００は、中空構造とされており、フレーム部１００内にパレット収容装置９２が配設されている。パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１００の上面に露出している。 The management apparatus main body 90 includes a frame unit 100 and a beam unit 102 that is overlaid on the frame unit 100. The frame part 100 has a hollow structure, and a pallet accommodating device 92 is disposed in the frame part 100. The upper end portion of the pallet accommodating device 92 is exposed on the upper surface of the frame portion 100.

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６、及び支持アーム１０８を備えている。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚である。複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１００の内部において、上下方向に並んで配設されている。尚、ノズルパレット１１０には、複数の載置穴１１２が形成されている。各載置穴１１２には、吸着ノズル１６０が収容される。 The pallet storage device 92 includes a plurality of pallet placement shelves 106 and a support arm 108. The pallet mounting shelf 106 is a shelf for mounting the nozzle pallet 110. A plurality of pallet placement shelves 106 are arranged in the vertical direction inside the frame unit 100. A plurality of mounting holes 112 are formed in the nozzle pallet 110. A suction nozzle 160 is accommodated in each placement hole 112.

支持アーム１０８は、不図示のアーム移動装置の作動によって、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これによって、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。尚、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１００の上面側に移動する。 The support arm 108 moves in the vertical direction in front of the plurality of pallet placement shelves 106 and moves toward and away from the pallet placement shelves 106 by the operation of an arm moving device (not shown). As a result, the support arm 108 performs the storage of the nozzle pallet 110 on the pallet mounting shelf 106 and the removal of the nozzle pallet 110 from the pallet mounting shelf 106. The nozzle pallet 110 taken out from the pallet mounting shelf 106 moves to the upper surface side of the frame portion 100 when the support arm 108 moves upward.

ノズル移載装置９４は、吸着ノズル１６０を移載するための装置であり、ビーム部１０２に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０及びヘッド移動装置１２２を備えている。移載ヘッド１２０の下端面には、カメラ１２６及び保持チャック１２８が取り付けられている。カメラ１２６は、下方を向いた状態にある。保持チャック１２８は、吸着ノズル１６０を保持するためのものである。 The nozzle transfer device 94 is a device for transferring the suction nozzle 160 and is disposed in the beam unit 102. The nozzle transfer device 94 includes a transfer head 120 and a head moving device 122. A camera 126 and a holding chuck 128 are attached to the lower end surface of the transfer head 120. The camera 126 is facing downward. The holding chuck 128 is for holding the suction nozzle 160.

ヘッド移動装置１２２は、ビーム部１０２に吊り下げられており、移載ヘッド１２０をフレーム部１００の上において左右方向、前後方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。尚、フレーム部１００の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３０が設けられている。固定ステージ１３０にセットされた不図示のノズルトレイと、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル１６０が移載される。 The head moving device 122 is suspended from the beam unit 102 and is an XYZ type moving device that moves the transfer head 120 in the left-right direction, the front-rear direction, and the up-down direction on the frame unit 100. A fixed stage 130 for setting the nozzle tray 76 is provided on the upper surface on the front side of the frame portion 100. The suction nozzle 160 is transferred between a nozzle tray (not shown) set on the fixed stage 130 and the nozzle pallet 110 supported by the support arm 108 of the pallet accommodating device 92.

ノズル洗浄装置９６は、吸着ノズル１６０の洗浄と乾燥とを行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９６は、洗浄・乾燥機構１３２及び洗浄パレット移動機構１３４を備えている。洗浄・乾燥機構１３２は、その内部において、吸着ノズル１６０の洗浄と乾燥とを行う機構である。洗浄パレット移動機構１３４は、洗浄パレット１３６が露出する露出位置（図５で洗浄パレット１３６が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１３２の内部との間で、洗浄パレット１３６を移動させる機構である。 The nozzle cleaning device 96 is a device for cleaning and drying the suction nozzle 160, and is disposed next to the pallet storage device 92. The nozzle cleaning device 96 includes a cleaning / drying mechanism 132 and a cleaning pallet moving mechanism 134. The cleaning / drying mechanism 132 is a mechanism for cleaning and drying the suction nozzle 160 therein. The cleaning pallet moving mechanism 134 moves the cleaning pallet 136 between an exposure position where the cleaning pallet 136 is exposed (a position where the cleaning pallet 136 is illustrated in FIG. 5) and the inside of the cleaning / drying mechanism 132. It is.

