JP2018124195A - 信頼性試験装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電気的ストレスの印加および電気的ストレス印加後における電気的特性の測定を含む信頼性試験を高精度で実行するための試験装置の構成を提供する。【解決手段】信頼性試験装置100aは、試験対象であるIGBTモジュール200に電気的ストレスを印加するためのストレス印加回路10と、IGBTモジュール200の電気的特性を測定するための測定回路20とを備える。開閉機構40は、IBT素子200およびストレス印加回路10の間に接続される。開閉機構50は、IGBTモジュール200および測定回路10との間に接続される。ストレス印加回路10は、電気的なストレスを発生するための直流電源B1およびドローアウトコネクタ40の間に接続されたリレー16を含む。開閉機構40,50の遮断状態における絶縁抵抗は、リレー16の開放状態における絶縁抵抗よりも高い。【選択図】図1
Description
この発明は信頼性試験装置に関し、より特定的には、高電圧または大電流の電気的ストレスの印加を伴う信頼性試験装置に関する。
IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のパワーデバイスに代表される半導体素子の電気的特性を評価するための試験装置として、特許第4867639号公報(特許文献1)には、試験対象となる半導体素子の動特性試験および静特性試験を同一の接触針を用いて連続的に実行する構成が記載されている。
具体的には、半導体素子の電極に対する接触針の接触状態が同一である下で、半導体素子評価装置内に設けたリレーや半導体スイッチ等の切替えによって、半導体素子の動特性試験(たとえば、大電流スイッチング試験)および静特性試験(たとえば、漏れ電流測定試験)を順次実行する半導体評価装置の構成が開示されている。
半導体素子の試験の一つとして、高電圧または大電流等の電気的なストレスを印加して、ストレスによる半導体素子の劣化を評価する、信頼性試験が行われている。特に、劣化度を定量的に評価するために、ストレス印加後の半導体素子の電気的特性を試験装置によって測定することが一般的に行われている。
この際に、電気的なストレスの印加装置および半導体素子の電気的特性の測定装置と、試験対象の半導体素子との間の接続を、特許文献1のように、リレーや半導体スイッチ等によって切替ることにより、電気的ストレスの印加を伴う信頼性試験装置を実現することができる。
しかしながら、電気的ストレスの印加時には、数十〜数百[A]程度の大電流が流れる一方で、電気的特性としてリーク電流の測定時には数[μA]〜数[nA]オーダーの微小電流の検出が必要となる。したがって、特許文献1のように、リレーや半導体スイッチ等によって切替える構成では、オフ状態のリレーや半導体スイッチ等を介して、ストレス印加装置がリーク電流等の微小電流の測定に影響を与えることにより、十分な精度で信頼性試験を実行できなくなることが懸念される。
この発明はこのような問題点を解決するためになされたものであって、この発明の目的は、高電圧または大電流の電気的ストレスの印加および電気的ストレス印加後における電気的特性の測定を含む信頼性試験を高精度で実行するための試験装置の構成を提供することである。
本開示のある局面によれば、信頼性試験装置は、ストレス印加回路と、測定回路と、第1および第2の開閉機構とを含む。ストレス印加回路は、試験対象となる半導体素子に対して電気的なストレスを印加するように構成される。測定回路は、半導体素子の電気的特性を測定するように構成される。第1の開閉機構は、半導体素子とストレス印加回路との間を電気的に接続または遮断する。第2の開閉機構は、半導体素子と測定回路との間を電気的に接続または遮断する。ストレス印加回路は、電気的なストレスを発生するための電源と、電源および第1の開閉機構の間に接続された開閉器とを含む。第1の開閉機構の遮断状態における絶縁抵抗は、開閉器の開放状態における絶縁抵抗よりも高い。
この発明によれば、高電圧および/または大電流の電気的ストレスの印加および電気的ストレス印加後における電気的特性の測定を含む信頼性試験を高精度で実行するための試験装置を実現することができる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は原則的に繰返さないものとする。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る信頼性試験装置100aの構成を説明するための回路図である。
