JP2018018569A - 半導体装置、表示システム及び電子機器 - Google Patents
半導体装置、表示システム及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018018569A JP2018018569A JP2017134540A JP2017134540A JP2018018569A JP 2018018569 A JP2018018569 A JP 2018018569A JP 2017134540 A JP2017134540 A JP 2017134540A JP 2017134540 A JP2017134540 A JP 2017134540A JP 2018018569 A JP2018018569 A JP 2018018569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- signal
- layer
- transistor
- metal oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 158
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 175
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 165
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 103
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 claims abstract description 71
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 26
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 139
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 88
- 210000000225 synapse Anatomy 0.000 claims description 86
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 44
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 claims description 39
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 496
- 239000010408 film Substances 0.000 description 212
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 100
- 239000000463 material Substances 0.000 description 86
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 66
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 45
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 40
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 38
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 38
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 35
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 35
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 210000004205 output neuron Anatomy 0.000 description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 30
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 27
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 26
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 23
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 22
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 21
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 19
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 18
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 16
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 15
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 210000002364 input neuron Anatomy 0.000 description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 15
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 12
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 10
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 10
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 10
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 10
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 9
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 9
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 9
- -1 For example Substances 0.000 description 8
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 7
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 7
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 7
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 6
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 6
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 5
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- UWCWUCKPEYNDNV-LBPRGKRZSA-N 2,6-dimethyl-n-[[(2s)-pyrrolidin-2-yl]methyl]aniline Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1NC[C@H]1NCCC1 UWCWUCKPEYNDNV-LBPRGKRZSA-N 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 3
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 3
