JP2018034105A - Liquid application unit, liquid application device, and liquid application method - Google Patents

Liquid application unit, liquid application device, and liquid application method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid application unit and a liquid application device which can move a plurality of application needles at high speed similarly to an application device provided with a plurality of application units, and are inexpensive as compared with the application device provided with the plurality of application units.SOLUTION: A liquid application unit applies a liquid material on a surface of an object by using a plurality of application needles 1, and is provided with: at least one linear motor having a movable part 21 linearly moving in a direction intersecting with a gravity direction, and a fixed part 22 for guiding the movable part 21; at least one cam member 6 which includes a cam surface 25 having a plurality of surface parts inclined to the gravity direction and is fixed to the movable part 21; and a plurality of driven members 7 which include a slide part 16 slidable with the cam surface 25 and can move along the gravity direction. Each of the plurality of driven members 7 is connected to at least one of the plurality of application needles 1. The number of the plurality of application needles 1 is larger than the number of the linear motors.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、液体塗布ユニット、液体塗布装置および液体塗布方法に関し、特にその先端部に液状材料を付着させ、その先端を基板上の微細領域に接触させて液状材料を塗布する塗布針を備える液体塗布ユニット、および該液体塗布ユニットを備える液体塗布装置に関する。   The present invention relates to a liquid application unit, a liquid application device, and a liquid application method, and in particular, a liquid provided with an application needle for applying a liquid material by attaching a liquid material to the tip of the liquid application unit and bringing the tip into contact with a fine region on a substrate. The present invention relates to a coating unit and a liquid coating apparatus including the liquid coating unit.

ＲＦＩＤタグなどの微細な回路を印刷（塗布）方式で形成するプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。プリンテッドエレクトロニクス技術としては、印刷方式、インクジェット方式、ディスペンサ方式などが一般的であるが、塗布針を用いた方式も、広範囲の粘度の材料を用いて微細な塗布が可能な点で、その選択肢の一つである。   Printed electronics technology for forming a fine circuit such as an RFID tag by a printing (coating) method has been rapidly developed. Printed electronics technologies such as printing, ink jet, and dispenser are common, but the method using an application needle is also an option because it allows fine application using materials with a wide range of viscosities. one of.

塗布針を用いて微細な塗布を行う方法については、特開２０１５−１１２５７６号公報（特許文献１）に記載のような塗布ユニットを用いて行う方法がある。当該塗布ユニットは、１つのサーボモータの回転をカムを用いて直動に変換し、１本の塗布針を上下動させる。このような塗布ユニットは、液体材料を対象物に高速で塗布することができる。   As a method of performing fine application using an application needle, there is a method of using an application unit as described in JP-A-2015-112576 (Patent Document 1). The application unit converts the rotation of one servo motor into a linear motion using a cam and moves one application needle up and down. Such an application unit can apply a liquid material to an object at high speed.

特開２０１５−１１２５７６号公報JP2015-112576A

塗布作業が連続して複数回実施され得る場合、例えば対象物における複数の箇所に対し液体材料を塗布する場合、または並べて配置された複数の対象物の各々に対し液体材料を塗布する場合などには、１本の塗布針ではなく複数本の塗布針を用いることが考え得られる。このようにすれば、複数回の塗布作業に要する時間は、１本の塗布針を用いる場合と比べて、短縮され得る。   When application work can be carried out a plurality of times continuously, for example, when applying a liquid material to a plurality of locations in an object, or when applying a liquid material to each of a plurality of objects arranged side by side, etc. It is conceivable to use a plurality of application needles instead of a single application needle. In this way, the time required for a plurality of application operations can be shortened as compared to the case where a single application needle is used.

上記塗布ユニットにより複数本の塗布針による塗布作業を実現するためには、複数の上記塗布ユニットが必要となる。複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置において、個々の塗布針は、１つの上記塗布ユニットを備える塗布装置と同様に高速に動かされ得る。しかしながら、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置は、１つの上記塗布ユニットを備える塗布装置と比べて、大型化し、また高価となる。   In order to realize a coating operation using a plurality of coating needles by the coating unit, a plurality of the coating units are required. In a coating apparatus including a plurality of the coating units, individual coating needles can be moved at high speed in the same manner as a coating apparatus including a single coating unit. However, a coating apparatus including a plurality of the coating units is larger and more expensive than a coating apparatus including a single coating unit.

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置と同様に複数の塗布針を高速に運動させることができ、かつ、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置と比べて安価な液体塗布ユニットおよび液体塗布装置を提供することにある。また、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置を用いる塗布方法と比べて製造コストが低い液体塗布方法を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems. The main object of the present invention is to allow a plurality of application needles to move at high speed in the same manner as an application apparatus including a plurality of application units, and to apply a liquid at a lower cost than an application apparatus including a plurality of application units. It is to provide a unit and a liquid application apparatus. It is another object of the present invention to provide a liquid coating method having a lower manufacturing cost than a coating method using a coating apparatus including a plurality of the coating units.

本発明に係る液体塗布ユニットは、複数の塗布針を用いて対象物の表面に液状材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、重力方向に交差する方向に直線移動する可動部と、可動部を案内する固定部とを含む、少なくとも１つのリニアモータと、重力方向に対して傾斜した複数の表面部分を有するカム面を含み、可動部に固定された、少なくとも１つのカム部材と、カム面と摺動可能な摺動部を含み、重力方向に沿って移動可能な複数の従動部材とを備える。複数の従動部材の各々は、複数の塗布針の少なくとも１つと接続されている。複数の塗布針の数は、リニアモータの数よりも多い。   A liquid application unit according to the present invention is a liquid application unit for applying a liquid material to the surface of an object using a plurality of application needles, and includes a movable part that linearly moves in a direction crossing the direction of gravity, and a movable part. At least one linear motor, including at least one linear motor, a cam surface having a plurality of surface portions inclined with respect to the direction of gravity, and fixed to the movable portion, and a cam A plurality of driven members including a surface and a slidable sliding portion and movable in the direction of gravity; Each of the plurality of driven members is connected to at least one of the plurality of application needles. The number of application needles is greater than the number of linear motors.

上記液体塗布ユニットにおいて、摺動部は軸受であるのが好ましい。
上記液体塗布ユニットにおいて、従動部材は、少なくとも塗布針と対象物とが接触可能な状態にある第１の位置と、第１の位置よりも重力方向の上方にある第２の位置との間を移動可能である。好ましくは、従動部材が第１の位置から第１の位置と第２の位置との間に位置する第３の位置までの領域内に位置するときの塗布針の移動速度が、従動部材が第３の位置から第２の位置までの領域内に位置するときの塗布針の移動速度より遅くなるように、塗布針の移動速度を制御可能に設けられている。 In the liquid application unit, the sliding portion is preferably a bearing.
In the liquid application unit, the driven member is at least between a first position where the application needle and the object can contact each other and a second position which is above the first position in the direction of gravity. It is movable. Preferably, the moving speed of the application needle when the driven member is located in a region from the first position to the third position located between the first position and the second position is such that the driven member is The moving speed of the application needle is controllable so as to be slower than the moving speed of the application needle when positioned in the region from position 3 to the second position.