図1は、実施の形態1に係る信頼性試験装置100aの構成を説明するための回路図である。
図1を参照して、信頼性試験装置100aは、ストレス印加回路10と、測定回路20と、ゲートドライバ30と、ゲート選択回路35と、ドローアウトコネクタ40および50と、コントローラ60とを備える。
図1の例では、信頼性試験装置100aは、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)モジュール200に含まれるIGBT素子S1〜S6を試験対象とする。IGBTモジュール200では、IGBT素子S1〜S6は、三相インバータを構成するように、電力線201〜205と接続されている。
具体的には、IGBT素子S1は、電力線201および203の間に接続されることでU相上アーム素子を構成し、IGBT素子S2は、電力線202および203の間に接続されることでU相下アーム素子を構成する。同様に、IGBT素子S3は、電力線201および204の間に接続されることでV相上アーム素子を構成し、IGBT素子S4は、電力線202および204の間に接続されることでV相下アーム素子を構成する。同様に、IGBT素子S5は、電力線201および電力線201および205の間に接続されることでW相上アーム素子を構成し、電力線202および205の間に接続されることでW相下アーム素子を構成する。このように、IGBT素子S1〜S6(IGBTモジュール200)は、試験対象となる半導体素子の一実施例に対応する。
ストレス印加回路10は、大電流および/または高電圧を供給するための直流電源B1と、電力線11,12と、開閉器16と、負荷回路17とを有する。信頼性試験で印加されるストレスレベルは様々であり、たとえば、電圧は数[V]〜数千[V]、電流も数[A]から数千[A]の範囲となることがあるが、直流電源B1は要求されるストレスレベルを印加するための定格(電圧、電力)を有するように構成される。
直流電源B1の正極端子および負極端子は、開閉器16を経由して電力線11および12と電気的に接続される。開閉器16の開放/閉成は、コントローラ60からの電気信号SG0によって制御することができる。たとえば、開閉器16は、電気信号SG0に応じて開放状態または閉成状態に制御される、半導体リレー、電磁リレー、または、コンタクタによって構成することができる。
さらに、ストレス印加回路10では、スナバコンデンサ70が電力線11および12の間に接続される。負荷回路17は、三相LR回路を構成するための、電力線13〜15の各々に接続された負荷インダクタ18および負荷抵抗19によって構成される。
ドローアウトコネクタ40は、ストレス印加回路10の電力線11〜15と、IGBTモジュール200と接続された電力線201〜205との間に配置される。ドローアウトコネクタ40は、コントローラ60からの電気信号SG1に従って、電力線11〜15および電力線201〜205の間を電気的に接続する接続状態と、電力線11〜15および電力線201〜205の間を電気的に切り離す遮断状態とのいずれかに制御される。
測定回路20は、電力線21a,21b,22と、電力線23〜25と、リーク電流測定用の直流電源B2と、測定対象選択回路26と、測定項目切替回路27と、リーク電流の測定に対応可能な微小電流計28とを有する。微小電流計28による測定値はコントローラ60に対して送出される。
電力線21aおよび21bは、測定項目切替回路27を経由して、直流電源B2の正極端子と電気的に接続される。測定項目切替回路27は、コントローラ60からの図示しない電気信号に応じて、電力線21aおよび21bの一方を、直流電源B2の正極端子と選択的に接続する。
測定対象選択回路26は、コントローラ60からの図示しない電気信号に応じて、電力線23〜25のうちの1本を選択して、電力線21aまたは22と接続するための複数のリレーを有する。電力線22は、直流電源B2の負極端子と接続される。
