JP2018080929A - 流体機器 - Google Patents
流体機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018080929A JP2018080929A JP2016221518A JP2016221518A JP2018080929A JP 2018080929 A JP2018080929 A JP 2018080929A JP 2016221518 A JP2016221518 A JP 2016221518A JP 2016221518 A JP2016221518 A JP 2016221518A JP 2018080929 A JP2018080929 A JP 2018080929A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- pressure sensor
- diaphragm
- pressure
- body unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0609—Pressure pulsation damping arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/145—Housings with stress relieving means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/145—Housings with stress relieving means
- G01L19/146—Housings with stress relieving means using flexible element between the transducer and the support
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Child & Adolescent Psychology (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【課題】流体の熱膨張などによって圧力センサに加わる過度の圧力を低減する。【解決手段】流体が流れる内部流路R1に流体抵抗素子4が設けられたボディユニット2と、ボディユニット2に設けられて、内部流路R1の流体抵抗素子4の上流側および下流側の圧力を検知する圧力センサ3、3と、ボディユニット2の流体抵抗素子4の上流側に設けられて、流体の熱膨張等による圧力変動をダイアフラムの変形によって吸収する変動吸収部5とを具備する。【選択図】図1
Description
本発明は、圧力センサが搭載された流体機器に関する。
圧力センサが搭載された流体機器としては、例えば差圧式の流量計がある。この流量計は、流体が流れる流路に流体抵抗素子を設け、当該流体抵抗素子の上流側及び下流側それぞれに圧力センサを設け、当該上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの差圧により、流体の流量を測定するものである。
この差圧式の流量計を組み込んだ流体回路では、流量計の上流側及び下流側に開閉弁が設けられる場合があり、流量計に流体を流さない場合には、上流側及び下流側の開閉弁が閉じられる。
しかしながら、この状態で流体の温度が上昇した場合には、流体が熱膨張してしまい、開閉弁の間の密閉空間の圧力が上昇してしまう。この圧力の上昇により、流量計の圧力センサなどの構成部品に例えば許容過大圧を超える過度の圧力がかかってしまい、構成部品にダメージを与えてしまう。例えば、構成部品の故障、ゼロ点変化、スパン変化が生じてしまう。
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、流体の熱膨張などによって圧力センサに加わる過度の圧力を低減することをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係る流体機器は、流体が流れる内部流路が形成されたボディユニットと、前記ボディユニットに設けられて、前記内部流路の圧力を検知する圧力センサと、前記ボディユニットに設けられて、前記流体の圧力変動を吸収する変動吸収部と、を具備することを特徴とする。
この流体機器であれば、ボディユニットに設けられた変動吸収部が流体の熱膨張などにより生じる圧力変動を吸収するので、流体の熱膨張などに伴う内部流路の圧力の上昇を抑えることができる。これにより、圧力センサに加わる過度の圧力を低減することができ、流体の熱膨張などにより生じる圧力変動による圧力センサへのダメージを低減することができる。
ここで、前記変動吸収部は、前記流体の熱膨張を吸収するものであることが望ましい。
本発明の効果が顕著となる構成としては、前記圧力センサは、前記内部流路の圧力の変化に応じて変形するダイアフラムを用いて圧力を検知するものであることが考えられる。ダイアフラムは流体の熱膨張などにより生じる圧力変動による影響を受けて変形しやすいため、変動吸収部を設けたことの効果が顕著となる。
