JP2018101728A - 支持装置および支持方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】支持対象物の支持パターンを変更することができる支持装置および支持方法を提供すること。【解決手段】支持対象物WFを第1支持部材23の支持面23Aで支持する第1支持手段20と、支持対象物WFを第2支持部材35の支持面35Bで支持する第2支持手段30と、第1支持手段20および第2支持手段30を支持する本体部40とを備え、第1支持手段20および第2支持手段30の少なくとも一方は、支持面23A、35Bが支持対象物WFの被支持面に対向する位置と、支持対象物WFの被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している第1支持部材23または第2支持部材35を本体部40に対して相対移動可能に構成されている。【選択図】図1
Description
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
従来、支持対象物を第1支持部材の支持面で支持する第1支持手段と、支持対象物を第2支持部材の支持面で支持する第2支持手段と、第1支持手段および第2支持手段を支持する本体部とを備えた支持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載された従来の支持装置では、ウエハ(支持対象物)を支持する支持パターンが1つなので、例えば、支持対象物の形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等の関係上、中央アーム部12(第1支持部材)の支持面のみで当該支持対象物を支持したい場合や、補助アーム13、14(第2支持部材)の支持面のみで当該支持対象物を支持したい場合等があっても、それに対応することができないという不都合がある。
本発明の目的は、支持対象物の支持パターンを変更することができる支持装置および支持方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方を本体部に対して相対移動させることができるので、支持対象物の支持パターンを変更することができる。
また、間隔変更手段を備えれば、支持対象物の大きさが変更になっても、確実に支持対象物を支持することができる。
さらに、第3支持手段を備えれば、支持対象物をより確実に支持することができる。
また、位置決め手段を備えれば、支持対象物を一定の位置で支持することができる。
さらに、支持対象物を支持した第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方を位置決め手段に対して相対移動させて支持対象物を位置決めすれば、支持対象物を確実に位置決めすることができる。
また、第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方が、本体部に対して支持面が反転するように相対回転する構成とすれば、支持対象物を支持する支持パターンを増やすことができる。
さらに、第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方が支持対象物の被支持面に対して交差する方向に移動可能な構成とすれば、支持対象物を確実に支持することができる。
また、間隔変更手段を備えれば、支持対象物の大きさが変更になっても、確実に支持対象物を支持することができる。
さらに、第3支持手段を備えれば、支持対象物をより確実に支持することができる。
また、位置決め手段を備えれば、支持対象物を一定の位置で支持することができる。
さらに、支持対象物を支持した第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方を位置決め手段に対して相対移動させて支持対象物を位置決めすれば、支持対象物を確実に位置決めすることができる。
また、第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方が、本体部に対して支持面が反転するように相対回転する構成とすれば、支持対象物を支持する支持パターンを増やすことができる。
さらに、第1支持部材および第2支持部材の少なくとも一方が支持対象物の被支持面に対して交差する方向に移動可能な構成とすれば、支持対象物を確実に支持することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1、2において、本発明の支持装置10は、支持対象物としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFを第1支持部材23の支持面23Aで支持する第1支持手段20と、ウエハWFを第2支持部材35の支持面35Bで支持する第2支持手段30と、第1支持手段20および第2支持手段30を支持する本体部としてのベース部材40と、第1支持部材23と第2支持部材35との間に位置するウエハWFを第3支持部材52の支持面52Aで支持する第3支持手段50と、第1支持部材23と第2支持部材35との間隔、第1支持部材23と第3支持部材52との間隔および、第2支持部材35と第3支持部材52との間隔を変更可能な間隔変更手段60と、ウエハWFの位置決めを行う位置決め手段としてのピン状の位置決めピン70とを備え、移動手段80に支持されることで搬送装置10Aを構成している。
