JP2018128255A - 超音波センサ - Google Patents

Abstract

【課題】自動車のバンパの裏側表面に装着することにより自動車に近接した位置に存在する人間や物体の位置を探知するために特に有利に用いられる超音波センサを提供する。【解決手段】下記の部材を含む、圧電振動子の交換が可能な超音波センサ：平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状の拘束材、あるいは該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状拘束材と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器を含む圧電振動子ユニット、該圧電振動子ユニットを非接触状態で収容している、頂部に着脱可能な蓋体を備え、底部に前記平板状基体への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体、そして、圧電振動子ユニットの頂面と該蓋体の下側面との間に挿入されている弾性体。【選択図】図１

Description

本発明は、超音波センサに関する。本発明は特に、自動車のバンパのような平板状の基体の表面に装着して、その超音波センサの装着面とは反対側の空間内に存在する人間や物体の位置を探知するために有利に用いることのできる超音波センサに関する。本発明はまた、平板状基体及び該平板状基体の表面に装着された超音波センサを含む、超音波センサの装着面とは反対側の表面に接する空間内に存在する人間や物体の位置を探知するために有利に用いることのできる超音波探知装置にも関する。

自動車の運転中あるいは駐車作業において発生しやすい、自動車と人間または他の自動車あるいは各種設備などの物体との接触を未然に防止するために、自動車のバンパに超音波センサを装着し、その超音波センサから、人間や物体の存在が想定される空間に向けて超音波を送信し、次いで人間や物体から反射された超音波を超音波センサにて受信させることにより、それらの人間や物体の存在や位置を探知するために用いられる超音波探知装置は既に各種開発されており、実際に利用されている。超音波センサとしては、超音波送受信機能を持つ圧電振動子をケーシングに内蔵させた構造のものが一般的に用いられている。

自動車のバンパに超音波センサを装着する方式としては、バンパの前側表面（自動車本体に対向する面とは逆側の表面）に超音波センサを接合固定する方式、バンパに孔を形成して、その孔内に超音波センサを装着する方式、そしてバンパの裏側表面（自動車本体に対向する表面）に超音波センサを接合固定する方式が知られている。この内、超音波センサをバンパの前側表面に接合固定する方式を利用して構成された超音波探知システムは、超音波センサの性能面では特段の問題はないが、バンパの前側表面に超音波センサが突出するため、バンパの外観に美観上の問題が発生する。さらに、バンパ表面から突出している超音波センサが他の自動車などの物体あるいは人間との接触により破損しやすいという実用上の問題もある。また、バンパに孔を形成して、その孔内に超音波センサを装着する方式を利用して構成された超音波探知システムに関しては、バンパに孔を形成すること自体に美観上の抵抗があり、またバンパの機械的強度の低下につながるため、好まれない。

一方、超音波センサをバンパの裏側表面に接合固定する方法で構成された超音波探知システムは、通常の位置からの自動車の観察では、超音波センサの存在が目立たず、またバンパの機械的強度の低下という問題も発生しないことから好まれる形態である。しかしながら、超音波センサから発信される超音波がバンパを通過して前方空間に伝播するに際して、バンパの微小の振動をも引き起こすため、超音波センサにて好ましい振動モードと指向性とを示すように調整した上で発信させた超音波の信号特性がバンパの通過により変化して、バンパの前方側の空間に送信される超音波が所望の指向性を示さなくなりやすいという問題がある。

特許文献１には、特に駐車のための補助手段として使用するために適した音響送信または受信装置として、連続的な実質的に平坦な部材と、穴を形成する面を有した構成要素であって、前記面が前記平坦な部材に前記穴の全体の回りに取り付けられ、前記部材の一部分が前記穴を覆うようにする構成要素と、前記部材の前記一部分の動きが電気信号に変換され、またはその逆とされるように、前記一部分に対して取り付けられた音響トランスジューサとを備えることを特徴とする音響送信または受信装置が開示されている。そして、この特許文献１には、上記の構成を持つ音響送信または受信装置は、ある定められたビーム幅を有する音響信号が比較的低損失でバンパなどの部材を通して送信されるようになるとの記載が見られる。

