JP2018087737A - Electronic component conveyance device and electronic component inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。 The present invention relates to an electronic component conveying device and an electronic component inspection device.
従来から、例えばICデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置
が知られており、この電子部品検査装置には、ICデバイスを搬送するための電子部品搬
送装置が組み込まれている(例えば、特許文献1参照)。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component inspection apparatus that inspects electrical characteristics of electronic components such as IC devices is known, and an electronic component conveyance apparatus for conveying an IC device is incorporated in the electronic component inspection apparatus. (For example, refer to Patent Document 1).
特許文献1に記載されている電子部品搬送装置では、電子部品の搬送が行われていない
状態において、電子部品の検査を行うソケット(検査部)の画像を撮像し、その画像が基
準画像データとして予め記憶されている。そして、電子部品の搬送中にソケットの画像を
撮像し、その画像を前記基準画像データと比較するよう構成されている。これにより、ソ
ケットにおける搬送異常等を検出することができる。
In the electronic component conveying apparatus described in
しかしながら、特許文献1に記載の電子部品検査装置では、電子部品の厚さや、電子部
品の色によっては、搬送異常等の検出が困難になる場合がある。
However, in the electronic component inspection apparatus described in
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
ものとして実現することが可能である。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as follows.
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を載置可能な電子部品載置部を配置可能で、
前記電子部品載置部に光を照射可能に配置され、前記電子部品載置部に載置された前記
電子部品に前記光を照射可能な光照射部と、
前記光が照射された前記電子部品載置部を撮像可能な撮像部と、を備え、
前記光照射部が第1輝度の前記光を出射して前記電子部品載置部を撮像した第1画像と
、前記光照射部が前記第1輝度よりも小さい第2輝度の前記光を出射して前記電子部品載
置部を撮像した第2画像とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、前記電子部品載置
部に前記電子部品が配置されているか否の判断を行うことを特徴とする。
The electronic component transport device of the present invention can arrange an electronic component placement section on which an electronic component can be placed,
A light irradiating unit arranged to irradiate light on the electronic component mounting unit, and capable of irradiating the light on the electronic component mounted on the electronic component mounting unit;
An imaging unit capable of imaging the electronic component placement unit irradiated with the light,
The light irradiation unit emits the light having the first luminance to capture the electronic component placement unit, and the light irradiation unit emits the light having the second luminance smaller than the first luminance. And determining whether or not the electronic component is arranged on the electronic component placement unit based on at least one of the second images obtained by imaging the electronic component placement unit. .
これにより、電子部品載置部に対する電子部品の搬送動作を行った後に、電子部品が電子
部品載置部に残留しているか否かを検出することができる。特に、輝度が異なる光を照射
して撮像した2つの画像のうちの少なくとも一方の画像に基づいて、電子部品が電子部品
載置部に残留しているか否かを判断する。この判断の際、例えば、2つの画像のうち、よ
り正確に判断を行うことができる画像を用いたり、2つの画像ののうちの双方を用いたり
することにより、判断をより正確に行うことができる。
Thus, it is possible to detect whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit after the electronic component carrying operation with respect to the electronic component placement unit is performed. In particular, it is determined whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit based on at least one of the two images captured by irradiating light with different luminance. In this determination, for example, the determination can be performed more accurately by using an image that can be more accurately determined from the two images, or by using both of the two images. it can.
本発明の電子部品搬送装置では、前記光照射部の照射条件、前記電子部品載置部の色、
前記電子部品の色のうちの少なくとも1つの条件に基づいて、前記第1画像および前記第
2画像から、前記判断の際に用いる画像を選択するのが好ましい。
In the electronic component transport device of the present invention, the irradiation condition of the light irradiation unit, the color of the electronic component placement unit,
It is preferable to select an image to be used for the determination from the first image and the second image based on at least one condition of the colors of the electronic components.
これにより、判断を行うのに際し、より良い条件の画像を用いることができる。よって
、電子部品が電子部品載置部に残留しているか否かをより正確に判断することができる。
This makes it possible to use an image with better conditions when making the determination. Therefore, it is possible to more accurately determine whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit.
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1輝度の光を出射可能な第1光照射部と、前記
第2輝度の光を出射可能な第2光照射部と、を有するのが好ましい。
これにより、光照射部は、互いに輝度が異なる光を出射することができる。
It is preferable that the electronic component transport device of the present invention includes a first light irradiation unit capable of emitting the light having the first luminance and a second light irradiation unit capable of emitting the light having the second luminance.
Thereby, the light irradiation part can radiate | emit the light from which a brightness | luminance differs mutually.
本発明の電子部品搬送装置では、前記第2光照射部は、出射する光の輝度を調整可能で
あるのが好ましい。
In the electronic component transport device of the present invention, it is preferable that the second light irradiation unit can adjust the luminance of the emitted light.
これにより、第2光照射部が出射する光の照度を調整することができる。よって、上記
判断に、より良い条件の画像を用いることができる。
Thereby, the illumination intensity of the light which a 2nd light irradiation part radiate | emits can be adjusted. Therefore, an image with better conditions can be used for the above determination.
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1画像に基づいて前記判断を行った後に、前記
第2画像に基づいて前記判断を行うのが好ましい。
In the electronic component transport device according to the aspect of the invention, it is preferable that the determination is performed based on the second image after the determination is performed based on the first image.
このように輝度が異なる光を照射して撮像した2つの画像を用いて2段階で電子部品が
電子部品載置部に残留しているか否かを判断するため、その判断を正確に行うことができ
る。
In this way, it is possible to determine whether or not the electronic component remains on the electronic component mounting portion in two stages using the two images captured by irradiating light having different luminances. it can.
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品を把持する把持部を有し、
前記電子部品載置部に前記電子部品が配置されていると判断した場合、前記把持部の作
動を停止するのが好ましい。
In the electronic component conveying device of the present invention, the electronic component conveying device has a gripping portion for gripping the electronic component,
When it is determined that the electronic component is disposed on the electronic component placement unit, it is preferable to stop the operation of the gripping unit.
これにより、電子部品が電子部品載置部に不本意に残留している状態で、搬送動作を継
続するのを防止することができる。
Thereby, it is possible to prevent the conveyance operation from being continued in a state where the electronic component remains unintentionally on the electronic component placement unit.
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断の結果を報知する報知部を有するのが好まし
い。
In the electronic component transport device of the present invention, it is preferable to have a notification unit that notifies the result of the determination.
これにより、当該電子部品搬送装置のオペレーターに判断の結果を知らせることができ
る。
As a result, it is possible to notify the operator of the electronic component transport apparatus of the determination result.
本発明の電子部品搬送装置では、前記撮像部は、前記第1画像を撮像する第1撮像部と
、前記第2画像を撮像する第2撮像部とを有するのが好ましい。
In the electronic component transport device according to the aspect of the invention, it is preferable that the imaging unit includes a first imaging unit that captures the first image and a second imaging unit that captures the second image.
例えば、第1撮像部を比較的高い分解能を有するものとし、第2撮像部を、第2撮像部
よりも低い分解能を有するものとした場合、第2画像を用いた判断において、制御部と第
2撮像部との間でのデータのやり取りにかかる時間を短縮することができる。
For example, when the first image pickup unit has a relatively high resolution and the second image pickup unit has a lower resolution than the second image pickup unit, in the determination using the second image, It is possible to reduce the time required for exchanging data with the two imaging units.
本発明の電子部品搬送装置では、第1方向と、前記第1方向と異なる第2方向とに移動
可能であり、前記電子部品を把持可能な第1把持部と、
前記第1把持部とは独立して前記第1方向および前記第2方向に移動可能であり、前記
電子部品を把持可能な第2把持部と、を有するのが好ましい。
これにより、電子部品を前記第1方向および前記第2方向に移動させることができる。
In the electronic component transport device of the present invention, a first gripping part that is movable in a first direction and a second direction different from the first direction and is capable of gripping the electronic component;
It is preferable to have a second gripper that can move in the first direction and the second direction independently of the first gripper and can grip the electronic component.
Thereby, the electronic component can be moved in the first direction and the second direction.
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を載置可能な電子部品載置部を配置可能で、
前記電子部品載置部に光を照射可能に配置され、前記電子部品載置部に載置された前記
電子部品に前記光を照射可能な光照射部と、
前記光が照射された前記電子部品載置部を撮像可能な撮像部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記光照射部が第1輝度の前記光を出射して前記電子部品載置部を撮像した第1画像と
、前記光照射部が前記第1輝度よりも小さい第2輝度の前記光を出射して前記電子部品載
置部を撮像した第2画像とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、前記電子部品載置
部に前記電子部品が配置されているか否の判断を行うことを特徴とする。
The electronic component inspection apparatus of the present invention can arrange an electronic component placement portion on which an electronic component can be placed,
A light irradiating unit arranged to irradiate light on the electronic component mounting unit, and capable of irradiating the light on the electronic component mounted on the electronic component mounting unit;
An imaging unit capable of imaging the electronic component placement unit irradiated with the light;
An inspection unit for inspecting the electronic component,
The light irradiation unit emits the light having the first luminance to capture the electronic component placement unit, and the light irradiation unit emits the light having the second luminance smaller than the first luminance. And determining whether or not the electronic component is arranged on the electronic component placement unit based on at least one of the second images obtained by imaging the electronic component placement unit. .
これにより、電子部品載置部に対する電子部品の搬送動作を行った後に、電子部品が電
子部品載置部に残留しているか否かを検出することができる。特に、輝度が異なる光を照
射して撮像した2つの画像のうちの少なくとも一方の画像に基づいて、電子部品が電子部
品載置部に残留しているか否かを判断する。この判断の際、例えば、2つの画像のうち、
より正確に判断を行うことができる画像を用いたり、2つの画像のうちの双方を用いたり
することにより、判断をより正確に行うことができる。
Thus, it is possible to detect whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit after the electronic component carrying operation with respect to the electronic component placement unit is performed. In particular, it is determined whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit based on at least one of the two images captured by irradiating light with different luminance. In this determination, for example, of two images,
The determination can be performed more accurately by using an image that can be determined more accurately or by using both of the two images.