第1支持手段20は、ベース部材40に支持された駆動機器としてのリニアモータ21と、そのスライダ21Aに支持された駆動機器としての回動モータ22と、その出力軸22Aに支持された第1支持部材23と、支持面23Aに埋没されるように支持された5体の保持手段24とを備え、ベース部材40の中央に1セット配置され、支持面23AがウエハWFの被支持面としての下面に対向する位置(図1(A)中二点鎖線で示す位置)と、ウエハWFの被支持面に対向しない位置(図1(A)中実線で示す位置)との間で、自身を構成している第1支持部材23をベース部材40に対して相対移動(以下、この相対移動を「往復移動」という)可能に構成されているとともに、ベース部材40に対して支持面23Aが反転するように相対回転可能に構成されている。
第2支持手段30は、支持プレート31に支持された駆動機器としての1体の回動モータ32と、支持プレート31に支持された3体の回転軸受33と、回動モータ32の出力軸32Aおよび、各回転軸受33に支持された回転軸33Aそれぞれに支持された4体の保持ローラ34と、各保持ローラ34それぞれの外周部に形成されたV溝34A内に、前後両側に形成された先尖り部35Aが入り込んで支持された第2支持部材35と、支持面35Bに埋没されるように支持された4体の保持手段36とを備え、第1支持手段20の前後に2セット配置され、支持面35BがウエハWFの被支持面に対向する位置(図1(A)中二点鎖線で示す位置)と、ウエハWFの被支持面に対向しない位置(図1(A)中実線で示す位置)との間で、自身を構成している第2支持部材35をベース部材40に対して相対移動(以下、この相対移動を「往復移動」という)可能に構成されている。
第3支持手段50は、駆動機器としての直動モータ51の出力軸51Aに支持された第3支持部材52と、支持面52Aに埋没されるように支持された2体の保持手段53とを備え、支持面52A上に位置決めピン70が支持されて第1支持手段20の前後に2セット配置され、支持面52AがウエハWFの被支持面に対向する位置(図1(A)中二点鎖線で示す位置)と、ウエハWFの被支持面に対向しない位置(図1(A)中実線で示す位置)との間で、自身を構成している第3支持部材52をベース部材40に対して相対移動(以下、この相対移動を「往復移動」という)可能に構成されている。
なお、本実施形態における1つ1つの保持手段24、36、53には、気体を送る加圧ポンプやタービン等の送気手段と、気体を引き戻す減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸気手段との両方を備えた図示しない送吸気手段がそれぞれ個別に独立して接続されている。そして、各保持手段24、36、53は、送吸気手段で気体をウエハWFの一方の面に沿うように放射状に吹き付けることで、放射状に吹き付けた気体の内部であってウエハWFの一方の面との間に減圧領域を形成して当該ウエハWFを吸着保持するベルヌーイの定理を利用した吸着(以下、この吸着を「送気吸着」という)と、送吸気手段で気体を吸気することで、減圧を利用した吸着(以下、この吸着を「吸気吸着」という)とができるようになっている。従って、本願発明で言う支持とは、支持面23A、35B、52Aを支持対象物の被支持面に当接させて支持するものの他、支持面23A、35B、52Aを支持対象物の被支持面に当接させることなく支持するものも含む。
また、支持面23A、35B、52Aは、図1の状態で同一の平面内に位置するようになっている。
また、支持面23A、35B、52Aは、図1の状態で同一の平面内に位置するようになっている。
間隔変更手段60は、ベース部材40に支持された駆動機器としてのリニアモータ61を備え、その第1スライダ61Aで支持プレート31を支持し、その第2スライダ61Bで直動モータ51を支持し、第1支持手段20の前後に2セット配置されている。
移動手段80は、駆動機器としての多関節ロボット81を備え、多関節ロボット81の先端アーム81Aにベース部材40が支持されている。
以上の支持装置10を備えた搬送装置10Aの動作を説明する。
なお、搬送装置10Aは、ウエハカセットWC内の上下方向に所定間隔を空けて複数形成された左右一対の桟WC2上に1枚ずつ載置されたウエハWFを、当該ウエハカセットWCから取り出して図示しない所定の搬送先の搬送台上に搬送するものとする。
初めに、各部材が図1(A)中実線で示す初期位置に配置されている搬送装置10Aに対し、当該搬送装置10Aの使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、ウエハWFの直径寸法や厚み寸法等のサイズを入力する。その後、使用者が自動運転開始の信号を入力すると、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、図1(A)中実線で示すように、上面視でウエハWFと各支持面23A、35B、52Aとが重ならないように、支持装置10をウエハカセットWCの開口部WC1に対向配置させる。これにより、第1、第2、第3支持部材23、35、52の各支持面23A、35B、52AがウエハWFの被支持面に対向しない位置に配置される。このとき、移動手段80は、搬送の対象となるウエハWFの下面よりも下方に支持面23A、35B、52Aを配置する。なお、搬送装置10Aの初期位置と、支持装置10をウエハカセットWCの開口部WC1に対向配置させた位置は、同じ位置であってもよいし、異なる位置であってもよい。
なお、搬送装置10Aは、ウエハカセットWC内の上下方向に所定間隔を空けて複数形成された左右一対の桟WC2上に1枚ずつ載置されたウエハWFを、当該ウエハカセットWCから取り出して図示しない所定の搬送先の搬送台上に搬送するものとする。