ゲートドライバ30は、試験対象となるIGBT素子S1〜S6のオンオフを制御するためのゲート電圧信号を発生するように構成される。ゲート選択回路35は、コントローラ60からの図示しない電気信号に応じて、試験対象となるIGBT素子S1〜S6の各ゲートと、ゲートドライバ30および電力線21bとの間の電気的な接続の有無を制御することができる。たとえば、ゲート選択回路35は、IGBT素子S1〜S6のそれぞれのゲートをゲートドライバ30と接続することによって、IGBT素子S1〜S6のオンオフをゲートドライバ30によって制御することができる。あるいは、ゲート選択回路35は、IGBT素子S1〜S6のゲートを順次選択して、電力線21bと接続することができる。または、ゲート選択回路35は、IGBT素子S1〜S6の各ゲートについて、ゲートドライバ30および電力線21bの両方から切り離すことも可能である。
ドローアウトコネクタ50は、測定回路20の電力線21〜25と、IGBTモジュール200と接続された電力線201〜205との間に配置される。ドローアウトコネクタ50は、コントローラ60からの電気信号SG2に従って、電力線21〜25および電力線201〜205の間を電気的に接続する接続状態と、電力線21〜25および電力線201〜205の間を電気的に切り離す遮断状態とのいずれかに制御される。
図2は、ドローアウトコネクタ40の構成例を説明する概念図である。
図2を参照して、ドローアウトコネクタ40は、接点CP1を有するコネクタ61と、接点CP2を有するレセプタクル62と、コネクタ61を移動させるためのマニピュレータ63とを含む。
図2を参照して、ドローアウトコネクタ40は、接点CP1を有するコネクタ61と、接点CP2を有するレセプタクル62と、コネクタ61を移動させるためのマニピュレータ63とを含む。
接点CP1は、コネクタ61に対して凸形状を有するように設けることができる。一方で、レセプタクル62では、接点CP2は、接点CP1と嵌合する凹形状を形成するように設けることができる。図1の構成例では、接点CP1およびCP2は、5個ずつ設けられる。
各接点CP1は、電力線201〜205のうちの1つと電気的に接続される。各接点CP2は、電力線11〜15(ストレス印加回路10)のうちの1つと電気的に接続される。
マニピュレータ63は、電気信号SG1に応じて、接点CP1およびコネクタ61を図中の点線矢印方向に沿って移動するように構成される。これにより、ドローアウトコネクタ40は、電気信号SG1に応じて、接点CP1およびCP2が嵌合する接続状態と、接点CP1およびCP2が離間する遮断状態との一方を選択的に形成することができる。
ドローアウトコネクタ40は「第1の開閉機構」の一実施例に対応する。ドローアウトコネクタ40の絶縁抵抗は、遮断状態における接点CP1およびCP2の離間距離Lに依存する。ドローアウトコネクタ40,50のように機械的な着脱機構を伴って接点間の接続状態および遮断状態を切替える構成を有する開閉機構は、離間距離Lの確保が比較的容易であるので、遮断状態において10の12乗(1012)[Ω]以上の絶縁抵抗を有することが可能である。
一方で、開閉器16等に用いられる半導体リレー、電磁リレーやコンタクタは、上記機械的な機構と比較すると大電流の開閉が容易である一方で、開放状態における接点間の離間距離をドローアウトコネクタ等のように確保することが困難である。このため、開放状態での絶縁抵抗は、10の8〜9乗(108〜109)[Ω]程度のオーダである。すなわち、本実施の形態に係る信頼性試験装置100aでは、第1および第2の開閉機構は、ドローアウトコネクタ等を用いて、電気的なストレス印加のための大電流を確実に通電できるとともに、開閉器16よりも高い絶縁抵抗を有するように構成される。
ドローアウトコネクタ40は、ストレス印加回路10よって電気的なストレスを印加する際に必要な大電流(たとえば、102[A]オーダー)を確実に通電するための定格を有する。
ドローアウトコネクタ50は「第2の開閉機構」の一実施例に対応する。ドローアウトコネクタ50は、ドローアウトコネクタ40と同様に構成することが可能である。ただし、ドローアウトコネクタ50については、大電流の通過に対応する定格は不要である。
再び図1を参照して、信頼性試験装置100aでは、ストレス印加モードおよび測定モードを交互に実行することができる。ストレス印加モードでは、電気信号SG1によってドローアウトコネクタ40が接続状態に制御される一方で、電気信号SG2によってドローアウトコネクタ50が遮断状態に制御される。
これにより、IGBT素子S1〜S6は、電力線201〜205を経由して、ストレス印加回路10と接続される。この状態で、電気信号SG0によって開閉器16を閉成することにより、直流電源B1から高電圧および/または大電流による電気的ストレスが印加された下で、IGBT素子S1〜S6を動作させることができる。