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施
形態に基づいて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an electronic component conveying device and an electronic component inspection device according to the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
<第1実施形態>
以下、図1〜図20を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の
第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互
いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水
平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第3方
向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2方向)」とも言い、Z軸に平行な方
向を「Z方向(第1方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正(+)」
、その反対方向を「負(−)」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水
平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未
満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図4〜図11、図16〜図19中の上側を「上
」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言うことがある。特に、第1方向およ
び第2方向が互いに直交していることにより、電子部品搬送装置10の各部を作動させる
制御動作を簡単に行うことができる。
<First Embodiment>
Hereinafter, with reference to FIGS. 1-20, 1st Embodiment of the electronic component conveying apparatus and electronic component inspection apparatus of this invention is described. In the following, for convenience of explanation, as shown in FIG. 1, three axes orthogonal to each other are referred to as an X axis, a Y axis, and a Z axis. Further, the XY plane including the X axis and the Y axis is horizontal, and the Z axis is vertical. A direction parallel to the X axis is also referred to as “X direction (third direction)”, a direction parallel to the Y axis is also referred to as “Y direction (second direction)”, and a direction parallel to the Z axis is referred to as “Z direction”. (First direction) ". Also, the direction in which the arrow in each direction points is “Positive (+)”
The opposite direction is called “negative (−)”. In addition, the term “horizontal” in the specification of the present application is not limited to complete horizontal, and includes a state slightly inclined (for example, less than about 5 °) with respect to the horizontal as long as transportation of electronic components is not hindered. In addition, the upper side in FIGS. 1, 4 to 11, and 16 to 19 may be referred to as “upper” or “upper”, and the lower side may be referred to as “lower” or “lower”. In particular, since the first direction and the second direction are orthogonal to each other, a control operation for operating each part of the electronic
本発明の電子部品搬送装置10は、ICデバイス90(電子部品)を載置可能な検査部
16(電子部品載置部)を配置可能で、検査部16に光を照射可能に配置され、検査部1
6に載置されたICデバイス90に光を照射可能な光照射部と、光が照射された検査部1
6を撮像可能な撮像部としてのカメラ31と、を備え、光照射部が第1輝度の光を出射し
て検査部16を撮像した第1画像と、光照射部が第1輝度よりも小さい第2輝度の光を出
射して検査部16を撮像した第2画像とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、検査
部16にICデバイス90が配置されているか否の判断を行う。
The electronic
A light irradiating unit capable of irradiating the
And a
これにより、電子部品載置部に対する電子部品の搬送動作を行った後に、電子部品が電
子部品載置部に残留しているか否かを検出することができる。特に、輝度が異なる光を照
射して撮像した2つの画像のうちの少なくとも一方の画像に基づいて、電子部品が電子部
品載置部に残留しているか否かを判断するため、その判断をより正確に行うことができる
。
Thus, it is possible to detect whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit after the electronic component carrying operation with respect to the electronic component placement unit is performed. In particular, in order to determine whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit based on at least one of the two images captured by irradiating light with different luminance, the determination is further made. Can be done accurately.
本発明の電子部品搬送装置10は、ICデバイス90(電子部品)を載置可能な検査部
16(電子部品載置部)を配置可能で、検査部16に光を照射可能に配置され、検査部1
6に載置されたICデバイス90に光を照射可能な光照射部と、光が照射された検査部1
6を撮像可能な撮像部としてのカメラ31と、ICデバイス90を検査する検査部16と
を備え、光照射部が第1輝度の光を出射して検査部16を撮像した第1画像と、光照射部
が第1輝度よりも小さい第2輝度の光を出射して検査部16を撮像した第2画像とのうち
の少なくとも一方の画像に基づいて、検査部16にICデバイス90が配置されているか
否の判断を行う。
The electronic
A light irradiating unit capable of irradiating the
6, a
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られ
る。また、検査部16にまでICデバイス90を搬送することができ、よって、当該電子
部品に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部
16から搬送することができる。
Thereby, the electronic
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られ
る。また、検査部16にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対
する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部16から
搬送することができる。
Thereby, the electronic
なお、本明細書中では、第2輝度は、第1輝度よりも小さければよく、ゼロの状態、す
なわち、光照射部が光を照射していない状態も含む。
In the present specification, the second luminance only needs to be smaller than the first luminance, and includes a zero state, that is, a state where the light irradiation unit is not irradiating light.
以下、各部の構成について説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を内蔵する電子部品検査装置1は、例
えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、
その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置
である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合
について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本
実施形態では平板状をなすものとなっている。
Hereinafter, the configuration of each unit will be described.
As shown in FIGS. 1 and 2, an electronic
It is an apparatus for inspecting and testing (hereinafter simply referred to as “inspection”) the electrical characteristics of electronic components during the conveyance process. In the following, for convenience of explanation, the case where an IC device is used as the electronic component will be described as a representative, and this will be referred to as “
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale In
tegration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)
」や、ICデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水
晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセ
ンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
In addition to the above devices, for example, “LSI (Large Scale In
tegration) "" CMOS (Complementary MOS) "" CCD (Charge Coupled Device) "
”,“ Module IC ”in which a plurality of IC devices are packaged,“ crystal device ”,“ pressure sensor ”,“ inertial sensor (acceleration sensor) ”,“ gyro sensor ”,“ fingerprint sensor ”, etc. .
また、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、ICデバイス90の種類ごと
に交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェン
ジキットには、ICデバイス90が載置される載置部があり、その載置部としては、例え
ば、後述する温度調整部12、デバイス供給部14等がある。また、ICデバイス90が
載置される載置部としては、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意する
検査部16やトレイ200もある。
Also, the electronic component inspection apparatus 1 (electronic component transport apparatus 10) is used by mounting in advance a so-called “change kit” that is exchanged for each type of
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域(以下単に「供給領
域」と言う)A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域(以下単に「回収領域」と言う
)A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分け
られている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5
まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。
このように電子部品検査装置1は、各領域でICデバイス90を搬送する電子部品搬送装
置10であるハンドラーと、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、制御部800
とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と
、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
The electronic
Through sequentially the respective regions in the arrow alpha 90 direction, it is examined in the course of the inspection area A3 is performed to.
As described above, the electronic
It has become with. In addition, the electronic
なお、電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方
、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2
中の上側が背面側として使用される。
In the electronic
The upper inside is used as the back side.
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ20
0が供給される給材部である。トレイ供給領域A1では、多数のトレイ200を積み重ね
ることができる。
The tray supply area A1 is a
0 is a material supply unit to be supplied. In the tray supply area A1, a large number of
供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバ
イス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領
域A1と供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレ
イ搬送機構11A、11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、トレイ200を
、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中
の矢印α11A方向に移動させることができる移動部である。これにより、ICデバイス
90を安定して供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、
空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11B方向に移動させるこ
とができる移動部である。これにより、空のトレイ200を供給領域A2からトレイ供給
領域A1に移動させることができる。
The supply area A2 is an area where a plurality of
This is a moving unit that can move the
供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記
(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設け
られている。
In the supply area A2, a temperature adjustment unit (soak plate (English notation: soak plate, Chinese notation (example): soaking plate)) 12, a
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置される載置部として構成され、当該
載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレー
ト」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス
90を予め加熱または冷却して、当該検査(高温検査または低温検査)に適した温度に調
整することができる。図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定
されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入された
トレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。なお
、この載置部としての温度調整部12は、固定されていることにより、当該温度調整部1
2上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
The
The temperature can be stably adjusted with respect to the
デバイス搬送ヘッド13は、供給領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持さ
れ、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。これにより、デバイス搬送ヘッド1
3は、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデ
バイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイ
ス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方
向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Y
で示している。
The
3 shows the conveyance of the
Is shown.