初めに、各部材が図1(A)中実線で示す初期位置に配置されている搬送装置10Aに対し、当該搬送装置10Aの使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、ウエハWFの直径寸法や厚み寸法等のサイズを入力する。その後、使用者が自動運転開始の信号を入力すると、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、図1(A)中実線で示すように、上面視でウエハWFと各支持面23A、35B、52Aとが重ならないように、支持装置10をウエハカセットWCの開口部WC1に対向配置させる。これにより、第1、第2、第3支持部材23、35、52の各支持面23A、35B、52AがウエハWFの被支持面に対向しない位置に配置される。このとき、移動手段80は、搬送の対象となるウエハWFの下面よりも下方に支持面23A、35B、52Aを配置する。なお、搬送装置10Aの初期位置と、支持装置10をウエハカセットWCの開口部WC1に対向配置させた位置は、同じ位置であってもよいし、異なる位置であってもよい。
次いで、第1、第2、第3支持手段20、30、50がリニアモータ21、回動モータ32および直動モータ51を駆動し、入力されたウエハWFのサイズに対応させて第1、第2、第3支持部材23、35、52を右方に所定の長さ分突き出す。これにより、図1(A)中二点鎖線で示すように、第1、第2、第3支持部材23、35、52の各支持面23A、35B、52AがウエハWFの被支持面に対向する位置に配置される。
なお、図1(A)に示すように、小さなサイズのウエハWF1の場合、間隔変更手段60がリニアモータ61を駆動し、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23に接近させ、図1(B)に示すように、大きなサイズのウエハWF2の場合、間隔変更手段60がリニアモータ61を駆動し、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23から遠ざける。
なお、図1(A)に示すように、小さなサイズのウエハWF1の場合、間隔変更手段60がリニアモータ61を駆動し、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23に接近させ、図1(B)に示すように、大きなサイズのウエハWF2の場合、間隔変更手段60がリニアモータ61を駆動し、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23から遠ざける。
その後、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、支持装置10を上昇させて支持面23A、35B、52AをウエハWFの被支持面に当接させ、第1、第2、第3支持部材23、35、52でウエハWFを支持して桟WC2から浮上させる。次いで、第1、第2、第3支持手段20、30、50がそれぞれ図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段24、36、53でウエハWFを吸気吸着した後、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、ウエハWFをウエハカセットWC内から取り出す。次に、第1、第2、第3支持手段20、30、50がそれぞれ図示しない送吸気手段の駆動を停止した後、第1、第2支持手段20、30がリニアモータ21および回動モータ32を駆動し、第1、第2支持部材23、35を左方に移動させる。これにより、ウエハWFを支持した第1、第2支持部材23、35の両方と位置決めピン70とを相対移動させ、位置決めピン70にウエハWFを当接させて当該ウエハWFの位置決めを行う。
ウエハWFの位置決めが完了すると、第1、第2、第3支持手段20、30、50が図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段24、36、53で吸気吸着を行う。次いで、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、支持装置10で支持したウエハWFを所定の搬送先に搬送し、第1、第2、第3支持部材23、35、52で支持していない方のウエハWFの面(被支持面の反対側の面)を図示しない搬送台の上に当接させる。そして、第1、第2、第3支持手段20、30、50が図示しない送吸気手段の駆動を停止した後、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、第1、第2、第3支持部材23、35、52をウエハWFから切り離す。その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
ここで、支持装置10の上記の動作説明では、第1、第2、第3支持手段20、30、50が、第1、第2、第3支持部材23、35、52の全てを突き出し、図4(1)に示すように、第1支持部材23と第2支持部材35と第3支持部材52とでウエハWFを一方の面側から支持する場合を示したが、第1、第2、第3支持手段20、30、50が、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか1つまたは2つを突き出し、図4(2)〜(4)に示すように、第1支持部材23のみ、第2支持部材35のみまたは、第3支持部材52のみでウエハWFを支持してもよいし、第1、第2、第3支持手段20、30、50が、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか2つを突き出し、図4(5)〜(7)に示すように、第1支持部材23と第2支持部材35とで、第1支持部材23と第3支持部材52とで、または、第2支持部材35と第3支持部材52とでウエハWFを支持してもよいし、第1支持手段20が回動モータ22を駆動し、図3に示すように、ベース部材40に対して支持面23Aが反転するように第1支持部材23を相対回転させれば、図4(8)〜(11)に示すような支持パターンを採ることができる。