ストレス印加モードでは、ゲート選択回路35は、IGBT素子S1〜S6の各ゲートをゲートドライバ30と接続する。これにより、IGBT素子S1〜S6を、ゲートドライバ30からのゲート電圧信号に従ってオンオフすることができる。たとえば、ゲートドライバ30は、IGBT素子S1〜S6が三相インバータによる直流/交流電力変換を実行するようにオンオフさせるようにゲート電圧信号を生成する。
たとえば、直流電源B1の電圧を300[V]とし、負荷回路17の合成抵抗を3[Ω]程度とすると、三相インバータの各相電流は100[A]程度となるので、IGBT素子S1〜S6の各々に対して、100[A]程度の大電流をスイッチングする電気的ストレスを印加することができる。
なお、信頼性試験装置100aでは、装置の構成上、直流電源B1と、試験対象のIGBTモジュール200(IGBT素子S1〜S6)との間の配線長を短くすることが困難である。このため、IGBT素子S1〜S6のスイッチングオフ時に大きなリカバリサージが発生することが懸念される。したがって、リカバリサージによって試験対象の半導体素子(IGBT素子S1〜S6)が破壊されることを回避するために、サージを吸収するためのスナバコンデンサ70が、電力線11および12の間に接続されている。
信頼性試験装置100aは、測定モードでは、電気信号SG1によってドローアウトコネクタ40が遮断状態に制御される一方で、電気信号SG2によってドローアウトコネクタ50が接続状態に制御される。測定モードでは、IGBT素子S1〜S6の各々について、コレクタ−エミッタ間のリーク電流と、ゲート−エミッタ間のリーク電流とが測定される。これにより、IGBT素子S1〜S6の各々について、ストレス印加による劣化度を評価することができる。これらのリーク電流は、概ね数[nA]〜数[μA]レベルである。
したがって、リーク電流を正確に測定するためには、ストレス印加回路10の直流電源B1が、ドローアウトコネクタ40によって、電力線201,202から十分な絶縁抵抗を介して切り離される必要がある。たとえば、直流電源B1の電圧が102[V]オーダであるのに対して、絶縁抵抗がリレーやコンタクタのように108〜109[Ω]程度であると、10-6〜10-7[A]、すなわち、μA(マイクロアンペア)オーダの電流がリーク電流の測定経路に供給される虞がある。
これに対して、本実施の形態による信頼性試験装置では、ドローアウトコネクタによって10の12乗(1012)[Ω]以上の絶縁抵抗を確保することによって、ストレス印加回路10(直流電源B1)からの電流を10-10[A]オーダに抑制することで、リーク電流を正確に測定することが可能となっている。
コレクタ−エミッタ間のリーク電流測定では、測定項目切替回路27は、電力線21aを直流電源B2と接続する。また、ゲート選択回路35は、ゲートドライバ30からのIGBT素子S1〜S6の各々をオフ状態に維持するためのゲート電圧信号を、IGBT素子S1〜S6の各ゲートへ伝達するように制御される。この状態で、測定対象選択回路26は、IGBT素子S1〜S6のうちの1個が電力線21aおよび22の間に順に接続されるように、電力線23〜25と、電力線21a,22との間の接続を切替える。
一例として、IGBT素子S1(U相上アーム)のコレクタ−エミッタ間のリーク電流を測定するときには、測定対象選択回路26が電力線23を電力線22と接続することによって、IGBT素子S1は、リーク電流測定用の直流電源B2からの電圧がコレクタ−エミッタ間に印可された状態となる。この状態での微小電流計28による測定値Itstに基づいて、コントローラ60は、コレクタ−エミッタ間のリーク電流を測定することができる。
また、IGBT素子S4(V相下アーム)のコレクタ−エミッタ間のリーク電流測定時には、測定対象選択回路26は、電力線24を電力線21aと接続するように制御される。同様に、IGBT素子S5(W相上アーム)のコレクタ−エミッタ間のリーク電流測定時には、測定対象選択回路26は、電力線25を電力線22と接続するように制御される。
これに対して、ゲート−エミッタ間のリーク電流測定では、測定項目切替回路27は、電力線21bを直流電源B2と接続する。さらに、測定対象選択回路26は、IGBT素子S1〜S6の各々のコレクタ−エミッタ間を短絡するために全リレーがオンするように制御される。この状態で、ゲート選択回路35は、IGBT素子S1〜S6のうちの測定対象の1個を順次選択して、選択したIGBT素子のゲートを電力線21bと接続する。