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200
を供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そ
して、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによって供給領域A2か
らトレイ供給領域A1に戻される。
The
The positive side of the X direction in the supply region A2, i.e., a mechanism for conveying the arrow alpha 15 direction. After this conveyance, the
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、I
Cデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けら
れている。また、供給領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動するデバイス供給部1
4と、検査領域A3と回収領域A4とを跨ぐように移動するデバイス回収部18も設けら
れている。
The inspection area A3 is an area where the
An
4 and a
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置され
る載置部として構成され、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することがで
きる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。
The
また、この載置部としてのデバイス供給部14は、供給領域A2と検査領域A3との間
をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能に支持されている。これによ
り、デバイス供給部14は、ICデバイス90を供給領域A2から検査領域A3の検査部
16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデ
バイス搬送ヘッド17によって取り去られた後は再度供給領域A2に戻ることができる。
The
図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、温度調整
部12上のICデバイス90は、いずれかのデバイス供給部14まで搬送される。また、
デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置された
ICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12
で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A
3の検査部16近傍まで搬送することができる。
In the configuration shown in FIG. 2, two
Similar to the
In the inspection area A, the temperature adjustment state is maintained for the
3 in the vicinity of the
デバイス搬送ヘッド17は、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90が把持さ
れ、当該ICデバイス90を検査領域A3内で搬送する動作部である。このデバイス搬送
ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「イン
デックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド
17は、供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14上のICデバイス90を検査部
16上に搬送し、載置することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17の
Y方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方
向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支
持されていてもよい。
The
また、デバイス搬送ヘッド17は、第1方向であるZ方向と、Z方向と異なる第2方向
であるY方向とに移動可能であり、ICデバイス90を把持可能な第1把持部としてのデ
バイス搬送ヘッド17Aと、デバイス搬送ヘッド17Aとは独立してY方向およびZ方向
に移動可能であり、ICデバイス90を把持可能な第2把持部であるデバイス搬送ヘッド
17Bと、を有する。特に、図18および図19に示すように、デバイス搬送ヘッド17
Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bが互いに独立してZ方向に移動する構成とすることに
より、デバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bの双方が下降して撮像
可能エリアが小さくなるのを防止することができる。
In addition, the
By adopting a configuration in which A and the
第1把持部としてのデバイス搬送ヘッド17Aと第2把持部としてのデバイス搬送ヘッ
ド17Bとは、第2方向であるY方向に並んで互いに離間して配置されている。また、こ
れにより、例えば、検査部16よりも−Y側のデバイス供給部14またはデバイス回収部
18と検査部16との間でのICデバイス90の搬送をデバイス搬送ヘッド17Aが担い
、検査部16よりも+Y側のデバイス供給部14またはデバイス回収部18と検査部16
との間でのICデバイス90の搬送をデバイス搬送ヘッド17Aが担う構成とすることが
できる。よって、デバイス搬送ヘッド17全体で見たときの移動距離を低減することがで
き、搬送効率に優れる。
The
The
また、第1把持部としてのデバイス搬送ヘッド17Aと第2把持部としてのデバイス搬
送ヘッド17Bとは、第2方向であるY方向に同時に移動可能である。これにより、例え
ば、デバイス搬送ヘッド17AがICデバイス90を押圧しているときに、デバイス搬送
ヘッド17Bが異なる動作(デバイス供給部14またはデバイス回収部18との間でのI
Cデバイス90のやり取り等)を行うことができたり、その逆も行うことができる。よっ
て、搬送効率や検査効率を高めることができる。
Further, the
また、図1に示すように、電子部品搬送装置10は、第1把持部としてのデバイス搬送
ヘッド17A、または、第2把持部としてのデバイス搬送ヘッド17Bの位置を検出する
位置検出部としてのエンコーダー23を有する。本実施形態では、エンコーダー23は、
デバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17BのそれぞれのY方向およびZ
方向の位置を検出する。これにより、後述するように、例えば、カメラ31が検査部16
を撮像可能なときの、デバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bの位置
を検出することができる。このエンコーダー23は、図3に示すように、制御部800と
電気的に接続され、デバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bの位置情
報が、制御部800に送信される。
Further, as shown in FIG. 1, the electronic
Y direction and Z of each of
Detect the position of the direction. Thereby, as described later, for example, the
It is possible to detect the positions of the
このようなデバイス搬送ヘッド17は、温度調整部12と同様に、把持したICデバイ
ス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ICデバイス90における
温度調整状態を、デバイス供給部14から検査部16まで継続して維持することができる
。
Similar to the
検査部16は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の
電気的特性を検査する電子部品載置部である。この検査部16は、Z方向から見たとき、
X方向に延在する長方形の板状をなしている。また、検査部16は、ICデバイス90を
収納する複数(本実施形態では、16個)の凹部161を有している。各凹部は、X方向
に8個並んで設けられ、この8個の列がY方向に2列設けられた格子状に配置されている
。また、図11に示すように、各凹部161は、その内周面がテーパ状をなしている。す
なわち、各凹部161は、第3方向であるX方向に対して傾斜する内周面162を有して
いる。
The
It has a rectangular plate shape extending in the X direction. In addition, the
また、凹部161の底部には、ICデバイス90の(図示せず)と電気的に接続される
複数のプローブピン(図示せず)が設けられている。そして、ICデバイス90の端とプ
ローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90
の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、検査部16に接続されるテス
ターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部
16でも、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該IC
デバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
A plurality of probe pins (not shown) that are electrically connected to the IC device 90 (not shown) are provided at the bottom of the
Can be inspected. The inspection of the
The
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当
該ICデバイス90を回収領域A4まで搬送することができる載置部として構成され、「
回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。
The
It is called “recovery shuttle plate” or simply “recovery shuttle”.
また、デバイス回収部18は、検査領域A3と回収領域A4との間をX方向、すなわち
、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、
デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、検
査部16上のICデバイス90は、いずれかのデバイス回収部18に搬送され、載置され
る。この搬送は、デバイス搬送ヘッド17によって行なわれる。
The
Similar to the
回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス9
0が回収される領域である。この回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送
ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、回収領域A4には、空の
トレイ200も用意されている。
The collection area A4 is inspected in the inspection area A3, and the plurality of IC devices 9 that have been inspected are collected.
0 is an area to be collected. In the collection area A4, a
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部で
あり、回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッ
ド20等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域A4であっても、回収用トレイ1
9上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に
示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
The
9, the inspected
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ20
0も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、回
収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ1
9および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、IC
デバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
Three
0 is also a placement unit on which the
9 and the
The
デバイス搬送ヘッド20は、回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持さ
れ、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。これにより、デバイス搬送ヘッド2
0は、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200
に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を
矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示してい
る。
The
0 indicates that the
Can be conveyed. In FIG. 2, the movement of the
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200を回収領
域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送
後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、す
なわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ2
00が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ20
0を積み重ねることができる。
The tray removal area A5 is a
00 is a material removal portion that is collected and removed. In the tray removal area A5, a number of
0 can be stacked.
また、回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY
方向に搬送するトレイ搬送機構22A、22Bが設けられている。トレイ搬送機構22A
は、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる
移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90を回収領域A4からトレイ除去
領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を
回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動さ
せることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5から回収領域A
4に移動させることができる。
Further, the
Is a moving unit that can reciprocate the
4 can be moved.
制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調
整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と
、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッ
ド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの各
部の作動を制御することができる。
For example, the
また、図3に示すように、制御部800は、メモリー802(記憶部)を有している。
メモリー802は、例えば不揮発性半導体メモリーの一種であるEEPROM(Electric
ally Erasable Programmable Read-Only Memory)等を有し、上記検査等の各種プログラ
ム等が記憶されている。
As shown in FIG. 3, the
The
ally Erasable Programmable Read-Only Memory) and the like, and various programs such as the above inspection are stored.
また、図3に示すように、制御部800は、後述する光照射部であるレーザー光源41
がレーザー光Lを照射する方向が、予め定められた方向か否かの判断する照射位置判断部
801を有する。これにより、例えば、レーザー光源41がレーザー光Lを照射する方向
が所望の方向か否かを判断することができる。
Moreover, as shown in FIG. 3, the
Has an irradiation
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定し
たり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成され
た表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示
すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設
けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられ
る。
The operator can set or confirm the operating conditions of the electronic
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている
。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命
令するものである。
In addition, an
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1
の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の
上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されて
おり、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知すること
もできる。
In addition, the
It is possible to notify the operating state of. The
これら、モニター300およびスピーカー500は、後述するように、検査部16の凹
部161にICデバイス90が配置されているか否かの判断の結果を報知する報知部24
として機能する。これにより、電子部品搬送装置10のオペレーターに判断の結果を知ら
せることができる。
As will be described later, the
Function as. Thereby, the operator of the electronic
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1と供給領域A2との間が第1隔壁231に
よって区切られており、供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区
切られており、検査領域A3と回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られて
おり、回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られてい
る。また、供給領域A2と回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られてい
る。
In the electronic
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロ
ントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トッ
プカバー245がある。
The outermost exterior of the electronic
次に、検出ユニット2について、図4〜図9を用いて説明する。
検出ユニット2は、第1検出ユニット2Aと、第2検出ユニット2Bとを有している。
第1検出ユニット2Aおよび第2検出ユニット2Bは、デバイス搬送ヘッド17の+Z側
に設けられ(図5参照)、この順で+X方向から並んで配置されている。
Next, the
The
The
図4および図5に示すように、第1検出ユニット2Aおよび第2検出ユニット2Bは、
それぞれ、撮像ユニット3と、光照射ユニット4と、照明5とを有している。第1検出ユ
ニット2Aおよび第2検出ユニット2Bは、撮像ユニット3と、光照射ユニット4と、照
明5との配置位置が異なること以外は、同じ構成であるため、以下、第1検出ユニット2
Aについて代表的に説明する。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
Each has an
A will be described representatively.
撮像ユニット3は、カメラ31(撮像部)と、ミラー32とを有している。
カメラ31は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)カメラ
を用いることができる。また、カメラ31は、−Y方向を向いて配置されている。このカ
メラ31は、図3に示すように、制御部800と電気的に接続されており、その作動が制
御される。
The
As the
図4および図5に示すように、ミラー32は、カメラ31の−Y側に設けられている。
このミラー32は、光を反射する光反射面321を有しており、光反射面321がY軸方
向に対して傾斜(例えば、45°)した状態で設置されている。このため、カメラ31は
、光反射面321を介して、−Z側の画像を撮像することができる。すなわち、カメラ3
1は、検査部16側を撮像することができる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
The
1 can image the
また、撮像部であるカメラ31は、その光軸が、後述する各光反射部であるミラー42
が並んでいる方向(X方向)の延長線と交わるよう配置されている。これにより、カメラ
31は、各ミラー42で反射した光が検査部16に照射された部分を撮像することができ
る。
Further, the
Are arranged so as to intersect with an extension line in the direction in which they are arranged (X direction). As a result, the
光照射ユニット4は、図6および図7に示すように、4つのレーザー光源(光照射部)
41と、各レーザー光源41に対応して設けられ、レーザー光源41から出射されたレー
ザー光L1を反射する4つのミラー42と、各ミラー42を回動させる4つのモーター4
3とを有している。すなわち、光照射ユニット4では、光照射部であるレーザー光源41
および光反射部であるミラー42は、複数(4つ)ずつ設けられている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the light irradiation unit 4 includes four laser light sources (light irradiation units).
