JP2018010919A - Conveyance unit - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conveyance unit that prevents a plate-like work from breaking by preventing the weight of a suction pad from being placed on the plate-like work when the suction pad is brought into contact with the plate-like work.SOLUTION: The present invention relates to a conveyance unit 1 for conveying a plate-like work, which comprises means 2 for sucking and holding a work and means 4 for moving the suction holding means 2. The suction holding means 2 comprises: a pad 20 for sucking and holding the work; a guide shaft 21 for supporting the suction pad 20 movably to and away from the work; a plate 23 having a through hole 230 into which the guide shaft 21 is inserted and supporting the guide shaft 21; and a spring 27 maintaining a state in which the guide shaft 21 supports the suction pad 20, and energizing the suction pad 20, the force with which the suction pad 20 presses the work by the spring 27 is weakened when the suction pad 20 holds the work.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、板状ワークを搬送する搬送ユニットに関する。   The present invention relates to a transport unit that transports a plate-shaped workpiece.

加工装置等に具備され半導体ウエーハ等の板状ワークを吸引パッドで吸引保持し搬送する搬送ユニットには、例えば、板状ワークに吸引パッドを接触させ吸引保持するタイプのユニットと、吸引パッドにより非接触で板状ワークを吸引保持するタイプのユニットとがある。接触式の搬送ユニット（例えば、特許文献１参照）においては、吸引パッドが多孔質材料であるポーラス板等で構成されており、このポーラス板に吸引源を連通させ、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、板状ワークに接触させた状態のポーラス板の吸引面に伝達されることで板状ワークを吸引保持することができる。これに対して、非接触式の搬送ユニット（例えば、特許文献２参照）は、ベルヌーイの原理を利用しており、吸引パッドに備える吸引生成部に対して高圧気体を供給する。すなわち、高圧気体を吸引パッドの内面に沿って供給し、吸引生成部と板状ワークとの間を通過させ大気へ放出させる。放出された高圧気体噴流は拡径により減速していき、大気圧となるため、吸引生成部と板状ワークとの隙間でベルヌーイ効果が働き、吸引生成部を中心としてその周囲に圧力降下が発生する。このように発生させた負圧により、吸引パッドは板状ワークを非接触で吸引する。   For example, a transport unit that is provided in a processing apparatus or the like and sucks, holds, and transports a plate-like workpiece such as a semiconductor wafer with a suction pad, for example, a type of unit that holds the suction pad in contact with the plate-like workpiece and holds it, There is a unit that sucks and holds a plate-like workpiece by contact. In a contact-type transport unit (for example, see Patent Document 1), a suction pad is composed of a porous plate made of a porous material, and a suction source communicates with the porous plate, and the suction source sucks the suction plate. The generated suction force is transmitted to the suction surface of the porous plate in contact with the plate-like workpiece, whereby the plate-like workpiece can be sucked and held. On the other hand, a non-contact type transport unit (see, for example, Patent Document 2) uses Bernoulli's principle and supplies high-pressure gas to a suction generation unit provided in a suction pad. That is, a high-pressure gas is supplied along the inner surface of the suction pad, passes between the suction generation unit and the plate-like workpiece, and is released to the atmosphere. The discharged high-pressure gas jet decelerates due to expansion, and becomes atmospheric pressure. Therefore, the Bernoulli effect works in the gap between the suction generator and the plate-shaped workpiece, and a pressure drop occurs around the suction generator. To do. Due to the negative pressure generated in this way, the suction pad sucks the plate-like workpiece in a non-contact manner.

特開２００６−３４４７７８号公報JP 2006-344778 A 特開２０１５−０７０００２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2015-070002

吸引パッドを板状ワークに接触させ吸引保持するタイプの搬送ユニットでは、板状ワークを吸引保持するときに、板状ワークと吸引パッドとの位置ずれがないようにし、吸引パッドの吸引面全面を板状ワークの被吸引面に接触させた後、吸引源を作動させ吸引保持を行っている。また、吸引パッドにより非接触で板状ワークを吸引保持するタイプの搬送ユニットでは、板状ワークと吸引パッドとを位置合わせし、例えば吸引パッドに備える板状ワークの水平方向への移動を制限する接触部を板状ワークの外周領域に接触させた後、高圧気体を吸引パッドに供給することで吸引生成部の周囲に発生させた負圧により、板状ワークの吸引保持を行っている。したがって、接触式又は非接触式のいずれの搬送ユニットにおいても、板状ワークを吸引保持する際に吸引パッドの重量が板状ワークにかかることがある。   In the type of transport unit that holds the suction pad in contact with the plate-shaped workpiece, when the plate-shaped workpiece is sucked and held, the position of the plate-shaped workpiece and the suction pad should not be displaced, and the entire suction surface of the suction pad should be After contacting the suction surface of the plate-like workpiece, the suction source is operated to perform suction holding. Further, in a conveyance unit of a type that sucks and holds a plate-like workpiece by a suction pad, the plate-like workpiece and the suction pad are aligned, and for example, the movement of the plate-like workpiece provided in the suction pad is restricted in the horizontal direction. After the contact portion is brought into contact with the outer peripheral region of the plate-like workpiece, the plate-like workpiece is sucked and held by the negative pressure generated around the suction generation portion by supplying high-pressure gas to the suction pad. Therefore, in any contact type or non-contact type conveyance unit, the weight of the suction pad may be applied to the plate-like workpiece when the plate-like workpiece is sucked and held.

また、加工装置に備えられ板状ワークを保持する保持テーブルの保持面の傾きと搬送ユニットの吸引パッドの吸引面の傾きとが異なっている、すなわち、保持テーブルの保持面と吸引パッドの吸引面とが平行になっていない場合がある。また、加工装置に備える洗浄ユニットの洗浄テーブルの保持面の傾きと搬送ユニットの吸引パッドの吸引面の傾きとが異なっている場合もある。これらのような場合には特に、板状ワークを吸引保持するために板状ワークに吸引パッドを接触させる際に、吸引パッドの重量が板状ワークにより多くかかることになるため、板状ワークが吸引パッドから受ける押圧力によって破損する場合がある。   Further, the inclination of the holding surface of the holding table that is provided in the processing apparatus and holds the plate-like workpiece is different from the inclination of the suction surface of the suction pad of the transport unit, that is, the holding surface of the holding table and the suction surface of the suction pad And may not be parallel. Further, the inclination of the holding surface of the cleaning table of the cleaning unit provided in the processing apparatus may be different from the inclination of the suction surface of the suction pad of the transport unit. Particularly in such cases, when the suction pad is brought into contact with the plate-like workpiece in order to suck and hold the plate-like workpiece, the weight of the suction pad is increased by the plate-like workpiece. It may be damaged by the pressing force received from the suction pad.