- 229910018137 Al-Zn Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018573 Al—Zn Inorganic materials 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101001030591 Homo sapiens Mitochondrial ubiquitin ligase activator of NFKB 1 Proteins 0.000 description 2
- 102100038531 Mitochondrial ubiquitin ligase activator of NFKB 1 Human genes 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000004983 Polymer Dispersed Liquid Crystal Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052800 carbon group element Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003098 cholesteric effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 2
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004402 ultra-violet photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004986 Cholesteric liquid crystals (ChLC) Substances 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005264 High molar mass liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004990 Smectic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 229910020833 Sn-Al-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020868 Sn-Ga-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020994 Sn-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009069 Sn—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004974 Thermotropic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009369 Zn Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007573 Zn-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007610 Zn—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 1
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N holmium atom Chemical compound [Ho] KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000011156 metal matrix composite Substances 0.000 description 1
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003062 neural network model Methods 0.000 description 1
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009993 protective function Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
- H01L27/1225—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with semiconductor materials not belonging to the group IV of the periodic table, e.g. InGaZnO
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06N—COMPUTING ARRANGEMENTS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
- G06N3/00—Computing arrangements based on biological models
- G06N3/02—Neural networks
- G06N3/08—Learning methods
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/2092—Details of a display terminals using a flat panel, the details relating to the control arrangement of the display terminal and to the interfaces thereto
- G09G3/2096—Details of the interface to the display terminal specific for a flat panel
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
- G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
- G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
- G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
- G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/54—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using elements simulating biological cells, e.g. neuron
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0007—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising metal oxide memory material, e.g. perovskites
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0038—Power supply circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C19/00—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers
- G11C19/28—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using semiconductor elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1255—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78645—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with multiple gate