なお、第1支持部材23は、ウエハWFを支持した状態で、第1支持部材23をベース部材40に対して支持面23Aが反転するように相対回転させてもよいし、ウエハWFを支持する前の状態で、第1支持部材23をベース部材40に対して相対回転させてから、当該第1支持部材23でウエハWFを支持するように構成してもよい。
また、第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか1つまたは2つを、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aが反転するように相対回転させた際、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハWFの厚み以上になってしまう場合には、保持手段24、36、53全てでウエハWFを送気吸着してもよいし、相対回転させた方の支持部材と相対回転させなかった支持部材とで送気吸着と吸気吸着とを分けてウエハWFを保持してもよいし、支持対象物が変形してもよいものの場合、保持手段24、36、53全てでウエハWFを吸気吸着してもよい。
さらに、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか1つまたは2つを、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aが反転するように相対回転させ、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハWFの厚み以下になってしまう場合や、ウエハWFの被支持面に凹凸がある場合等があるので、第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つをウエハWFの被支持面に対して交差する方向に移動可能に構成してもよい。
なお、第1支持部材23は、ウエハWFを支持した状態で、第1支持部材23をベース部材40に対して支持面23Aが反転するように相対回転させてもよいし、ウエハWFを支持する前の状態で、第1支持部材23をベース部材40に対して相対回転させてから、当該第1支持部材23でウエハWFを支持するように構成してもよい。
また、第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか1つまたは2つを、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aが反転するように相対回転させた際、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハWFの厚み以上になってしまう場合には、保持手段24、36、53全てでウエハWFを送気吸着してもよいし、相対回転させた方の支持部材と相対回転させなかった支持部材とで送気吸着と吸気吸着とを分けてウエハWFを保持してもよいし、支持対象物が変形してもよいものの場合、保持手段24、36、53全てでウエハWFを吸気吸着してもよい。
さらに、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち何れか1つまたは2つを、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aが反転するように相対回転させ、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハWFの厚み以下になってしまう場合や、ウエハWFの被支持面に凹凸がある場合等があるので、第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つをウエハWFの被支持面に対して交差する方向に移動可能に構成してもよい。
以上のような実施形態によれば、第1支持部材23および第2支持部材35の両方をベース部材40に対して相対移動させることができるので、ウエハWFの支持パターンを変更することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、本体部は、第1支持手段および第2支持手段を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程も同様でありその説明は省略する)。
第1支持手段20は、2セット以上でもよいし、ベース部材40に対して支持面23Aが反転するように相対回転することのない第1支持部材23を採用してもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第1支持部材23を構成してもよいし、第2支持手段30や第3支持手段50と同等の構成やその他の構成等によって、第1支持部材23が往復移動可能な構成としてもよいし、第2支持部材35が往復移動可能な構成の場合、第1支持部材23が往復移動しない構成としてもよい。