ノズル洗浄装置９６によって、吸着ノズル１６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル１６０が、ノズル移載装置９４によって、不図示のノズルトレイ（固定ステージ１３０にセットされたもの）又はノズルパレット１１０から、洗浄パレット１３６に移載される。洗浄パレット１３６が、洗浄パレット移動機構１３４の作動によって、洗浄・乾燥機構１３２の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１３２の内部において、吸着ノズル１６０の洗浄と乾燥とが行われる。吸着ノズル１６０の洗浄と乾燥とが完了すると、洗浄パレット１３６が、洗浄パレット移動機構１３４の作動によって、露出位置に移動され、洗浄パレット１３６から、不図示のノズルトレイ（固定ステージ１３０にセットされたもの）又はノズルパレット１１０に戻される。 When the suction nozzle 160 is cleaned by the nozzle cleaning device 96, the suction nozzle 160 to be cleaned is moved to a nozzle tray (not shown) or a nozzle (not shown) or nozzle by the nozzle transfer device 94. The pallet 110 is transferred to the cleaning pallet 136. The cleaning pallet 136 is moved into the cleaning / drying mechanism 132 by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 134, and the suction nozzle 160 is cleaned and dried in the cleaning / drying mechanism 132. When the cleaning and drying of the suction nozzle 160 are completed, the cleaning pallet 136 is moved to the exposure position by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 134, and the nozzle tray (not shown) (set on the fixed stage 130) is moved from the cleaning pallet 136. 1) or the nozzle pallet 110.

ノズル検査装置９８は、ノズル洗浄装置９６によって洗浄された吸着ノズル１６０を検査する装置であり、ロードセル１４２、エア供給装置１４４、及びカメラ１４６を備えている。 The nozzle inspection device 98 is a device that inspects the suction nozzle 160 cleaned by the nozzle cleaning device 96, and includes a load cell 142, an air supply device 144, and a camera 146.

ロードセル１４２は、洗浄パレット移動機構１３４の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル１６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル１６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル１６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル１６０の先端部は、伸縮可能とされている。ロードセル１４２で測定された荷重に基づいて、吸着ノズル１６０の先端部の伸縮状態が検査される。 The load cell 142 is disposed next to the cleaning pallet moving mechanism 134, and the load cell 142 is used to inspect the extension / contraction state of the tip of the suction nozzle 160. Specifically, the suction nozzle 160 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the tip of the suction nozzle 160 held by the holding chuck 128 is brought into contact with the load cell 142. The tip of the suction nozzle 160 can be expanded and contracted. Based on the load measured by the load cell 142, the expansion / contraction state of the tip of the suction nozzle 160 is inspected.

エア供給装置１４４は、ノズル移載装置９４の移載ヘッド１２０に装着されている。エア供給装置１４４を用いて、吸着ノズル１６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置１４４が、ヘッド移動装置１２２の作動によって、不図示のノズルトレイ（固定ステージ１３０にセットされたもの）、ノズルパレット１１０、又は洗浄パレット１３６の何れかに載置された吸着ノズル１６０の上方に移動する。その後、エア供給装置１４４が、検査対象の吸着ノズル１６０に接続され、エア供給装置１４４からエアが供給される。この際に、エア流量が測定されることによって、吸着ノズル１６０のエア流量検査が行われる。 The air supply device 144 is attached to the transfer head 120 of the nozzle transfer device 94. An air flow rate inspection of the suction nozzle 160 is performed using the air supply device 144. Specifically, the air supply device 144 is sucked by being mounted on any one of the nozzle tray (not shown), the nozzle pallet 110, or the cleaning pallet 136 by the operation of the head moving device 122. It moves above the nozzle 160. Thereafter, the air supply device 144 is connected to the suction nozzle 160 to be inspected, and air is supplied from the air supply device 144. At this time, the air flow rate of the suction nozzle 160 is inspected by measuring the air flow rate.