これにより、選択されたIGBT素子は、リーク電流測定用の直流電源B2からの電圧がゲート−エミッタ間に印可された状態となる。この状態での微小電流計28による測定値Itstに基づいて、コントローラ60は、ゲート−エミッタ間のリーク電流を測定することができる。
このように、測定回路20によって、試験対象のIGBT素子S1〜S6の電気的特性として、コレクタ−エミッタ間およびゲート−エミッタ間のリーク電流を測定することができる。ストレス印加回路10による強制的な電気的ストレスの印加後に、測定回路20により電気的特性を測定することによって、試験対象の半導体素子(IGBT素子S1〜S6)の信頼性確認試験を実行することができる。
図3は、実施の形態1に係る信頼性試験装置100aによる信頼性試験の制御処理の一例を説明するためのフローチャートである。図3に示される制御処理は、試験開始のトリガ入力に従って、コントローラ60によって実行することができる。なお、試験開始前の初期状態では、開閉器16は開放されており、ドローアウトコネクタ40,50は遮断状態に制御されている。また、ストレス印可回数を示すカウンタ値は0に初期化されている。
コントローラ60は、信頼性試験が開始されると、測定モードのためのステップS10〜S60の処理を実行する。コントローラ60は、ステップS10により、ドローアウトコネクタ50を遮断状態から接続状態に変化させるための電気信号SG2を発生する。一方で、ドローアウトコネクタ40は、遮断状態に維持される。これにより、IGBT素子S1〜S6は、測定回路20と電気的に接続される。一方で、測定回路20およびIGBT素子S1〜S6は、ストレス印加回路10の直流電源B1からは、ドローアウトコネクタ40の絶縁抵抗を介して切り離されている。
コントローラ60は、ステップS20では、コレクタ−エミッタ間のリーク電流を測定するための接続切替を行う。具体的には、電力線21aを直流電源B2と接続するように測定項目切替回路27が制御される。さらに、ゲート選択回路35は、ゲートドライバ30からのゲート電圧信号(オフ指令)を、IGBT素子S1〜S6の各ゲートへ伝達するように制御される。
さらに、コントローラ60は、ステップS30により、IGBT素子S1〜S6のうちの1個が順に選択されて電力線21aおよび22の間に接続されるように、測定対象選択回路26を制御する。そして、選択が切替えられる毎に、微小電流計28の測定値Itstに基づいて、IGBT素子S1〜S6の各々のコレクタ−エミッタ間のリーク電流が順次測定される。IGBT素子S1〜S6の全てについて、コレクタ−エミッタ間のリーク電流測定が終了すると、コントローラ60は、ステップS40へ処理を進める。
コントローラ60は、ステップS40では、ゲート−エミッタ間のリーク電流を測定するための接続切替を行う。具体的には、測定項目切替回路27は、電力線21bを直流電源B2と接続するように制御される。さらに、測定対象選択回路26は、IGBT素子S1〜S6の各々のコレクタ−エミッタ間を短絡するように全リレーをオンするように制御される。
コントローラ60は、ステップS50では、IGBT素子S1〜S6のうちの1個が順に選択されて、選択されたIGBT素子のゲートが電力線21bと接続されるように、ゲート選択回路35を制御する。そして、選択が切替えられる毎に、微小電流計28の測定値Itstに基づいて、IGBT素子S1〜S6の各々のゲート−エミッタ間のリーク電流が順次測定される。IGBT素子S1〜S6の全てについて、ゲート−エミッタ間のリーク電流測定が終了すると、コントローラ60は、ステップS60へ処理を進める。
コントローラ60は、ステップS60では、ドローアウトコネクタ50を接続状態から遮断状態に変化させるための電気信号SG2を発生する。これにより、IGBT素子S1〜S6(IGBTモジュール200)が、ストレス印加回路10および測定回路20の両方から切り離された状態で、測定モードが終了される。
コントローラ60は、測定モードが終了すると、ステップS70により、これまでのストレス印可回数を示すカウンタ値が、予め定められた指定回数を示す判定値に達しているか否かを判定する。
コントローラ60は、カウンタ値が判定値に達しておらず、ストレス印加回数が指定回数に達していない場合(S70のNO判定時)には、ストレス印加モードのためのステップS80〜S120の処理を実行する。コントローラ60は、ステップS80により、ドローアウトコネクタ40を遮断状態から接続状態に変化させるための電気信号SG1を発生する。一方で、ドローアウトコネクタ50は、遮断状態に維持される。