特許文献１に記載された音響送信または受信装置は、前述のように、主として、超音波センサをバンパ（バンパバー）の裏側表面に装着して構成した超音波探知装置を意図したものであり、バンパの裏面に音響トランスジューサの駆動バーが接着され、かつその縁部の周りが超音波溶接されることにより取り付け固定され、その駆動バーの周囲に駆動バーとは非接触の状態で、厚い壁厚をもつ壁体である平坦な部材が配置され、かつバンパに超音波溶接された構成とされている。特許文献１に示された記載では、このような構成により、音響トランスジューサの駆動バーからバンパに伝播された超音波のような音響エネルギーによるバンパの振動が抑制されて、所定のビーム幅を有する音響信号が比較的低損失でバンパなどの部材を通して送信されるようになると説明されている。

特許文献２には、超音波センサをハウジング内に収容して、車両用バンパや樹脂部分の裏面に取り付けた場合でも、良好な指向性を確保することが可能な超音波センサとして、超音波を送受信する圧電振動子（超音波振動子）と、該圧電振動子を収容するものであって、当該圧電振動子を底面部の内面に接触させて固定するとともに、当該底面部の外面が、前記車両用バンパあるいは樹脂部分の内面に当接する筐体とを有し、該筐体の底面部の一部に、前記車両用バンパあるいは樹脂部分及び前記圧電振動子と接触するように、前記筐体の材質とは異なる材質であって、前記圧電振動子の音響インピーダンスと前記車両用バンパあるいは樹脂部分の音響インピーダンスとの中間の音響インピーダンスを有する材質からなる超音波伝達部を形成し、前記超音波の送受信を、前記超音波伝達部及び前記車両用バンパあるいは樹脂部分を介して行うことを特徴とする超音波センサが記載されている。

特表平９−５００４４８号公報 特開２００７−１４２９６７号公報

上述のように、特に自動車のバンパに装着される超音波センサはバンパの裏側（内側）に装着することが好ましいが、超音波センサはバンパの裏側に装着されたとしても、常に気温や湿度が変動する厳しい外部環境に接触する状態に置かれるため性能劣化が発生しやすい。また、バンパに装着された超音波センサは自動車の運転時にバンパの振動と共に振動する。このため、精密機器である超音波センサはバンパに装着して使用している間に不具合が生じやすいという問題がある。自動車のバンパに装着した超音波センサに不具合が発生した場合には、その超音波センサが装着されているバンパを交換するか、あるいは超音波センサの修理が必要となるが、超音波センサに不具合が発生する度にバンパを交換するのは不経済であり、またバンパに装着された状態にある特許文献１及び特許文献２に開示の超音波センサの修理は容易ではない。

従って、本発明の発明者は、自動車のバンパなどの平板状基体に接合した超音波センサに不具合が発生した場合あるいは特性の調整が必要となった場合に容易に交換（取替）することができる超音波センサの開発を目的として研究を行った。そして、その研究の結果、超音波センサを、圧電振動子を含むユニット（圧電振動子ユニット）と圧電振動子を収容する剛性材料製の筒状壁体を含むユニット（筒状壁体ユニット）のそれぞれに分離した上で、筒状壁体ユニットをバンパなどの平板状基体の表面に接合固定し、圧電振動子ユニットについては、平板状基体の表面に密着状態にて、かつ着脱可能に固定されるように平板状基体表面に固定することにより、平板状基体の表面に接合固定した筒状壁体ユニットを取り外すことなく、不具合が生じた、あるいは不具合の発生が危惧されるような状態となった圧電振動子ユニットの取替が容易に実現できる超音波センサを構成することができるとの新たな知見を得た。そして、そのような新たな知見に基づいて、圧電振動子から発信される超音波が、平板状基体を越えて高いエネルギー効率で、かつ好ましい指向性を維持した超音波として伝播することを可能とする超音波センサおよび超音波探知装置の開発のために更なる研究を進めた結果、本発明に到達した。