本発明に係る液体塗布装置は、上記液体塗布ユニットと、対象物を保持する保持台とを備える。   The liquid application apparatus according to the present invention includes the liquid application unit and a holding table for holding an object.

本発明に係る液体塗布方法は、上記液体塗布ユニットを用いて液体材料を塗布する液体塗布方法であって、好ましくは、従動部材を第２の位置から第３の位置まで移動させる第１工程と、従動部材を第３の位置から第１の位置まで移動させる第２工程とを備える。第２工程における塗布針の移動速度は、第１工程における塗布針の移動速度よりも遅い。   The liquid application method according to the present invention is a liquid application method in which a liquid material is applied using the liquid application unit, and preferably the first step of moving the driven member from the second position to the third position; And a second step of moving the driven member from the third position to the first position. The movement speed of the application needle in the second step is slower than the movement speed of the application needle in the first step.

本発明によれば、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置と同様に複数の塗布針を高速に運動させることができ、かつ、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置と比べて安価な液体塗布ユニットおよび液体塗布装置を提供することができる。また、本発明によれば、複数の上記塗布ユニットを備える塗布装置を用いる塗布方法と比べて製造コストが低い液体塗布方法を提供することができる。   According to the present invention, a liquid application unit that can move a plurality of application needles at high speed in the same manner as an application apparatus that includes a plurality of application units, and that is less expensive than an application apparatus that includes a plurality of application units. And a liquid applicator can be provided. In addition, according to the present invention, it is possible to provide a liquid coating method having a lower manufacturing cost than a coating method using a coating apparatus including a plurality of the above coating units.

実施の形態１に係る液体塗布ユニットの従動部材が第１の位置にあるときの液体塗布ユニットの全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of a liquid application unit when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 1 exists in a 1st position. 図１に示される液体塗布ユニットの正面図である。It is a front view of the liquid application unit shown in FIG. 実施の形態１に係る液体塗布ユニットの従動部材が第２の位置にあるときの液体塗布ユニットの全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of a liquid application unit when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 1 exists in a 2nd position. 図３に示される液体塗布ユニットの正面図である。It is a front view of the liquid application unit shown in FIG. 実施の形態１に係る液体塗布ユニットの従動部材が第１の位置にあるときの塗布針の構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of an application needle | hook when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 1 exists in a 1st position. 実施の形態１に係る液体塗布ユニットの従動部材が第２の位置にあるときの塗布針の構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of an application needle | hook when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 1 exists in a 2nd position. 実施の形態１に係る液体塗布装置の全体構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an overall configuration of a liquid application apparatus according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態２に係る液体塗布ユニットの従動部材が第２の位置にあるときの塗布針の構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of an application needle | hook when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 2 exists in a 2nd position. 実施の形態２に係る液体塗布ユニットの従動部材が第１の位置にあるときの塗布針の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of an application needle | hook when the driven member of the liquid application unit which concerns on Embodiment 2 exists in a 1st position. 実施の形態２に係る液体塗布ユニットの変形例を示す正面図である。10 is a front view showing a modification of the liquid application unit according to Embodiment 2. FIG.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

（実施の形態１）
［液体塗布ユニットの構成］
図１〜図６を参照して、実施の形態１に係る液体塗布ユニット１００について説明する。液体塗布ユニット１００は、塗布針１と、リニアモータ２と、支持部３と、ベース部４と、液体材料容器５と、カム部材６と、従動部材７とを備える。液体塗布ユニット１００は、複数の塗布針１、複数の液体材料容器５、および複数の従動部材７、ならびに、１つのリニアモータ２、複数の支持部３、１つのベース部４、および１つのカム部材６を備えている。 (Embodiment 1)
[Configuration of liquid application unit]
With reference to FIGS. 1-6, the liquid application unit 100 which concerns on Embodiment 1 is demonstrated. The liquid application unit 100 includes an application needle 1, a linear motor 2, a support part 3, a base part 4, a liquid material container 5, a cam member 6, and a driven member 7. The liquid application unit 100 includes a plurality of application needles 1, a plurality of liquid material containers 5, and a plurality of driven members 7, one linear motor 2, a plurality of support portions 3, one base portion 4, and one cam. A member 6 is provided.

図１、図２および図５は、塗布針１によって基板１４０（図５および図６参照）に対し液体材料を塗布可能な状態にある液体塗布ユニット１００を示す。図１および図２に示される従動部材７の重力方向における位置を、従動部材７の第１の位置とよぶ。図３、図４および図６は、従動部材７が第１の位置よりも鉛直方向の上方に配置された状態にある液体塗布ユニット１００を示す。   1, 2, and 5 show the liquid application unit 100 in a state in which a liquid material can be applied to the substrate 140 (see FIGS. 5 and 6) by the application needle 1. The position of the driven member 7 shown in FIGS. 1 and 2 in the direction of gravity is referred to as a first position of the driven member 7. 3, 4, and 6 show the liquid application unit 100 in a state in which the driven member 7 is disposed above the first position in the vertical direction.

塗布針１は、一端と他端（図５および図６に示される針先１Ｅ）とを有している。塗布針１の針先１Ｅは、任意の形状を有していればよいが、例えば円錐形状を有している。塗布針１の一端を有する部分（図５および図６に示される部分１Ｂ）の外径は、塗布針１の他端を有する部分（図５および図６に示される部分１Ａ）の外径よりも大きい。塗布針１の一端は、従動部材７に接続されている。具体的には、塗布針１の一端は、従動部材７に含まれる塗布針ホルダ１１により保持されている。塗布針１の他端は、液体材料が塗布される被塗布部材に接触可能に設けられている。なお、図１および図２において、塗布針１の他端は後述する液体材料容器５内に収容されている。図３および図４において、塗布針１の他端は後述する液体材料容器５よりも下方に突出されている。   The application needle 1 has one end and the other end (needle tip 1E shown in FIGS. 5 and 6). The needle tip 1E of the application needle 1 only needs to have an arbitrary shape, but has, for example, a conical shape. The outer diameter of the part having one end of the application needle 1 (part 1B shown in FIGS. 5 and 6) is larger than the outer diameter of the part having the other end of the application needle 1 (part 1A shown in FIGS. 5 and 6). Is also big. One end of the application needle 1 is connected to the driven member 7. Specifically, one end of the application needle 1 is held by an application needle holder 11 included in the driven member 7. The other end of the application needle 1 is provided so as to be in contact with a member to be applied to which a liquid material is applied. 1 and 2, the other end of the application needle 1 is accommodated in a liquid material container 5 described later. 3 and 4, the other end of the application needle 1 protrudes below a liquid material container 5 described later.