流体機器の具体的な構成としては、差圧式流量計が考えられる。この差圧式流量計の場合には、前記内部流路に流体抵抗素子が設けられており、前記圧力センサは、前記流体抵抗素子の上流側に設けられた上流側圧力センサ、及び前記流体抵抗素子の下流側に設けられた下流側圧力センサを有する構成となる。また、差圧式流量計は、その下流側に流量制御弁が設けられて、流量制御弁とともに流量制御機器を構成する。
この場合、流体抵抗素子の下流側に変動吸収部を設けた場合には、変動吸収部がバッファ(緩衝器)として作用してしまい、流量制御弁による流量制御の応答性を悪くしてしまう。
このため、流量制御弁による流量制御の応答性を悪くすることなく、熱膨張による圧力センサへのダメージを低減するためには、前記変動吸収部は、前記上流側圧力センサ又は前記流体抵抗素子の上流側に設けられていることが望ましい。
一方、差圧式流量計は、その上流側に流量制御弁が設けられて、流量制御弁とともに流量制御機器を構成する場合もある。この場合には、前記変動吸収部は、前記下流側圧力センサ又は前記流体抵抗素子の下流側に設けられていることが望ましい。
この場合、流体抵抗素子の下流側に変動吸収部を設けた場合には、変動吸収部がバッファ(緩衝器)として作用してしまい、流量制御弁による流量制御の応答性を悪くしてしまう。
このため、流量制御弁による流量制御の応答性を悪くすることなく、熱膨張による圧力センサへのダメージを低減するためには、前記変動吸収部は、前記上流側圧力センサ又は前記流体抵抗素子の上流側に設けられていることが望ましい。
一方、差圧式流量計は、その上流側に流量制御弁が設けられて、流量制御弁とともに流量制御機器を構成する場合もある。この場合には、前記変動吸収部は、前記下流側圧力センサ又は前記流体抵抗素子の下流側に設けられていることが望ましい。
ボディユニットに変動吸収部を簡単に設けるためには、前記変動吸収部は、ボディユニットの外面に取り付けられていることが望ましい。
変動吸収部の構成を簡単にするためには、前記変動吸収部は、前記流体の圧力変動に伴って変形するダイアフラムを有するものであることが望ましい。
変動吸収部のダイアフラムが流体の熱膨張などにより生じる圧力変動により変形しやすくするためには、前記変動吸収部のダイアフラムは、平面視において環状をなすとともに断面波形状をなす波状部を有することが望ましい。
ダイアフラムの塑性変形による破損を防止するとともに、流体機器の安全性を確保するためには、前記変動吸収部は、前記ダイアフラムの変形に伴う膨出側に前記ダイアフラムと所定距離離間して設けられた変形規制部を有することが望ましい。
本発明によれば、ボディユニットに設けられた変動吸収部が流体の熱膨張などにより生じる圧力変動を吸収するので、流体の熱膨張などにより生じる圧力変動によって圧力センサに加わる過度の圧力を低減することができる。
以下に本発明に係る流量計の一実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態の流量計100は、例えば半導体製造プロセスに用いられるものである。
具体的にこの流量計100は、図1に示すように、例えば半導体プロセス用液体等の液体が流れる内部流路R1が形成されたボディユニット2と、当該ボディユニット2に設けられて、内部流路R1の圧力を検知する圧力センサ3とを備えている。なお、ボディユニット2は、前記液体に対して耐食性を有する材料から形成されており、例えばステンレス鋼製である。また、その他、圧力センサ3等の接液部材も同様に、前記液体に対して耐食性を有する材料から形成されており、例えばステンレス鋼製である。
ボディユニット2は、内部流路R1が貫通したブロック状をなすものである。内部流路R1の途中には、例えば層流素子やオリフィスなどの流体抵抗素子4が設けられている。また、ボディユニット2の上流側である流路一端部には、外部流入配管H1が接続される。ボディユニット2の下流側である流路他端部には、外部流出配管H2が接続される。なお、外部流入配管H1及び外部流出配管H2は、圧力センサ3のダイアフラム31よりも剛性の高い材質により構成されている。そして、外部流入配管H1及び外部流出配管H2には、例えば空圧弁や電磁弁などの開閉弁V1、V2が設けられている。
圧力センサ3は、内部流路R1の圧力の変化に応じて変形するダイアフラム31を用いて圧力を検知するものである。本実施形態の圧力センサ3は、前記ダイアフラム31とダイアフラム31から離間して設けられた固定電極32との間の静電容量を検出することにより圧力を測定する静電容量型の圧力センサである。
また、圧力センサ3は、流体抵抗素子4の上流側に設けられた上流側圧力センサ3aと、流体抵抗素子の下流側に設けられた下流側圧力センサ3bとを有している。ここで上流側圧力センサ3aは、ボディユニット2に形成された上流側導入路R11及び上流側導出路R12の開口を覆うようにボディユニット2に取り付けられる。また、下流側圧力センサ3bは、ボディユニット2に形成された下流側導入路R13及び下流側導出路R14の開口を覆うようにボディユニット2に取り付けられる。上流側導入路R11、上流側導出路R12、下流側導入路R13及び下流側導出路R14はいずれも、内部流路R1における流体抵抗素子4の近傍においてボディユニット2の一面に開口するように形成されている。なお、上流側圧力センサ3a及び下流側圧力センサ3bはセンサ駆動回路により駆動され、各センサ3a、3bにより得られた静電容量を示す検出信号は、増幅回路により増幅されて、演算回路により流量に換算される。