41, four
3. That is, in the light irradiation unit 4, the
A plurality (four) of
レーザー光源41としては、公知のレーザー光源を用いることができ、出射するレーザ
ー光L1の色は、特に限定されない。また、光照射部としてのレーザー光源41は、照射
先(検査部16または検査部16上のICデバイス90)での照射形状が、Y方向(第2
方向)の延在する線状のレーザー光L1(光)を照射するものである。これにより、後述
するように、カメラ31が撮像した画像において、ICデバイス90の有無に応じて、照
射されたレーザー光L1の位置の変化を分かり易くすることができる。よって、ICデバ
イス90が検査部16に残留しているか否かをより正確に検出することができる。
A known laser light source can be used as the
Irradiating linear laser beam L1 (light) extending in the direction). As a result, as will be described later, in the image captured by the
また、図3および図4にしめすように、レーザー光源41が照射するレーザー光L1は
、照射先の検査部16では、Y方向に並んだ2つの凹部161を包含するよう構成されて
いる。すなわち、1つのレーザー光源41は、Y軸方向に並んだ2つの凹部161に一括
してレーザー光L1を照射する。このようなレーザー光源41(光照射部)が、4つ(複
数)設けられており、かつ、第3方向であるX方向に沿って並んで配置されていることに
より、4つのレーザー光源41で8つの凹部161にレーザー光L1を照射することがで
きる。そして、第1検出ユニット2Aおよび第2検出ユニット2Bで、合計8つのレーザ
ー光源41が設けられていることにより、16個の凹部161の各々にレーザー光L1を
照射することができる。
Further, as shown in FIGS. 3 and 4, the laser light L <b> 1 emitted by the
また、図8に示すように、Y方向から見たとき、各レーザー光源41は、X方向に対し
て傾斜して配置されている。このため、レーザー光源41が隣接するミラー42と干渉す
るのを防止することができる。その結果、レーザー光源41とミラー42とのX方向の距
離を可及的に小さくすることができ、光照射ユニット4の小型化に寄与する。特に、電子
部品搬送装置10では、デバイス搬送ヘッド17の+Z側にスペースは限られており、光
照射ユニット4の小型化を図ることにより、電子部品搬送装置10全体の小型化に寄与す
る。
Moreover, as shown in FIG. 8, when viewed from the Y direction, each
このようなレーザー光源41は、制御部800と電気的に接続されており、その作動が
制御される(図3参照)。
Such a
図4〜図9に示すように、光照射ユニット4は、光照射部であるレーザー光源41が出
射したレーザー光L1を反射する光反射部としてのミラー42を有する。これにより、レ
ーザー光源41の向きを問わずレーザー光源41を配置することができる。よって、レー
ザー光源41の配置の自由度を高めることができる。
4-9, the light irradiation unit 4 has the
このミラー42は、レーザー光L1を反射する反射面421を有しており、反射面42
1がレーザー光源41側に臨むように配置されている。
The
1 is arranged so as to face the
また、各ミラー42は、Z方向(第1方向)およびY方向(第2方向)に対して交わる
X方向(第3方向)に並んで配置されている。これにより、各レーザー光源41の配置形
態に合わせることができるとともに、各ミラー42の配置形態を簡素にすることができる
。
The
また、光照射ユニット4は、光反射部としてのミラー42を回動させる光反射部駆動部
としての4つのモーター43を有している。ミラー42が、回動可能に構成されているこ
とにより、ミラー42の反射面421の向きを調整することができ、レーザー光L1の照
射位置を調整することができる。
Moreover, the light irradiation unit 4 has four
また、ミラー42は、その回動軸Oが、前記光反射面上に位置するよう、モーター43
に接続されている。これにより、ミラー42を回動させてレーザー光L1の照射方向を調
整する際、その調整を正確に行うことができる。
Further, the
It is connected to the. Thereby, when rotating the
このように、電子部品搬送装置10では、光照射部としてのレーザー光源41が照射す
るレーザー光L1の方向を調整可能であるため、レーザー光L1の検査部16での照射位
置を調整したり、凹部161の配置箇所が図4および図5に示す構成とは異なる検査部に
も対応することができる。
As described above, in the electronic
また、光照射部であるレーザー光源41が、少なくとも第1方向であるZ方向に対して
傾斜した、すなわち、交差し、かつ、直交しない方向に光を照射するように調整すること
により、後述するように、ICデバイス90の有無に応じて、照射されたレーザー光L1
の位置の変化を分かり易くすることができる。
Further, the
It is possible to easily understand the change in the position of.
また、光反射部駆動部としての各モーター43は、第3方向であるX方向に沿って並ん
で配置されている。そして、X方向に隣り合うモーター43は、第2の方向であるY方向
にずれて配置されており、いわゆる千鳥配置となっている。これにより、モーター43同
士のX方向の間隔を比較的小さくしても、X方向に隣り合うモーター43同士が干渉し合
うのを防止することができる。その結果、光照射ユニット4の小型化を図ることができる
。
Moreover, each
照明5(第2光照射部)は、レーザー光L1よりも輝度が小さい光L2を照射するもの
である。また、光L2は、レーザー光L1よりも指向性が低く、検査部16全体を照らす
よう構成されている。照明5は、光照射部であるレーザー光源41よりも輝度が小さい光
L2を出射する第2光照射部(光照射部)である。これにより、レーザー光源41が照射
する光に足りない照射条件(例えば、レーザー光L1よりも低い指向性)の光L2を照射
することができる。また、照明5は、光照射ユニット4の+X側に配置されている。なお
、本発明では、光照射部は、第1光照射部であるレーザー光源41と、第2光照射部であ
る照明5と、を含むものである。
The illumination 5 (second light irradiation unit) irradiates light L2 having a lower luminance than the laser light L1. The light L2 has a lower directivity than the laser light L1, and is configured to illuminate the
また、第2光照射部である照明5は、出射する光の輝度を調整可能であるこれにより、
照明5が出射する光L2の照度を調整することができる。よって、後述する判断に際し、
より良い条件の画像を用いることができる。
Moreover, the
The illuminance of the light L2 emitted from the
Images with better conditions can be used.
このような検出ユニット2は、検査部16の凹部161におけるICデバイス90の有
無を検出することができる。以下、この原理について、図10〜図13を用いて説明する
が、各凹部161において同様の検出を行うため、1つの凹部161での検出について代
表的に説明する。
Such a
図10は、検出ユニット2を模式的に示した図であって、検出ユニット2をY方向から
見た図である。また、図10では、レーザー光源41からレーザー光L1を検査部16に
向って照射している。ICデバイス90が検査部16上に載置されていた場合(以下、こ
の状態を「残留状態」と言う)には、レーザー光L1は、ICデバイス90上の位置P1
に照射され、この位置P1には、照射形状が線状のラインが形成される。一方、ICデバ
イス90が検査部16上に無かった場合(以下、この状態を「除去状態」と言う)には、
レーザー光L1は、検査部16の凹部161の底部の位置P2に照射され、この位置P2
には、照射形状が線状のラインが形成される。なお、本明細書中での「線状」とは、1本
の直線や、互いに離間して一方向に並んだ点の集合体や、楕円形や、長方形等、長尺な形
状のもののことを言う。
FIG. 10 is a diagram schematically showing the
In this position P1, a line having a linear irradiation shape is formed. On the other hand, when the
The laser beam L1 is applied to the position P2 at the bottom of the
A line having a linear irradiation shape is formed. In this specification, “linear” means a long line such as a single straight line, a set of points separated from each other and aligned in one direction, an ellipse, a rectangle, etc. Say.
また、カメラ31は、残留状態および除去状態において、それぞれ画像(第1画像)を
撮像する。図12には、残留状態でカメラ31が撮像した画像D1の一部を示しており、
図13には、除去状態でカメラ31が撮像した画像D2の一部を示している。
The
FIG. 13 shows a part of an image D2 captured by the
図12に示すように、画像D1では、ICデバイス90上のラインの位置P1は、検査
部16の上面でのラインの位置Pよりも−X側にずれている。これは、ICデバイス90
の上面が、検査部16の上面よりも低い、すなわち、−Z側に位置しているためである。
なお、位置Pと位置P1とのX方向のずれ量をずれ量ΔD1とする。
As illustrated in FIG. 12, in the image D <b> 1, the line position P <b> 1 on the
This is because the upper surface of is located lower than the upper surface of the
Note that a deviation amount in the X direction between the position P and the position P1 is defined as a deviation amount ΔD1.
一方、図13に示すように、画像D2では、凹部161の底部上のラインの位置P1は
、検査部16の上面でのラインの位置Pよりも−X側にずれている。これは、凹部161
の底部が、検査部16の上面よりも低い、すなわち、−Z側に位置しているためである。
なお、位置Pと位置P2とのX方向のずれ量をずれ量ΔD2とする。
On the other hand, as shown in FIG. 13, in the image D <b> 2, the line position P <b> 1 on the bottom of the
This is because the bottom portion is located lower than the upper surface of the
Note that a deviation amount in the X direction between the position P and the position P2 is defined as a deviation amount ΔD2.
また、ずれ量ΔD1は、ずれ量ΔD2よりも小さい。これは、ICデバイス90の上面
が、凹部161の底部よりも+Z側に位置しているためである。電子部品搬送装置10で
は、例えば、画像D1および画像D2におけるずれ量が、ずれ量ΔD1であるかずれ量Δ
D2であるかにより、残留状態か除去状態かを検出(判断)することができる。
Further, the deviation amount ΔD1 is smaller than the deviation amount ΔD2. This is because the upper surface of the
Whether the state is D2 or not can be detected (determined).