リニアモータ２は、可動部２１と固定部２２とを含む。固定部２２は、ベース部４（第２固定部４２）に固定されている。固定部２２には、重力方向に交差する方向（以下、単に交差する方向という）に沿って延在する第１案内部２３が設けられている。可動部２１は、第１案内部２３の延在方向、すなわち上記交差する方向に沿って直線移動可能である。塗布針１の軸方向と可動部２１の移動方向とは交差している。例えば、可動部２１の移動方向（上記交差する方向）は例えば水平方向であり、塗布針１の軸方向と可動部２１の移動方向とは直交している。   The linear motor 2 includes a movable part 21 and a fixed part 22. The fixing part 22 is fixed to the base part 4 (second fixing part 42). The fixed portion 22 is provided with a first guide portion 23 that extends along a direction that intersects the direction of gravity (hereinafter simply referred to as a direction that intersects). The movable portion 21 is linearly movable along the extending direction of the first guide portion 23, that is, the intersecting direction. The axial direction of the application needle 1 and the moving direction of the movable portion 21 intersect each other. For example, the moving direction of the movable part 21 (the intersecting direction) is, for example, a horizontal direction, and the axial direction of the application needle 1 and the moving direction of the movable part 21 are orthogonal to each other.

可動部２１には、カム部材６が固定されている。カム部材６は、例えば可動部２１において重力方向の下方に固定されている。カム部材６の重力方向の上方に位置する表面は、カム面２５として形成されている。図２および図４に示されるように、カム面２５は、重力方向において上方に位置する上端部２６と、重力方向において下方に位置する下端部２７と、上端部２６と下端部２７との間を接続するスロープ部２８とを有している。スロープ部２８は、重力方向に対して傾斜している。上端部２６および下端部２７は、その接線が重力方向に対して直交する点を有している。上端部２６および下端部２７は、上記交差する方向において平坦な領域を有していてもよい。   The cam member 6 is fixed to the movable portion 21. For example, the cam member 6 is fixed to the lower portion in the direction of gravity in the movable portion 21. A surface of the cam member 6 located above the gravitational direction is formed as a cam surface 25. As shown in FIGS. 2 and 4, the cam surface 25 includes an upper end portion 26 positioned upward in the gravity direction, a lower end portion 27 positioned lower in the gravity direction, and between the upper end portion 26 and the lower end portion 27. And a slope portion 28 for connecting the two. The slope portion 28 is inclined with respect to the direction of gravity. The upper end part 26 and the lower end part 27 have points whose tangents are orthogonal to the direction of gravity. The upper end portion 26 and the lower end portion 27 may have a flat region in the intersecting direction.

上端部２６は上記交差する方向において互いに間隔を隔てて複数形成されている。下端部２７は上記交差する方向において互いに間隔を隔てて複数形成されている。上端部２６および下端部２７の数は、例えば塗布針１の数と等しい。異なる観点から言えば上端部２６および下端部２７の数は、従動部材７の数と等しい。スロープ部２８の数は例えば塗布針１の数よりも多い。   A plurality of upper end portions 26 are formed at intervals in the intersecting direction. A plurality of lower end portions 27 are formed at intervals in the intersecting direction. The number of the upper end part 26 and the lower end part 27 is equal to the number of the application needles 1, for example. If it says from a different viewpoint, the number of the upper end parts 26 and the lower end parts 27 is equal to the number of the driven members 7. FIG. The number of slope portions 28 is larger than the number of application needles 1, for example.

上端部２６と下端部２７との間の重力方向における距離、すなわちスロープ部２８の一端と他端との間の重力方向における距離は、従動部材７の重力方向への移動距離、すなわち塗布針１の針先１Ｅの重力方向における移動距離と等しい。   The distance in the gravitational direction between the upper end portion 26 and the lower end portion 27, that is, the distance in the gravitational direction between one end and the other end of the slope portion 28 is the moving distance of the driven member 7 in the gravitational direction, that is, the application needle 1 Is equal to the moving distance of the needle tip 1E in the direction of gravity.

上端部２６と下端部２７との間の上記交差する方向における距離、すなわちスロープ部２８の一端と他端との間の上記交差する方向における距離は、隣り合う塗布針１間の上記交差する方向における距離、および塗布針１による塗布条件などに応じて、任意に設定され得る。上記交差する方向において隣り合う２つの上端部２６間の距離は、例えば上記交差する方向において隣り合う２つの塗布針１間の距離と等しい。カム部材６は、例えばカム面２５よりも重力方向の下方に位置し、かつ上記交差する方向に平坦な底面を有している。   The distance in the intersecting direction between the upper end portion 26 and the lower end portion 27, that is, the distance in the intersecting direction between the one end and the other end of the slope portion 28 is the intersecting direction between the adjacent application needles 1. Can be arbitrarily set in accordance with the distance at, the application conditions by the application needle 1, and the like. The distance between the two upper end portions 26 adjacent in the intersecting direction is equal to the distance between the two application needles 1 adjacent in the intersecting direction, for example. For example, the cam member 6 is positioned below the cam surface 25 in the direction of gravity and has a flat bottom surface in the intersecting direction.

従動部材７は、塗布針ホルダ１１と、塗布針ホルダ保持部１２と、カム連結部１５と、軸受１６とを含む。従動部材７は、ベース部４の第２案内部４３（詳細は後述する）に沿って重力方向に移動可能に設けられている。従動部材７は、第２案内部４３により、重力方向以外の方向への移動、例えば上記交差する方向への移動、が制限されている。   The driven member 7 includes an application needle holder 11, an application needle holder holding part 12, a cam connection part 15, and a bearing 16. The driven member 7 is provided so as to be movable in the direction of gravity along a second guide portion 43 (details will be described later) of the base portion 4. The driven member 7 is restricted by the second guide portion 43 from moving in directions other than the gravitational direction, for example, moving in the intersecting direction.

塗布針ホルダ１１は、上述のように、塗布針１を保持している。塗布針ホルダ１１は、例えばネジ１３により塗布針ホルダ保持部１２に対して着脱可能に接続されている。塗布針ホルダ保持部１２は、例えばネジ１４によりカム連結部１５に対して着脱可能に接続されている。軸受１６の内輪は、例えば、カム連結部１５においてネジ１４により塗布針ホルダ保持部１２と接続されている部分よりも重力方向の上方に位置する部分に固定されている。軸受１６の外輪は、カム部材６と摺動可能に接続されている。軸受１６の外輪の外周面は、カム面２５と接触して摺動可能な摺動面である。   The application needle holder 11 holds the application needle 1 as described above. The applicator needle holder 11 is detachably connected to the applicator needle holder holding portion 12 by, for example, a screw 13. The application needle holder holding part 12 is detachably connected to the cam coupling part 15 by, for example, a screw 14. For example, the inner ring of the bearing 16 is fixed to a portion of the cam coupling portion 15 that is located above the portion connected to the application needle holder holding portion 12 by the screw 14 in the direction of gravity. The outer ring of the bearing 16 is slidably connected to the cam member 6. The outer peripheral surface of the outer ring of the bearing 16 is a sliding surface that can slide in contact with the cam surface 25.