然して、本実施形態のボディユニット2には、特に図2に示すように、内部流路にある流体の熱膨張などにより生じる圧力変動を吸収する変動吸収部5(以下、熱膨張吸収部5ともいう。)が設けられている。
この熱膨張吸収部5は、上流側圧力センサ3a及び流体抵抗素子4の上流側に設けられており、流体の熱膨張に伴って変形するダイアフラム51と、当該ダイアフラム51を支持する支持体52とを有している。なお、熱膨張吸収部5は、圧力センサ3とは異なり、圧力を測定するものではない。本実施形態の熱膨張吸収部5は、その他の構成部品とともにその配置を容易にするために、ボディユニット2において圧力センサ3が設けられた面(具体的には上面)とは異なる部位に内蔵されており、ボディユニット2の下面側に内蔵されている。なお、熱膨張吸収部5をボディユニット2において圧力センサ3が設けられた面側(上面側)に内蔵しても良いことは言うまでもない。
ダイアフラム51は、上述した圧力センサのダイアフラム31よりも変形しやすい構成とされている。具体的にダイアフラム51は、図3に示すように、平面視において環状をなすとともに断面波形状をなす波状部51Mを有するものである。波状部51Mは、複数の円環状をなす凸部又は凹部が同心円状に設けられることにより形成されている。
このダイアフラム51は、内部流路R1に連通する連通空間S1に面して設けられている(図2参照)。本実施形態の連通空間S1は、支持体52により形成されており、導入路R15及び導出路R16が接続されている。なお、ダイアフラム51は、内部流路R1に直接面して設けられる構成としても良い。
ここで、ダイアフラム51の変形を容易にするためには、ダイアフラム51の連通空間側の面とは反対側は大気開放されていることが望ましい。また、ダイアフラム51の変形量を大きくするためには、ダイアフラム51の連通空間側の面とは反対側を加圧してダイアフラム51を予め連通空間側に変形させておくことが望ましい。ダイアフラム51を連通空間側に変形させる構成としては、ダイアフラム51をガスで加圧して変形させる構成、ばねやゴムなどの弾性体の弾性復帰力により加圧して変形させる構成などが考えられる。
次のこの熱膨張吸収部の作用について説明する。
流量計100の上流側及び下流側に設けられた上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2が閉じられた状態では、内部流路R1を含む上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2の間の流路は密閉状態となる。
流量計100の上流側及び下流側に設けられた上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2が閉じられた状態では、内部流路R1を含む上流側開閉弁V1及び下流側開閉弁V2の間の流路は密閉状態となる。
この状態で、その密閉された流路にある流体の温度が上昇すると、流体は熱膨張する。この膨張した体積は、当該密閉された流路における可撓部分に逃げようとする。ここで、可撓部分は、上流側圧力センサ3a及び下流側圧力センサ3bのダイアフラム31と、熱膨張吸収部5のダイアフラム51とであるが、熱膨張吸収部5のダイアフラム51の方が変形しやすいので、膨張した体積の大部分が、熱膨張吸収部5のダイアフラム51の流路とは反対側(本実施形態では大気開放側)への変形により吸収される(図4参照)。
このように構成した流量計100によれば、ボディユニット2に設けられた熱膨張吸収部5が流体の熱膨張を吸収するので、流体の熱膨張に伴う内部流路R1の圧力の上昇を抑えることができる。これにより、圧力センサ3に加わる過度の圧力を低減することができ、流体の熱膨張による圧力センサ3のダメージを低減することができる。また、熱膨張吸収部5がボディユニット2の内部に組み込まれているので、流量計100の小型化が可能となる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、熱膨張吸収部5が、図5に示すように、ダイアフラム51の変形に伴う膨出側にダイアフラム51と所定距離離間して設けられた変形規制部53を有するものであっても良い。この変形規制部53は、ダイアフラム51が所定量以上変形して膨出した場合に、当該膨出部分に接触してそれ以上の変形を規制するものである。具体的には、平板部材により構成される。
例えば、熱膨張吸収部5が、図5に示すように、ダイアフラム51の変形に伴う膨出側にダイアフラム51と所定距離離間して設けられた変形規制部53を有するものであっても良い。この変形規制部53は、ダイアフラム51が所定量以上変形して膨出した場合に、当該膨出部分に接触してそれ以上の変形を規制するものである。具体的には、平板部材により構成される。
また、前記実施形態では熱膨張吸収部5がボディユニット2に内蔵されて組み込まれたものであったが、図6に示すように、ボディユニット2に内蔵されずにボディユニット2の外面に外付けされるように構成しても良い。この場合、熱膨張吸収部5は、ボディユニット2に形成された導入路R15及び導出路R16の開口を覆うようにボディユニット2に取り付けられる。このような構成により、ボディユニットへの内蔵加工を不要にして、簡便に取り付ける事ができる。なお、流体機器の設置スペースを小さくするためには、熱膨張吸収部5は、各圧力センサ3a、3bと同一面上に設けられることが望ましい。