カメラ１４６は、上方を向いた状態でロードセル１４２の隣に配設されている。カメラ１４６を用いて、吸着ノズル１６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル１６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル１６０が、カメラ１４６の上方に移動される。吸着ノズル１６０は、その下方から、カメラ１４６で撮像される。これによって、吸着ノズル１６０の先端の撮像データが得られる。 The camera 146 is disposed next to the load cell 142 with the camera 146 facing upward. Using the camera 146, the tip of the suction nozzle 160 is inspected. Specifically, the suction nozzle 160 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the suction nozzle 160 held by the holding chuck 128 is moved above the camera 146. The suction nozzle 160 is imaged by the camera 146 from below. Thereby, imaging data of the tip of the suction nozzle 160 is obtained.

尚、ノズル管理装置８０のフレーム部１００の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されている。検査で不良ノズルと判定された吸着ノズル１６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、検査で正常なノズルと判定された吸着ノズル１６０は、不図示のノズルトレイ（固定ステージ１３０にセットされたもの）又はノズルパレット１１０に戻される。 A plurality of disposal boxes 148 are disposed on the upper surface of the frame unit 100 of the nozzle management device 80. The suction nozzle 160 determined as a defective nozzle in the inspection is discarded in the disposal box 148. Further, the suction nozzle 160 determined as a normal nozzle in the inspection is returned to a nozzle tray (not shown) (set on the fixed stage 130) or the nozzle pallet 110.

（３−２）保持チャック１２８の位置補正
次に、ノズル管理装置８０で行われる保持チャック１２８の位置補正を図６を用いて説明する。図６では、カメラ１２６、保持チャック１２８、洗浄・乾燥機構１３２、スタンパー３０４、及び印影３０６が簡略化して描かれている。図６に表された保持チャック１２８の位置補正は、洗浄・乾燥機構１３２の平面上でスタンパー３０４を使用して行われるものであり、図２のフローチャートに基づきコントローラ１７０（のＣＰＵ）によって実行される。尚、洗浄・乾燥機構１３２の平面は、Ｘ軸及びＹ軸に平行な平面である。よって、図６に表された保持チャック１２８の位置補正は、Ｘ軸及びＹ軸で定められる直交座標系を用いて行われる。 (3-2) Position Correction of Holding Chuck 128 Next, the position correction of the holding chuck 128 performed by the nozzle management device 80 will be described with reference to FIG. In FIG. 6, the camera 126, the holding chuck 128, the cleaning / drying mechanism 132, the stamper 304, and the imprint 306 are illustrated in a simplified manner. The position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6 is performed using the stamper 304 on the plane of the cleaning / drying mechanism 132, and is executed by the controller 170 (CPU) based on the flowchart of FIG. The The plane of the cleaning / drying mechanism 132 is a plane parallel to the X axis and the Y axis. Therefore, the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6 is performed using an orthogonal coordinate system defined by the X axis and the Y axis.

先ず、作業者によって、不図示のマトリックス基板が洗浄・乾燥機構１３２の平面上に固定される。コントローラ１７０は、そのような状態にある不図示のマトリックス基板を使用して、カメラ１２６の位置補正を行う（図２のステップＳ１０）。カメラ１２６の位置補正に関するデータは、コントローラ１７０のＲＡＭ等に記憶される。カメラ１２６の位置補正が終了すると、不図示のマトリックス基板は、作業者によって洗浄・乾燥機構１３２から取り除かれる。尚、カメラ１２６の位置補正は、図６に表された保持チャック１２８の位置補正とは関連することなく、予め行われていてもよい。 First, a matrix substrate (not shown) is fixed on the plane of the cleaning / drying mechanism 132 by an operator. The controller 170 corrects the position of the camera 126 using a matrix substrate (not shown) in such a state (step S10 in FIG. 2). Data relating to the position correction of the camera 126 is stored in the RAM of the controller 170 or the like. When the position correction of the camera 126 is completed, the matrix substrate (not shown) is removed from the cleaning / drying mechanism 132 by the operator. The position correction of the camera 126 may be performed in advance without being related to the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG.