ここで、ICデバイス90の厚さΔdは、薄ければ薄いほど、ずれ量ΔD1であるかず
れ量ΔD2であるかを判別しにくい。従って、比較的薄いICデバイス90において、残
留状態か除去状態かを判断するには、比較的高い分解能を有するカメラ31を用いる必要
がある。具体的には、図10中、位置P1とカメラ31の中心(光軸)とを結んだ線分と
、位置P2とカメラ31の中心(光軸)とを結んだ線分とのなす角度Δαを認識可能な分
解能を有するカメラ31を用いれば、残留状態か除去状態かを判断することができる。例
えば、ICデバイス90の厚さΔdが分かっていたら、どの程度の角度Δαを認識可能な
カメラを用いればよいか、また、カメラ31の分解能が分かっていたらどの程度の厚さΔ
dのICデバイス90において上記判断が可能かということを知るために、本発明者らは
、以下の2つの式(1)および式(2)を導き出した。
Here, the thinner the thickness Δd of the
In order to know whether the above determination can be made in the
位置P2とカメラ31の中心(光軸)とを結んだ線分とX軸とのなす角度をαとし、レ
ーザー光L1の光軸とX軸とのなす角度をβとし、カメラ31での光軸と凹部161の底
部との離間距離をdcamとしたとき、ICデバイス90の厚さΔdは、式(1)で表す
ことができ、角度Δαは、式(2)で表すことができる。
The angle between the line segment connecting the position P2 and the center (optical axis) of the
例えば、角度Δαが分かっていたら、式(1)に代入することにより、上記判断が可能
なICデバイス90の最小の厚さΔdを知ることができる。また、厚さΔdが分かってい
たら式(2)に代入することにより、カメラ31に必要な分解能を知ることができる。
For example, if the angle Δα is known, the minimum thickness Δd of the
なお、厚さΔdが0.2mm以上のICデバイス90に対して前記判断を行うことが可
能であるのが好ましく、0.1mm以上の電子部品に対して前記判断を行うことが可能で
あるのがより好ましい。これにより、比較的薄いICデバイス90であっても、検査部1
6にICデバイス90が残留しているか否かを検出することができる。なお、厚さΔdが
薄すぎると、比較的高い分解能のカメラ31を用いる必要がありコストがかかる。
It is preferable that the determination can be made for an
6, whether or not the
また、図11に示すように、光照射部であるレーザー光源41が出射するレーザー光L
1の入射角θ1は、凹部161の内周面162と第3方向であるX方向とのなす角度θ2
よりも小さい。これにより、凹部161内にレーザー光L1を照射することができる。そ
の結果、ICデバイス90が凹部161内に残留しているか否かを検出することができる
。
Further, as shown in FIG. 11, the laser light L emitted from the
1 is an angle θ2 formed by the inner
Smaller than. Thereby, the laser beam L1 can be irradiated into the
以上、レーザー光L1を用いた判断(第1判断)について説明した。電子部品搬送装置
10は、上記第1判断とは異なる方式でも判断(第2判断)を行うことができる。以下、
このことについて図14および図15を用いて説明する。
The determination using the laser beam L1 (first determination) has been described above. The electronic
This will be described with reference to FIGS.
図14および図15は、照明5によって検査部16に向って光L2を照射し、この状態
でカメラ31を用いて検査部16を撮像した画像(第2画像)を示している。また、図1
4は残留状態での画像D1’の一部を示しており、図15は、除去状態での画像D2’の
一部を示している。
14 and 15 show an image (second image) obtained by irradiating the
4 shows a part of the image D1 ′ in the remaining state, and FIG. 15 shows a part of the image D2 ′ in the removed state.
電子部品搬送装置10では、撮像した画像D1’および画像D2’に基づいて、ICデ
バイス90の色の違いや、明るさの違いを検出し、残留状態か除去状態かを検出(判断)
することができる。
このように、電子部品搬送装置10は、第1判断と第2判断とを行うことができる。
The electronic
can do.
Thus, the electronic
さて、電子部品搬送装置10では、検出ユニット2を設置するスペースを確保するのが
困難である。例えば、検査部16の近傍、すなわち、Z方向から見て、検査部16から外
れた位置に検出ユニット2を配置したとしても、レーザー光L1や光L2の照射可能範囲
が限られてきたり、カメラ31の撮像可能エリアが限られてきたりする。これらのことを
鑑みると、検査部16の直上、すなわち、検査部16の+Z側に配置するのが好ましいが
、検査部16+Z側には、デバイス搬送ヘッド17が設けられている。
Now, in the electronic
そこで、電子部品搬送装置10では、検出ユニット2を、デバイス搬送ヘッド17の+
Z側に配置し、2つのデバイス搬送ヘッド17Aおよびデバイス搬送ヘッド17Bの間の
間隙Sを介して検出を行う構成とした。すなわち、間隙Sを介して検査部16に向って、
レーザー光L1および光L2のうちの少なくとも一方を照射し、間隙Sを介して、カメラ
31を用いて画像を撮像し、第1判断および第2判断のうちの少なくとも一方を行う構成
とした。これにより、上記構成であっても、残留状態か除去状態かを正確に検出(判断)
することができる。
Therefore, in the electronic
Arranged on the Z side and configured to perform detection through a gap S between the two device transport heads 17A and 17B. That is, toward the
At least one of the laser light L1 and the light L2 is irradiated, and an image is captured using the
can do.
また、間隙Sは、比較的狭いため、カメラ31で検査部16の全エリア、特に、検査部
16のY軸方向の全域、を撮像するのは困難な場合がある。そこで、図16に示すように
、デバイス搬送ヘッド17の移動中において、16個の凹部161のうち、−Y側の8個
の凹部161を撮像可能なときに撮像を行い、図17に示すように、+Y側の8個の凹部
161を撮像可能なときに撮像を行う。これにより、検査部16のY軸方向の全域の撮像
が困難であっても、複数の画像に基づいて、各凹部161の撮像を行うことができ、各凹
部161において残留状態か除去状態かを検出(判断)することができる。なお、撮像可
能な状態におけるデバイス搬送ヘッド17の位置は、エンコーダー23によって検出され
、撮像可能なときのエンコーダー値がメモリー802に記憶されている。
In addition, since the gap S is relatively narrow, it may be difficult for the
なお、電子部品搬送装置10では、デバイス搬送ヘッド17A(第1把持部)が、IC
デバイス90を検査部16(電子部品載置部)に対して押圧しているとき、デバイス搬送
ヘッド17Aは、カメラ31(撮像部)とICデバイス90との間に位置している場合が
ある(図18参照)。この場合、デバイス搬送ヘッド17Aが遮って、−Y側の8個の凹
部161を撮像が困難となる。一方、デバイス搬送ヘッド17B(第2把持部)が、IC
デバイス90を検査部16(電子部品載置部)に対して押圧しているとき、デバイス搬送
ヘッド17Bは、カメラ31(撮像部)とICデバイス90との間に位置している場合が
ある(図19参照)。この場合、デバイス搬送ヘッド17Bが遮って、+Y側の8個の凹
部161を撮像が困難となる。この問題を利用すると、例えば、カメラ31が、ICデバ
イス90を撮像可能なときだけ撮像する構成とする場合には、撮影が困難なタイミングが
分かっているため、どのタイミングで撮像を省略するかの設定を容易に行うことができる
。その結果、無駄な画像を撮像するのを防止することができる。
In the electronic
When the
When the
また、撮像部であるカメラ31は、撮像開始時刻から撮像終了時刻の間、デバイス搬送
ヘッド17A(第1把持部)とデバイス搬送ヘッド17B(第2把持部)の間を介して検
査部16(電子部品載置部)を撮像可能である。すなわち、検査部16がデバイス搬送ヘ
ッド17Aまたはデバイス搬送ヘッド17Bに遮られるときに撮像するのを省略する。よ
って、無駄なく撮像を行うことができるとともに、無駄に画像データが増えるのを防止す
ることができる。
In addition, the
次に、図20に示すフローチャートに基づいて、制御部800の制御動作を説明する。
以下の制御動作は、ICデバイス90を検査部16に搬送して検査を行い、検査部16か
らICデバイス90を除去した状態での制御動作である。
Next, the control operation of the
The following control operation is a control operation in a state where the
まず、ステップS101において、レーザー光源41を作動させて、各凹部161にレ
ーザー光L1を照射する(図5参照)。なお、このとき、本実施形態では、照明5は消灯
させた状態としておく。これにより、次のステップS102で得られる画像D1または画
像D2において、レーザー光L1のラインを際立たせることができる。
First, in step S101, the
次いで、ステップS102において、カメラ31を用いて検査部16を撮像する。これ
により、図12または図13に示すような、画像D1(第1画像)または画像D2(第1
画像)を得ることができる。なお、ステップS102における撮像は、図16および図1
7に示す撮像可能状態のときに行われる。なお、撮像が終わると、レーザー光L1の照射
を停止する。
Next, in step S <b> 102, the
Image). Note that the imaging in step S102 is performed in FIGS.
This is performed in the imaging enabled state shown in FIG. Note that when the imaging is finished, the irradiation of the laser beam L1 is stopped.
次いで、ステップS103において、残留状態か除去状態かを判断する。本実施形態で
は、予め、ずれ量ΔD2の画像D2を取得してメモリー802に記憶しておき、画像D2
でのレーザー光L1のずれ量に基づいて、残留状態か除去状態かの判断が行われる。なお
、ステップS103において、残留状態であると判断した場合には、後述するステップS
105に移行する。
Next, in step S103, it is determined whether the remaining state or the removed state. In the present embodiment, an image D2 with a deviation amount ΔD2 is acquired in advance and stored in the
Based on the amount of deviation of the laser beam L1, the determination of whether the state is a residual state or a removed state is made. If it is determined in step S103 that the remaining state is present, step S103 described later is performed.
105.
ステップS104において、除去状態であると判断した場合、デバイス搬送ヘッド17
に把持異常が生じていないか否かを判断する。なお、把持異常とは、例えば、ICデバイ
ス90をデバイス搬送ヘッド17が把持していない状態のことを言う。この把持異常は、
例えば、デバイス搬送ヘッド17の吸引圧を検出することにより行われる。
If it is determined in step S104 that the device is in the removed state, the
It is determined whether or not a gripping abnormality has occurred. Note that the gripping abnormality refers to a state in which the
For example, it is performed by detecting the suction pressure of the
ステップS104において、把持異常が生じていると判断した場合、すなわち、電子部
品載置部である検査部16にICデバイス90(電子部品)が配置されていると判断した
場合、把持部であるデバイス搬送ヘッド17の作動を停止する。なお、ステップS105
では、ICデバイス90を把持したまま、移動を停止する。これにより、残留状態で、搬
送動作を継続するのを防止することができる。
If it is determined in step S104 that a gripping abnormality has occurred, that is, if it is determined that the IC device 90 (electronic component) is disposed in the
Then, the movement is stopped while holding the
そして、ステップS106において、照明5を点灯して、検査部16全体に光L2を照
射する。
In step S106, the
次いで、ステップS107において、カメラ31により検査部16を撮像する。これに
より、図14または図15に示すような、画像D1’(第2画像)または画像D2’(第
2画像)を得ることができる。なお、ステップS107における撮像は、図16および図
17に示す撮像可能状態のときに行われる。
Next, in step S <b> 107, the
次いで、ステップS108において、残留状態か除去状態かを判断する。ステップS1
08では、前述したように、撮像した画像D1’および画像D2’に基づいて、ICデバ
イス90の色の違いや、明るさの違いを検出し、残留状態か除去状態かを判断する。本実
施形態では、予め、除去状態の画像D2’を取得し、メモリー802に記憶しておき、得
られた画像D1’または画像D2’と比較する。
Next, in step S108, it is determined whether the residual state or the removed state. Step S1
In 08, as described above, based on the captured images D1 ′ and D2 ′, the color difference and brightness difference of the
ステップS108において、残留状態であると判断した場合には、ステップS109に
おいて、残留状態であることを報知する。この報知は、報知部24を作動させることによ
り行われる。この報知により、オペレーターは、検査部16のICデバイス90を取り除
き、残留状態を解消することができる。そして、オペレーターは、例えば、操作パネル7
00により、搬送再開のボタンを押すことができる。
If it is determined in step S108 that the state is the remaining state, in step S109, the remaining state is notified. This notification is performed by operating the
With 00, the transport restart button can be pressed.