また、前記実施形態の熱膨張吸収部5は、1枚のダイアフラム51を有するものであったが、吸収できる膨張量を増やすために、図7〜図9に示すように、2枚以上のダイアフラムを有するものであっても良い。図7及び図9の熱膨張吸収部5は、2枚のダイアフラム51a、51bを向かい合わせて配置して、それらの周囲に流体が充満するように構成して、ダイアフラム51a、51bが内側に変形するように構成したものであり、図8の熱膨張吸収部5は、2枚のダイアフラム51a、51bの間に流体が充満するように構成して、ダイアフラム51a、51bが外側に変形するように構成したものである。また、図7及び図8は、内部流路R1から分岐した流路に熱膨張吸収部5を設けた構成であり、図8は、内部流路R1上に熱膨張吸収部5を設けた構成である。なお、図7及び図9では、2枚のダイアフラム51a、51bの間に変形規制部53を設けているが、設けることなく、2枚のダイアフラム51a、51bが所定量変形した場合に互いに接触して、一方が他方の変形規制部としての機能を発揮するものであっても良い。
前記実施形態の熱膨張吸収部は、ダイアフラムにより構成しているが、熱膨張に伴って変形する変形部材を有し、その変形部材によりその膨張分を吸収する機構であればよく、例えばベローズを用いて構成したものであっても良い。
さらに、前記実施形態の流体機器100は、ボディユニット2に圧力センサ3が搭載された流量計であったが、それに加えて、流量制御弁が搭載されたマスフローコントローラとしても良いし、熱式流量計、コリオリ式流量計又は超音波式流量計などの他の方式の流量測定機構が設けられた流体機器に圧力センサが設けられたものとしても良い。
また、流体機器の下流側に流量制御弁が設けられないような流体回路の場合には、熱膨張吸収部は、下流側圧力センサ3b又は流体抵抗素子4の下流側に設けても良い。
前記変動吸収部は、熱膨張吸収部として主な機能を発揮するものであったが、その他、開閉弁V1、V2を閉塞した際に生じる流体の圧力変動を吸収するものであっても良い。
前記実施形態の圧力センサは、静電容量式のものであったが、ダイアフラムに歪ゲージを設けたひずみゲージ式のものであっても良いし、ダイアフラムに圧電素子を設けた圧電式(ピエゾ式)のものであっても良い。
前記実施形態の流量測定機構としては、熱式以外にも、圧力式、コリオリ式や超音波式などの種々の流量測定方式を用いることができる。
前記実施形態の流体機器を半導体製造プロセス以外にも用いることができる。
その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・流体機器
2・・・ボディユニット
R1・・・内部流路
3・・・圧力センサ
31・・・ダイアフラム
3a・・・上流側圧力センサ
3b・・・下流側圧力センサ
4・・・流体抵抗素子
5・・・熱膨張吸収部
51・・・ダイアフラム
51M・・・波状部
2・・・ボディユニット
R1・・・内部流路
3・・・圧力センサ
31・・・ダイアフラム
3a・・・上流側圧力センサ
3b・・・下流側圧力センサ
4・・・流体抵抗素子
5・・・熱膨張吸収部
51・・・ダイアフラム
51M・・・波状部
Claims (8)
- 流体が流れる内部流路が形成されたボディユニットと、
前記ボディユニットに設けられて、前記内部流路の圧力を検知する圧力センサと、
前記ボディユニットに設けられて、前記流体の圧力変動を吸収する変動吸収部と、を具備する流体機器。 - 前記変動吸収部は、前記流体の熱膨張を吸収するものである、請求項1記載の流体機器。
- 前記圧力センサは、前記内部流路の圧力の変化に応じて変形するダイアフラムを用いて圧力を検知するものである、請求項1又は2記載の流体機器。
- 前記内部流路に流体抵抗素子が設けられており、
前記圧力センサは、前記流体抵抗素子の上流側に設けられた上流側圧力センサ、及び前記流体抵抗素子の下流側に設けられた下流側圧力センサを有しており、
前記変動吸収部は、前記上流側圧力センサ又は前記流体抵抗素子の上流側に設けられている、請求項1乃至3の何れか一項に記載の流体機器。 - 前記変動吸収部は、ボディユニットの外面に取り付けられている、請求項1乃至4の何れか一項に記載の流体機器。
- 前記変動吸収部は、前記流体の圧力変動に伴って変形するダイアフラムを有するものである、請求項1乃至5の何れか一項に記載の流体機器。
- 前記変動吸収部のダイアフラムは、平面視において環状をなすとともに断面波形状をなす波状部を有する、請求項6記載の流体機器。
- 前記変動吸収部は、前記ダイアフラムの変形に伴う膨出側に前記ダイアフラムと所定距離離間して設けられた変形規制部を有する、請求項6又は7記載の流体機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016221518A JP2018080929A (ja) | 2016-11-14 | 2016-11-14 | 流体機器 |
KR1020170149003A KR20180054464A (ko) | 2016-11-14 | 2017-11-09 | 유체 기기 |