その後、コントローラ１７０は、保持チャック１２８にスタンパー３０４を保持させる。尚、スタンパー３０４は、所謂インキ浸透印であって、印面がスポンジ状の多孔質ゴム等でできており、内部にインキを染込ませることによって朱肉やスタンプ台なしで押印を可能にしたものである。 Thereafter, the controller 170 causes the holding chuck 128 to hold the stamper 304. The stamper 304 is a so-called ink penetrating stamp, and the stamp surface is made of sponge-like porous rubber or the like, and the stamper 304 is imprinted with ink so that it can be stamped without vermilion or a stamp stand. is there.

次に、コントローラ１７０は、保持チャック１２８が洗浄・乾燥機構１３２の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御する。これによって、保持チャック１２８に保持されたスタンパー３０４は、図６（ａ）に表されたように、コントローラ１７０の制御によって実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）に存在する。その後、コントローラ１７０は、保持チャック１２８に保持させたスタンパー３０４を、図６（ｂ）に表されたように、コントローラ１７０の制御によって実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）から洗浄・乾燥機構１３２に当接させる。更に、コントローラ１７０は、保持チャック１２８に保持させたスタンパー３０４を、図６（ｃ）に表されたように、洗浄・乾燥機構１３２から離間させる。これによって、スタンパー３０４の印影３０６が、コントローラ１７０の制御によってスタンパー３０４が実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）において、洗浄・乾燥機構１３２に形成される（図２のステップＳ１２）。従って、保持チャック１２８は、図１の保持具２０２に相当するものである。 Next, the controller 170 controls the holding chuck 128 to move to a position above the first predetermined position P1 of the cleaning / drying mechanism 132. As a result, the stamper 304 held by the holding chuck 128 is present at a position actually moved by the control of the controller 170 (on a position corresponding to the first predetermined position P1) as shown in FIG. To do. Thereafter, the controller 170 moves the stamper 304 held by the holding chuck 128 to the position where the stamper 304 is actually moved under the control of the controller 170 as shown in FIG. 6B (on the position corresponding to the first predetermined position P1). To the cleaning / drying mechanism 132. Further, the controller 170 separates the stamper 304 held by the holding chuck 128 from the cleaning / drying mechanism 132 as shown in FIG. As a result, an imprint 306 of the stamper 304 is formed in the cleaning / drying mechanism 132 at a position where the stamper 304 has actually moved under the control of the controller 170 (on the position corresponding to the first predetermined position P1) (FIG. 2). Step S12). Therefore, the holding chuck 128 corresponds to the holding tool 202 of FIG.

その後、コントローラ１７０は、図６（ｄ）に表されたように、カメラ１２６が洗浄・乾燥機構１３２の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御する。更に、コントローラ１７０は、図６（ｅ）に表されたように、印影３０６をカメラ１２６のカメラ視野３０８内に含ませる。更に、コントローラ１７０は、カメラ１２６で印影３０６を撮像し、その撮像データを使用した画像処理によって印影３０６の位置を認識する。但し、印影３０６の位置は、保持チャック１２８の位置として認識される（図２のステップＳ１４）。 Thereafter, as shown in FIG. 6D, the controller 170 controls the camera 126 to move to the first predetermined position P1 of the cleaning / drying mechanism 132. Further, the controller 170 includes the imprint 306 in the camera field of view 308 of the camera 126 as shown in FIG. Further, the controller 170 captures the imprint 306 with the camera 126 and recognizes the position of the imprint 306 by image processing using the captured data. However, the position of the imprint 306 is recognized as the position of the holding chuck 128 (step S14 in FIG. 2).

その後、コントローラ１７０は、そのようにして認識した保持チャック１２８の位置と第１所定位置Ｐ１との位置ずれを算出し、その位置ずれに基づいて保持チャック１２８の位置補正を行う（図２のステップＳ１６）。保持チャック１２８の位置補正に関するデータは、コントローラ１７０のＲＡＭ等に記憶される。ここで、保持チャック１２８の位置は、カメラ１２６の撮像データを使用して認識されることから、カメラ１２６の撮像位置（つまり、第１所定位置Ｐ１に相当する位置であって、不図示のマトリックス基板を使用して位置補正がなされたもの）を基準にして補正される。 Thereafter, the controller 170 calculates a positional deviation between the position of the holding chuck 128 recognized in this way and the first predetermined position P1, and corrects the position of the holding chuck 128 based on the positional deviation (step of FIG. 2). S16). Data relating to the position correction of the holding chuck 128 is stored in the RAM of the controller 170 or the like. Here, since the position of the holding chuck 128 is recognized using the imaging data of the camera 126, it is an imaging position of the camera 126 (that is, a position corresponding to the first predetermined position P1, a matrix not shown). Correction is performed with reference to a substrate whose position has been corrected.

その後、コントローラ１７０は、保持チャック１２８の位置補正を第１所定位置Ｐ１以外の所望位置で行う場合には（図２のステップＳ１８：ＹＥＳ）、保持チャック１２８を洗浄・乾燥機構１３２の所望位置の上まで移動させる。但し、図６（ｄ）に表されたように、カメラ１２６が洗浄・乾燥機構１３２の第１所定位置Ｐ１上まで移動するように制御されることによって、保持チャック１２８が洗浄・乾燥機構１３２の所望位置である第２所定位置Ｐ２上まで移動する場合には、以下のようにして、図６に表された保持チャック１２８の位置補正が続行される。 Thereafter, the controller 170 corrects the position of the holding chuck 128 at a desired position other than the first predetermined position P1 (step S18 in FIG. 2: YES), the controller 170 moves the holding chuck 128 to the desired position of the cleaning / drying mechanism 132. Move to the top. However, as shown in FIG. 6D, the holding chuck 128 of the cleaning / drying mechanism 132 is controlled by controlling the camera 126 to move to the first predetermined position P <b> 1 of the cleaning / drying mechanism 132. When moving to the second predetermined position P2, which is the desired position, the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6 is continued as follows.

すなわち、コントローラ１７０は、図６（ｅ）に表されたように、スタンパー３０４が実際に移動した位置（第１所定位置Ｐ１に相当する位置上）に形成された洗浄・乾燥機構１３２の印影３０６をカメラ１２６で撮像する際において（図２のステップＳ１４）、保持チャック１２８に保持させたスタンパー３０４を、コントローラ１７０の制御によってスタンパー３０４が実際に移動した位置（第２所定位置Ｐ２に相当する位置上）から洗浄・乾燥機構１３２に当接させる（図２のステップＳ１２）。 That is, the controller 170, as shown in FIG. 6E, imprint 306 of the cleaning / drying mechanism 132 formed at the position where the stamper 304 actually moved (on the position corresponding to the first predetermined position P1). 2 (step S14 in FIG. 2), the stamper 304 held by the holding chuck 128 is actually moved by the control of the controller 170 (the position corresponding to the second predetermined position P2). From above, the cleaning / drying mechanism 132 is brought into contact (step S12 in FIG. 2).

以後、コントローラ１７０は、洗浄・乾燥機構１３２の第２所定位置Ｐ２について、図６（ｃ）乃至図６（ｅ）に表された各動作を行うことによって、保持チャック１２８の位置補正を行う。但し、コントローラ１７０は、保持チャック１２８の位置補正を行う所望位置が無くなった場合には（図２のステップＳ１８：ＮＯ）、図６に表された保持チャック１２８の位置補正を終了する。 Thereafter, the controller 170 corrects the position of the holding chuck 128 by performing the operations shown in FIGS. 6C to 6E with respect to the second predetermined position P2 of the cleaning / drying mechanism 132. However, when there is no desired position for correcting the position of the holding chuck 128 (step S18 in FIG. 2: NO), the controller 170 ends the correction of the position of the holding chuck 128 shown in FIG.

このようにして、図６に表された保持チャック１２８の位置補正は、洗浄・乾燥機構１３２の第１所定位置Ｐ１及び第２所定位置Ｐ２等について行われているが、第１所定位置Ｐ１及び第２所定位置Ｐ２等のうち、いずれかの一箇所のみについて行われてもよい。また、図６に表された保持チャック１２８の位置補正は、洗浄・乾燥機構１３２の平面上にスタンパー３０４の印影３０６を形成して行われているが、固定ステージ１３０の平面上にスタンパー３０４の印影３０６を形成して行われてもよい。そのような場合には、固定ステージ１３０の平面上に不図示のマトリックス基板を固定して、カメラ１２６の位置補正を行ってもよい。また、図６に表された保持チャック１２８の位置補正においては、スタンパー３０４を保持チャック１２８に保持させているが、スタンパー３０４を保持チャック１２８に予め装備させてもよい。 In this manner, the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6 is performed for the first predetermined position P1, the second predetermined position P2, etc. of the cleaning / drying mechanism 132, but the first predetermined position P1 and Only one of the second predetermined positions P2 may be performed. Further, the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6 is performed by forming an imprint 306 of the stamper 304 on the plane of the cleaning / drying mechanism 132, but the stamper 304 is corrected on the plane of the fixed stage 130. It may be performed by forming an imprint 306. In such a case, the position of the camera 126 may be corrected by fixing a matrix substrate (not shown) on the plane of the fixed stage 130. Further, in the position correction of the holding chuck 128 shown in FIG. 6, the stamper 304 is held by the holding chuck 128, but the stamper 304 may be mounted on the holding chuck 128 in advance.

ちなみに、第２実施形態において、ノズル管理装置８０は、作業機の一例である。移載ヘッド１２０は、移動ヘッドの一例である。保持チャック１２８は、保持具の一例である。吸着ノズル１６０は、移動対象物の一例である。コントローラ１７０は、制御部の一例である。印影３０６は、マークの一例である。第１所定位置Ｐ１は、所定位置の一例である。第２所定位置Ｐ２は、所定位置の一例である。 Incidentally, in the second embodiment, the nozzle management device 80 is an example of a work machine. The transfer head 120 is an example of a moving head. The holding chuck 128 is an example of a holding tool. The suction nozzle 160 is an example of a moving object. The controller 170 is an example of a control unit. The imprint 306 is an example of a mark. The first predetermined position P1 is an example of a predetermined position. The second predetermined position P2 is an example of a predetermined position.

（４）まとめ
以上詳細に説明した通り、第１実施形態のワーク移載システム１０では、採取部２２の位置を撮像部２５で認識して補正することを任意の所定位置で行うことが可能である。また、第２実施形態のノズル管理装置８０では、保持チャック１２８の位置をカメラ１２６で認識して補正することを任意の所定位置で行うことが可能である。 (4) Summary As described in detail above, in the workpiece transfer system 10 of the first embodiment, the position of the sampling unit 22 can be recognized and corrected by the imaging unit 25 at an arbitrary predetermined position. is there. In the nozzle management device 80 of the second embodiment, the position of the holding chuck 128 can be recognized and corrected by the camera 126 at an arbitrary predetermined position.