支持部３は、第１部３１、第２部３２、および弾性部３３を含む。弾性部３３は、一端および他端を有している。弾性部３３の一端は第１部３１に固定されており、弾性部３３の他端は第２部３２に固定されている。第１部３１はベース部４に固定されている。第２部３２は第１部３１よりも上方において塗布針ホルダ保持部１２に固定されている。   The support part 3 includes a first part 31, a second part 32, and an elastic part 33. The elastic part 33 has one end and the other end. One end of the elastic part 33 is fixed to the first part 31, and the other end of the elastic part 33 is fixed to the second part 32. The first part 31 is fixed to the base part 4. The second part 32 is fixed to the application needle holder holding part 12 above the first part 31.

弾性部３３は、一端と他端との間で、弾性変形可能に設けられている。弾性部３３は、例えばバネ部材である。弾性部３３は、従動部材７が第２の位置にあるときに重力方向の下方に向かう力を従動部材７に対して付与可能に設けられている。弾性部３３による当該力は、第２部３２、塗布針ホルダ保持部１２、およびカム連結部１５を介して軸受１６に作用する。軸受１６は、従動部材７が第１の位置にあるときおよび従動部材７が第２の位置にあるときのいずれの場合においても、支持部３により、カム部材６のカム面２５に押圧された状態が維持されている。   The elastic part 33 is provided between one end and the other end so as to be elastically deformable. The elastic part 33 is a spring member, for example. The elastic portion 33 is provided so that a force directed downward in the direction of gravity can be applied to the driven member 7 when the driven member 7 is in the second position. The force by the elastic portion 33 acts on the bearing 16 via the second portion 32, the application needle holder holding portion 12, and the cam connecting portion 15. The bearing 16 is pressed against the cam surface 25 of the cam member 6 by the support portion 3 both when the driven member 7 is in the first position and when the driven member 7 is in the second position. State is maintained.

ベース部４は、固定部２２および液体材料容器５を保持している。ベース部４は、支持部３の第１部３１および液体材料容器５を保持している第１固定部４１と、固定部２２を保持している第２固定部４２とを含む。さらに、ベース部４は、従動部材７を重力方向への移動を案内し、重力方向以外の方向への移動を制限する第２案内部４３を含む。   The base portion 4 holds the fixing portion 22 and the liquid material container 5. The base portion 4 includes a first fixing portion 41 that holds the first portion 31 of the support portion 3 and the liquid material container 5, and a second fixing portion 42 that holds the fixing portion 22. Furthermore, the base part 4 includes a second guide part 43 that guides the movement of the driven member 7 in the direction of gravity and restricts movement in a direction other than the direction of gravity.

図５および図６に示されるように、液体材料容器５の内部には、液体材料Ｌ（図５および図６参照）を貯留するための空間５０が形成されている。液体材料容器５の底部には、当該空間５０と外部とを接続している孔５１が形成されている。液体材料容器５の上部には、当該空間５０と外部とを接続している孔５２が形成されている。孔５１の孔径は、塗布針１の部分１Ａの外径以上部分１Ｂの外径未満である。孔５２の孔径は、塗布針１の部分１Ｂの外径以上である。これにより、塗布針１の部分１Ａは孔５１に挿通され得る。塗布針１の部分１Ｂは、孔５２に挿通され得るが、孔５１に挿通され得ない。   As shown in FIGS. 5 and 6, a space 50 for storing the liquid material L (see FIGS. 5 and 6) is formed inside the liquid material container 5. A hole 51 that connects the space 50 and the outside is formed at the bottom of the liquid material container 5. A hole 52 connecting the space 50 and the outside is formed in the upper part of the liquid material container 5. The hole diameter of the hole 51 is not less than the outer diameter of the portion 1A of the application needle 1 and smaller than the outer diameter of the portion 1B. The hole diameter of the hole 52 is equal to or larger than the outer diameter of the portion 1 </ b> B of the application needle 1. Thereby, the portion 1 </ b> A of the application needle 1 can be inserted into the hole 51. The portion 1 </ b> B of the application needle 1 can be inserted through the hole 52, but cannot be inserted through the hole 51.

図５に示されるように、液体材料容器５は、可動部２１が第１の位置にあるときに塗布針１の針先１Ｅを孔５１から突出可能に設けられている。このとき、塗布針１の針先１Ｅの表面の少なくとも一部上には、液体材料Ｌが付着している。図６に示されるように、液体材料容器５は、可動部２１が第２の位置にあるときに塗布針１の針先１Ｅを空間５０内に収容可能に設けられている。液体材料Ｌの粘度は、例えば数ｃＰ以上数万ｃＰ以下の範囲内から選択され得る。なお、図６に示される一例においては、使用される液体材料の粘度は数万ｃＰ程度であるものとする。   As shown in FIG. 5, the liquid material container 5 is provided so that the needle tip 1 </ b> E of the application needle 1 can protrude from the hole 51 when the movable portion 21 is in the first position. At this time, the liquid material L adheres on at least a part of the surface of the needle tip 1E of the application needle 1. As shown in FIG. 6, the liquid material container 5 is provided so that the needle tip 1 </ b> E of the application needle 1 can be accommodated in the space 50 when the movable portion 21 is in the second position. The viscosity of the liquid material L can be selected, for example, from a range of several cP to several tens of thousands cP. In the example shown in FIG. 6, it is assumed that the viscosity of the liquid material used is about several tens of thousands cP.

上述のように、液体塗布ユニット１００は、リニアモータ２、カム部材６、および複数の従動部材７を備える。リニアモータ２は、重力方向に交差する方向に直線移動する可動部２１と、可動部２１を案内する固定部２２とを含む。カム部材６は、重力方向に対して傾斜した複数の表面部分を有するカム面２５を含み、可動部２１に固定されている。複数の従動部材７の各々は、カム面２５と摺動可能な摺動面を有する摺動部（軸受１６）を含み、重力方向に沿って移動可能である。複数の従動部材７の各々は、１つの塗布針１と接続されている。複数の塗布針１の数は、リニアモータ２の数よりも多い。   As described above, the liquid application unit 100 includes the linear motor 2, the cam member 6, and the plurality of driven members 7. The linear motor 2 includes a movable portion 21 that moves linearly in a direction that intersects the direction of gravity, and a fixed portion 22 that guides the movable portion 21. The cam member 6 includes a cam surface 25 having a plurality of surface portions inclined with respect to the direction of gravity, and is fixed to the movable portion 21. Each of the plurality of driven members 7 includes a sliding portion (bearing 16) having a sliding surface slidable with the cam surface 25, and is movable along the direction of gravity. Each of the plurality of driven members 7 is connected to one application needle 1. The number of application needles 1 is greater than the number of linear motors 2.

このような液体塗布ユニット１００によれば、１つのリニアモータ２の可動部２１の上記交差する方向への直線運動を、カム部材６を介して複数の従動部材７および複数の塗布針１の重力方向への直線運動に変換することができる。そのため、液体塗布ユニット１００は、複数の塗布針１を同時に高速に運動させることができる。さらに、液体塗布ユニット１００は、１つの塗布針の上下運動を１つの駆動源によって実現する従来の液体塗布ユニットと比べて、駆動源の数を減らすことができるため、安価である。   According to such a liquid application unit 100, the gravitational force of the plurality of driven members 7 and the plurality of application needles 1 through the cam member 6 is applied to the linear motion in the intersecting direction of the movable portion 21 of one linear motor 2. It can be converted to linear motion in the direction. Therefore, the liquid application unit 100 can move the plurality of application needles 1 simultaneously at high speed. Furthermore, the liquid application unit 100 is less expensive because the number of drive sources can be reduced compared to a conventional liquid application unit that realizes vertical movement of one application needle with one drive source.

