JP2018132166A - 磁気軸受装置および真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
さらに好ましい実施形態では、前記アキシャル磁気軸受は、前記ロータディスクの表面側に対向配置された第1アキシャル電磁石と、前記ロータディスクの裏面側に対向配置された第2アキシャル電磁石とを有し、前記アキシャル変位センサは、前記第1アキシャル電磁石の電磁石コアの前記ロータディスクに対向する面に配置される第1のセンサと、前記第2アキシャル電磁石の電磁石コアの前記ロータディスクに対向する面に配置される第2のセンサとを有し、前記アキシャル磁気軸受の励磁電流は第1のセンサからの信号と第2のセンサからの信号との差動信号に基づいて制御される。
さらに好ましい実施形態では、前記アキシャル変位センサは、高周波電圧が印加されるコイルと、前記コイルのロータディスク側を除く周囲に配置されるフェライトコア部材とを備えている。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータディスクには、前記アキシャル変位センサが対向する領域にフェライトコア部材が設けられている。
さらに好ましい実施形態では、前記アキシャル変位センサの磁路領域と前記アキシャル磁気軸受の磁路領域との間における前記ロータディスクおよび前記電磁石コアの互いに対向する面の少なくとも一方の面に、溝が形成されている。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータディスクは前記ロータ軸の端部に固定され、前記ロータディスクと前記ロータ軸の端部との間に挿入され、前記ロータディスクのアキシャル方向位置を位置決めする位置決め部材を備える。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、ポンプロータのロータ軸を磁気浮上支持する前記磁気軸受装置と、前記ポンプロータを回転駆動するモータと、を備える。
ωL∝1/(D0+Δd) …(1)
Claims (8)
- ロータ軸を径方向に磁気浮上支持するラジアル磁気軸受と、
前記ロータ軸と一体に回転するロータディスクを軸方向に磁気浮上支持するアキシャル磁気軸受と、
前記アキシャル磁気軸受の電磁石コアの前記ロータディスクに対向する面に配置され、前記ロータディスクの軸方向の変位を検出するアキシャル変位センサと、を備える磁気軸受装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受装置において、
前記アキシャル磁気軸受は、前記ロータディスクの表面側に対向配置された第1アキシャル電磁石と、前記ロータディスクの裏面側に対向配置された第2アキシャル電磁石とを有し、
前記アキシャル変位センサは、前記第1アキシャル電磁石の電磁石コアの前記ロータディスクに対向する面に配置される第1のセンサと、前記第2アキシャル電磁石の電磁石コアの前記ロータディスクに対向する面に配置される第2のセンサとを有し、
前記アキシャル磁気軸受の励磁電流は第1のセンサからの信号と第2のセンサからの信号との差動信号に基づいて制御される、磁気軸受装置。 - 請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、
前記アキシャル変位センサは、高周波電圧が印加されるコイルと、前記コイルのロータディスク側を除く周囲に配置されるフェライトコア部材とを備えている、磁気軸受装置。 - 請求項3に記載の磁気軸受装置において、
前記ロータディスクには、前記アキシャル変位センサが対向する領域にフェライトコア部材が設けられている、磁気軸受装置。 - 請求項3または4に記載の磁気軸受装置において、
前記アキシャル変位センサの磁路領域と前記アキシャル磁気軸受の磁路領域との間における前記ロータディスクおよび前記電磁石コアの互いに対向する面の少なくとも一方の面に、溝が形成されている、磁気軸受装置。 - 請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、
前記アキシャル変位センサは高周波電圧が印加されるコイルを備え、
前記アキシャル変位センサの磁路領域と前記アキシャル磁気軸受の磁路領域との間における前記ロータディスクおよび前記電磁石コアの互いに対向する面の少なくとも一方の面に、溝が形成されている、磁気軸受装置。 - 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の磁気軸受装置において、
前記ロータディスクは前記ロータ軸の端部に固定され、
前記ロータディスクと前記ロータ軸の端部との間に挿入され、前記ロータディスクのアキシャル方向位置を位置決めする位置決め部材を備える、磁気軸受装置。 - ポンプロータのロータ軸を磁気浮上支持する請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の磁気軸受装置と、
前記ポンプロータを回転駆動するモータと、を備える真空ポンプ。
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