したがって、板状ワークを搬送ユニットにより搬送する場合には、板状ワークに吸引パッドを接触させた際に、吸引パッドの重量が板状ワークにかかるのを抑制し、板状ワークの破損が発生することを防止するという課題がある。   Therefore, when a plate-shaped workpiece is transported by the transport unit, when the suction pad is brought into contact with the plate-shaped workpiece, the weight of the suction pad is suppressed from being applied to the plate-shaped workpiece, and the plate-shaped workpiece is damaged. There is a problem of preventing it.

上記課題を解決するための本発明は、板状ワークを搬送する搬送ユニットであって、板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、該吸引保持手段を移動させる移動手段とを備え、該吸引保持手段は、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、該板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に該吸引パッドを支持するガイド軸と、該ガイド軸が挿通される貫通孔を有し該ガイド軸を支持する支持プレートと、該ガイド軸が該吸引パッドを支持した状態を維持し該吸引パッドを該支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備え、該吸引パッドが板状ワークを保持するときに、該バネによって該吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする搬送ユニットである。   The present invention for solving the above-mentioned problems is a transport unit for transporting a plate-like workpiece, comprising suction holding means for sucking and holding the plate-like workpiece, and moving means for moving the suction holding means, The holding means includes a suction pad for sucking and holding the plate-shaped workpiece, a guide shaft that supports the suction pad so as to be movable in a direction approaching and separating from the plate-shaped workpiece, and a through hole through which the guide shaft is inserted. A support plate that supports the guide shaft, and a spring that urges the suction pad in a direction to bring the suction pad closer to the support plate while maintaining the state where the guide shaft supports the suction pad. The holding unit weakens the force with which the suction pad presses the plate-like workpiece by the spring when holding the workpiece.

前記ガイド軸は上端側に径方向外向きに延出される頭部を備え、前記バネは、該頭部の下面と前記支持プレートとの間に該頭部が該支持プレートと離間する方向に移動すると拡張するように配設されると好ましい。   The guide shaft has a head portion extending radially outward at an upper end side, and the spring moves between the lower surface of the head portion and the support plate in a direction in which the head portion is separated from the support plate. Then, it is preferable that it is arranged so as to expand.

または、前記ガイド軸の上端側に、該ガイド軸の径方向外向きに延出される頭部を備え、前記バネは、前記支持プレートと前記吸引パッドとの間に該吸引パッドが該支持プレートから離間する方向に移動すると収縮するように配設されると好ましい。   Alternatively, the upper end of the guide shaft is provided with a head portion that extends radially outward of the guide shaft, and the spring includes a suction pad between the support plate and the suction pad. It is preferable that it is arranged so as to contract when moved in the direction of separation.

前記吸引パッドは、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、該吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部とを備える、いわゆるベルヌーイ型の吸引パッドであってもよい。   The suction pad is in contact with an outer peripheral area of the plate-like workpiece sucked by the suction generation unit that generates a negative pressure by ejecting air from the air outlet and sucks the plate-like workpiece without contact. Then, a so-called Bernoulli-type suction pad may be provided that includes a contact portion that restricts movement of the plate-like workpiece in the horizontal direction.

本発明に係る板状ワークを搬送する搬送ユニットは、吸引保持手段が、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に吸引パッドを支持するガイド軸と、ガイド軸が挿通される貫通孔を有しガイド軸を支持する支持プレートと、ガイド軸が吸引パッドを支持した状態を維持し吸引パッドを支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備えているため、吸引パッドが板状ワークを保持するときに、バネによって吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることによって、板状ワークを破損させることなく吸引保持して搬送することができる。   The transport unit for transporting the plate-like workpiece according to the present invention includes a suction pad for sucking and holding the plate-like workpiece, and a guide shaft for supporting the suction pad so as to be movable in a direction approaching and separating from the plate-like workpiece. And a support plate that has a through-hole through which the guide shaft is inserted and supports the guide shaft, and a spring that biases the suction pad in a direction approaching the support plate while maintaining the state where the guide shaft supports the suction pad. Therefore, when the suction pad holds the plate-like workpiece, it can be held and transported without damaging the plate-like workpiece by weakening the force with which the suction pad presses the plate-like workpiece with a spring. it can.

また、吸引パッドを、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部とを備える、いわゆるベルヌーイ型の吸引パッドとすることで、例えば、吸引対象が反りのある板状ワークであっても、吸引パッドが板状ワークを保持するときに、バネによって吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることによって、板状ワークを破損させることなく搬送することができる。   In addition, the suction pad generates a negative pressure by ejecting air from the air outlet and contacts the suction generation unit that sucks the plate-like workpiece in a non-contact manner, and the outer peripheral area of the plate-like workpiece sucked by the suction generation unit The so-called Bernoulli-type suction pad is provided with a contact portion that restricts the movement of the plate-like workpiece in the horizontal direction. For example, even if the suction target is a warped plate-like workpiece, the suction pad When the plate-like workpiece is held, the force that the suction pad presses the plate-like workpiece by the spring is weakened, so that the plate-like workpiece can be conveyed without being damaged.

接触式の吸引パッドを備える実施形態１の搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of the conveyance unit of Embodiment 1 provided with a contact-type suction pad. バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に配設される状態の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the state by which a spring is arrange | positioned between the lower surface of the head of a guide shaft, and a support plate. 図３（Ａ）は、バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に支持プレート内部に没入せずに配設される状態の一例を示す分解断面図である。図３（Ｂ）は、バネがガイド軸の頭部の下面と支持プレートとの間に支持プレート内部に没入せずに配設された状態の一例を示す断面図である。FIG. 3A is an exploded cross-sectional view illustrating an example of a state in which the spring is disposed between the lower surface of the head of the guide shaft and the support plate without being immersed in the support plate. FIG. 3B is a cross-sectional view showing an example of a state in which the spring is disposed between the lower surface of the head of the guide shaft and the support plate without being immersed in the support plate. 実施形態１の搬送ユニットにおいて、吸引パッドを板状ワークに接触させている状態を示す断面図である。In the conveyance unit of Embodiment 1, it is sectional drawing which shows the state which is making the suction pad contact the plate-shaped workpiece. 実施形態１の搬送ユニットにおいて、板状ワークを吸引保持した吸引パッドを上昇させた状態を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a state where the suction pad that sucks and holds the plate-like workpiece is raised in the transport unit according to the first embodiment. 非接触式の吸引パッドを備える実施形態２の搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of the conveyance unit of Embodiment 2 provided with a non-contact-type suction pad. 実施形態２の搬送ユニットにおいて、吸引パッドの接触部を板状ワークに接触させて板状ワークを吸引保持する状態を示す断面図である。In the conveyance unit of Embodiment 2, it is sectional drawing which shows the state which makes the contact part of a suction pad contact a plate-shaped workpiece, and sucks and holds a plate-shaped workpiece. 実施形態２の搬送ユニットにおいて、板状ワークを吸引保持した吸引パッドを上昇させた状態を示す断面図である。In the conveyance unit of Embodiment 2, it is sectional drawing which shows the state which raised the suction pad which sucked and hold | maintained the plate-shaped workpiece. 非接触式の吸引パッドと、支持プレートと吸引パッドとの間に配設されたバネとを備える搬送ユニットの構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of a conveyance unit provided with a non-contact-type suction pad and the spring arrange | positioned between the support plate and the suction pad.