これにより、IGBT素子S1〜S6は、ストレス印加回路10と電気的に接続される。一方で、測定回路20は、ストレス印加回路10の直流電源B1からは、ドローアウトコネクタ50の絶縁抵抗を介して切り離されている。この結果、ストレス印加モードにおいて、微小なリーク電流を測定するための測定回路20、特に微小電流計28を、十分な絶縁抵抗を介して、ストレス印加回路10(直流電源B1)から切り離すことができる。
コントローラ60は、さらにステップS90により、開閉器16を閉成するように電気信号SG0を生成する。これにより、直流電源B1がIGBT素子S1〜S6と接続される。そして、ステップS100では、IGBT素子S1〜S6が、直流電源B1による電気的なストレス(大電流)が印加された下で、三相インバータによるスイッチング動作するようにゲートドライバ30およびゲート選択回路35が制御される。
コントローラ60は、ステップS100によるスイッチング動作が所定時間が所定時間継続されると、ステップS110により、開閉器16を閉成するように電気信号SG0を生成する。これにより、直流電源B1による電気的ストレスの印加が終了される。
さらに、コントローラ60は、ステップS120により、ドローアウトコネクタ40を接続状態から遮断状態に変化させるための電気信号SG1を発生する。これにより、IGBT素子S1〜S6(IGBTモジュール200)が、ストレス印加回路10および測定回路20の両方から切り離された状態で、ストレス印加モードが終了される。
コントローラ60は、ストレス印加モードが終了すると、ステップS130により、ストレス印可回数を示すカウンタ値を増加させる。
そして、コントローラ60は、ステップS10〜S60の処理を実行して、電気的ストレス印加後のIGBT素子S1〜S6の電気的特性(リーク電流)を測定する。ステップS10〜S60による測定モードの終了後には、ステップS70によりこれまでのストレス印加回数が所定回数に達しているか否かが、ステップS130でストレス印加モードの終了毎にカウントアップされるカウンタ値に基づいて判定される。
コントローラ60は、ストレス印加回数が所定回数に達すると(S70のYES判定時)、信頼性試験を終了する。一方で、ストレス印加回数が所定回数に達するまでは、ステップS80〜S120によるストレス印加モードおよび、ストレス印加後の測定モード(S10〜S20)が繰り返し実行される。
このように、図3に示す制御処理によって、試験対象の半導体素子に対して、ユーザによる指定回数に従って電気的なストレスを印加するとともに、ストレス印加後の電気的特性を測定することによって、信頼性試験を実行することができる。
以上説明したように、実施の形態1に係る信頼性試験装置によれば、試験対象の半導体素子(IGBTモジュール200)の電気的特性の測定時において、ドローアウトコネクタに代表される、十分な絶縁抵抗(たとえば、1012[Ω]以上)を有する開閉機構を用いて、ストレス印加回路10と試験対象の半導体素子との間を電気的に遮断できる。この結果、電気的ストレスを印加するための電源による測定誤差を抑制して、信頼性試験を高精度で実行することができる。
なお、本実施の形態において、試験対象の半導体素子(IGBTモジュール200)および測定回路20の間には、ドローアウトコネクタ50に代えて、開閉器16と同等の絶縁抵抗を有するリレーやコンタクタ等を「第2の開閉機構」として接続することも可能である。このような構成としても、試験対象の半導体素子(IGBTモジュール200)の電気的特性の測定時において、電気的ストレスを印加するための電源による測定誤差を抑制することができる。
ただし、測定回路20は、ストレス印加モードにおいて、「第2の開閉機構」の絶縁抵抗を介して、ストレス印加回路10から電気的に切り離される。したがって、ストレス印加時に発生し得るサージならびに異常電流および電圧からの、測定回路20内の微小電流計28に代表される低耐圧のデリケートな構成部品の保護性能は、当該絶縁抵抗に依存することが理解される。このため、ドローアウトコネクタ40と同等の絶縁抵抗を有するドローアウトコネクタ50を「第2の開閉機構」として用いることで、測定回路20の構成部品を十分に保護することがさらに可能となる。
実施の形態2.