第2支持手段30は、1セットでもよいし、3セット以上でもよいし、複数の回動モータ32のそれぞれの出力軸32Aで保持ローラ34を支持し、複数の保持ローラ34を回転させて1体の支持部材を移動させる構成でもよいし、保持ローラ34の数を2体、3体または5体以上としてもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第2支持部材35を構成してもよいし、ベース部材40に対して支持面35Bが反転するように相対回転する第2支持部材35を採用してもよく、この場合、図4(12)〜(17)に示すような支持パターンを採ることができるし、ウエハWFを支持した状態で、第2支持部材35をベース部材40に対して相対回転させてもよいし、ウエハWFを支持する前の状態で、第2支持部材35をベース部材40に対して相対回転させてから、当該第2支持部材35でウエハWFを支持するように構成してもよい。
第2支持手段30は、第1支持手段20や第3支持手段50と同等の構成やその他の構成等によって、第2支持部材35が往復移動可能な構成としてもよいし、第1支持部材23が往復移動可能な構成の場合、第2支持部材35が往復移動しない構成としてもよい。
第2支持手段30は、第1支持手段20や第3支持手段50と同等の構成やその他の構成等によって、第2支持部材35が往復移動可能な構成としてもよいし、第1支持部材23が往復移動可能な構成の場合、第2支持部材35が往復移動しない構成としてもよい。
本体部は、プレート状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で構成されてもよく、第1支持手段20および第2支持手段30を支持できる限りどのようなものでもよいし、移動手段80に支持されていなくてもよい。
第3支持手段50は、1セットでもよいし、3セット以上でもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第3支持部材52を構成してもよいし、ベース部材40に対して支持面52Aが反転するように相対回転するように構成してもよく、この場合、図4(18)〜(26)に示すような支持パターンを採ることができるし、ウエハWFを支持した状態で、第3支持部材52をベース部材40に対して相対回転させてもよいし、ウエハWFを支持する前の状態で、第3支持部材52をベース部材40に対して相対回転させてから、当該第3支持部材52でウエハWFを支持するように構成してもよい。
第3支持手段50は、第1支持手段20や第2支持手段30と同等の構成やその他の構成等によって、第3支持部材52が往復移動可能な構成としてもよいし、往復移動しなくてもよいし、本発明の支持装置10に備わっていなくてもよい。
第3支持手段50は、第1支持手段20や第2支持手段30と同等の構成やその他の構成等によって、第3支持部材52が往復移動可能な構成としてもよいし、往復移動しなくてもよいし、本発明の支持装置10に備わっていなくてもよい。
間隔変更手段60は、第1支持部材23を移動させる構成としてもよいし、別々の駆動機器それぞれで、または、1体の駆動機器で第1支持部材23と第2支持部材35と第3支持部材52との間隔を変更してもよいし、第1支持部材23と第2支持部材35との間隔のみを変更する構成でもよいし、第1支持部材23と第3支持部材52との間隔のみを変更する構成でもよいし、第2支持部材35と第3支持部材52との間隔のみを変更する構成でもよいし、本発明の支持装置10に備わっていなくてもよい。
位置決め手段は、ピン形状以外に板状、ブロック形状、球形状、筒形状等どんな形状の部材で構成してもよいし、第3支持部材52に支持されることなく、例えば、第1支持部材23、第2支持部材35、ベース部材40等に支持されていてもよいし、1体で構成されてもよいし、3体以上で構成されてもよいし、本発明の支持装置10に備わっていなくてもよい。
移動手段80は、多関節ロボット81として、所謂スカラロボット、6軸ロボット、5軸以下の多関節ロボット、7軸以上の多関節ロボット等何を採用してもよいし、ウエハWFの位置決めを行う際、支持装置10を傾斜させ、第1支持部材23、第2支持部材35および第3支持部材52の少なくとも1つで支持しているウエハWFを位置決め手段方向に移動させて当接させることで、当該ウエハWFの位置決めを行ってもよいし、搬送先では、ウエハWFの何れの面を図示しない搬送台の上に当接させるようにして受け渡してもよいし、本発明の支持装置10に備わっていなくてもよい。
搬送装置10Aは、ウエハWFの近傍である上面視でウエハWFと各支持面23A、35B、52Aとが重なる位置に、各部材が初期位置にある支持装置10を配置させ、次いで、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つをベース部材40から突き出すとともに、移動手段80が多関節ロボット81を駆動し、ベース部材40を上面視でウエハWFと重ならない位置に移動させてもよいし、支持装置10をウエハカセットWCの開口部WC1に対向させる前に、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも2つを予めベース部材40から突き出しておき、当該突き出しておいた支持部材をウエハWFの被支持面に対向する位置に配置した後、それら突き出しておいた支持部材のうち少なくとも1つを残し、その他の支持部材をウエハWFの被支持面に対向しない位置に引っ込めてもよいし、時間差を付けて順番にベース部材40から突き出したり、引っ込めたりしてもよいし、横向きや斜め向きに配置してウエハWFを支持してもよいし、搬送の対象となるウエハWFの上面よりも上方に支持面23A、35B、52Aを配置し、当該ウエハWFの上面を被支持面としてもよい。