上記液体塗布ユニット１００において、摺動部は軸受１６である。軸受１６の外輪がカム面２５と接触可能に設けられている。このようにすれば、軸受１６の外輪が回転可能であるため、従動部材７において摺動面が回転不能に設けられている場合と比べて、軸受１６とカム部材６とは摺動する際に受ける抵抗が少ない。その結果、上記液体塗布ユニット１００は、カム部材６および従動部材７による移動方向の変換を、迅速に、かつ適切に行うことができる。   In the liquid application unit 100, the sliding portion is a bearing 16. An outer ring of the bearing 16 is provided so as to be in contact with the cam surface 25. In this way, since the outer ring of the bearing 16 is rotatable, the bearing 16 and the cam member 6 are more slidable than the case where the sliding surface of the driven member 7 is non-rotatable. Less resistance. As a result, the liquid application unit 100 can quickly and appropriately convert the movement direction by the cam member 6 and the driven member 7.

［液体塗布装置の全体構成］
図７は、本実施の形態に従った液体塗布装置２００の模式的な斜視図である。液体塗布装置２００は、上述した液体塗布ユニット１００を備えている。図２に示されるように、液体塗布装置２００は、液体塗布ユニット１００と、観察光学系１１０と、観察光学系１１０に接続されたＣＣＤカメラ１１１と、Ｚ軸テーブル１２０と、Ｘ軸テーブル１２１と、Ｙ軸テーブル１２２と、基台１２３と、制御部１３０とを含む。 [Overall configuration of liquid applicator]
FIG. 7 is a schematic perspective view of liquid coating apparatus 200 according to the present embodiment. The liquid application device 200 includes the liquid application unit 100 described above. As shown in FIG. 2, the liquid application apparatus 200 includes a liquid application unit 100, an observation optical system 110, a CCD camera 111 connected to the observation optical system 110, a Z-axis table 120, and an X-axis table 121. , Y axis table 122, base 123, and control unit 130.

観察光学系１１０は、塗布対象の基板１４０の塗布位置を観察するために設けられる。観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１は、観察した画像を電気信号に変換する。液体塗布ユニット１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０の移動体に搭載されている。これにより、液体塗布ユニット１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０によって図７中のＺ軸方向に移動可能に支持されている。Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１の移動体に搭載されている。これにより、Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１によって図７中のＸ軸方向に移動可能に支持されている。塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２の移動体に載置されている。これにより、塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２によって図７中のＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｙ軸テーブル１２２は、基台１２３の上面に設置されている。Ｙ軸テーブル１２２は、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。なお、図７中のＺ軸方向は重力方向に沿う方向である。   The observation optical system 110 is provided for observing the application position of the substrate 140 to be applied. The CCD camera 111 of the observation optical system 110 converts the observed image into an electrical signal. The liquid application unit 100 and the observation optical system 110 are mounted on the moving body of the Z-axis table 120. Thus, the liquid application unit 100 and the observation optical system 110 are supported by the Z-axis table 120 so as to be movable in the Z-axis direction in FIG. The Z-axis table 120 is mounted on the moving body of the X-axis table 121. Thus, the Z-axis table 120 is supported by the X-axis table 121 so as to be movable in the X-axis direction in FIG. The substrate 140 to be applied is placed on the moving body of the Y-axis table 122. Thereby, the substrate 140 to be coated is supported by the Y-axis table 122 so as to be movable in the Y-axis direction in FIG. The Y-axis table 122 is installed on the upper surface of the base 123. The Y-axis table 122 is provided so as to be movable in the Y-axis direction. In addition, the Z-axis direction in FIG. 7 is a direction along the direction of gravity.

制御部１３０は、操作パネル１３１、モニタ１３２、および制御用コンピュータ１３３を備える。制御部１３０は、液体塗布ユニット１００、観察光学系１１０、Ｚ軸テーブル１２０、Ｘ軸テーブル１２１、およびＹ軸テーブル１２２を制御する。操作パネル１３１は、制御用コンピュータ１３３への指令を入力するために用いられる。モニタ１３２は、観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１で変換された画像データおよび、制御用コンピュータ１３３からの出力データを表示する。   The control unit 130 includes an operation panel 131, a monitor 132, and a control computer 133. The control unit 130 controls the liquid application unit 100, the observation optical system 110, the Z-axis table 120, the X-axis table 121, and the Y-axis table 122. The operation panel 131 is used for inputting a command to the control computer 133. The monitor 132 displays image data converted by the CCD camera 111 of the observation optical system 110 and output data from the control computer 133.

制御部１３０は、可動部２１の移動速度を制御可能に設けられている。制御部１３０は、可動部２１の移動速度Ｖ１が、例えば可動部が自重によって案内部に案内されながら下降する従来の液体塗布ユニットにおける可動部の移動速度と比べて高速となるように、可動部２１の移動速度を制御可能に設けられている。可動部２１の移動速度は、リニアモータ２に供給される直流電流値または入力パルス信号の周波数によって制御され得る。   The control unit 130 is provided so as to be able to control the moving speed of the movable unit 21. The control unit 130 moves the movable part 21 so that the moving speed V1 of the movable part 21 is higher than the moving speed of the movable part in a conventional liquid application unit that descends while the movable part is guided by the guide part by its own weight, for example. The moving speed of 21 is provided to be controllable. The moving speed of the movable portion 21 can be controlled by the direct current value supplied to the linear motor 2 or the frequency of the input pulse signal.

制御部１３０は、好ましくは、従動部材７が上記第２の位置から第１の位置と第２の位置との間に位置する第３の位置に達するまでの可動部２１の移動速度Ｖ１と比べて、従動部材７が第３の位置から第１の位置に達するまでの可動部２１の移動速度Ｖ２が遅くなるように、可動部２１の移動速度を制御可能に設けられている。つまり、制御部１３０は、好ましくは、塗布針１の針先１Ｅが基板１４０の上面に接触する前に、従動部材７を減速可能に設けられている。なお、従動部材７が第３の位置にあるときに、塗布針１の針先１Ｅは、例えば液体材料容器５の孔５１よりも下方に位置している。   The control unit 130 is preferably compared with the moving speed V1 of the movable unit 21 until the driven member 7 reaches the third position located between the first position and the second position from the second position. Thus, the moving speed of the movable section 21 is provided so as to be controlled so that the moving speed V2 of the movable section 21 until the driven member 7 reaches the first position from the third position is decreased. That is, the control unit 130 is preferably provided so that the driven member 7 can be decelerated before the needle tip 1E of the application needle 1 contacts the upper surface of the substrate 140. When the driven member 7 is in the third position, the needle tip 1E of the application needle 1 is positioned below the hole 51 of the liquid material container 5, for example.