図4は、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bの構成を説明する回路図である。
図4は、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bの構成を説明する回路図である。
図4を図1と比較して、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bは、図1に示した信頼性試験装置100aと比較して、スナバコンデンサ70の配置態様が異なる。具体的には、実施の形態2の構成では、スナバコンデンサ70は、試験対象(IGBTモジュール200)と接続された電力線201および202の間に、ドローアウトコネクタ80と直列に接続されている。
ドローアウトコネクタ80は、コントローラ60からの電気信号SG3に従って、スナバコンデンサ70を、電力線21および22を経由してIGBT素子S1〜S6に電気的に接続する接続状態と、スナバコンデンサ70をIGBT素子S1〜S6から電気的に切り離す遮断状態とのいずれかに制御される。
ドローアウトコネクタ80は、ドローアウトコネクタ40と同様に構成することができる。すなわち、スナバコンデンサ70は「スナバ回路」の一実施例に対応し、ドローアウトコネクタ80は「第3の開閉機構」の一実施例に対応する。
実施の形態1に係る信頼性試験装置100a(図1)では、スナバコンデンサ70は、ドローアウトコネクタ40よりも直流電源B1側に設置されている。これにより、ドローアウトコネクタ40を用いて、測定モードにおいて、スナバコンデンサ70をリーク電流測定経路から切り離すことが可能である。
しかしながら、リカバリサージの発生を抑制する観点からは、スナバコンデンサ70は、IGBT素子S1〜S6に近い場所に設置することが好ましい。一方で、図1の構成例では、スナバコンデンサ70およびIGBTモジュール200(IGBT素子S1〜S6)の間の配線長を短くすることには限界がある。
このため、スナバコンデンサ70を、電力線201および202の間、すなわち、ドローアウトコネクタ40,50よりも試験対象側に接続すると、リカバリサージの抑制には効果がある一方で、スナバコンデンサ70が、測定モードにおけるIGBT素子S1〜S6に係る電流測定経路に接続されることになるため、リーク電流等の微小電流の測定結果に影響を与えることが懸念される。
したがって、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bでは、スナバコンデンサ70と直列に接続されたドローアウトコネクタ80を遮断状態に制御することにより、測定モードにおけるIGBT素子S1〜S6に係る電流測定経路から、スナバコンデンサ70を十分な絶縁抵抗を介して切り離すことが可能となる。この結果、測定モードでのリーク電流等の微小電流の測定結果への影響を抑制することが可能である。
図5は、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bにおける信頼性確認試験の制御処理を説明するフローチャートである。
図5を図3と比較して、実施の形態2に係る信頼性試験では、図3のステップS80およびS120に代えて、ステップS80♯およびS120♯が実行される点で異なる。図5のその他の各ステップの処理は、図3と同様であるので詳細な説明は繰返さない。
ステップS80♯では、コントローラ60は、ドローアウトコネクタ40と連動してドローアウトコネクタ80を接続状態から遮断状態に変化させるように、電気信号SG1およびSG3を生成する。同様に、コントローラ60は、ステップS120♯では、ドローアウトコネクタ40と連動してドローアウトコネクタ80を接続状態から遮断状態に変化させるように、電気信号SG1およびSG3を生成する。
これにより、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bでは、ストレス印加モードでは、スナバコンデンサ70をIGBT素子S1〜S6に対して短い配線長で接続することで、サージ抑制効果を高めることができる。さらに、測定モードでは、ドローアウトコネクタ80によってスナバコンデンサ70をIGBT素子S1〜S6のリーク電流経路から切り離すことによって、測定モードでの電気的測定の精度を維持することができる。
スナバコンデンサ70に流れる電流はドローアウトコネクタ40と比較して小さいため、ドローアウトコネクタ80は、ドローアウトコネクタ40よりも低電流定格で構成することができる。この結果、ドローアウトコネクタ80は小型で作製可能であるため、試験対象であるIGBTモジュール200付近への設置も容易である。
あるいは、測定モードにおいて、スナバコンデンサ70およびIGBTモジュール200(試験対象)の間は、ドローアウトコネクタ40と同等の絶縁抵抗によって遮断しなくても、直流電源B1の影響による電気的特性(リーク電流)の測定誤差を抑制することができる。したがって、実施の形態2に係る信頼性試験装置100bでは、ドローアウトコネクタ50(第2の開閉機構)と同様に、ドローアウトコネクタ80についても、開閉器16と同等の絶縁抵抗を有するリレーやコンタクタ等を「第3の開閉機構」として配設することが可能である。