（実施形態１）
図１に示す板状ワークＷを搬送する搬送ユニット１は、板状ワークＷを吸引保持する吸引保持手段２と、吸引保持手段２を移動させる移動手段４とを少なくとも備えている。搬送ユニット１は、主に、板状ワークＷを切削する切削装置、板状ワークＷを研削する研削装置、又は、これらの装置の機能をすべて備えるクラスター型装置等に組み込まれて使用される。例えば、図１においては、吸引保持手段２が、研削装置等の加工装置に備えられる保持テーブル３の上方に位置している。 (Embodiment 1)
The transport unit 1 that transports the plate-like workpiece W shown in FIG. 1 includes at least a suction holding unit 2 that sucks and holds the plate-like workpiece W and a moving unit 4 that moves the suction holding unit 2. The transport unit 1 is mainly used by being incorporated in a cutting device that cuts the plate-like workpiece W, a grinding device that grinds the plate-like workpiece W, or a cluster-type device that has all the functions of these devices. For example, in FIG. 1, the suction holding means 2 is located above a holding table 3 provided in a processing apparatus such as a grinding apparatus.

保持テーブル３は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する保持面３ａを備えている。保持面３ａには、例えば、図示しない吸引源に連通している。吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、保持面３ａに伝達されることで、保持テーブル３は保持面３ａ上で板状ワークＷを吸引保持することができる。板状ワークＷは、例えば、外形が円形状の半導体ウエーハであり、図１に示す例においては、ワークの裏面Ｗｂが上側を向いた状態で保持テーブル３の保持面３ａ上に吸引保持されている。図１において下側を向いた状態のワークＷの表面Ｗａには、例えば、多数のデバイスが形成されており図示しない保護テープが貼着されて保護されている。   The holding table 3 has, for example, a circular outer shape, and includes a holding surface 3 a made of a porous member or the like for attracting the plate-like workpiece W. For example, the holding surface 3a communicates with a suction source (not shown). The suction force generated by suction by the suction source is transmitted to the holding surface 3a, whereby the holding table 3 can suck and hold the plate-like workpiece W on the holding surface 3a. The plate-like workpiece W is, for example, a semiconductor wafer having a circular outer shape. In the example shown in FIG. 1, the plate-like workpiece W is sucked and held on the holding surface 3a of the holding table 3 with the back surface Wb of the workpiece facing upward. Yes. For example, a large number of devices are formed on the surface Wa of the workpiece W facing downward in FIG. 1, and a protective tape (not shown) is attached and protected.

搬送ユニット１の吸引保持手段２は、板状ワークＷを吸引保持する吸引パッド２０と、板状ワークＷに接近および離間する方向（Ｚ軸方向）に移動可能に吸引パッド２０を支持するガイド軸２１と、ガイド軸２１が挿通される貫通孔２３０を有しガイド軸２１を支持する支持プレート２３とを備えている。吸引パッド２０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材からなり板状ワークＷを吸着する吸着部２００と、吸着部２００を支持する枠体２０１とを備える。吸着部２００には、連通路２９０の一端が連通しており、連通路２９０のもう一端は、真空発生装置及びコンプレッサー等からなる吸引源２９に接続されている。そして、吸引源２９が吸引を行うことで生み出された吸引力が、連通路２９０を介して吸着部２００の露出面であり枠体２０１の下面と面一に形成されている保持面２００ａに伝達されることで、吸引パッド２０は保持面２００ａで板状ワークＷを吸引保持することができる。   The suction holding means 2 of the transport unit 1 includes a suction pad 20 that sucks and holds the plate-like workpiece W, and a guide shaft that supports the suction pad 20 so as to be movable in the direction approaching and separating from the plate-like workpiece W (Z-axis direction). 21 and a support plate 23 having a through hole 230 through which the guide shaft 21 is inserted and supporting the guide shaft 21. The suction pad 20 has, for example, a circular outer shape, and includes a suction part 200 that is made of a porous member and sucks the plate-like workpiece W, and a frame body 201 that supports the suction part 200. One end of a communication path 290 communicates with the adsorption unit 200, and the other end of the communication path 290 is connected to a suction source 29 including a vacuum generator and a compressor. Then, the suction force generated by the suction of the suction source 29 is transmitted to the holding surface 200 a that is the exposed surface of the suction portion 200 and is flush with the lower surface of the frame body 201 via the communication path 290. Thus, the suction pad 20 can suck and hold the plate-like workpiece W by the holding surface 200a.

吸引パッド２０は、図１、２に示すガイド軸２１の下端２１０ｂに固定されており、ガイド軸２１によって支持されている。例えば、ガイド軸２１は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸方向を有する基軸部２１０と、基軸部２１０の上端２１０ａ側においてガイド軸２１の径方向（基軸部２１０の軸方向と水平方向に直交する方向）外向きに延出される頭部２１１とを備えている。すなわち、ガイド軸２１は、その縦断面が略Ｔ字状になる。   The suction pad 20 is fixed to the lower end 210b of the guide shaft 21 shown in FIGS. For example, the guide shaft 21 includes a base shaft portion 210 having an axial direction in the vertical direction (Z-axis direction), and a radial direction of the guide shaft 21 on the upper end 210a side of the base shaft portion 210 (perpendicular to the axial direction of the base shaft portion 210 in the horizontal direction). And a head 211 extending outward. That is, the guide shaft 21 has a substantially T-shaped longitudinal section.