支持装置10は、搬送装置10A以外に、支持対象物を搬送することなく当該支持対象物の支持のみを行うものや、例えば、接着シートを貼付するシート貼付装置の被着体支持手段や被着体支持テーブルや被着体搬送手段、接着シートを剥離するシート剥離装置の剥離対象物支持手段や剥離対象物支持テーブルや剥離対象物搬送手段、支持対象物を研削したり切断したり表面処理したり検査したり、支持対象物に印字したり印刷したり所定の加工を施したりする各種処理装置の処理対象物支持手段や処理対象物支持テーブルや処理対象物搬送手段等に採用してもよい。
保持手段24、36、53は、図示しない送吸気手段が送る気体を大気や単体ガスや複合ガスとしてもよいし、第1、第2、第3支持部材23、35、52に対してそれぞれ1体だけ備わっていてもよいし、それぞれ2体以上備わっていてもよく、数に限定されることはないし、吸気吸着のみでウエハWFを保持してもよいし(この場合、送吸気手段は、送気手段があってもよいし、なくてもよい)、送気吸着のみでウエハWFを保持してもよいし(この場合、送吸気手段は、吸気手段があってもよいし、なくてもよい)、吸気吸着と送気吸着との両方でウエハWFを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えてウエハWFを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えながらウエハWFを保持してもよいし、支持面23A、35B、52Aに埋没されていなくてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aと同一平面上に位置していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aから飛び出していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aから引っ込んでいてもよいし、1つの送吸気手段に複数接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段24全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段36全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段53全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段24、36、53全てが接続されていてもよいし、例えば、吸着パッドや吸引孔等の吸着保持手段で吸気吸着のみでウエハWFを保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、駆動機器等でウエハWFを支持するものでもよいし、ウエハWFを重力方向下方から支えて支持するだけでよければ、あってもよいし、なくてもよい。
保持手段は、ウエハWFを支持したときに、ウエハWFを保持できない位置にある場合、吸気吸着や送気吸着等のウエハWFを保持する保持動作を行ってもよいし、行わなくてもよい。
第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つをウエハWFの被支持面に交差する軸を回転中心として回転移動させることで、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つを往復移動可能な構成としてもよい。
支持面23A、35B、52Aは、図1の状態で同一の平面内に位置していなくてもよい。
第1、第2、第3支持部材23、35、52のベース部材40からの突き出し量や、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23に接近させたり遠ざけたりする距離は、使用者が任意に決定できる。
第1、第2支持手段20、30の少なくとも一方は、ウエハWFの位置決めを行う際、図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段24、36の少なくとも一方で弱い吸気吸着を行ってもよいし、送気吸着を行ってもよいし、停止している位置決めピン70に対し、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持しているウエハWFを移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持されて停止しているウエハWFに対し、位置決めピン70を移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持されているウエハWFと、位置決めピン70との両方を相互に接近させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、ベース部材40に位置決め手段が支持されている場合、第1、第2、第3支持部材23、35、52の少なくとも1つで支持しているウエハWFを位置決めピン70方向に移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよい。
ウエハWFは、ウエハカセットWC内に収納されていなくてもよい。
ウエハWFの被支持面は、上面側でもよいし、例えば、当該ウエハWFの回路面側でもよいし、回路面の反対側の面でもよいし、回路面に接着シートが貼付された接着シート側でもよく、当該ウエハWFの形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等に応じて使用者が任意に決定することができる。