好ましくは、従動部材７の第３の位置は、従動部材７の第２の位置よりも可動部２１の第１の位置に近い。この場合、制御部１３０は、塗布針１の針先１Ｅが基板１４０の上面に接触する直前に、従動部材７を減速可能に設けられている。このような液体塗布装置２００によれば、塗布針１による塗布動作を高速で行うことができ、かつ、塗布針１の針先１Ｅが基板１４０の上面に接触する際に基板１４０が受ける衝撃を緩和することができる。   Preferably, the third position of the driven member 7 is closer to the first position of the movable portion 21 than the second position of the driven member 7. In this case, the control unit 130 is provided so that the driven member 7 can be decelerated immediately before the tip 1E of the application needle 1 contacts the upper surface of the substrate 140. According to such a liquid application device 200, the application operation by the application needle 1 can be performed at a high speed, and the impact received by the substrate 140 when the needle tip 1E of the application needle 1 contacts the upper surface of the substrate 140. Can be relaxed.

液体塗布装置２００は、可動部２１の移動速度を制御する制御部１３０を備える。制御部１３０は、第１の位置から、第１の位置と第２の位置との間に位置する第３の位置までの領域における従動部材７の移動速度が、第３の位置から第２の位置までの領域における従動部材７の移動速度より遅くなるように、可動部２１の移動速度を制御可能に設けられている。   The liquid coating apparatus 200 includes a control unit 130 that controls the moving speed of the movable unit 21. The control unit 130 determines that the moving speed of the driven member 7 in the region from the first position to the third position located between the first position and the second position is from the third position to the second position. The moving speed of the movable portion 21 is provided to be controllable so as to be slower than the moving speed of the driven member 7 in the region up to the position.

このようにすれば、従動部材７が第１の位置に達して塗布針１の針先１Ｅが基板１４０（図５〜図７参照）の上面と接触可能する際に、針先１Ｅによって基板１４０が受ける衝撃を十分に緩和することができる。   In this way, when the driven member 7 reaches the first position and the needle tip 1E of the application needle 1 can come into contact with the upper surface of the substrate 140 (see FIGS. 5 to 7), the substrate 140 is moved by the needle tip 1E. Can sufficiently mitigate the impact received.

［液体塗布方法］
次に、液体塗布装置２００を用いた液体塗布方法について説明する。まず、塗布対象物である基板１４０が準備される。基板１４０には、複数の塗布位置が予め定められている。複数の塗布位置は、例えば等間隔に設けられている。基板１４０の複数の塗布位置と液体塗布ユニット１００の複数の塗布針１との位置合わせは、観察光学系１１０を用いて実施される。例えば、基板１４０の複数の塗布位置のうちの１つが観察光学系１１０の直下に位置するように、Ｘ軸テーブル１２１、Ｙ軸テーブル１２２およびＺ軸テーブル１２０が移動される。観察光学系１１０により当該１つの塗布位置が確認されると、予め定められた観察光学系１１０と液体塗布ユニット１００の複数の塗布針１との位置関係に基づき、複数の塗布位置の各々が液体塗布ユニット１００の複数の塗布針１の直下に来るように、Ｘ軸テーブル１２１、Ｙ軸テーブル１２２およびＺ軸テーブル１２０によって基板１４０が移動される。 [Liquid application method]
Next, a liquid application method using the liquid application apparatus 200 will be described. First, a substrate 140 that is an application target is prepared. A plurality of application positions are predetermined on the substrate 140. The plurality of application positions are provided at regular intervals, for example. The alignment between the plurality of application positions of the substrate 140 and the plurality of application needles 1 of the liquid application unit 100 is performed using the observation optical system 110. For example, the X-axis table 121, the Y-axis table 122, and the Z-axis table 120 are moved so that one of the plurality of application positions on the substrate 140 is positioned directly below the observation optical system 110. When the one application position is confirmed by the observation optical system 110, each of the plurality of application positions is liquid based on a predetermined positional relationship between the observation optical system 110 and the plurality of application needles 1 of the liquid application unit 100. The substrate 140 is moved by the X-axis table 121, the Y-axis table 122, and the Z-axis table 120 so as to come directly below the plurality of application needles 1 of the application unit 100.

次に、決定された塗布位置に、液体塗布ユニット１００によって液体材料が塗布される。はじめに、複数の従動部材７は第２の位置に保持されている。複数の軸受１６の各々は、外輪の外周面がカム面２５の上端部２６と接触している状態で保持されている。図６に示されるように、このとき、複数の塗布針１の針先１Ｅは、液体材料容器５内に保持されている塗布材料７０内に浸漬された状態になっている。次に、複数の従動部材７は第１の位置に移動される。具体的には、リニアモータ２を駆動することにより、可動部２１およびカム部材６は、カム面２５の複数の下端部２７が複数の軸受１６に接した状態となるまで、上記交差する方向に所定の距離だけ移動される。可動部２１およびカム部材６は、例えば等速で移動される。これにより、複数の従動部材７は重力方向の下方に移動し、複数の塗布針１の針先１Ｅは液体材料容器５の孔５１よりも下方に突出して基板１４０の表面に接触する。液体材料容器５の底面から突出した複数の塗布針１の表面には塗布材料７０の一部が付着した状態となっている。その結果、液体塗布ユニット１００は、基板１４０の複数の塗布箇所に対し、複数の塗布針１により液体材料を同時に塗布することができる。   Next, a liquid material is applied to the determined application position by the liquid application unit 100. First, the plurality of driven members 7 are held at the second position. Each of the plurality of bearings 16 is held in a state where the outer peripheral surface of the outer ring is in contact with the upper end portion 26 of the cam surface 25. As shown in FIG. 6, the needle tips 1 </ b> E of the plurality of application needles 1 are in a state of being immersed in the application material 70 held in the liquid material container 5 at this time. Next, the plurality of driven members 7 are moved to the first position. Specifically, by driving the linear motor 2, the movable portion 21 and the cam member 6 move in the intersecting direction until the plurality of lower end portions 27 of the cam surface 25 are in contact with the plurality of bearings 16. It is moved by a predetermined distance. The movable portion 21 and the cam member 6 are moved at a constant speed, for example. As a result, the plurality of driven members 7 move downward in the direction of gravity, and the needle tips 1E of the plurality of application needles 1 protrude below the holes 51 of the liquid material container 5 and contact the surface of the substrate 140. A part of the coating material 70 is attached to the surfaces of the plurality of coating needles 1 protruding from the bottom surface of the liquid material container 5. As a result, the liquid application unit 100 can simultaneously apply the liquid material to the plurality of application portions of the substrate 140 with the plurality of application needles 1.