そして、ステップS110において、再開ボタンが押されたと判断した場合、ステップ
S111において、残留状態か除去状態かを判断する。なお、本工程では、再開ボタンが
押されたときに、新たに画像を撮像し、その画像に基づいて、ステップS108と同様に
して、残留状態か除去状態かを判断する。ステップS111において、除去状態であると
判断した場合、ステップS112において、搬送を再開する。
If it is determined in step S110 that the restart button has been pressed, it is determined in step S111 whether it is a residual state or a removed state. In this step, when the restart button is pressed, a new image is taken, and based on the image, it is determined whether it is a residual state or a removal state, as in step S108. If it is determined in step S111 that the state is the removal state, the conveyance is resumed in step S112.
このように本実施形態では、第1画像である画像D1または画像D2に基づいて判断(
第1判断)を行った後に、第2画像である画像D1’または画像D2’に基づいて判断(
第2判断)を行う。このように輝度が異なる光を照射して撮像した第1画像および第2画
像を用いて2段階で残留状態か除去状態かを判断するため、その判断をより正確に行うこ
とができる。
As described above, in this embodiment, the determination is made based on the image D1 or the image D2 that is the first image (
After performing the first determination), the determination is made based on the image D1 ′ or the image D2 ′ that is the second image (
Make a second decision). As described above, since the first image and the second image captured by irradiating light with different luminances are used to determine whether the remaining state or the removed state is obtained in two stages, the determination can be performed more accurately.
また、電子部品搬送装置10では、上記判断は、デバイス搬送ヘッド13やデバイス搬
送ヘッド20にも適用することができるが、検査領域A3のデバイス搬送ヘッド17に適
応することにより、すなわち、電子部品載置部は、ICデバイス90の検査が行われる検
査部16であるのが好ましい。これにより、検査部16において、残留状態か除去状態か
を判断する構成とすることにより、ICデバイス90の検査を効率よく行うことができる
。
Further, in the electronic
以上説明したように、電子部品搬送装置10によれば、光照射部としてのレーザー光源
41が第1輝度のレーザー光L1を出射した状態で検査部16(電子部品載置部)を撮像
した第1画像である画像D1または画像D2と、レーザー光源41が第1輝度よりも小さ
い第2輝度の光L2を出射している状態で検査部16を撮像した第2画像である画像D1
’または画像D2’とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、検査部16に電子部品
であるICデバイス90が配置されているか否の判断を行う。
As described above, according to the electronic
Based on at least one of “or image D2”, it is determined whether or not the
これにより、電子部品載置部に対する電子部品の搬送動作を行った後に、電子部品が電
子部品載置部に残留しているか否かを検出することができる。特に、輝度が異なる光を照
射して撮像した2つの画像のうちの少なくとも一方の画像に基づいて、ICデバイス90
が検査部16に残留しているか否かを判断するため、その判断をより正確に行うことがで
きる。
Thus, it is possible to detect whether or not the electronic component remains on the electronic component placement unit after the electronic component carrying operation with respect to the electronic component placement unit is performed. In particular, the
Therefore, it is possible to make a more accurate determination.
なお、本実施形態では、一例として、ステップS111における判断は、第2判断を行
う場合について説明したが、第1判断を行う構成であってもよく、第1判断および第2判
断を順次行う構成であってもよい。特に、第1判断および第2判断を順次行う場合、すな
わち、ステップS111において、ステップS101〜S108までと同様の制御を行っ
た場合、さらに正確に残留状態か除去状態かを判断することができる。
In this embodiment, as an example, the determination in step S111 has been described for the case where the second determination is performed. However, the first determination may be configured, and the first determination and the second determination are sequentially performed. It may be. In particular, when the first determination and the second determination are sequentially performed, that is, when the same control as in steps S101 to S108 is performed in step S111, it can be more accurately determined whether the residual state or the removal state.
また、第2輝度は、第1輝度よりも低ければよく、ゼロの状態、すなわち、照明5が光
L2を照射していない状態も含む。
The second luminance only needs to be lower than the first luminance, and includes a zero state, that is, a state where the
<第2実施形態>
以下、図21を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施
形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はそ
の説明を省略する。
Second Embodiment
Hereinafter, the second embodiment of the electronic component transport device and the electronic component inspection device of the present invention will be described with reference to FIG. 21, but the description will focus on the differences from the above-described embodiment, and the same matters will be described. Is omitted.
本実施形態は、制御部の制御動作が異なること以外は前記第1実施形態と略同様である
。
This embodiment is substantially the same as the first embodiment except that the control operation of the control unit is different.
なお、以下の制御動作は、ICデバイス90を検査部16に搬送して検査を行い、検査
部16からICデバイス90を除去した状態での制御動作である。
The following control operation is a control operation in a state where the
まず、ステップS201において、第1判断を行うか第2判断を行うかを選択する。ス
テップS201では、光照射部であるレーザー光源41や照明5の照射条件、検査部16
(電子部品載置部)の色、ICデバイス90(電子部品)の色、カメラ31の分解能のう
ちの少なくとも1つの条件に基づいて、第1画像(画像D1、D2)および第2画像(画
像D1’、D2’)から、残留状態か除去状態かの判断の際に用いる画像を選択する。こ
れにより、残留状態か除去状態かの判断を行うのに際し、より良い条件の画像を用いるこ
とができる。よって、ICデバイス90が検査部16に残留しているか否かをより正確に
判断することができる。
First, in step S201, it is selected whether to perform the first determination or the second determination. In step S201, the
Based on at least one of the color of the (electronic component placement unit), the color of the IC device 90 (electronic component), and the resolution of the
なお、照射条件とは、例えば、レーザー光Lの出射角度や、レーザー光L1の輝度や、
光L2の輝度等が挙げられる。これらの条件と、例えば、検査領域A3内の明るさとの検
量線を予めメモリー802に記憶しておき、検量線に基づいて、ステップS201の判断
を行うことができる。
The irradiation conditions are, for example, the emission angle of the laser light L, the luminance of the laser light L1,
The brightness | luminance of light L2 etc. are mentioned. A calibration curve between these conditions and, for example, the brightness in the inspection area A3 can be stored in the
ステップS201において第1画像を用いると判断した場合、ステップS202におい
て、レーザー光源41を作動させて、各凹部161にレーザー光L1を照射する(図5参
照)。
When it is determined in step S201 that the first image is used, in step S202, the
そして、ステップS203において、カメラ31を用いて検査部16を撮像する。これ
により、図12または図13に示すような、画像D1(第1画像)または画像D2(第1
画像)を得ることができる。
In step S203, the
Image).
次いで、ステップS204において、第1実施形態のステップS103と同様に、残留
状態か除去状態かを判断する。ステップS204において、残留状態であると判断した場
合、ステップS205において、デバイス搬送ヘッド17の作動を停止し、ステップS2
06において、報知部24により、残留状態であることを報知する。
Next, in step S204, as in step S103 of the first embodiment, it is determined whether the state is a residual state or a removed state. If it is determined in step S204 that the device is in the remaining state, the operation of the
In 06, the
そして、ステップS207において、再開ボタンが押されたと判断した場合、ステップ
S208において、デバイス搬送ヘッド17の作動を再開する。
If it is determined in step S207 that the restart button has been pressed, the operation of the
なお、ステップS201において、第2画像を用いると判断した場合、ステップS20
9において、照明5を点灯させ、ステップS210において、カメラ31により検査部1
6を撮像し、第2画像を得る。そして、ステップS211において、第1実施形態でのス
テップS108と同様にして、残留状態か除去状態かを判断する。ステップS211にお
いて、残留状態であると判断した場合、ステップS205に移行し、以下のステップを行
う。
If it is determined in step S201 that the second image is used, step S20 is performed.
9, the
6 is imaged to obtain a second image. In step S211, it is determined whether the remaining state or the removed state, as in step S108 in the first embodiment. If it is determined in step S211 that the state is the remaining state, the process proceeds to step S205, and the following steps are performed.
なお、本実施形態においても、ステップS207において、再開ボタンが押されたと判
断した場合、ステップS208を実行する前に、第1実施形態と同様に、第1判断および
第2判断を行うのが好ましい。
Also in the present embodiment, when it is determined in step S207 that the restart button has been pressed, it is preferable to perform the first determination and the second determination as in the first embodiment before executing step S208. .
<第3実施形態>
以下、図22〜図24を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の
第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の
事項はその説明を省略する。
<Third Embodiment>
Hereinafter, a third embodiment of the electronic component transport device and the electronic component inspection device of the present invention will be described with reference to FIGS. 22 to 24. However, the difference from the above-described embodiment will be mainly described, and similar matters will be described. Will not be described.
本実施形態は、制御部の制御動作が異なること以外は前記第1実施形態と略同様である
。
This embodiment is substantially the same as the first embodiment except that the control operation of the control unit is different.