TW106139089A TW201820455A (zh) | 2016-11-14 | 2017-11-13 | 流體機器 |
US15/811,342 US20180136069A1 (en) | 2016-11-14 | 2017-11-13 | Fluid equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016221518A JP2018080929A (ja) | 2016-11-14 | 2016-11-14 | 流体機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018080929A true JP2018080929A (ja) | 2018-05-24 |
Family
ID=62107741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016221518A Pending JP2018080929A (ja) | 2016-11-14 | 2016-11-14 | 流体機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180136069A1 (ja) |
JP (1) | JP2018080929A (ja) |
KR (1) | KR20180054464A (ja) |
TW (1) | TW201820455A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102645269B1 (ko) | 2023-06-22 | 2024-03-08 | 박명재 | 굴 양식방법 및 그 방법에 적용되는 굴 양식기구 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52124774U (ja) * | 1976-03-18 | 1977-09-22 | ||
JPS59131037U (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | 株式会社山武 | 受圧ダイアフラム保護装置 |
JPH08178783A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Yokogawa Electric Corp | 差圧/圧力伝送器 |
JPH1123340A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Yokogawa Electric Corp | コリオリ質量流量計 |
JP2892521B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1999-05-17 | トキコ株式会社 | 質量流量計又は密度計 |
JPH11241970A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001242940A (ja) * | 1999-11-23 | 2001-09-07 | Nt Internatl Inc | 流体制御モジュール |
US20060248950A1 (en) * | 2004-10-18 | 2006-11-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pressure senor with low sensitivity to acceleration forces |
DE102010022642A1 (de) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Vorrichtung zur Überprüfung des Durchflusses von Öl oder Brennstoff durch eine Filteranordnung |
-
2016
- 2016-11-14 JP JP2016221518A patent/JP2018080929A/ja active Pending
-
2017
- 2017-11-09 KR KR1020170149003A patent/KR20180054464A/ko not_active Application Discontinuation
- 2017-11-13 US US15/811,342 patent/US20180136069A1/en not_active Abandoned
- 2017-11-13 TW TW106139089A patent/TW201820455A/zh unknown
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52124774U (ja) * | 1976-03-18 | 1977-09-22 | ||
JPS59131037U (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | 株式会社山武 | 受圧ダイアフラム保護装置 |