本発明は、下記の部材を含む、圧電振動子の交換が可能な超音波センサにある。
平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状の拘束材、あるいは該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状拘束材と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器を含む圧電振動子ユニット、
該圧電振動子ユニットを非接触状態で収容している、頂部に着脱可能な蓋体を備え、底部に前記平板状基体への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体、そして、
該圧電振動子ユニットの頂面と該蓋体下側面との間に挿入されている弾性体。
なお、本明細書において、「着脱可能」とは、部品の取り外しが、当該部品の物理的な損傷を伴うことなく可能であることを意味する。

本発明の超音波センサの好ましい態様を以下に記載する。
（１）上記圧電振動子が、頂面と底面のそれぞれに電極層を備えた柱状もしくは盤状の圧電セラミック焼結体である。
（２）上記緩衝層が音響整合層である。
（３）上記筒状拘束材が、シリコーンゴム、ウレタンゴムもしくはブチレンゴムから形成されている。
（４）前記弾性体がリング状バネもしくはゴム材料成形体である。
（５）上記圧電振動子ユニットが、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状の拘束材を含む。
（６）上記圧電振動子ユニットが、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状拘束材と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器を含む。

本発明はまた、上記の本発明の超音波センサを装着した下記の超音波探知装置にもある。
平板状基体の表面に、本発明の超音波センサを剛性材料製筒状壁体の底面にて接合してなる超音波探知装置であって、上記超音波センサの内部に収容されている圧電振動子ユニットの圧電振動子の底面が、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態にて、かつ着脱可能に固定されていることを特徴とする圧電振動子の交換が可能な超音波探知装置。

本発明の超音波センサは、自動車のバンパなどの表面、特に裏側表面に容易に装着でき、特に自動車のバンパの裏側表面に装着した場合でも、圧電振動子が発信した超音波振動に起因するバンパの振動が効果的に抑制されるため、バンパを越えて前方側空間に送信される超音波に、その指向性やエネルギー効率の低下が現れにくい。さらに、本発明の超音波センサは、圧電振動子を含むユニット（圧電振動子ユニット）と圧電振動子を収容する剛性材料製の筒状壁体を含むユニット（筒状壁体ユニット）のそれぞれに分離した振動子交換型超音波センサとして構成されているため、バンパなどの平板状基体に装着した場合でも、バンパの表面に接合固定した筒状壁体ユニットを取り外すことなく、不具合が生じた、あるいは不具合の発生が危惧されるような状態となった圧電振動子ユニットの取替（交換）を容易に行うことができるという利点がある。

本発明の振動子交換型の超音波センサの代表的な構成例を示す模式図である。 本発明の振動子交換型の超音波センサの他の代表的な構成例を示す模式図である。

次に、本発明の振動子交換型の超音波センサの構成例について、添付図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の振動子交換型の超音波センサの代表的な構成例（構成Ａ）を示す模式図（断面図の形式で示す模式図）である。この構成Ａの超音波センサ１０は、平板状基体１６の表面に緩衝層１３を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子１１、そして該圧電振動子１１の側面に密着配置されている筒状の拘束材１４を含む圧電振動子ユニット、該圧電振動子ユニットを非接触状態で収容している、頂部に着脱可能な蓋体１５を備え、底部に前記平板状基体への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体１２、そして該圧電振動子ユニットの頂面と該蓋体１５の下側面との間に挿入されている弾性体１７から構成されている。

図１において、本発明の振動子交換型の超音波センサ１０は、圧電振動子１１を主機能部品として含むユニット（圧電振動子ユニット）と該圧電振動子を非接触状態で収容する剛性材料製の筒状壁体１２を含むユニット（筒状壁体ユニット）とを基本部品として構成されている。圧電振動子１１としては、上面（頂面）と下面（底面）のそれぞれに電極層を備えた柱状もしくは盤状の圧電セラミック焼結体が一般的に用いられる。本明細書において「柱状」の圧電セラミック焼結体とは、底面の直径に対する高さが１以上の円柱、楕円柱、角柱などの形状にある圧電セラミック焼結体を意味する。底面の形状が真円でない場合の直径とは、底面の面積を円の面積として換算して得られる直径を意味する。従って、盤状の圧電セラミック焼結体とは、底面の直径に対する高さが１未満の円盤、楕円形状の盤状体、多角形の盤状体などの形状にある圧電セラミック焼結体を意味する。なお、柱状もしくは盤状の圧電セラミック焼結体としては通常、円柱状もしくは円盤状の焼結体が用いられるが、圧電振動子が発生する超音波の指向性を調整するために、底面に沿った断面が正方形あるいは長方形を示す柱状もしくは盤状の焼結体を用いることもある。