- H01L29/78648—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with multiple gate arranged on opposing sides of the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78696—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the structure of the channel, e.g. multichannel, transverse or longitudinal shape, length or width, doping structure, or the overlap or alignment between the channel and the gate, the source or the drain, or the contacting structure of the channel
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06N—COMPUTING ARRANGEMENTS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
- G06N3/00—Computing arrangements based on biological models
- G06N3/02—Neural networks
- G06N3/08—Learning methods
- G06N3/084—Backpropagation, e.g. using gradient descent
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/04—Structural and physical details of display devices
- G09G2300/0421—Structural details of the set of electrodes
- G09G2300/0426—Layout of electrodes and connections
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2330/00—Aspects of power supply; Aspects of display protection and defect management
- G09G2330/02—Details of power systems and of start or stop of display operation
- G09G2330/021—Power management, e.g. power saving
- G09G2330/023—Power management, e.g. power saving using energy recovery or conservation
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
- G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
- G09G3/3648—Control of matrices with row and column drivers using an active matrix
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Neurology (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Biophysics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computational Linguistics (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Control Of El Displays (AREA)
Abstract
【解決手段】コントローラと、フレームメモリと、レジスタと、を有し、コントローラは、制御回路と、予測回路と、を有し、フレームメモリは、記憶装置と、モニター回路と、を有し、レジスタは、第1の記憶回路と、第2の記憶回路と、を有し、第2の記憶回路は、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有し、予測回路は、ニューラルネットワークを用いてレジスタへの電力供給の要否を予測し、予測の結果に対応する第1の信号を制御回路に出力する機能を有し、制御回路は、第1の信号に基づいて、第1の記憶回路に記憶されたデータを、第2の記憶回路に退避させる機能を有し、モニター回路は、記憶装置の消費電力に関する情報を含む第2の信号を、予測回路に出力する機能を有し、予測は、第2の信号を入力データとして行われる半導体装置。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置、表示部、及び表示システムについて説明する。
図1に、半導体装置100、表示部200を有する表示システム10の構成例を示す。表示システム10は、所定の映像を表示するための信号(以下、映像信号ともいう)を生成する機能と、当該映像信号に基づいて映像を表示する機能と、を有するシステムである。
次に、半導体装置100の具体的な動作の一例について説明する。図5に、半導体装置100の動作例を表すフローチャートを示す。ここでは主に、ニューラルネットワークを用いて学習及び予測を行う予測回路112の動作例について説明する。なお、図5において、ステップS11からステップS14までは、予測回路112が有するニューラルネットワークが学習を行う(以下、学習動作ともいう)際の動作を示し、ステップS21からステップS50までは、予測回路112が有するニューラルネットワークが学習と共に予測を行う(以下、予測動作ともいう)際の動作を示す。なお、予測は、ニューラルネットワークの推論(認知)によって行われる。
まず、予測回路112に信号Scoが入力される(ステップS11)。信号Scoは、記憶装置121の消費電力に関する情報を含む信号であり、ここではニューラルネットワークの学習信号として用いられる。また、予測回路112に信号Schが入力される(ステップS12)。ここでは、信号Schとして表示部200に表示される映像に変化があるか否かを示す信号を用い、信号Schはレジスタ130への電力の供給の要否を示すニューラルネットワークの教師信号として用いられる。なお、信号Scoは信号Schの後に予測回路112に入力されてもよい。
予測回路112が予測動作に移行すると、まず、予測回路112に信号Scoが入力される(ステップS21)。信号Scoは、ここではニューラルネットワークの入力データとして用いられる。そして、ニューラルネットワークは信号Scoに基づいて、レジスタ130への電力供給の要否を予測する。この予測結果は、信号Sprとして制御回路111に出力される。
半導体装置において行われる電力供給の停止の予測は、信号Scoに基づくものに限られない。図6に、表示システム10の他の構成例を示す。図6に示す半導体装置100は、図1におけるモニター回路122の代わりに、タッチセンサコントローラ170を有する。また、図6に示す表示部200は、表示ユニット210、タッチセンサユニット220を有する。
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明した予測回路に用いることができる、ニューラルネットワークの構成例について説明する。
図8は、予測回路112に用いることができるニューラルネットワークの構成の具体例を示すブロック図である。図8(A)では、入力ニューロン回路IN、隠れニューロン回路HN、出力ニューロン回路ON、隠れシナプス回路HS、出力シナプス回路OS、隠れ誤差回路HE、および出力誤差回路OEを図示している。図8(A)に示す構成において、入力層ILは、入力ニューロン回路INを有し、隠れ層HLは隠れニューロン回路HN、隠れシナプス回路HS、隠れ誤差回路HEを有し、出力層OLは出力誤差回路OE、出力ニューロン回路ON、出力シナプス回路OSを有する。なお信号Iは入力信号、信号Tは教師信号T、信号Oは出力信号に相当する。
演算回路の動作とは、上記で説明したニューラルネットワークを有する演算回路に学習信号を入力し、演算回路に該学習信号を学ばせた後、演算回路に対象データを入力して、対象データに対応したパラメータを出力するまでのことをいう。図12及び図13に、演算回路の動作を示すフローチャートを示す。なお以下の説明では、図9に示すニューラルネットワークを有する演算回路の動作を一例として説明する。
初めに演算回路がデータを学習する動作について、図9、図12を用いて説明する。