図22に示すように、本実施形態では、検査部16の+X側には、照度を検出する照度
センサー25が設けられている。この照度センサー25は、図示はしないが、制御部80
0と電気的に接続されており、照度センサー25が検出した照度の情報は、制御部800
に送信される。
As shown in FIG. 22, in the present embodiment, an
The illuminance information detected by the
Sent to.
また、検査部16の上面のうち、−X軸側の端部近傍には、マーカー26が設けられて
いる。マーカー26は、互いに色が異なる領域を有する着色部等により構成されている。
Further, a
次に、図24に示すフローチャートを用いて、本実施形態での制御部800の制御動作
について説明するが、以下の制御動作は、ICデバイス90を検査部16に搬送して検査
を行い、検査部16からICデバイス90を除去した状態での制御動作である。
Next, the control operation of the
まず、ステップS301において、レーザー光源41および照明5を点灯させる。この
とき、レーザー光L1を際立たせるためには、光L2の輝度を小さくするのが好ましいが
、光L2の輝度が小さすぎると、第2判断を正確に行うのが困難になる可能性が有る。
First, in step S301, the
そこで、ステップS302において、レーザー光L1および光L2のうちの少なくとも
一方の輝度の調整を行う。なお、この調整は、照度センサー25が検出した照度の情報(
検査領域A3内の明るさ)または画像の輝度分布から得られる情報等に応じて、レーザー
光源41および照明5のうちの少なくとも一方の出力を調整することにより行われる。
Therefore, in step S302, the brightness of at least one of the laser light L1 and the light L2 is adjusted. Note that this adjustment is based on information on the illuminance detected by the illuminance sensor 25 (
This is done by adjusting the output of at least one of the
そして、この調整状態で、ステップS303において、カメラ31を用い、図23に示
す画像D3を撮像する。この画像D3は、図12および図13に示す画像D1、D2より
も大きく、凹部161の周辺部も撮像されているものである。
In this adjusted state, in step S303, the
そして、ステップS304において、残留状態か除去状態かの判断を行う。ステップS
304の判断は、第1実施形態でのステップS108および第2実施形態でのステップS
211と同様にして行われる。なお、ステップS304では、例えば、図23に示すよう
に、検査部16の上面にICデバイス90が不本意に配置されてしまった場合であっても
、そのことを検出することができる。なお、本実施形態では、この場合も残留状態に含む
。特に、検査部16の上面にICデバイス90が不本意に配置されてしまった場合、本実
施形態では、レーザー光L1によるラインがICデバイス90の上面にてX方向の位置が
ずれる。このため、検査部16の上面にICデバイス90が不本意に配置されてしまった
ことを正確に検出することができる。
In step S304, it is determined whether the residual state or the removed state. Step S
The determination in 304 is made in step S108 in the first embodiment and step S in the second embodiment.
This is performed in the same manner as 211. In step S304, for example, as shown in FIG. 23, even if the
ステップS304において、残留状態であると判断した場合には、ステップS305に
おいて、デバイス搬送ヘッド17の作動を停止させ、ステップS306において、報知部
24により、残留状態であることを報知する。
If it is determined in step S304 that the device is in the remaining state, the operation of the
そして、ステップS307において、再開ボタンが押されたと判断した場合、ステップ
S308において、デバイス搬送ヘッド17の作動を再開する。
If it is determined in step S307 that the resume button has been pressed, the operation of the
なお、本実施形態においても、ステップS307において、再開ボタンが押されたと判
断した場合、ステップS308を実行する前に、第1実施形態、第2実施形態と同様に、
第1判断および第2判断を行うのが好ましい。
Also in this embodiment, if it is determined in step S307 that the restart button has been pressed, before executing step S308, as in the first embodiment and the second embodiment,
It is preferable to make the first judgment and the second judgment.
<第4実施形態>
以下、図25を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第4実施
形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はそ
の説明を省略する。
<Fourth embodiment>
Hereinafter, the fourth embodiment of the electronic component transport device and the electronic component inspection device of the present invention will be described with reference to FIG. 25. The description will focus on the differences from the above-described embodiment, and the same matters will be described. Is omitted.
本実施形態は、カメラが2つ設けられていること以外は前記第1実施形態と同様である
。
This embodiment is the same as the first embodiment except that two cameras are provided.
図25に示すように、本実施形態では、撮像部は、第1画像である画像D1、D2を撮
像する第1撮像部であるカメラ31と、第2画像である画像D1’、D2’を撮像する第
2撮像部であるカメラ33とを有する。すなわち、本実施形態では、画像D1、D2を撮
像する専用のカメラ31と、画像D1’、D2’を撮像する専用のカメラ33とを有する
構成となっている。このため、カメラ31を比較的高い分解能を有するものとし、カメラ
33を、カメラ31よりも低い分解能を有するものとすることができる。その結果、第2
判断において、制御部800とカメラ33との間でのデータのやり取りにかかる時間を短
縮することができる。
As shown in FIG. 25, in the present embodiment, the imaging unit includes a
In the determination, the time required for data exchange between the
<第5実施形態>
以下、図26を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第5実施
形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はそ
の説明を省略する。
<Fifth Embodiment>
Hereinafter, the fifth embodiment of the electronic component transport device and the electronic component inspection device of the present invention will be described with reference to FIG. 26. The description will focus on the differences from the above-described embodiment, and the same matters will be described. Is omitted.
本実施形態は、制御部800の制御動作が異なること以外は前記第1実施形態と同様で
ある。
This embodiment is the same as the first embodiment except that the control operation of the
以下、図26に示すフローチャートを用いて本実施形態での制御部800の制御動作に
ついて説明するが、以下の制御動作は、ICデバイス90を検査部16に搬送して検査を
行うのに先立って行われる制御動作である。
Hereinafter, the control operation of the
まず、ステップS401に示すように、照明5を作動させて、光L2を出射する。そし
て、カメラ31により、検査部6を撮像する(ステップS402)。次いで、ステップS
403において、照明5を消灯させる。
First, as shown in step S401, the
In 403, the
次いで、ステップS404において、レーザー光源41を作動させて、レーザー光L1
を検査部16に照射し、その状態でカメラ31により、検査部16を撮像する(ステップ
S405)。
Next, in step S404, the
The
そして、ステップS406において、ミラー42のモーター43を回動させて、レーザ
ー光L1の照射位置を調整する。この調整は、ステップS402で撮像された画像におい
て、中心位置Pcを割り出し(図27参照)、この中心位置Pcの座標を記憶し、ステッ
プS405で撮像された画像において、レーザー光L1が、中心位置Pcに位置するまで
調整する(図28参照)。これにより、レーザー光L1をより確実に凹部161に照射す
ることができる。特に、検査部16の凹部161の数や配置形態は、テスト毎に異なる場
合があり、この場合、検査部16の凹部161の位置に合わせて、画像を取得することが
できる。
In step S406, the
なお、本実施形態では、レーザー光L1の調整は、ミラー32の回動角度と、レーザー
光L1の照射位置との検量線に基づいて行われる。
In the present embodiment, the adjustment of the laser beam L1 is performed based on a calibration curve between the rotation angle of the
<第6実施形態>
以下、図29を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第6実施
形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はそ
の説明を省略する。
<Sixth Embodiment>
Hereinafter, the sixth embodiment of the electronic component transport apparatus and the electronic component inspection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. 29. The difference from the above-described embodiment will be mainly described, and the same matters will be described. Is omitted.
本実施形態は、検査部にマーカーおよび表示部が設けられていること以外は、前記第5
実施形態と同様である。
The fifth embodiment is the same as the fifth embodiment except that the inspection unit is provided with a marker and a display unit.
This is the same as the embodiment.
図29に示すように、本実施形態では、検査部16の上面にマーカー27と、表示部2
8とが設けられている。
As shown in FIG. 29, in this embodiment, the
8 are provided.
マーカー27は、各凹部161の縁部に設けられており、凹部161におけるX方向の
中心位置Pcを示すものである。このマーカー27に合わせて、レーザー光L1の照射位
置を合わせることにより、ステップS402における撮像を省略することができる。よっ
て、レーザー光L1の照射位置の調整工程の簡素化を図ることができる。
The
また、表示部28は、例えば、二次元バーコードで構成されている。レーザー光L1の
照射位置の調整工程終了後に、表示部28を読み取り、レーザー光L1の照射位置と表示
部28の情報とを紐づけてメモリー802に記憶しておくことができる。これにより、例
えば、検査毎に凹部161の配置形態が異なる検査部16を使用したとしても、表示部2
8を読み取ることにより、レーザー光L1の照射位置が分かる。すなわち、レーザー光L
1の照射位置の再現性を高めることができる。よって、レーザー光L1の照射位置の調整
を簡単に行うことができる。
Moreover, the
By reading 8, the irradiation position of the laser beam L1 can be known. That is, the laser beam L
The reproducibility of the irradiation position of 1 can be improved. Therefore, it is possible to easily adjust the irradiation position of the laser light L1.
<第7実施形態>
以下、図30を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第7実施
形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はそ
の説明を省略する。
<Seventh embodiment>
Hereinafter, the seventh embodiment of the electronic component transport apparatus and the electronic component inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. 30, but the description will focus on the differences from the above-described embodiment, and the same matters will be described. Is omitted.
本実施形態は、光の出射タイミングが異なること以外は前記第1実施形態と同様である
。
This embodiment is the same as the first embodiment except that the light emission timing is different.
本実施形態では、レーザー光源41は、間欠的にレーザー光L1を照射する。すなわち
、レーザー光源41は、レーザー光L1の照射と停止とを交互に繰り返す構成となってい
る。また、本実施形態でのレーザーパワーは、IEC 60825−1:2014や、J
ISはC 6802:2014に準じて設定される。これにより、オペレーターの安全性
が確保される。
In the present embodiment, the
IS is set according to C 6802: 2014. This ensures operator safety.