図１に示す支持プレート２３は、例えば、外形が円形の平板状に形成されており、その外周部には、厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されガイド軸２１が挿通される貫通孔２３０が設けられている。貫通孔２３０は、例えば、支持プレート２３の外周部に周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば９０度間隔で４箇所、図１においては、２箇所のみ図示）箇所形成されている。各ガイド軸２１（本実施形態においては計４つ、図１においては、２つのみ図示）の基軸部２１０は、各貫通孔２３０にそれぞれ遊嵌しており、ガイド軸２１は支持プレート２３に対してＺ軸方向に移動可能になっている。ガイド軸２１の頭部２１１は、支持プレート２３に形成された貫通孔２３０を貫通しないように、貫通孔２３０の直径よりも大径に形成されている。図１に示すように、ガイド軸２１の基軸部２１０は、少なくとも支持プレート２３の厚み以上の長さを有しており、吸引パッド２０が板状ワークＷに接触していない状態において、ガイド軸２１が挿通された状態の支持プレート２３の下面２３ｂとガイド軸２１の下端２１０ｂに固定された状態の吸引パッド２０の上面２０１ｂとの間には、所定幅の隙間が形成される。   The support plate 23 shown in FIG. 1 is formed, for example, in a flat plate shape having a circular outer shape, and is formed in the outer peripheral portion so as to penetrate in the thickness direction (Z-axis direction) and through which the guide shaft 21 is inserted. A hole 230 is provided. For example, a plurality of through holes 230 are formed in the outer peripheral portion of the support plate 23 at regular intervals in the circumferential direction (for example, four positions at 90 degree intervals, only two positions shown in FIG. 1). The base shaft portion 210 of each guide shaft 21 (four in the present embodiment, only two in FIG. 1 is illustrated) is loosely fitted in each through hole 230, and the guide shaft 21 is attached to the support plate 23. On the other hand, it is movable in the Z-axis direction. The head 211 of the guide shaft 21 is formed with a diameter larger than the diameter of the through hole 230 so as not to penetrate the through hole 230 formed in the support plate 23. As shown in FIG. 1, the base shaft portion 210 of the guide shaft 21 has a length at least equal to or greater than the thickness of the support plate 23, and the guide shaft is not in contact with the plate-like workpiece W. A gap having a predetermined width is formed between the lower surface 23b of the support plate 23 in a state in which 21 is inserted and the upper surface 201b of the suction pad 20 in a state fixed to the lower end 210b of the guide shaft 21.

吸引保持手段２は、ガイド軸２１が吸引パッド２０を支持した状態を維持し吸引パッド２０を支持プレート２３に近づける方向に付勢するバネ２７を備えている。バネ２７は、例えば自然長より伸びて戻ろうとするねじりコイルバネであり、頭部２１１の下面２１１ｂと支持プレート２３との間に配設されており、吸引パッド２０を支持プレート２１に近づける方向に付勢している。例えば、図２に示すように、バネ２７の内径はガイド軸２１の基軸部２１０の外径よりも大きく、また、バネ２７の外径はガイド軸２１の頭部２１１の外径と略同一となっており、ガイド軸２１の基軸部２１０がバネ２７の中央の開口部分に挿通されることで、バネ２７の上端が頭部２１１の下面２１１ｂに当接する状態になる。   The suction holding means 2 includes a spring 27 that maintains a state in which the guide shaft 21 supports the suction pad 20 and biases the suction pad 20 toward the support plate 23. The spring 27 is, for example, a torsion coil spring that extends from the natural length and returns, and is disposed between the lower surface 211 b of the head 211 and the support plate 23, and is attached in a direction to bring the suction pad 20 closer to the support plate 21. It is fast. For example, as shown in FIG. 2, the inner diameter of the spring 27 is larger than the outer diameter of the base shaft portion 210 of the guide shaft 21, and the outer diameter of the spring 27 is substantially the same as the outer diameter of the head 211 of the guide shaft 21. Thus, the base shaft portion 210 of the guide shaft 21 is inserted into the central opening of the spring 27, so that the upper end of the spring 27 comes into contact with the lower surface 211 b of the head 211.

図２に示すように、支持プレート２３の外周部に形成された貫通孔２３０と同軸上に、バネ２７をはめ込むことが可能な程度の孔径を有するバネ収容孔２３０ａが形成されている。すなわち、バネ収容孔２３０ａは、支持プレート２３の厚み方向（Ｚ軸方向）の中間部から支持プレート２３の上面２３ａにかけて貫通孔２３０の外径が拡径されることで形成されている。バネ収容孔２３０ａの支持プレート２３の上面２３ａからの深さは、例えば、バネ２７の自然長と略同一の深さである。図２に示すように、バネ収容孔２３０ａにバネ２７を没入させた後、支持プレート２３の上方からガイド軸２１をバネ２７の中央の開口部分及び貫通孔２３０に挿通する。また、バネ２７の下端側をバネ収容孔２３０ａの環状の底面に、バネ２７の上端側を頭部２１１の下面２１１ｂに適宜の接着剤等を用いてそれぞれ固定し、さらにガイド軸２１の下端２１０ｂを吸引パッド２０の上面２０１ｂに固定することで、図１に示すように、バネ２７が、ガイド軸２１の頭部２１１の下面２１１ｂと支持プレート２３との間に、頭部２１１が支持プレート２３とＺ軸方向の離間する方向に移動すると拡張するように配設される。   As shown in FIG. 2, a spring accommodation hole 230 a having a hole diameter enough to fit the spring 27 is formed coaxially with the through hole 230 formed in the outer peripheral portion of the support plate 23. That is, the spring accommodation hole 230a is formed by increasing the outer diameter of the through hole 230 from the middle part in the thickness direction (Z-axis direction) of the support plate 23 to the upper surface 23a of the support plate 23. The depth of the spring accommodating hole 230 a from the upper surface 23 a of the support plate 23 is, for example, substantially the same depth as the natural length of the spring 27. As shown in FIG. 2, after the spring 27 is immersed in the spring accommodating hole 230 a, the guide shaft 21 is inserted from above the support plate 23 into the central opening of the spring 27 and the through hole 230. Further, the lower end side of the spring 27 is fixed to the annular bottom surface of the spring accommodating hole 230a, the upper end side of the spring 27 is fixed to the lower surface 211b of the head 211 using an appropriate adhesive, and the lower end 210b of the guide shaft 21 is further fixed. 1 is fixed to the upper surface 201b of the suction pad 20, the spring 27 is placed between the lower surface 211b of the head 211 of the guide shaft 21 and the support plate 23 as shown in FIG. And are arranged so as to expand when they move away from each other in the Z-axis direction.

