JP2018046233A - 温度調整機能付きユニットシステム - Google Patents
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Abstract
Description
図2のユニット本体3は、熱伝導性に優れた軽量な金属体で、たとえば、アルミ合金、または、銅合金で形成され、プローバ内のウエハチャックの周囲に取り付けて使用する為に円弧状の部分に分割された複数の筐体部品13と前記筐体部品13を一対に接続しているヒンジ8とウエハチャック101に巻きつけて固定する固定装置9からなる筐体である。図2においては円弧状の部分に分割された複数の筐体部品13は、2つの半円状の筐体部分となっている。
ユニット本体3の谷部11には、クーリングファン5が内部に内蔵され、ユニット本体3の内周部から外周部に掛けて吸気口12となる貫通孔が施してある。クーリングファン5は、ユニット本体3の外周部、すなわち、吸気口12に直接、取り付けても良い。本図では、貫通孔の内部にクリーンファン5を搭載した場合の例としてある。
2 コントローラ
3 ユニット本体(筐体)
4 温度検知センサ
5 クーリングファン
6 ヒータ
7 爪部
8 可動部(ヒンジ)
9 固定装置(ボルト)
10 山部
11 谷部
12 吸気口
13 円弧状の筐体部品
100 半導体検査装置(プローバ)
101 ウエハチャック
102 素子ウエハ(半導体ウエハ)
Claims (5)
- 半導体素子を検査する半導体検査装置のウエハチャックの外周部に取り付けられるユニット本体と前記ユニット本体を制御するコントローラとからなり、
前記ユニット本体は、
前記ユニット本体をウエハチャックの外周部に巻きつけて固定するための固定装置と、
前記ウエハチャックの外周部を加熱する加熱手段と、
前記ウエハチャックの外周部を冷却する冷却手段と、
前記ウエハチャックの外周部の温度を検出する温度検出手段と、を備え、
前記コントローラは、
前記ウエハチャックと半導体検査装置の間に接続され、前記温度検出手段によって検出された温度と前記加熱手段に設定された温度との差異を調整して、前記ウエハチャックを設定温度へ制御する、
ことを特徴とする温度調整機能付きユニットシステム。 - 前記ユニット本体は、ウエハチャックに取り付ける為に2つ以上に分割された複数の円弧状の筐体部品からなり、前記複数の筐体部品は少なくとも1つの可動部と1つの固定部を有している請求項1記載の温度調整機能付きユニットシステム。
- 前記ユニット本体は、内周部にギア状の凹凸が形成され、前記凹凸部の凸部の山部には前記ウエハチャックを加熱する加熱手段であるヒータを備えており、前記凹凸部の凹部の谷部には前記ユニット本体の内周部から外周部に向かって貫通孔が形成しており、前記貫通孔の近傍に冷却手段であるクーリングファンを搭載している請求項1または2記載の温度調整機能付きユニットシステム。
- 前記温度検出手段は温度検知センサであり、前記温度検出センサは、前記ウエハチャックを加熱する前記ヒータの上部の爪部に搭載されている請求項3記載の温度調整機能付きユニットシステム。
- 前記コントローラは前記爪部に搭載された温度検出手段によって検知された温度と
前記ウエハチャックの外周部からユニット本体から加熱する加熱手段の設定温度との差異を調整制御する請求項4記載の温度調整機能付きユニットシステム。
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JP2016181535A JP6830333B2 (ja) | 2016-09-16 | 2016-09-16 | 温度調整機能付きユニットシステム |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7416439B2 (ja) | 2021-06-28 | 2024-01-17 | 株式会社 東京ウエルズ | 電子部品試験装置 |
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- 2016-09-16 JP JP2016181535A patent/JP6830333B2/ja active Active
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