ステップS1−1では、入力ニューロン回路INに外部から学習信号が入力される。学習信号は、図9でいう入力信号I[1]乃至I[L]に相当する。なお、ここでの学習信号とは、実施の形態1に示す表示装置においては例えば、記憶装置121の消費電力に関する情報を含む信号Scoや、タッチ情報を含む信号Stoなどであり、その学習信号の種類に応じて、入力される入力ニューロン回路INの個数が決まる。当該学習信号の入力に必要の無い入力ニューロン回路INの出力信号xは、固定値であることが好ましい。また、当該入力ニューロン回路INへの電源の供給を遮断するのが好ましい。ここでは、学習信号の種類はL個あり、学習信号のi個目の値を学習信号I[i]と記載する。学習信号I[1]乃至学習信号I[L]が、それぞれ入力ニューロン回路IN[1]乃至IN[L]に入力されるとする。
ステップS1−2では、入力ニューロン回路IN[1]乃至IN[L]から隠れシナプス回路HS[1,1]乃至HS[1,L]に出力信号x[1]乃至x[L]が入力される。ステップS1−2では、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[m,0]に値が一定の信号x[0]が入力される。隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]は、出力信号x[i]に、アナログメモリAM1に保持された重み係数w[1,i]を乗じた出力信号w[1,i]x[i]を、隠れ誤差回路HE[1]および隠れニューロン回路HN[1]に出力する。
ステップS1−3では、隠れニューロン回路HN[1]に、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]の出力信号の和であるΣw[1,i]x[i]が入力される。同様に隠れニューロン回路HN[m]に、隠れシナプス回路HS[m,0]乃至HS[m,L]の出力信号の和であるΣw[m,i]x[i]が入力される。
ステップS1−4では、隠れニューロン回路HN[1]乃至HN[m]から出力シナプス回路OS[1,1]乃至OS[1,m]に出力信号y[1]乃至y[m]が入力される。ステップS1−4では、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[n,0]に値が一定の信号y[0]が入力される。出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]は、出力信号y[j]に、アナログメモリAM2に保持された重み係数v[1,j]を乗じた出力信号v[1,j]y[j]を、出力誤差回路OE[1]および出力ニューロン回路ON[1]に出力する。
ステップS1−5では、出力ニューロン回路ON[1]に、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]の出力信号の和であるΣv[1,j]y[j]が入力される。同様に出力ニューロン回路ON[n]に、出力シナプス回路OS[n,0]乃至OS[n,m]の出力信号の和であるΣv[n,j]y[j]が入力される。出力ニューロン回路ON[1]乃至[n]は、出力信号O[1]乃至O[n]を出力する。
ステップS1−6では、出力ニューロン回路ON[1]から差分信号ey[1]、および出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]の出力信号の和であるΣv[1,j]y[j]が、出力誤差回路OE[1]に入力される。出力誤差回路OE[1]は、差分信号ey[1]に、Σv[1,j]y[j]を微分することで得られる信号を乗じた出力信号dy[1]を、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]に出力する。
ステップS1−7では、出力信号dy[1]をもとに、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]内のアナログメモリAM2に保持された重み係数v[1,j]を更新する。同様にステップS1−7では、出力信号dy[n]をもとに、出力シナプス回路OS[n,0]乃至OS[n,m]内のアナログメモリAM2に保持された重み係数v[n,j]を更新する。
ステップS1−8では、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]の出力信号の和であるΣw[1,i]x[i]、および出力シナプス回路OS[1,1]乃至OS[n,1]の出力信号の和であるex[1]が、隠れ誤差回路HE[1]に入力される。隠れ誤差回路HE[1]は、信号ex[1]に、Σw[1,i]x[i]をもとに微分することで得られる信号を乗じた出力信号dx[1]を、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]に出力する。
ステップS1−9では、出力信号dx[1]をもとに、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]内のアナログメモリAM1に保持された重み係数w[1,i]を重み係数dw[1,i]に更新する。同様にステップS1−9では、出力信号dx[m]をもとに、隠れシナプス回路HS[m,0]乃至HS[m,L]内のアナログメモリAM1に保持された重み係数w[m,i]を重み係数dw[m,i]に更新する。
ステップS1−10では、ステップS1−2乃至S1−9を所定の回数を繰り返したかどうかの判定が行われる。所定の回数に達したとき当該学習信号を用いた学習を終了する。
ステップS1−11では、全ての学習信号について学習したか否かを判定する。未終了の学習信号がある場合はステップS1−1乃至S1−10を繰り返し、全ての学習信号について学習を終了した場合には終了する。なお、一度学習した学習信号について、一通り全ての学習信号に対する学習が終った後に、再度学習する構成としてもよい。
次に、先にデータを学習させた図9のニューラルネットワークを有する演算回路に、対象データを入力して、結果を出力する動作について、図13を用いて説明する。
ステップS2−1では、入力ニューロン回路INに外部から対象データが入力される。
ステップS2−2では、入力ニューロン回路IN[1]乃至IN[L]から隠れシナプス回路HS[1,1]乃至IN[1,L]に、対象データに相当する出力信号x[1]乃至x[L]が入力される。ステップS2−2では、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[m,0]に値が一定の信号x[0]が入力される。隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]は、出力信号x[i]に、学習のステップS1−9で保持された重み係数w[1,i]を乗じた出力信号w[1,i]x[i]を、隠れニューロン回路HN[1]に出力する。
ステップS2−3では、隠れニューロン回路HN[1]に、隠れシナプス回路HS[1,0]乃至HS[1,L]の出力信号の和であるΣw[1,i]x[i]が入力される。同様に隠れニューロン回路HN[m]に、隠れシナプス回路HS[m,0]乃至HS[m,L]の出力信号の和であるΣw[m,i]x[i]が入力される。
ステップS2−4では、隠れニューロン回路HN[1]乃至HN[m]から出力シナプス回路OS[1,1]乃至OS[n,1]に出力信号y[1]乃至y[m]が入力される。ステップS2−4では、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[n,0]に値が一定の信号y[0]が入力される。出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]は、出力信号y[j]に、アナログメモリAM2に保持された重み係数v[1,j]を乗じた出力信号v[1,j]y[j]を、出力ニューロン回路ON[1]に出力する。
ステップS2−5では、出力ニューロン回路ON[1]に、出力シナプス回路OS[1,0]乃至OS[1,m]の出力信号の和であるΣv[1,j]y[j]が入力される。同様に出力ニューロン回路ON[n]に、出力シナプス回路OS[n,0]乃至OS[n,m]の出力信号の和であるΣv[n,j]y[j]が入力される。出力ニューロン回路ON[1]乃至[n]は、出力信号O[1]乃至O[n]を出力する。
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明した半導体装置が有する回路の具体的な構成例について説明する。
まず、フレームメモリ120の構成例について説明する。図14(A)に、フレームメモリ120が有する記憶装置121の構成例を示す。記憶装置121は、制御部402、セルアレイ403、周辺回路408を有する。周辺回路408は、センスアンプ回路404、駆動回路405、メインアンプ406、入出力回路407を有する。