バネ２７の配設態様は上記の態様に限定されるものではなく、例えば、バネ２７を図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ガイド軸２１の頭部２１１の下面２１１ｂと支持プレート２３との間に配設するものとしてもよい。すなわち、図３（Ａ）に示すように、バネ２７の中央の開口部分と支持プレート２３の貫通孔２３０とが重なるようにして、バネ２７を支持プレート２３の上面２３ａ上に適宜の接着剤等で固定し、支持プレート２３の上方からガイド軸２１をバネ２７の中央の開口部分及び貫通孔２３０に挿通する。そして、バネ２７の上端側を頭部２１１の下面２１１ｂに適宜の接着剤等を用いて固定し、さらにガイド軸２１の下端２１０ｂを吸引パッド２０の上面２０１ｂに固定することで、図３（Ｂ）に示すように、バネ２７が支持プレート２３の内部に没入されていない状態で配設された状態になる。   The arrangement mode of the spring 27 is not limited to the above-described mode. For example, as shown in FIGS. 3A and 3B, the spring 27 includes the lower surface 211 b of the head 211 of the guide shaft 21 and the support plate. It is good also as what is arrange | positioned between 23. That is, as shown in FIG. 3A, the spring 27 is placed on the upper surface 23a of the support plate 23 with an appropriate adhesive or the like so that the central opening of the spring 27 and the through hole 230 of the support plate 23 overlap. Then, the guide shaft 21 is inserted into the central opening of the spring 27 and the through hole 230 from above the support plate 23. Then, the upper end side of the spring 27 is fixed to the lower surface 211b of the head 211 using an appropriate adhesive or the like, and the lower end 210b of the guide shaft 21 is fixed to the upper surface 201b of the suction pad 20, thereby FIG. ), The spring 27 is disposed in a state where it is not immersed in the support plate 23.

図１に示すように、例えば、支持プレート２３の上面２３ａの中央領域には、連結部材２５０が固定されており、支持プレート２３は、連結部材２５０を介して吸引保持手段２が備えるアーム部２５の一端の下面側に固定されている。移動手段４はアーム部２５に接続されており、アーム部２５を水平面上において平行移動可能又は旋回移動可能にしかつＺ軸方向に上下動可能にしている。移動手段４は、例えば、アーム部２５を空気圧によりＺ軸方向に上下動させるエアシリンダや、モータによりボールネジを回動させることでアーム部２５を平行移動させるボールネジ機構等から構成されている。   As shown in FIG. 1, for example, a connecting member 250 is fixed to a central region of the upper surface 23 a of the support plate 23, and the support plate 23 is provided with an arm portion 25 provided in the suction holding means 2 via the connecting member 250. It is being fixed to the lower surface side of one end. The moving means 4 is connected to the arm portion 25, and the arm portion 25 can be translated or swiveled on a horizontal plane and can be moved up and down in the Z-axis direction. The moving means 4 includes, for example, an air cylinder that moves the arm portion 25 up and down in the Z-axis direction by air pressure, a ball screw mechanism that moves the arm portion 25 in parallel by rotating the ball screw by a motor, and the like.

以下に、図１、図４〜５を用いて、搬送ユニット１により保持テーブル３から板状ワークＷを搬出する場合の、搬送ユニット１の動作について説明する。図１に示すように、板状ワークＷは、裏面Ｗｂが上側を向いた状態で保持テーブル３の保持面３ａ上に吸引保持されている。まず、移動手段４により、吸引保持手段２が吸引パッド２０の中心が板状ワークＷの中心と略合致するように水平面上を移動し、吸引パッド２０が板状ワークＷの上方に位置付けられる。さらに、図４に示すように、アーム部２５が−Ｚ方向へと降下し、吸引パッド２０の保持面２００ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触する。   Below, the operation | movement of the conveyance unit 1 when carrying out the plate-shaped workpiece | work W from the holding table 3 by the conveyance unit 1 is demonstrated using FIG. 1, FIG. As shown in FIG. 1, the plate-like workpiece W is sucked and held on the holding surface 3 a of the holding table 3 with the back surface Wb facing upward. First, the moving means 4 moves the suction holding means 2 on a horizontal plane so that the center of the suction pad 20 substantially coincides with the center of the plate-like workpiece W, and the suction pad 20 is positioned above the plate-like workpiece W. Further, as shown in FIG. 4, the arm portion 25 descends in the −Z direction, and the holding surface 200 a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W come into contact with each other.

吸引パッド２０の保持面２００ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触すると、板状ワークＷは吸引パッド２０から−Ｚ方向に押圧される。同時に、支持プレート２３に遊嵌しているガイド軸２１が、板状ワークＷから吸引パッド２０を介して作用する＋Ｚ方向の垂直抗力により、＋Ｚ方向に移動する。したがって、吸引パッド２０を支持するガイド軸２１の頭部２１１の下面２１１ｂが、支持プレート２３の上面２３ａから離間する＋Ｚ方向に移動する。ガイド軸２１の＋Ｚ方向への移動に伴って、自然長であるバネ２７の上端側がガイド軸２１の頭部２１１により引っ張られバネ２７が＋Ｚ方向に拡張されることで、バネ２７には、バネ２７を自然長に戻す弾性エネルギーが蓄積される。   When the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W come into contact, the plate-like workpiece W is pressed from the suction pad 20 in the -Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted to the support plate 23 moves in the + Z direction by the vertical drag in the + Z direction acting from the plate-like workpiece W via the suction pad 20. Therefore, the lower surface 211b of the head 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 20 moves in the + Z direction, which is away from the upper surface 23a of the support plate 23. As the guide shaft 21 moves in the + Z direction, the upper end side of the spring 27 having a natural length is pulled by the head 211 of the guide shaft 21 and the spring 27 is expanded in the + Z direction. Elastic energy for returning 27 to its natural length is accumulated.