このように、上記液体塗布ユニット１００を用いる液体塗布方法によれば、リニアモータ２の可動部２１の上記交差する方向への運動を複数の塗布針１の重力方向への運動（上下運動）に迅速かつ正確に変換することができる。複数の塗布針１の重力方向の移動量、移動速度、および保持時間は、リニアモータ２の可動部２１の移動量、移動速度、保持時間、カム部材６のカム面２５の形状などに応じて、細かく制御することができる。例えば、複数の従動部材７は、カム部材６の構成に応じて、上述のように同時に移動し得るし、または順に連続して移動し得る。   Thus, according to the liquid application method using the liquid application unit 100, the movement of the movable portion 21 of the linear motor 2 in the intersecting direction is changed to the movement (vertical movement) of the plurality of application needles 1 in the gravity direction. It can be converted quickly and accurately. The moving amount, moving speed, and holding time of the plurality of application needles 1 in the gravity direction depend on the moving amount, moving speed, holding time of the movable portion 21 of the linear motor 2, the shape of the cam surface 25 of the cam member 6, and the like. Can be finely controlled. For example, the plurality of driven members 7 can move simultaneously as described above, or can move sequentially in sequence, depending on the configuration of the cam member 6.

また、上述した各工程は、連続して繰り返し実施され得る。その結果、実施の形態１に係る液体塗布方法により、基板１４０の上面上には所定の回路パターンが短時間に形成され得る。   Moreover, each process mentioned above can be implemented repeatedly continuously. As a result, a predetermined circuit pattern can be formed on the upper surface of the substrate 140 in a short time by the liquid application method according to the first embodiment.

実施の形態１に係る液体塗布方法は、好ましくは、従動部材７を第２の位置から第３の位置まで移動させる第１工程と、従動部材７を第３の位置から第１の位置まで移動させる第２工程とを備える。第２工程は、第１工程の後に、連続して実施される。第２工程における従動部材７の移動速度Ｖ２は、第１工程における従動部材７の移動速度Ｖ１よりも遅い。第１工程および第２工程における従動部材７の移動速度は、例えば図７に示される制御部１３０によって制御される。つまり、制御部１３０は、塗布針１の針先１Ｅが基板１４０の上面に接触する前に、従動部材７を減速可能に設けられている。   In the liquid application method according to the first embodiment, preferably, the first step of moving the driven member 7 from the second position to the third position, and the driven member 7 is moved from the third position to the first position. And a second step. The second step is continuously performed after the first step. The moving speed V2 of the driven member 7 in the second process is slower than the moving speed V1 of the driven member 7 in the first process. The moving speed of the driven member 7 in the first process and the second process is controlled by, for example, the control unit 130 shown in FIG. That is, the control unit 130 is provided so that the driven member 7 can be decelerated before the needle tip 1E of the application needle 1 contacts the upper surface of the substrate 140.

また、上述のような第１工程および第２工程における従動部材７の移動速度の制御は、カム部材６のカム面２５の形状のみによって制御されてもよい。例えば、スロープ部２８において、第３の位置にある従動部材７の軸受１６が接触する領域よりも下方に位置する領域は、第３の位置にある従動部材７の軸受１６が接触する領域よりも上方に位置する領域と比べて、重力方向に対する傾斜角の絶対値が大きくなるように設けられていてもよい。このようにすれば、可動部２１およびカム部材６が上記交差する方向に等速で移動するように制御されても、第２工程における従動部材７の移動速度Ｖ２を第１工程における従動部材７の移動速度Ｖ１よりも遅くすることができる。   Further, the control of the moving speed of the driven member 7 in the first step and the second step as described above may be controlled only by the shape of the cam surface 25 of the cam member 6. For example, in the slope portion 28, the region located below the region where the bearing 16 of the driven member 7 in the third position contacts is lower than the region where the bearing 16 of the driven member 7 in the third position contacts. It may be provided so that the absolute value of the tilt angle with respect to the direction of gravity is larger than the region located above. In this way, even if the movable portion 21 and the cam member 6 are controlled to move at a constant speed in the intersecting direction, the moving speed V2 of the driven member 7 in the second step is set to the driven member 7 in the first step. The moving speed V1 can be made slower.

（実施の形態２）
次に、図８および図９を参照して、実施の形態２に係る液体塗布ユニット１０１について説明する。液体塗布ユニット１０１は、基本的には実施の形態１に係る液体塗布ユニット１００と同様の構成を備えているが、カム部材８のカム面２５の上端部２６および下端部２７の数が塗布針１の数よりも少ない点で異なる。 (Embodiment 2)
Next, the liquid application unit 101 according to Embodiment 2 will be described with reference to FIGS. The liquid application unit 101 basically has the same configuration as the liquid application unit 100 according to the first embodiment, but the number of the upper end portion 26 and the lower end portion 27 of the cam surface 25 of the cam member 8 is the number of application needles. It differs in that it is less than the number of ones.

複数の上端部２６のうち、少なくとも１つの上端部２６の上記交差する方向における長さは、上記交差する方向において隣り合う従動部材７間の距離よりも長い。複数の下端部２７のうち、上記交差する方向において隣り合う少なくとも２つの下端部２７間の距離は、上記交差する方向において隣り合う従動部材７間の距離よりも長い。   Of the plurality of upper end portions 26, the length of at least one upper end portion 26 in the intersecting direction is longer than the distance between the driven members 7 adjacent in the intersecting direction. Among the plurality of lower end portions 27, the distance between at least two lower end portions 27 adjacent in the intersecting direction is longer than the distance between the driven members 7 adjacent in the intersecting direction.

このような液体塗布ユニット１０１によれば、可動部２１およびカム部材８と複数の従動部材７とが図８に示されるような位置関係にあるときに、複数の従動部材７の各々を第２の位置に保持することができる。さらに、可動部２１およびカム部材８と複数の従動部材７とが図９に示されるような位置関係にあるときに、複数の従動部材７の一部のみ第１の位置に移動させ、残部を第２の位置に保持することができる。   According to such a liquid application unit 101, when the movable portion 21 and the cam member 8 and the plurality of driven members 7 are in a positional relationship as shown in FIG. Can be held in the position. Further, when the movable portion 21 and the cam member 8 and the plurality of driven members 7 are in the positional relationship as shown in FIG. 9, only a part of the plurality of driven members 7 is moved to the first position, and the remaining portion is moved. It can be held in the second position.

図１０に示されるように、液体塗布ユニット１０１のカム部材８は、例えば、図２および図４に示される液体塗布ユニット１００のカム部材６と、当該カム部材６の１つの下端部２７および該下端部２７を挟んで隣り合うスロープ部２８と嵌め合うように設けられている調整部材９とにより構成されていてもよい。このようなカム部材８は、カム部材６に調整部材９が嵌め合されている状態においては、隣り合う２つの上端部２６間が平坦化されて液体塗布ユニット１０１を構成することができる。一方、カム部材８は、カム部材６のみで構成されカム部材６に調整部材９が嵌め合されていない状態においては、液体塗布ユニット１００を構成することができる。そのため、このようなカム部材８を備える液体塗布ユニット１０１によれば、調整部材９の着脱のみにより、複数の塗布位置の相対的な位置関係が異なる複数種の対象物に対して液体材料を塗布することができる。   As shown in FIG. 10, the cam member 8 of the liquid application unit 101 includes, for example, the cam member 6 of the liquid application unit 100 shown in FIGS. 2 and 4, one lower end portion 27 of the cam member 6 and the cam member 6. You may be comprised by the adjustment member 9 provided so that the slope part 28 adjacent on both sides of the lower end part 27 may be fitted. In such a cam member 8, in a state where the adjustment member 9 is fitted to the cam member 6, the liquid application unit 101 can be configured by flattening between two adjacent upper end portions 26. On the other hand, the cam member 8 is configured only by the cam member 6, and the liquid application unit 100 can be configured in a state where the adjustment member 9 is not fitted to the cam member 6. Therefore, according to the liquid application unit 101 including such a cam member 8, the liquid material is applied to a plurality of types of objects having different relative positional relationships between the plurality of application positions only by attaching / detaching the adjustment member 9. can do.