次に、レジスタ130の構成例について説明する。図15は、レジスタ130の構成例を示すブロック図である。レジスタ130は、スキャンチェーンレジスタ部410A、およびレジスタ部410Bを有する。スキャンチェーンレジスタ部410Aは、複数のレジスタ411aを有する。複数のレジスタ411aによって、スキャンチェーンレジスタが構成されている。レジスタ部410Bは、複数のレジスタ411bを有する。
次に、スイッチ回路160の構成例について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示システムの、より具体的な構成例について説明する。ここでは一例として、表示部が複数の表示ユニットを有する場合について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示システムに用いることができる表示装置の構成例について説明する。
図21は、画素ユニット502の構成例を示す回路図である。図21では、隣接する2つの画素ユニット502を示している。画素ユニット502はそれぞれ、画素505aと画素505bを有する。
図23は、本発明の一態様の表示装置500の斜視概略図である。表示装置500は、基板551と基板561とが貼り合わされた構成を有する。図23では、基板561を破線で示している。
表示装置が有する基板には、平坦面を有する材料を用いることができる。表示素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。例えば、ガラス、石英、セラミック、サファイア、有機樹脂などの材料を用いることができる。
トランジスタは、ゲート電極として機能する導電層と、半導体層と、ソース電極として機能する導電層と、ドレイン電極として機能する導電層と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層と、を有する。上記では、ボトムゲート構造のトランジスタを適用した場合を示している。
トランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。またこれらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛等の酸化物を用いてもよい。また、マンガンを含む銅を用いると、エッチングによる形状の制御性が高まるため好ましい。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂、シリコーンなどのシロキサン結合を有する樹脂の他、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料を用いることもできる。
液晶素子としては、例えば垂直配向(VA:Vertical Alignment)モードが適用された液晶素子を用いることができる。垂直配向モードとしては、MVA(Multi−Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることができる。
発光素子は、トップエミッション型、ボトムエミッション型、デュアルエミッション型などがある。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。本発明の一態様では、特にボトムエミッション型の発光素子を用いることが好ましい。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)や、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
着色層に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料または染料が含まれた樹脂材料などが挙げられる。
遮光層として用いることのできる材料としては、カーボンブラック、チタンブラック、金属、金属酸化物、複数の金属酸化物の固溶体を含む複合酸化物等が挙げられる。遮光層は、樹脂材料を含む膜であってもよいし、金属などの無機材料の薄膜であってもよい。また、遮光層に、着色層の材料を含む膜の積層膜を用いることもできる。例えば、ある色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜と、他の色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜との積層構造を用いることができる。着色層と遮光層の材料を共通化することで、装置を共通化できるほか工程を簡略化できるため好ましい。
次に、可撓性を有する基板を用いた表示装置の作製方法の例について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態において用いることができるOSトランジスタの構成例について説明する。
図25(A)は、トランジスタの構成例を示す上面図である。図25(B)は、図25(A)のX1−X2線断面図であり、図25(C)はY1−Y2線断面図である。ここでは、X1−X2線の方向をチャネル長方向と、Y1−Y2線方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。図25(B)は、トランジスタのチャネル長方向の断面構造を示す図であり、図25(C)は、トランジスタのチャネル幅方向の断面構造を示す図である。なお、デバイス構造を明確にするため、図25(A)では、一部の構成要素が省略されている。
次に、OSトランジスタと他のトランジスタを積層した構造について説明する。以下で説明する積層構造は、上記実施の形態で説明した各種回路に適用することができる。
次に、上記のOSトランジスタに用いることができる、金属酸化物について説明する。以下では特に、金属酸化物とCAC(Cloud−Aligned Composite)の詳細について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した表示装置を用いた表示モジュールの構成例について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示システムを適用可能な電子機器について説明する。
11 表示システム
100 半導体装置
101 半導体装置
110 コントローラ
111 制御回路
112 予測回路
120 フレームメモリ
121 記憶装置
122 モニター回路
130 レジスタ
131 記憶回路
132 記憶回路
140 画像処理部
141 ガンマ補正回路
142 調光回路
143 調色回路
144 EL補正回路
150 駆動回路
151 ソースドライバ
160 スイッチ回路
170 タッチセンサコントローラ
180 ホスト
181 インターフェース
182 デコーダ
183 センサコントローラ
184 クロック生成回路
185 記憶装置
186 タイミングコントローラ
187 光センサ
188 外光
200 表示部
201 表示部
210 表示ユニット
220 タッチセンサユニット
301 トランジスタ
302 容量素子
311 抵抗
312 アンプ
313 アンプ
321 抵抗
322 アンプ
331 抵抗
332 アンプ
333 抵抗
334 アンプ
402 制御部
403 セルアレイ
404 センスアンプ回路
405 駆動回路
406 メインアンプ
407 入出力回路
408 周辺回路
409 メモリセル
410A スキャンチェーンレジスタ部
410B レジスタ部
411 レジスタ
420 保持回路
430 セレクタ
440 フリップフロップ回路
441 インバータ
446 インバータ
447 アナログスイッチ
448 アナログスイッチ
451 インバータ
453 インバータ
454 クロックドインバータ
455 アナログスイッチ
456 バッファ
460 トランジスタ
500 表示装置
501 画素部
502 画素ユニット
503 駆動回路
504 駆動回路
505 画素
506 副画素
510 液晶素子
520 発光素子
524 金属酸化物膜
530 導電層
540 開口
551 基板
561 基板
562 表示領域
564 回路
565 配線
572 FPC
573 IC
612 液晶
613 導電層
617 絶縁層
621 絶縁層
630 偏光板
631 着色層
632 遮光層
633 配向膜
634 着色層
641 接着層
642 接着層
691 導電層
692 EL層
693 導電層
701 トランジスタ
704 接続部
705 トランジスタ
706 トランジスタ
707 接続部
711 絶縁層
712 絶縁層
713 絶縁層
714 絶縁層
715 絶縁層
716 絶縁層
717 絶縁層
720 絶縁層