圧電セラミック材料の例としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、そしてチタン酸バリウムなどの公知の圧電性セラミック材料を挙げることができる。圧電セラミック材料の焼結体は、多孔質であっても、多孔質でなくても構わないが、圧電振動子としての性能、特に優れた周波数特性そして低音響インピーダンスなどの性能を考えると多孔質の焼結体であることが好ましい。この多孔質の焼結体としては、平均直径が１〜１００μｍの範囲にある気孔を分散状態で含み、空隙率（気孔率）が５〜５０体積％である焼結体が好ましく用いられる。このような多孔質のセラミック材料焼結体の圧電振動子の構成材料としての使用は、特開２０００−１１９０６３号公報（＝米国特許第６１１１３３９号）に記載されているところから、その詳細は本明細書に記載しないが、これらの文献の記載内容は本明細書の記載内容とする。

セラミック材料の焼結体は、その上下面のそれぞれに電極層を付設することにより圧電振動子とされる。そして、上下面のそれぞれの電極層にはセラミック材料焼結体に電気エネルギーを付与して超音波を発生させ、また受信した超音波（反射波）を電気的に取り出すための配線が接続されているが、本明細書の添付図面では、煩雑を避けるため、それらの電極層及び配線の記入は省略してある。

なお、所望により、圧電振動子の構成材料としてセラミック材料以外の各種材料からなる圧電材料を用いることができることは勿論である。

圧電振動子の下面（底面）には、圧電振動子のバンパなどの平板状基体の表面への密着状態での固定を容易にするために有効な軟質の樹脂あるいはゴム材料、シリコーングリース、または油性グリースなどの油性材料を具体例とする材料から形成される緩衝層１３を付設することが好ましい。ただし、この緩衝層１３は、圧電振動子の平板状基体の表面への密着状態での固定を実現するための補助層であって、圧電振動子を平板状基体の表面への接合を行うための補助層ではないため、圧電振動子を平板状基体の表面に接着させて、圧電振動子の平板状基体表面からの離脱を妨げるような材料からなる層であってはならない。なお、緩衝層１３としては、圧電振動子と他の材料との間の音響的な整合のために一般的に用いられる音響整合層を用いることもできる。

圧電振動子１１は、その側面を密着状態で被覆する弾性を示すケイ素樹脂（特にシリコーンゴム）、弾性を示すウレタン樹脂（特にウレタンゴム）もしくはブチレンゴムなどから形成されている弾性を示す筒状拘束材１４により拘束されて圧電振動子ユニットを構成している。圧電振動子１１は、この筒状拘束材１４による拘束により、圧電振動子１１の安定した振動状態が実現し、また圧電振動子１１にて発生した超音波エネルギーの圧電振動子側面からの漏出を効果的に防止することが可能となる。なお、筒状拘束材１４は、図１に見られるように圧電振動子１１の側面のみならず、頂面にも設けられていることが好ましい。

筒状拘束材１４の材料として特に好ましいのは、圧電振動子（特にチタン酸ジルコン酸鉛）への密着性に優れ、温度特性が良い（すなわち、各種物性に対する温度変化の影響が少ない）弾性を有するシリコーンゴムである。また、筒状拘束材１４は厚みが２ｍｍ以上あることが好ましい。圧電振動子１１への筒状拘束材１４の被覆方法としては、予めチューブ状に成形した拘束材材料を圧電振動子に被せる方法、あるいはモールドを利用して圧電振動子の周囲に液状の拘束材材料の層を形成する方法などが一般的に利用される。

筒状拘束材１４は、圧電振動子１１の上端部から下端部近傍までの側面を被覆するように形成されていることが拘束効果の充分な発現のために好ましいが、上端部から圧電振動子の高さの約１／２の位置、好ましくは約２／３の位置までを被覆していれば、実用的には問題のない拘束効果が得られる。また、前述のように、筒状拘束材１４は、図１に見られるように圧電振動子１１の側面のみならず、頂面にも設けられていることが好ましい。

圧電振動子１１と筒状拘束材１４とを基本構成部品とする圧電振動子ユニットは、頂部に着脱可能な蓋体１５を備え、底部に平板状基体（例、バンパ）１６への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体１２の内部に非接触状態で収容される。

剛性材料製の筒状壁体１２は、図１に示されているように、平板状基体への接合面（筒状壁体の底面）から上に延びる相対的に壁厚が大きい基体固定部と該基体固定部から上方に延びる相対的に小さい壁厚を持つ延長部とから構成することができる。あるいは、剛性材料製の筒状壁体１２は底部から頂部まで同一の壁厚にて形成されていてもよい。圧電振動子ユニットを非接触の状態で内部に収容する筒状壁体１２を剛性材料から形成し、かつこのような構造とすることにより、筒状壁体の平板状基体表面への確実な接合が可能となり、また圧電振動子１１にて発生して平板状基体（例、バンパ）を通って反対側の空間に送信される超音波の振動により発生する平板状基体の振動を筒状壁体の内部領域に閉じ込めることが可能となるため、超音波の指向性の低下が効果的に抑制される。また、超音波の平板状基体１６の内部あるいは表面を介しての超音波センサの外部への伝播が効果的に抑制される。

剛性材料製の筒状壁体１２の頂面には、着脱可能な蓋体１５が装着される。筒状壁体１２と蓋体１５の装着は、例えば、筒状壁体１２の頂部の側面と蓋体１５のフランジ部の内面にそれぞれ設けられたねじ溝あるいは凹部と凸部との係合を利用することにより行われる。なお、筒状壁体１２は剛性材料から形成され、また蓋体１５も剛性材料から形成することが望ましい。剛性材料としては、ポリプロピレン樹脂やポリエチレン樹脂に代表されるポリオレフィン樹脂、ＡＢＳ樹脂などの硬質樹脂材料あるいは金属材料が用いられる。

筒状壁体１２の頂面に着脱可能に装着されている蓋体１５の下面と前記の圧電振動子ユニットとの間には、コイルバネなどの弾性材料からなる弾性体１７が挿入されている。なお、圧電振動子ユニットの頂面と弾性体１７との間には、合成樹脂製あるいは金属製の板体を介在させてもよい。弾性体１７は、圧電振動子ユニット内の圧電振動子１１の底面の平板状基体１６への密着固定を実現するために機能する。弾性体１７としては通常、図１に示されているように、コイルバネが用いられるが、その上下には一般に座金（シムリング）が装着される。あるいは板バネにより構成される。また、ゴム材料（例、シリコーンゴム）や発泡プラスチックなどの高分子弾性材料から形成してもよい。

図１に関してのこれまでの説明から明らかなように、本発明の超音波センサを構成する部品の多くは、互いに独立した部品として用意されている。そのなかで中心的な機能を果たすのは、圧電振動子１１を含む圧電振動子ユニット（図１に示した超音波センサでは、圧電振動子１１、緩衝層１３、そして筒状拘束材１４からなるユニット）、剛性材料製の筒状壁体１２と蓋体１５とを含む筒状壁体ユニット、そして圧電振動子ユニットの圧電振動子の底面を平板状基体の表面に密着固定させる押圧力を付与する弾性体１７である。

図１に示した超音波センサ１０について何らかの不具合が生じた場合（超音波センサの破損、作動異常など）あるいは経年使用により超音波センサの正常な作動に不安が発生した場合などには、筒状壁体１２の頂部の蓋体１５を取り外した上で、内部に収容されている圧電振動子ユニットを取り出し、新しい、あるいは正常な作動が確認されている同型の圧電振動子ユニットを筒状壁体ユニット内に装着することにより、圧電振動子ユニットの交換が容易に実現する。

図２は、本発明の振動子交換型の超音波センサの別の代表的な構成例（構成Ｂ）を示す模式図（断面図の形式で示す模式図）である。この構成Ｂの超音波センサは、平板状基体１６の表面に緩衝層１３を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子１１そして該圧電振動子１１の側面に密着配置されている筒状拘束材１４と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器１８を含む圧電振動子ユニット、該圧電振動子ユニットを非接触状態で収容している、頂部に着脱可能な蓋体１５を備え、底部に前記平板状基体への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体１２、そして、該圧電振動子ユニットの頂面と該蓋体１５の下側面との間に挿入されている弾性体１７から構成されている。筒状容器１８は通常、合成樹脂材料あるいは金属材料から形成される。

図１の構成Ａの超音波センサと図２の構成Ｂの超音波センサとの構成上の主たる相違点は、圧電振動子ユニットの構成にあるので、次にこの点を詳しく説明する。

図２の構成Ｂの超音波センサ１０の圧電振動子ユニットは、圧電振動子１１そして該圧電振動子１１の側面に密着配置されている筒状拘束材１４と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器１８を含む。筒状拘束材１４の周囲の空気層を介しての筒状容器１８の配設は、例えば、図２に示されている様に、筒状拘束材１４の下端部にフランジ１４ａを形成し、このフランジ１４ａの上面に筒状容器１８の下端部を配設もしくは接合することにより行われる。また、図２の構成Ｂの超音波センサ１０では、剛性材料製の筒状壁体１２と蓋体１５との係合が、筒状壁体１２の外側面に形成された凹部と蓋体１５の内側面に形成された凸部あるいはフック１５ａとの係合により行われている。

図２の構成Ｂの超音波センサは、構成部品の数が増加する点では不利であるが、筒状拘束材１４と筒状容器１８との間に空気層が形成され、この空気層が圧電振動子１１から発振された超音波の背面（図２では上側面）への伝播（漏出となる）が抑制されるとの利点がある。

１０ 超音波センサ
１１ 圧電振動子
１２ 剛性材料製の筒状壁体
１３ 緩衝層
１４ 筒状拘束材
１５ 蓋体
１６ 平板状基体（バンパ）
１７ 弾性体
１８ 筒状容器

Claims (8)

1. 下記の部材を含む、圧電振動子の交換が可能な超音波センサ：
   平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状の拘束材、あるいは該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状拘束材と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器を含む圧電振動子ユニット、
   該圧電振動子ユニットを非接触状態で収容している、頂部に着脱可能な蓋体を備え、底部に前記平板状基体への接合面を備えた剛性材料製筒状壁体、そして、
   該圧電振動子ユニットの頂面と該蓋体下側面との間に挿入されている弾性体。
2. 上記圧電振動子が、頂面と底面のそれぞれに電極層を備えた柱状もしくは盤状の圧電セラミック焼結体である請求項１に記載の超音波センサ。
3. 上記緩衝層が音響整合層である請求項１に記載の超音波センサ。
4. 上記筒状拘束材が、シリコーンゴム、ウレタンゴムもしくはブチレンゴムから形成されている請求項１に記載の超音波センサ。
5. 前記弾性体がリング状バネもしくはゴム材料成形体である請求項１に記載の超音波センサ。
6. 上記圧電振動子ユニットが、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状の拘束材を含む請求項１に記載の超音波センサ。
7. 上記圧電振動子ユニットが、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態かつ着脱可能に固定される圧電振動子、そして該圧電振動子の側面に密着配置されている筒状拘束材と該筒状拘束材の周囲に空気層を介して配設されている、頂部が閉じられ底部に開口を持つ筒状容器を含む請求項１に記載の超音波センサ。
8. 平板状基体の表面に、請求項１に記載の超音波センサを剛性材料製筒状壁体の底面にて接合してなる超音波探知装置であって、上記超音波センサの内部に収容されている圧電振動体子ユニットの圧電振動子の底面が、平板状基体の表面に緩衝層を介して又は介さずして密着状態にて、かつ着脱可能に固定されていることを特徴とする圧電振動子の交換が可能な超音波探知装置。

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