なお、上記実施の形態１および２に係る液体塗布ユニット１００，１０１において、リニアモータ２は１つのみ備えられているが、複数個備えられていてもよい。液体塗布ユニット１００，１０１は、カム部材６が複数の上端部２６および複数の下端部２７を含んでいることにより、リニアモータ２の数を塗布針１の数よりも少なくすることができる。   In the liquid application units 100 and 101 according to the first and second embodiments, only one linear motor 2 is provided, but a plurality of linear motors 2 may be provided. In the liquid application units 100 and 101, the cam member 6 includes a plurality of upper end portions 26 and a plurality of lower end portions 27, whereby the number of linear motors 2 can be made smaller than the number of application needles 1.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

この発明は、導電性のパターン描画や、導電性パターンのオープン欠陥の修正、さらにはＲＦＩＤタグなどの微細な回路パターンの形成や欠陥修正、導電性接着剤の塗布などを実施するための塗布部材、液体材料塗布装置および塗布方法に特に有利に適用される。   The present invention provides a coating member for conducting conductive pattern drawing, correcting open defects in conductive patterns, forming fine circuit patterns such as RFID tags, correcting defects, and applying a conductive adhesive. The present invention is particularly advantageously applied to a liquid material coating apparatus and a coating method.

１ 塗布針、２ リニアモータ、３ 支持部、４ ベース部、５ 液体材料容器、６，８ カム部材、７ 従動部材、９ 調整部材、１１ 塗布針ホルダ、１２ 塗布針ホルダ保持部、１３，１４ ネジ、１５ カム連結部、１６ 軸受、２１ 可動部、２２ 固定部、２３ 第１案内部、２５ カム面、２６ 上端部、２７ 下端部、２８ スロープ部、３１ 第１部、３２ 第２部、３３ 弾性部、４１ 第１固定部、４２ 第２固定部、４３ 第２案内部、５０ 空間、５１，５２ 孔、１００，１０１ 液体塗布ユニット、１１０ 観察光学系、１１１ カメラ、１２０，１２１，１２２ 軸テーブル、１２３ 基台、１３０ 制御部、１３１ 操作パネル、１３２ モニタ、１３３ 制御用コンピュータ、１４０ 基板、２００ 液体塗布装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application needle, 2 Linear motor, 3 Support part, 4 Base part, 5 Liquid material container, 6,8 Cam member, 7 Follower member, 9 Adjustment member, 11 Application needle holder, 12 Application needle holder holding part, 13, 14 Screw, 15 Cam connecting portion, 16 Bearing, 21 Movable portion, 22 Fixed portion, 23 First guide portion, 25 Cam surface, 26 Upper end portion, 27 Lower end portion, 28 Slope portion, 31 First portion, 32 Second portion, 33 elastic part, 41 first fixing part, 42 second fixing part, 43 second guiding part, 50 space, 51, 52 hole, 100, 101 liquid application unit, 110 observation optical system, 111 camera, 120, 121, 122 Axis table, 123 base, 130 control unit, 131 operation panel, 132 monitor, 133 control computer, 140 substrate, 200 liquid coating apparatus.

Claims (5)

複数の塗布針を用いて対象物の表面に液状材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、
重力方向に交差する方向に直線移動する可動部と、前記可動部を案内する固定部とを含む、少なくとも１つのリニアモータと、
重力方向に対して傾斜した複数の表面部分を有するカム面を含み、前記可動部に固定された、少なくとも１つのカム部材と、
前記カム面と摺動可能な摺動部を含み、重力方向に沿って移動可能な複数の従動部材とを備え、
前記複数の従動部材の各々は、前記複数の塗布針の少なくとも１つと接続されており、
前記複数の塗布針の数は、前記リニアモータの数よりも多い、液体塗布ユニット。 A liquid application unit for applying a liquid material to the surface of an object using a plurality of application needles,
At least one linear motor including a movable part that linearly moves in a direction intersecting the direction of gravity, and a fixed part that guides the movable part;
At least one cam member including a cam surface having a plurality of surface portions inclined with respect to the direction of gravity and fixed to the movable portion;
A plurality of driven members that include a sliding portion that is slidable with the cam surface and is movable along the direction of gravity;
Each of the plurality of driven members is connected to at least one of the plurality of application needles,
The number of the plurality of application needles is a liquid application unit that is greater than the number of the linear motors. 前記摺動部は軸受である、請求項１に記載の液体塗布ユニット。   The liquid application unit according to claim 1, wherein the sliding portion is a bearing. 前記従動部材は、少なくとも前記塗布針と前記対象物とが接触可能な状態にある第１の位置と、前記第１の位置よりも重力方向の上方にある第２の位置との間を移動可能であり、
前記従動部材が前記第１の位置から前記第１の位置と前記第２の位置との間に位置する第３の位置までの領域内に位置するときの前記塗布針の移動速度が、前記従動部材が前記第３の位置から前記第２の位置までの領域内に位置するときの前記塗布針の移動速度より遅くなるように、前記塗布針の移動速度を制御可能に設けられている、請求項１または請求項２に記載の液体塗布ユニット。 The driven member can move between at least a first position where the application needle and the object can be in contact with each other and a second position which is above the first position in the direction of gravity. And
The movement speed of the application needle when the driven member is located in a region from the first position to a third position located between the first position and the second position is the driven speed. The movement speed of the application needle is controllable so that the member is slower than the movement speed of the application needle when the member is located in a region from the third position to the second position. Item 3. A liquid application unit according to item 1 or 2. 請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の液体塗布ユニットと、
前記対象物を保持する保持台とを備える、液体塗布装置。 The liquid application unit according to any one of claims 1 to 3,
A liquid applicator comprising a holding table for holding the object. 請求項３に記載の液体塗布ユニットを用いて液体材料を塗布する液体塗布方法であって、
前記従動部材を前記第２の位置から前記第３の位置まで移動させる第１工程と、前記従動部材を前記第３の位置から前記第１の位置まで移動させる第２工程とを備え、
前記第２工程における前記塗布針の移動速度は、前記第１工程における前記塗布針の移動速度よりも遅い、液体塗布方法。 A liquid application method for applying a liquid material using the liquid application unit according to claim 3,
A first step of moving the driven member from the second position to the third position; and a second step of moving the driven member from the third position to the first position;
The liquid application method, wherein the movement speed of the application needle in the second step is slower than the movement speed of the application needle in the first step.
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