721 導電層
722 導電層
723 導電層
724 導電層
731 半導体層
742 接続層
743 接続体
752 接続部
801 トランジスタ
811 絶縁層
812 絶縁層
813 絶縁層
814 絶縁層
815 絶縁層
816 絶縁層
817 絶縁層
818 絶縁層
819 絶縁層
820 絶縁層
821 金属酸化物膜
822 金属酸化物膜
823 金属酸化物膜
824 金属酸化物膜
830 酸化物層
850 導電層
851 導電層
852 導電層
853 導電層
860 回路
870 単結晶シリコンウエハ
871 CMOS層
872 トランジスタ層
873 ゲート電極
874 電極
875 電極
1000 表示モジュール
1001 上部カバー
1002 下部カバー
1003 FPC
1004 タッチパネル
1005 FPC
1006 表示装置
1009 フレーム
1010 プリント基板
1011 バッテリ
2000 携帯情報端末
2001 筐体
2002 筐体
2003 表示部
2004 表示部
2005 ヒンジ部
2010 携帯情報端末
2011 筐体
2012 表示部
2013 操作ボタン
2014 外部接続ポート
2015 スピーカ
2016 マイク
2017 カメラ
2020 カメラ
2021 筐体
2022 表示部
2023 操作ボタン
2024 シャッターボタン
2026 レンズ
3000 通信システム
3100 ホスト
3200 電子機器
3210 制御部
3211 予測回路
3212 インターフェース
3220 表示部
Claims (7)
- コントローラと、フレームメモリと、レジスタと、を有し、
前記コントローラは、制御回路と、予測回路と、を有し、
前記フレームメモリは、記憶装置と、モニター回路と、を有し、
前記レジスタは、第1の記憶回路と、第2の記憶回路と、を有し、
前記第2の記憶回路は、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有し、
前記予測回路は、ニューラルネットワークを用いて前記レジスタへの電力の供給の要否を予測し、前記予測の結果に対応する第1の信号を前記制御回路に出力する機能を有し、
前記制御回路は、前記第1の信号に基づいて、前記第1の記憶回路に記憶されたデータを、前記第2の記憶回路に退避させる機能を有し、
前記モニター回路は、前記記憶装置の消費電力に関する情報を含む第2の信号を、前記予測回路に出力する機能を有し、
前記予測は、前記第2の信号を入力データとして行われる半導体装置。 - 請求項1において、
前記ニューラルネットワークは、学習信号と教師信号を用いて学習を行う機能を有し、
前記学習信号は、前記第2の信号であり、
前記教師信号は、表示部に表示される映像の変化の情報を含む第3の信号である半導体装置。 - 請求項2において、
前記ニューラルネットワークは、前記予測が外れた際に、前記学習を行う機能を有する半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記ニューラルネットワークは、ニューロン回路と、シナプス回路と、を有し、
前記シナプス回路は、アナログメモリを有し、
前記アナログメモリは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有する半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置を用いた制御部と、表示部と、を有し、
前記制御部は、前記表示部の表示を制御する機能を有し、
前記表示部は、第1の表示ユニットと、第2の表示ユニットと、を有し、
前記第1の表示ユニットは、反射型の液晶素子を有し、
前記第2の表示ユニットは、発光素子を有する表示システム。 - 請求項5において、
前記第1の表示ユニット及び前記第2の表示ユニットは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有する表示システム。 - 請求項5又は6に記載の表示システムを有し、
外部から入力された画像データに基づいて映像信号を生成する機能と、前記映像信号に基づいて映像を表示する機能と、を有する電子機器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016139038 | 2016-07-14 | ||
JP2016139038 | 2016-07-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018018569A true JP2018018569A (ja) | 2018-02-01 |
JP6968602B2 JP6968602B2 (ja) | 2021-11-17 |
Family
ID=60941273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017134540A Active JP6968602B2 (ja) | 2016-07-14 | 2017-07-10 | 半導体装置、表示システム及び電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180018565A1 (ja) |
JP (1) | JP6968602B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021205941A1 (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-14 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 三次元アレイ装置 |
WO2022265044A1 (ja) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | 国立大学法人東北大学 | 演算処理装置 |
US12026616B2 (en) | 2020-12-31 | 2024-07-02 | Hangzhou Fujia Gallium Technology Co. Ltd. | Preparation method of high resistance gallium oxide based on deep learning and vertical bridgman growth method |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015210802A1 (de) * | 2015-06-12 | 2016-12-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Schnellschaltende Schaltungsanordnung für einen Umrichter |
US10120470B2 (en) | 2016-07-22 | 2018-11-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, display device and electronic device |
KR20200015048A (ko) * | 2018-08-02 | 2020-02-12 | 삼성전자주식회사 | 메타-학습에 기반하여 기계학습의 모델을 선정하는 방법 및 장치 |
JP2020035502A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | キオクシア株式会社 | 半導体集積回路 |
CN112863617A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 杭州富加镓业科技有限公司 | 一种基于深度学习和坩埚下降法的高阻型氧化镓制备方法 |
CN116626080B (zh) * | 2023-07-24 | 2023-09-26 | 四川省石棉县恒达粉体材料有限责任公司 | 一种大理岩的筛选方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037941A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置管理システム |
US20070139406A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Sony Corporation | Self light emission display device, power consumption detecting device, and program |