JP2892521B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1999-05-17 | トキコ株式会社 | 質量流量計又は密度計 |
JPH08178783A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Yokogawa Electric Corp | 差圧/圧力伝送器 |
JPH1123340A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Yokogawa Electric Corp | コリオリ質量流量計 |
JPH11241970A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001242940A (ja) * | 1999-11-23 | 2001-09-07 | Nt Internatl Inc | 流体制御モジュール |
US20060248950A1 (en) * | 2004-10-18 | 2006-11-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pressure senor with low sensitivity to acceleration forces |
DE102010022642A1 (de) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Vorrichtung zur Überprüfung des Durchflusses von Öl oder Brennstoff durch eine Filteranordnung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201820455A (zh) | 2018-06-01 |
KR20180054464A (ko) | 2018-05-24 |
US20180136069A1 (en) | 2018-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6416529B2 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
JP2011524015A (ja) | プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム | |
JP7111895B2 (ja) | 非侵入的プロセス流体圧測定システム | |
JP2013185873A (ja) | 差圧センサ | |
CN106546377B (zh) | 具有过载保护的压差换能器组件 | |
JP2011503576A (ja) | 圧力センサ | |
EP2910908A1 (en) | Differential pressure type flowmeter and flow controller provided with the same | |
JP2018080929A (ja) | 流体機器 | |
US20130206676A1 (en) | Measuring device having a pressure sensor | |
TWI757368B (zh) | 壓力式流量計 | |
EP2442083B1 (en) | Pressure indicator with means for minimizing resonance frequencies | |
US10520383B2 (en) | Temperature-compensating absolute pressure sensor | |
CN104215385A (zh) | 一种双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器 | |
US7637170B2 (en) | Leak check device for vortex sensor replacement | |
JP6238824B2 (ja) | 液体圧検出装置 | |
JP2006162491A (ja) | 圧力センサ | |
JP2018194330A (ja) | 液体圧検出装置 | |
KR20100111087A (ko) | 과압안전밸브를 구비한 압력측정장치 | |
JP4942254B2 (ja) | ガスメータ | |
US20230375014A1 (en) | Apparatus for damping pressure pulsations | |
JP4298077B2 (ja) | 気体流量計 | |
KR200441852Y1 (ko) | 압력계용 태엽형 부르돈관 | |
CN208432307U (zh) | 一种不停机更换超声脉冲感应器的脉冲流量计 | |
CN105651424B (zh) | 一种柔性压力检测装置 | |
JP2024043978A (ja) | 流動検知装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200818 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210302 |