なお、本実施の形態では、高絶縁抵抗を有する「開閉機構(第1の開閉機構)」としてドローアウトコネクタを例示したが、同程度の絶縁抵抗および必要な電流定格が確保される限り、任意の開閉機構を適用することが可能である。たとえば、押し当て型のコンタクト(バットコンタクト)機構、ナイフ式のスイッチ機構等によっても、機械的な着脱機構を伴って接点間の接続状態および遮断状態を切替える構成を有することで、同等の高絶縁抵抗を確保可能な「開閉機構」を実現することができる。
また、本実施の形態では、電気信号に応じて接続状態および遮断状態が切替えられる自動式の「開閉機構」を用いることにより、図3および図5の制御処理によって、試験開始のトリガ入力後は、自動的に信頼性試験が実行される構成例を説明した。一方で、本実施の形態において、自動的な開閉機構に代えて、ユーザ操作によって接続状態および遮断状態が切替えられる手動式の開閉機構を適用することも可能である。この場合には、ステップS10,S60,S80,S120(図3)および、ステップS10,S60,S80♯,S120♯(図5)での処理をコントローラ60のみによって自動的に完了することはできないが、これらの各ステップでは、ユーザ操作を促すメッセージ出力の後、当該操作完了を示すユーザ入力の確認が、これらの各ステップで実行することにより、半自動の態様で、同様の電気的ストレスの印加モードおよび電気的測定を含む信頼性確認試験を実行することが可能である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10 ストレス印加回路、11〜15,21,21a,21b,22〜25,201〜205 電力線、16 リレー、17 負荷回路、18 負荷インダクタ、19 負荷抵抗、20 測定回路、26 測定対象選択回路、27 測定項目切替回路、28 微小電流計、30 ゲートドライバ、35 ゲート選択回路、40,50,80 ドローアウトコネクタ、60 コントローラ、61 コネクタ、62 レセプタクル、63 マニピュレータ、70 スナバコンデンサ、100a,100b 信頼性試験装置、200 モジュール、B1,B2 直流電源、CP1,CP2 接点、Itst 測定値、L 離間距離(接点間)、S1〜S6 IGBT素子、SG0〜SG3 電気信号。
Claims (7)
- 試験対象となる半導体素子に対して電気的なストレスを印加するためのストレス印加回路と、
前記半導体素子の電気的特性を測定するための測定回路と、
前記半導体素子と前記ストレス印加回路との間を電気的に接続または遮断するための第1の開閉機構と、
前記半導体素子と前記測定回路との間を電気的に接続または遮断するための第2の開閉機構とを備え、
前記ストレス印加回路は、
前記電気的なストレスを発生するための電源と、
前記電源および前記第1の開閉機構の間に接続された開閉器とを含み、
前記第1の開閉機構の遮断状態における絶縁抵抗は、前記開閉器の開放状態における絶縁抵抗よりも高い、信頼性試験装置。 - 前記開閉器は、半導体リレー、電磁リレーまたは、コンタクタによって構成される、請求項1に記載の信頼性試験装置。
- 前記第2の開閉機構の遮断状態における絶縁抵抗は、前記開閉器の開放状態における絶縁抵抗よりも高い、請求項1または2に記載の信頼性試験装置。
- 前記第1および第2の開閉機構は、第1および第2の電気信号にそれぞれ応じて接続状態または前記遮断状態に制御されるように構成され、
前記信頼性試験装置は、
前記第1および第2の電気信号を発生する制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、
前記第1の開閉機構を前記接続状態とする一方で前記第2の開閉機構を前記遮断状態とするように前記第1および第2の電気信号を生成する第1の試験モードと、
前記第1の開閉機構を前記遮断状態とする一方で前記第2の開閉機構を前記接続状態とするように前記第1および第2の電気信号を生成する第2の試験モードとを交互に実行する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の信頼性試験装置。 - 前記第1および第2の開閉機構よりも前記半導体素子側において、前記半導体素子に対してスナバ回路を電気的に接続または遮断するための第3の開閉機構をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の信頼性試験装置。
- 前記第1、第2および第3の開閉機構は、第1、第2および第3の電気信号にそれぞれ応じて接続状態または前記遮断状態に制御されるように構成され、
前記信頼性試験装置は、
前記第1、第2および第3の電気信号を発生する制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、
前記第1および第3の開閉機構を前記接続状態とする一方で前記第2の開閉機構を前記遮断状態とするように前記第1、第2および第3の電気信号を生成する第1の試験モードと、
前記第1および第3の開閉機構を前記遮断状態とする一方で前記第2の開閉機構を前記接続状態とするように前記第1、第2および第3の電気信号を生成する第2の試験モードとを交互に実行する、請求項5記載の信頼性試験装置。 - 前記第1の開閉機構は、10の12乗オーム以上の絶縁抵抗を有するコネクタまたはスイッチによって構成される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の信頼性試験装置。
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