第1、第2、第3支持手段20、30、50は、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aのうち少なくとも1つが反転するように第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つを相対回転させる構成としてもよい。
保持手段24、36、53は、図示しない送吸気手段が送る気体を大気や単体ガスや複合ガスとしてもよいし、第1、第2、第3支持部材23、35、52に対してそれぞれ1体だけ備わっていてもよいし、それぞれ2体以上備わっていてもよく、数に限定されることはないし、吸気吸着のみでウエハWFを保持してもよいし(この場合、送吸気手段は、送気手段があってもよいし、なくてもよい)、送気吸着のみでウエハWFを保持してもよいし(この場合、送吸気手段は、吸気手段があってもよいし、なくてもよい)、吸気吸着と送気吸着との両方でウエハWFを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えてウエハWFを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えながらウエハWFを保持してもよいし、支持面23A、35B、52Aに埋没されていなくてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aと同一平面上に位置していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aから飛び出していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面23A、35B、52Aから引っ込んでいてもよいし、1つの送吸気手段に複数接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段24全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段36全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段53全てが接続されていてもよいし、1つの送吸気手段に保持手段24、36、53全てが接続されていてもよいし、例えば、吸着パッドや吸引孔等の吸着保持手段で吸気吸着のみでウエハWFを保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、駆動機器等でウエハWFを支持するものでもよいし、ウエハWFを重力方向下方から支えて支持するだけでよければ、あってもよいし、なくてもよい。
保持手段は、ウエハWFを支持したときに、ウエハWFを保持できない位置にある場合、吸気吸着や送気吸着等のウエハWFを保持する保持動作を行ってもよいし、行わなくてもよい。
第1、第2、第3支持手段20、30、50は、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つをウエハWFの被支持面に交差する軸を回転中心として回転移動させることで、第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つを往復移動可能な構成としてもよい。
支持面23A、35B、52Aは、図1の状態で同一の平面内に位置していなくてもよい。
第1、第2、第3支持部材23、35、52のベース部材40からの突き出し量や、第2、第3支持部材35、52を第1支持部材23に接近させたり遠ざけたりする距離は、使用者が任意に決定できる。
第1、第2支持手段20、30の少なくとも一方は、ウエハWFの位置決めを行う際、図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段24、36の少なくとも一方で弱い吸気吸着を行ってもよいし、送気吸着を行ってもよいし、停止している位置決めピン70に対し、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持しているウエハWFを移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持されて停止しているウエハWFに対し、位置決めピン70を移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、第1、第2支持部材23、35の少なくとも一方で支持されているウエハWFと、位置決めピン70との両方を相互に接近させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよいし、ベース部材40に位置決め手段が支持されている場合、第1、第2、第3支持部材23、35、52の少なくとも1つで支持しているウエハWFを位置決めピン70方向に移動させ、当該位置決めピン70でウエハWFの位置決めを行ってもよい。
ウエハWFは、ウエハカセットWC内に収納されていなくてもよい。
ウエハWFの被支持面は、上面側でもよいし、例えば、当該ウエハWFの回路面側でもよいし、回路面の反対側の面でもよいし、回路面に接着シートが貼付された接着シート側でもよく、当該ウエハWFの形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等に応じて使用者が任意に決定することができる。
第1、第2、第3支持手段20、30、50は、ベース部材40に対して支持面23A、35B、52Aのうち少なくとも1つが反転するように第1、第2、第3支持部材23、35、52のうち少なくとも1つを相対回転させる構成としてもよい。