（５）変更例
尚、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、第１実施形態のワーク移載システム１０においては、図６に表された位置補正が採取部２２に対して行われてもよい。これに対して、第２実施形態のノズル管理装置８０においては、図４に表された位置補正が保持チャック１２８に対して行われてもよい。 (5) Modification Examples The present disclosure is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present disclosure.
For example, in the workpiece transfer system 10 of the first embodiment, the position correction shown in FIG. In contrast, in the nozzle management device 80 of the second embodiment, the position correction shown in FIG. 4 may be performed on the holding chuck 128.

１０ワーク移載システム
１２システム制御部
２１移載部
２２採取部
２５撮像部
３７ワーク
８０ノズル管理装置
１２０移載ヘッド
１２６カメラ
１２８保持チャック
１６０吸着ノズル
１７０コントローラ
２００カメラ
２０２保持具
３００ジグ
３０４スタンパー
３０６印影
Ｐ１第１所定位置
Ｐ２第２所定位置
Ｓ１０カメラ補正処理
Ｓ１２マーク処理
Ｓ１４認識処理
Ｓ１６保持具補正処理 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Work transfer system 12 System control part 21 Transfer part 22 Sampling part 25 Imaging part 37 Work 80 Nozzle management apparatus 120 Transfer head 126 Camera 128 Holding chuck 160 Adsorption nozzle 170 Controller 200 Camera 202 Holder 300 Jig 304 Stamper 306 Imprint P1 First predetermined position P2 Second predetermined position S10 Camera correction processing S12 Mark processing S14 Recognition processing S16 Holder correction processing

Claims

移動対象物が移動する作業機であって、
前記移動対象物の移動の際に、該移動対象物を保持する保持具と、
前記移動対象物を撮像するカメラと、
前記保持具及び前記カメラが固定された状態で移動する移動ヘッドと、
前記保持具と前記カメラと前記移動ヘッドとを駆動制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記保持具を所定位置まで移動させた際にマークを付けるマーク処理と、
前記マークを前記カメラで撮像することにより前記保持具の位置を認識する認識処理と、
前記認識処理で認識した前記保持具の位置と前記所定位置との誤差に基づいて前記保持具の位置を補正する保持具補正処理とを実行する作業機。 A work machine that moves a moving object,
A holder for holding the moving object when the moving object is moved;
A camera for imaging the moving object;
A moving head that moves in a state in which the holder and the camera are fixed;
A control unit that drives and controls the holder, the camera, and the moving head;
The controller is
Mark processing for marking when the holder is moved to a predetermined position;
A recognition process for recognizing the position of the holder by imaging the mark with the camera;
A work implement that performs a holder correction process for correcting the position of the holder based on an error between the position of the holder recognized by the recognition process and the predetermined position.

前記制御部は、
前記マーク処理及び前記認識処理を２回以上のときは前記所定位置を変えて実行する請求項１に記載の作業機。 The controller is
The work machine according to claim 1, wherein when the mark process and the recognition process are performed twice or more, the predetermined position is changed.

前記制御部は、
前記マーク処理及び前記認識処理を実行する前に、前記カメラの位置を補正するカメラ補正処理を実行する請求項１又は請求項２に記載の作業機。 The controller is
The work machine according to claim 1 or 2, wherein a camera correction process for correcting a position of the camera is executed before the mark process and the recognition process are executed.

前記制御部は、
前記保持具に保持されたジグの載置により、前記マーク処理を実行する請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の作業機。 The controller is
The work machine according to any one of claims 1 to 3, wherein the mark processing is executed by placing a jig held by the holding tool.

前記制御部は、
前記保持具に取り付けられたスタンパーの押印により、前記マーク処理を実行する請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の作業機。 The controller is
The work machine according to any one of claims 1 to 3, wherein the mark processing is executed by stamping a stamper attached to the holder.

前記制御部は、
連続する２回の各処理のうち、先行の前記マーク処理で付された前記マークに対する先行の前記認識処理を、後行の前記マーク処理と同時に実行する請求項２に記載の作業機。 The controller is
The work machine according to claim 2, wherein the preceding recognition process for the mark given in the preceding mark process is executed simultaneously with the subsequent mark process among the two consecutive processes.