上記のようなバネ２７の挙動により、吸引パッド２０が板状ワークＷを保持するときに、バネ２７によって吸引パッド２０が板状ワークＷを押圧する力を弱めつつ、吸引パッド２０により板状ワークＷを確実に保持することができる。すなわち、吸引パッド２０の中心が板状ワークＷの中心と略合致した状態で吸引保持を行うためには、板状ワークＷが水平方向へ移動し位置ずれが生じることを防止しつつ、板状ワークＷに吸引パッド２０を接触させる必要がある。したがって、吸引パッド２０の保持面２００ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に所定の大きさの摩擦力を発生させる必要がある。摩擦力は、吸引パッド２０の保持面２００ａを板状ワークＷの裏面Ｗｂに強い力で押し付ければ押し付けるほど大きくなるが、板状ワークＷの破損が発生する可能性も高くなる。ここで、本発明に係る搬送ユニット１においては、バネ２７により、吸引パッド２０から板状ワークＷにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド２０の保持面２００ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に板状ワークＷの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークＷの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド２０から板状ワークＷにかからないようにすることが可能となる。すなわち、板状ワークＷに対して吸引パッド２０から過度に加わった押圧力を、バネ２７を拡張させることで相殺して弱め、吸引パッド２０から板状ワークＷに適度な押圧力がかかるようにすることができる。なお、例えば、バネ２７を吸引保持手段２に備えていない場合においては、吸引パッド２０の保持面２００ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に板状ワークＷの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させることができる程度の押圧力を生み出すことができないため、板状ワークＷが水平方向へ移動し位置ずれが生じやすくなる。   Due to the behavior of the spring 27 as described above, when the suction pad 20 holds the plate-like workpiece W, the force of the suction pad 20 pressing the plate-like workpiece W by the spring 27 is weakened, and the plate-like workpiece is removed by the suction pad 20. W can be reliably held. That is, in order to perform suction holding in a state where the center of the suction pad 20 substantially coincides with the center of the plate-like workpiece W, the plate-like workpiece W is prevented from moving in the horizontal direction and being displaced, It is necessary to bring the suction pad 20 into contact with the workpiece W. Therefore, it is necessary to generate a frictional force having a predetermined magnitude between the holding surface 200a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W. The frictional force increases as the holding surface 200a of the suction pad 20 is pressed against the back surface Wb of the plate-like workpiece W with a strong force. However, the possibility that the plate-like workpiece W is damaged increases. Here, in the transport unit 1 according to the present invention, the spring 27 applies a force that presses the plate-like workpiece W in a balanced manner from the suction pad 20, so that the holding surface 200 a of the suction pad 20 and the back surface of the plate-like workpiece W are applied. While generating a frictional force to prevent the displacement of the plate-like workpiece W with respect to Wb, a pressing force that causes damage to the plate-like workpiece W is not applied to the plate-like workpiece W from the suction pad 20. It becomes possible to. That is, the pressing force excessively applied to the plate-like workpiece W from the suction pad 20 is offset and weakened by expanding the spring 27 so that an appropriate pressing force is applied from the suction pad 20 to the plate-like workpiece W. can do. For example, when the spring 27 is not provided in the suction holding means 2, only the displacement of the plate-like workpiece W is prevented between the holding surface 200 a of the suction pad 20 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W. Since it is not possible to generate a pressing force capable of generating a frictional force, the plate-like workpiece W is moved in the horizontal direction and is likely to be displaced.

吸引パッド２０が板状ワークＷに接触した後、吸引源２９が吸引することで生み出された吸引力が保持面２００ａへと伝達されることで、吸引パッド２０が板状ワークＷを吸引保持する。同時に、保持テーブル３による板状ワークＷの吸引保持を解除する。さらに、図５に示すように、アーム部２５が＋Ｚ方向へと上昇することで、搬送ユニット１によって、板状ワークＷが保持テーブル３から搬出される。板状ワークＷが保持テーブル３の保持面３ａから離れると、バネ２７に蓄えられていた弾性エネルギーにより拡張されていたバネ２７が自然長に戻り、これに伴って板状ワークＷに接触した状態で吸引保持する吸引パッド２０が支持プレート２３に近付くように＋Ｚ方向に移動する。   After the suction pad 20 comes into contact with the plate-like workpiece W, the suction force generated by the suction source 29 sucking is transmitted to the holding surface 200a, so that the suction pad 20 sucks and holds the plate-like workpiece W. . At the same time, the suction holding of the plate-like workpiece W by the holding table 3 is released. Further, as shown in FIG. 5, the plate-like workpiece W is carried out of the holding table 3 by the transport unit 1 as the arm portion 25 rises in the + Z direction. When the plate-like workpiece W is separated from the holding surface 3a of the holding table 3, the spring 27 expanded by the elastic energy stored in the spring 27 returns to the natural length, and the state is in contact with the plate-like workpiece W along with this. The suction pad 20 to be sucked and held moves in the + Z direction so as to approach the support plate 23.

（実施形態２）
図６に示す本発明に係る搬送ユニット１Ａは、図１に示す搬送ユニットの吸引保持手段２の構成の一部である吸引パッド２０を、図６に示すベルヌーイタイプの吸引パッド２６に変更した吸引保持手段２Ａを備える装置である。吸引保持手段２の吸引パッド２０と吸引保持手段２Ａの吸引パッド２６との構成の違い以外については、搬送ユニット１と搬送ユニット１Ａとは同様に構成されている。 (Embodiment 2)
The conveyance unit 1A according to the present invention shown in FIG. 6 is a suction unit in which the suction pad 20 which is a part of the configuration of the suction holding means 2 of the conveyance unit shown in FIG. 1 is changed to a Bernoulli type suction pad 26 shown in FIG. It is an apparatus provided with 2 A of holding means. Except for the difference in configuration between the suction pad 20 of the suction holding means 2 and the suction pad 26 of the suction holding means 2A, the transport unit 1 and the transport unit 1A are configured similarly.

吸引パッド２６は、ガイド軸２１の下端２１０ｂに固定されており、ガイド軸２１によって支持されている。吸引パッド２６は、例えば、エア噴出口２６０ｃからエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークＷを吸引する吸引生成部２６０と、吸引生成部２６０により吸引される板状ワークＷの外周領域に接触して板状ワークＷが水平方向に移動することを制限する接触部２６１と、吸引生成部２６０と接触部２６１とが配設される基板部２６４とを備えている。   The suction pad 26 is fixed to the lower end 210 b of the guide shaft 21 and is supported by the guide shaft 21. The suction pad 26 includes, for example, a suction generation unit 260 that generates negative pressure by ejecting air from the air ejection port 260c and sucks the plate-like workpiece W in a non-contact manner, and a plate-like workpiece sucked by the suction generation unit 260. The contact part 261 which restrict | limits that the plate-shaped workpiece | work W moves to a horizontal direction in contact with the outer peripheral area | region of W, and the board | substrate part 264 with which the suction | inhalation production | generation part 260 and the contact part 261 are arrange | positioned are provided.