本発明における支持対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、支持対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、支持対象物が接着シートの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、1層または2層以上のものであってよい。また、支持対象物としては、板状の部材であってもよいし板状でない部材であってもよく、例えば、食品、各種の容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
10…支持装置
20…第1支持手段
23…第1支持部材
23A…支持面
30…第2支持手段
35…第2支持部材
35B…支持面
40…ベース部材(本体部)
50…第3支持手段
52…第3支持部材
52A…支持面
60…間隔変更手段
70…位置決めピン(位置決め手段)
WF…ウエハ(支持対象物)
20…第1支持手段
23…第1支持部材
23A…支持面
30…第2支持手段
35…第2支持部材
35B…支持面
40…ベース部材(本体部)
50…第3支持手段
52…第3支持部材
52A…支持面
60…間隔変更手段
70…位置決めピン(位置決め手段)
WF…ウエハ(支持対象物)
Claims (8)
- 支持対象物を第1支持部材の支持面で支持する第1支持手段と、
前記支持対象物を第2支持部材の支持面で支持する第2支持手段と、
前記第1支持手段および前記第2支持手段を支持する本体部とを備え、
前記第1支持手段および前記第2支持手段の少なくとも一方は、前記支持面が前記支持対象物の被支持面に対向する位置と、前記支持対象物の被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している前記第1支持部材または第2支持部材を前記本体部に対して相対移動可能に構成されていることを特徴とする支持装置。 - 前記第1支持部材と前記第2支持部材との間隔を変更可能な間隔変更手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の支持装置。
- 前記第1支持部材と前記第2支持部材との間に位置する前記支持対象物を第3支持部材の支持面で支持する第3支持手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の支持装置。
- 前記支持対象物の位置決めを行う位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の支持装置。
- 前記支持対象物を支持した前記第1支持部材および前記第2支持部材の少なくとも一方と前記位置決め手段とを相対移動させ、当該位置決め手段に前記支持対象物を当接させて当該支持対象物の位置決めを行うことを特徴とする請求項4に記載の切断装置。
- 前記第1支持部材および前記第2支持部材の少なくとも一方は、前記本体部に対して前記支持面が反転するように相対回転可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載の支持装置。
- 前記第1支持部材および前記第2支持部材の少なくとも一方は、前記支持対象物の被支持面に対して交差する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6に記載の支持装置。
- 支持対象物を第1支持部材の支持面で支持する第1支持手段と、
前記支持対象物を第2支持部材の支持面で支持する第2支持手段と、
前記第1支持手段および前記第2支持手段を支持する本体部とを備え、
前記第1支持手段および前記第2支持手段の少なくとも一方が、前記支持面が前記支持対象物の被支持面に対向する位置と、前記支持対象物の被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している前記第1支持部材または第2支持部材を前記本体部に対して相対移動可能に構成されている支持装置における前記支持対象物の支持方法において、
前記第1支持部材および前記第2支持部材の少なくとも一方を選択し、当該選択した少なくとも一方で前記支持対象物を支持することを特徴とする支持方法。
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JP2016247966A JP2018101728A (ja) | 2016-12-21 | 2016-12-21 | 支持装置および支持方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=62714482
Family Applications (1)
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JP2016247966A Pending JP2018101728A (ja) | 2016-12-21 | 2016-12-21 | 支持装置および支持方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2018101728A (ja) |
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2016
- 2016-12-21 JP JP2016247966A patent/JP2018101728A/ja active Pending
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