図30に示すタイミングチャートでは、図中上側のチャートが、カメラ31を示し、図
中下側のチャートが、レーザー光源41を示している。図30に示すように、本実施形態
では、光照射部であるレーザー光源41は、撮像開始時刻t1よりも先にレーザー光L1
を照射し、撮像終了時刻t2よりも後にレーザー光L1の照射を停止する。これにより、
カメラ31が撮像している間は、レーザー光L1を検査部16に照射している状態とする
ことができる。
In the timing chart shown in FIG. 30, the upper chart in the drawing shows the
And the irradiation of the laser beam L1 is stopped after the imaging end time t2. This
While the
さらに、光照射部であるレーザー光源41が、撮像可能なときにレーザー光L1を照射
する構成とすることにより、検査部が、デバイス搬送ヘッド17に遮られるときに撮像す
るのを防止することができる。よって、無駄なく撮像を行うことができる。
Further, by adopting a configuration in which the
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説
明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品
検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することが
できる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
As mentioned above, although the electronic component conveyance apparatus and electronic component inspection apparatus of this invention were demonstrated about embodiment of illustration, this invention is not limited to this, Each part which comprises an electronic component conveyance apparatus and an electronic component inspection apparatus Can be replaced with any structure capable of performing the same function. Moreover, arbitrary components may be added.
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの
、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
Moreover, the electronic component conveying apparatus and the electronic component inspection apparatus of the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.
なお、本発明の電子部品搬送装置では、撮像部は、フルカラーの画像を撮像するもので
あってもよく、モノクロの画像を撮像するものであってもよい。
In the electronic component conveying apparatus of the present invention, the imaging unit may capture a full-color image or a monochrome image.
1…電子部品検査装置、2…検出ユニット、2A…第1検出ユニット、2B…第2検出ユ
ニット、3…撮像ユニット、4…光照射ユニット、5…照明、10…電子部品搬送装置、
11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス
搬送ヘッド、14…デバイス供給部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、17…デバ
イス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、17B…デバイス搬送ヘッド、18…デ
バイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構
、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、23…エンコーダー、24…報知
部、25…照度センサー、26…マーカー、27…マーカー、28…表示部、31…カメ
ラ、32…ミラー、33…カメラ、41…レーザー光源、42…ミラー、43…モーター
、90…ICデバイス、161…凹部、162…内周面、200…トレイ、231…第1
隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、2
41…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカ
バー、245…トップカバー、300…モニター、301…表示画面、321…光反射面
、400…シグナルランプ、421…反射面、500…スピーカー、600…マウス台、
700…操作パネル、800…制御部、801…照射位置判断部、802…メモリー、A
1…トレイ供給領域、A2…供給領域、A3…検査領域、A4…回収領域、A5…トレイ
除去領域、D1…画像、D1’…画像、D2…画像、D2’…画像、D3…画像、L1…
レーザー光、L2…光、O…回動軸、P…位置、P1…位置、P2…位置、Pc…中心位
置、S…間隙、S101…ステップ、S102…ステップ、S103…ステップ、S10
4…ステップ、S105…ステップ、S106…ステップ、S107…ステップ、S10
8…ステップ、S109…ステップ、S110…ステップ、S111…ステップ、S11
2…ステップ、S201…ステップ、S202…ステップ、S203…ステップ、S20
4…ステップ、S205…ステップ、S206…ステップ、S207…ステップ、S20
8…ステップ、S209…ステップ、S210…ステップ、S211…ステップ、S30
1…ステップ、S302…ステップ、S303…ステップ、S304…ステップ、S30
5…ステップ、S306…ステップ、S307…ステップ、S308…ステップ、S40
1…ステップ、S402…ステップ、S403…ステップ、S404…ステップ、S40
5…ステップ、S406…ステップ、t1…撮像開始時刻、t2…撮像終了時刻、ΔD1
…ずれ量、ΔD2…ずれ量、Δd…厚さ、α…角度、β…角度、Δα…角度、α11A…
矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印
、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α
22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印、θ1…入射角、θ2…角度
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
41 ... Front cover, 242 ... Side cover, 243 ... Side cover, 244 ... Rear cover, 245 ... Top cover, 300 ... Monitor, 301 ... Display screen, 321 ... Light reflecting surface, 400 ... Signal lamp, 421 ... Reflecting surface, 500 ... speaker, 600 ... mouse stand,
700 ... Operation panel, 800 ... Control unit, 801 ... Irradiation position determination unit, 802 ... Memory, A
DESCRIPTION OF
Laser light, L2 ... light, O ... rotation axis, P ... position, P1 ... position, P2 ... position, Pc ... center position, S ... gap, S101 ... step, S102 ... step, S103 ... step, S10
4 ... Step, S105 ... Step, S106 ... Step, S107 ... Step, S10
8 ... Step, S109 ... Step, S110 ... Step, S111 ... Step, S11
2 ... Step, S201 ... Step, S202 ... Step, S203 ... Step, S20
4 ... Step, S205 ... Step, S206 ... Step, S207 ... Step, S20
8 ... Step, S209 ... Step, S210 ... Step, S211 ... Step, S30
1 ... Step, S302 ... Step, S303 ... Step, S304 ... Step, S30
5 ... Step, S306 ... Step, S307 ... Step, S308 ... Step, S40
1 ... Step, S402 ... Step, S403 ... Step, S404 ... Step, S40
5 ... Step, S406 ... Step, t1 ... Imaging start time, t2 ... Imaging end time, ΔD1
... deviation amount, ΔD2 ... deviation amount, Δd ... thickness, α ... angle, β ... angle, Δα ... angle, α 11A ...
Arrow, α 11B … Arrow, α 13X … Arrow, α 13Y … Arrow, α 14 … Arrow, α 15 … Arrow, α 17Y … Arrow, α 18 … Arrow, α 20X … Arrow, α 20Y … Arrow, α 21 … Arrow, α
22A : Arrow, α 22B : Arrow, α 90 … Arrow, θ1: Incident angle, θ2: Angle
Claims (10)
前記電子部品載置部に光を照射可能に配置され、前記電子部品載置部に載置された前記
電子部品に前記光を照射可能な光照射部と、
前記光が照射された前記電子部品載置部を撮像可能な撮像部と、を備え、
前記光照射部が第1輝度の前記光を出射して前記電子部品載置部を撮像した第1画像と
、前記光照射部が前記第1輝度よりも小さい第2輝度の前記光を出射して前記電子部品載
置部を撮像した第2画像とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、前記電子部品載置
部に前記電子部品が配置されているか否の判断を行うことを特徴とする電子部品搬送装置
。 An electronic component placement section on which electronic components can be placed can be placed.
A light irradiating unit arranged to irradiate light on the electronic component mounting unit, and capable of irradiating the light on the electronic component mounted on the electronic component mounting unit;
An imaging unit capable of imaging the electronic component placement unit irradiated with the light,
The light irradiation unit emits the light having the first luminance to capture the electronic component placement unit, and the light irradiation unit emits the light having the second luminance smaller than the first luminance. And determining whether or not the electronic component is arranged on the electronic component placement unit based on at least one of the second images obtained by imaging the electronic component placement unit. Electronic component transfer device.
とも1つの条件に基づいて、前記第1画像および前記第2画像から、前記判断の際に用い
る画像を選択する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 Based on at least one of the irradiation condition of the light irradiation unit, the color of the electronic component placement unit, and the color of the electronic component, used in the determination from the first image and the second image. The electronic component conveying apparatus according to claim 1, wherein an image is selected.
照射部と、を有する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 The electronic component transport apparatus according to claim 1, further comprising: a first light irradiation unit capable of emitting the light having the first luminance, and a second light irradiation unit capable of emitting the light having the second luminance.
送装置。 The electronic component transport apparatus according to claim 3, wherein the second light irradiation unit is capable of adjusting a luminance of emitted light.
う請求項1に記載の電子部品搬送装置。 The electronic component conveying apparatus according to claim 1, wherein the determination is performed based on the second image after the determination is performed based on the first image.
前記電子部品載置部に前記電子部品が配置されていると判断した場合、前記把持部の作
動を停止する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 Having a gripping part for gripping the electronic component;
The electronic component carrying device according to claim 1, wherein when it is determined that the electronic component is disposed on the electronic component placing portion, the operation of the gripping portion is stopped.
像部とを有する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 The electronic component conveying apparatus according to claim 1, wherein the imaging unit includes a first imaging unit that captures the first image and a second imaging unit that captures the second image.
可能な第1把持部と、
前記第1把持部とは独立して前記第1方向および前記第2方向に移動可能であり、前記
電子部品を把持可能な第2把持部と、を有する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 A first gripper that is movable in a first direction and a second direction different from the first direction and that can grip the electronic component;
2. The electronic component transport device according to claim 1, further comprising: a second grip portion that is movable in the first direction and the second direction independently of the first grip portion and capable of gripping the electronic component. .
前記電子部品載置部に光を照射可能に配置され、前記電子部品載置部に載置された前記
電子部品に前記光を照射可能な光照射部と、
前記光が照射された前記電子部品載置部を撮像可能な撮像部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記光照射部が第1輝度の前記光を出射して前記電子部品載置部を撮像した第1画像と
、前記光照射部が前記第1輝度よりも小さい第2輝度の前記光を出射して前記電子部品載
置部を撮像した第2画像とのうちの少なくとも一方の画像に基づいて、前記電子部品載置
部に前記電子部品が配置されているか否の判断を行うことを特徴とする電子部品検査装置
。 An electronic component placement section on which electronic components can be placed can be placed.
A light irradiating unit arranged to irradiate light on the electronic component mounting unit, and capable of irradiating the light on the electronic component mounted on the electronic component mounting unit;
An imaging unit capable of imaging the electronic component placement unit irradiated with the light;
An inspection unit for inspecting the electronic component,
The light irradiation unit emits the light having the first luminance to capture the electronic component placement unit, and the light irradiation unit emits the light having the second luminance smaller than the first luminance. And determining whether or not the electronic component is arranged on the electronic component placement unit based on at least one of the second images obtained by imaging the electronic component placement unit. Electronic component inspection equipment.
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JP2014196908A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | Handler and inspection device |
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2016
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