外形が円形の板状の基板部２６４は、その中心から外周部に向かって徐々に＋Ｚ方向に反っていくことで、僅かに碗状に湾曲している。すなわち、板状ワークＷの吸引保持を行う際に、板状ワークＷに非接触で相対する基板部２６４の吸引面２６４ａは中凹に湾曲している。なお、基板部２６４の形状及び構成は、本実施形態における形状に限定されるものではない。例えば、基板部２６４は、その外形が円形平板状や円環状に形成されていてもよく、また、円環状部材や直線部材等の複数の部材から構成されていてもよい。   The plate-shaped substrate portion 264 having a circular outer shape is slightly bent in a bowl shape by gradually warping in the + Z direction from the center toward the outer peripheral portion. That is, when the plate-like workpiece W is sucked and held, the suction surface 264a of the substrate portion 264 facing the plate-like workpiece W in a non-contact manner is curved in a concave shape. Note that the shape and configuration of the substrate portion 264 are not limited to the shapes in the present embodiment. For example, the substrate portion 264 may have an outer shape formed in a circular flat plate shape or an annular shape, and may be configured by a plurality of members such as an annular member or a linear member.

非接触で板状ワークＷを吸引する吸引生成部２６０は、例えば、基板部２６４の吸引面２６４ａの中央領域に１つ配設されている。例えば、外形が円盤状の吸引生成部２６０の内部には、エア供給路２６０ｂが形成されており、エア供給路２６０ｂは、吸引生成部２６０の底面に形成された円環形のエア噴出口２６０ｃに連通している。また、エア供給路２６０ｂには、コンプレッサー等からなるエア供給源２８に連通する連通路２８０の一端が接続されている。なお、例えば、エア供給路２６０ｂには、エア供給源２８から吸引生成部２６０に供給されたエアを加速させる環状オリフィス等が形成されていてもよい。   One suction generation unit 260 that sucks the plate-like workpiece W in a non-contact manner is provided, for example, in the central region of the suction surface 264a of the substrate unit 264. For example, an air supply path 260b is formed inside the suction generation unit 260 whose outer shape is a disk shape, and the air supply path 260b is connected to an annular air outlet 260c formed on the bottom surface of the suction generation unit 260. Communicate. In addition, one end of a communication path 280 communicating with the air supply source 28 made of a compressor or the like is connected to the air supply path 260b. For example, an annular orifice or the like that accelerates the air supplied from the air supply source 28 to the suction generation unit 260 may be formed in the air supply path 260b.

板状ワークＷが水平方向に移動することを制限する接触部２６１は、例えば、ゴム又はスポンジ等を柱状に形成したものであり、基板部２６４の吸引面２６４ａの外周部に、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば９０度間隔で４つ、図６においては、２つのみ図示）固定されている。各接触部２６１の下端面は、吸引生成部２６０よりも下方の高さ位置に位置している。   The contact part 261 that restricts the movement of the plate-like workpiece W in the horizontal direction is, for example, formed of rubber or sponge in a columnar shape, and is constant in the circumferential direction on the outer peripheral part of the suction surface 264a of the substrate part 264. A plurality of (for example, four at 90 degree intervals, only two are shown in FIG. 6) are fixed. The lower end surface of each contact portion 261 is located at a height position below the suction generation portion 260.

以下に、図６〜８を用いて、搬送ユニット１Ａにより保持テーブル３から板状ワークＷを搬出する場合の、搬送ユニット１Ａの動作について説明する。   The operation of the transport unit 1A when the plate-like workpiece W is unloaded from the holding table 3 by the transport unit 1A will be described below with reference to FIGS.

図６に示すように、板状ワークＷは、裏面Ｗｂが上側を向いた状態で保持テーブル３の保持面３ａ上に吸引保持されている。まず、移動手段４により、吸引保持手段２Ａが、吸引パッド２６の中心が板状ワークＷの中心と略合致するように水平面上を移動し、吸引パッド２６が板状ワークＷの上方に位置付けられる。さらに、図７に示すように、アーム部２５が−Ｚ方向へと降下し、接触部２６１が板状ワークＷの外周領域に接触しかつ吸引生成部２６０と板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触しない程度の位置まで吸引パッド２６が−Ｚ方向へ降下する。   As shown in FIG. 6, the plate-like workpiece W is sucked and held on the holding surface 3 a of the holding table 3 with the back surface Wb facing upward. First, the moving means 4 causes the suction holding means 2A to move on the horizontal plane so that the center of the suction pad 26 substantially coincides with the center of the plate-like workpiece W, and the suction pad 26 is positioned above the plate-like workpiece W. . Further, as shown in FIG. 7, the arm portion 25 is lowered in the −Z direction, the contact portion 261 is in contact with the outer peripheral region of the plate-like workpiece W, and the suction generation portion 260 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W are The suction pad 26 descends in the −Z direction to a position where it does not contact.

吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触すると、板状ワークＷは吸引パッド２６から−Ｚ方向に押圧される。同時に、支持プレート２３に遊嵌しているガイド軸２１が、板状ワークＷから吸引パッド２６を介して作用する垂直抗力により、＋Ｚ方向に移動する。したがって、吸引パッド２６を支持するガイド軸２１の頭部２１１の下面２１１ｂが支持プレート２３の上面２３ａとの間が離間する＋Ｚ方向に移動する。ガイド軸２１の＋Ｚ方向への移動に伴って、自然長であるバネ２７の上端側がガイド軸２１の頭部２１１により引っ張られ＋Ｚ方向に拡張されることで、バネ２７には、バネ２７を自然長に戻す弾性エネルギーが蓄積される。   When the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W come into contact, the plate-like workpiece W is pressed from the suction pad 26 in the −Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted on the support plate 23 moves in the + Z direction by the vertical drag acting from the plate-like workpiece W via the suction pad 26. Therefore, the lower surface 211b of the head 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 26 moves in the + Z direction so as to be separated from the upper surface 23a of the support plate 23. As the guide shaft 21 moves in the + Z direction, the upper end side of the spring 27 having a natural length is pulled by the head 211 of the guide shaft 21 and expanded in the + Z direction. Elastic energy to return to length is accumulated.