JP2008225381A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置 |
US20120287703A1 (en) * | 2011-05-13 | 2012-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US20130134416A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-05-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor display device |
US20180018752A1 (en) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140351182A1 (en) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | Qualcomm Incorporated | Modifying Learning Capabilities of Learning Devices |
US9679491B2 (en) * | 2013-05-24 | 2017-06-13 | Qualcomm Incorporated | Signaling device for teaching learning devices |
-
2017
- 2017-07-10 US US15/645,316 patent/US20180018565A1/en not_active Abandoned
- 2017-07-10 JP JP2017134540A patent/JP6968602B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037941A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置管理システム |
US20070139406A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Sony Corporation | Self light emission display device, power consumption detecting device, and program |
JP2007156045A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Sony Corp | 自発光表示装置、消費電力検出装置及びプログラム |
JP2008225381A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置 |
US20120287703A1 (en) * | 2011-05-13 | 2012-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2012157472A1 (en) * | 2011-05-13 | 2012-11-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2012257209A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
US20130134416A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-05-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor display device |
JP2013137532A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-07-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体表示装置 |
US20180018752A1 (en) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
JP2018018072A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-02-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 電子機器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021205941A1 (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-14 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 三次元アレイ装置 |
US12026616B2 (en) | 2020-12-31 | 2024-07-02 | Hangzhou Fujia Gallium Technology Co. Ltd. | Preparation method of high resistance gallium oxide based on deep learning and vertical bridgman growth method |
WO2022265044A1 (ja) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | 国立大学法人東北大学 | 演算処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6968602B2 (ja) | 2021-11-17 |
US20180018565A1 (en) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6968602B2 (ja) | 半導体装置、表示システム及び電子機器 | |
JP6907048B2 (ja) | 半導体装置、記憶装置及び表示システム | |
KR20240060780A (ko) | 표시 장치 및 그 동작 방법 | |
US10079231B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2024079705A (ja) | 半導体装置 | |
TW201801513A (zh) | 顯示裝置及其動作方法,以及電子機器 | |
TW201810242A (zh) | 顯示裝置,及顯示裝置的驅動方法 | |
TWI721041B (zh) | 驅動電路、顯示裝置及電子裝置 | |
JP2018049271A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP2019045613A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP7109887B2 (ja) | 表示システム | |
JP6744190B2 (ja) | 半導体装置、及び表示システム | |
CN111033757A (zh) | 半导体装置及显示装置 | |
JP2018031944A (ja) | 表示システムおよび電子機器 | |
US10559499B2 (en) | Semiconductor device, display system, and electronic device | |
JP2018060179A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP2018022145A (ja) | 半導体装置、表示システム及び電子機器 | |
JP2018066953A (ja) | 表示装置の作製方法 | |
JP2018060198A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP2020202005A (ja) | 半導体装置 | |
JP2018040867A (ja) | 表示装置、電子機器、及び情報提供方法 | |
JP2018054901A (ja) | 表示システムおよび電子機器 | |
JP2018060176A (ja) | 半導体装置、表示システム及び電子機器 | |
JP2018146730A (ja) | 表示装置、および表示装置の動作方法 | |
JP6833443B2 (ja) | 端末システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6968602 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |