JP2018073613A - ヒータ - Google Patents
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Abstract
Description
れたものではない。なお、図1では、流路の箇所を点線で示している。
ミックスであり、セラミックスを構成する全成分100質量%のうち窒化アルミニウムを70質量%以上(100質量%を含む)含有するものである。そして、第1部材2や第2部材3の材質は、以下の方法により確認することができる。まず、X線回折装置(XRD)を用いて測定し、得られた2θ(2θは、回折角度である。)の値をJCPDSカードで同定することにより、窒化アルミニウムの存在を確認する。次に、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置(ICP)を用いて、アルミニウム(Al)の定量分析を行なう。そして、ICPで測定したアルミニウムの含有量から窒化アルミニウム(AlN)に換算する。ここで換算した含有量が70質量%以上であれば、窒化アルミニウム質セラミックスである。また、XRDを用いた測定において、窒化アルミニウム以外の窒化物の存在が確認されなければ、窒素分析装置を用いて窒素の含有量を測定し、この窒素を窒化アルミニウムに換算することで、窒化アルミニウムの含有量を算出してもよい。なお、他のセラミックスについても同様である。
流れる流体は、排出口14を通って、第1部材2と第4部材6との間の隙間を流れ、第1部材2の表面2a側から排出される。このような構成であれば、第1部材2の表面2aにおいて、特に温度が低下しやすい外周側が、排出された流体により加熱されることで、表面2aの温度ばらつきを抑制することができる。
ルコンパクション法によりグリーンシートを形成する。
2:第1部材
2a:第1部材の表面
3:第2部材
3a:第2部材の表面
4、4a、4b、4c:流路
5:電極
6:第4部材
7:第3部材
8:シャワーヘッド
9、11、12:開口部
13:容器
14:排出口
10:ヒータ
20:CVD装置
Claims (5)
- 内部に抵抗発熱体を有する第1部材と、
該第1部材よりも熱伝導率の低い第2部材とを備え、
前記第1部材と前記第2部材とに囲まれた部分が流路であるヒータ。 - 前記流路は、前記第2部材で構成される凹部と、該凹部を覆う前記第1部材で構成される蓋部とからなる請求項1に記載のヒータ。
- 前記蓋部の前記流路側の面は、前記第1部材と前記第2部材との境界上に位置している請求項2に記載のヒータ。
- 前記流路は、流体の流れる方向に沿った凸部を有する請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のヒータ。
- 前記第1部材と前記第2部材とは、窒化アルミニウム質セラミックスからなる請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のヒータ。
Priority Applications (1)
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JP2016211812A JP2018073613A (ja) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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-
2016
- 2016-10-28 JP JP2016211812A patent/JP2018073613A/ja active Pending
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