上記のようなバネ２７の挙動により、吸引パッド２６が板状ワークＷを保持するときに、バネ２７によって吸引パッド２６の接触部２６１が板状ワークＷを押圧する力を弱めつつ、吸引パッド２６により板状ワークＷを確実に保持することができる。すなわち、吸引パッド２６の中心が板状ワークＷの中心と略合致した状態で吸引保持を行うためには、板状ワークＷが水平方向への移動し位置ずれが生じることを防止しつつ吸引パッド２６の接触部２６１を板状ワークＷの裏面Ｗｂに接触させる必要がある。したがって、吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に所定の大きさの摩擦力を発生させる必要がある。摩擦力は、吸引パッド２６の接触部２６１を板状ワークＷの裏面Ｗｂに強い力で押し付ければ押し付けるほど大きくなるが、板状ワークＷの破損が発生する可能性も高くなる。ここで、本発明に係る搬送ユニット１Ａにおいては、バネ２７により、吸引パッド２６の接触部２６１から板状ワークＷにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に板状ワークＷの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークＷの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド２６から板状ワークＷにかからないようにすることが可能となる。すなわち、板状ワークＷに対して吸引パッド２６から過度に加わった押圧力を、バネ２７を拡張させることで相殺して弱め、吸引パッド２６から板状ワークＷに適度な押圧力がかかるようにすることができる。なお、例えば、バネ２７を吸引保持手段２Ａに備えていない場合においては、吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に板状ワークＷの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させることができる程度の押圧力を生み出すことができないため、板状ワークＷが水平方向への移動し位置ずれが生じやすくなる。   Due to the behavior of the spring 27 as described above, when the suction pad 26 holds the plate-like workpiece W, the force of the contact portion 261 of the suction pad 26 pressing the plate-like workpiece W by the spring 27 is weakened, and the suction pad 26 is reduced. Thus, the plate-like workpiece W can be reliably held. That is, in order to perform suction holding in a state where the center of the suction pad 26 substantially coincides with the center of the plate-like workpiece W, the suction pad 26 is prevented from moving in the horizontal direction and causing displacement. It is necessary to bring the 26 contact portions 261 into contact with the back surface Wb of the plate-like workpiece W. Therefore, it is necessary to generate a predetermined amount of frictional force between the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W. The frictional force increases as the contact portion 261 of the suction pad 26 is pressed against the back surface Wb of the plate-like workpiece W with a strong force, but the possibility that the plate-like workpiece W is damaged increases. Here, in the transport unit 1A according to the present invention, the spring 27 applies a force that presses the plate-like workpiece W in a balanced manner from the contact portion 261 of the suction pad 26, and the contact portion 261 of the suction pad 26 and the plate shape While a frictional force is generated between the workpiece W and the back surface Wb of the workpiece W so as to prevent displacement of the plate workpiece W, the pressing force to the extent that the plate workpiece W is damaged is applied from the suction pad 26 to the plate workpiece. It is possible to avoid W. That is, the pressing force excessively applied to the plate-like workpiece W from the suction pad 26 is offset and weakened by expanding the spring 27 so that an appropriate pressing force is applied from the suction pad 26 to the plate-like workpiece W. can do. For example, in the case where the spring 27 is not provided in the suction holding means 2A, it is only necessary to prevent the displacement of the plate-like workpiece W between the contact portion 261 of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W. Since a pressing force that can generate a frictional force cannot be generated, the plate-like workpiece W is moved in the horizontal direction and is likely to be displaced.

吸引パッド２６がＺ軸方向の所定の位置まで降下した後、エア供給源２８が、高圧エアを連通路２８０を介して吸引パッド２６内部のエア供給路２６０ｂに供給する。吸引パッド２６に供給されたエアは、エア供給路２６０ｂ内で例えば図示しない環状オリフィスを通って加速され、エア噴出口２６０ｃから板状ワークＷの裏面Ｗｂ上に噴出する。エア噴出口２６０ｃから噴出した高圧エアは、吸引パッド２６と板状ワークＷとの間を板状ワークＷの中心から放射方向に流れて行き大気へ放出される。そのため、吸引パッド２６の吸引面２６４ａと板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間の隙間を高圧エアが高速で放射方向に向かって流動することで、吸引生成部２６０を中心としてベルヌーイ効果による負圧が生成され、吸引パッド２６が非接触状態で板状ワークＷを吸引保持する。なお、本実施形態２においては、吸引生成部２６０は、例えば、基板部２６４の吸引面２６４ａの中央領域に１つ配設されているが、基板部２６４の吸引面２６４ａの外周部に周方向に一定の間隔をおいて複数配設するものとしてもよい。この場合においては、各接触部２６１と吸引生成部２６０とは、吸引面２６４ａの外周部に周方向に交互に配設されることになる。また、吸引生成部２６０は、板状ワークＷとの間にエア供給源２８から供給された高圧エアによる旋回流を形成することで板状ワークＷを吸引する負圧を生成できるように構成されていてもよい。   After the suction pad 26 is lowered to a predetermined position in the Z-axis direction, the air supply source 28 supplies high-pressure air to the air supply path 260b inside the suction pad 26 via the communication path 280. The air supplied to the suction pad 26 is accelerated through, for example, an annular orifice (not shown) in the air supply path 260b and is ejected from the air ejection port 260c onto the back surface Wb of the plate-like workpiece W. The high-pressure air ejected from the air outlet 260 c flows between the suction pad 26 and the plate-like workpiece W in the radial direction from the center of the plate-like workpiece W and is released to the atmosphere. Therefore, high pressure air flows in a radial direction at a high speed in the gap between the suction surface 264a of the suction pad 26 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W, so that the negative pressure due to the Bernoulli effect is centered on the suction generation unit 260. Is generated and the plate-like workpiece W is sucked and held with the suction pad 26 in a non-contact state. In the second embodiment, for example, one suction generation unit 260 is disposed in the central region of the suction surface 264a of the substrate unit 264, but in the circumferential direction on the outer periphery of the suction surface 264a of the substrate unit 264. A plurality of them may be arranged at regular intervals. In this case, the contact portions 261 and the suction generation portions 260 are alternately arranged in the circumferential direction on the outer peripheral portion of the suction surface 264a. The suction generation unit 260 is configured to generate a negative pressure that sucks the plate-like workpiece W by forming a swirling flow by the high-pressure air supplied from the air supply source 28 between the suction workpiece 260 and the plate-like workpiece W. It may be.

吸引パッド２６が板状ワークＷを非接触で吸引保持した後、保持テーブル３による板状ワークＷの吸引保持を解除する。さらに、図８に示すように、アーム部２５が＋Ｚ方向へと上昇することで、搬送ユニット１Ａによって、板状ワークＷが保持テーブル３から搬出される。板状ワークＷが保持テーブル３の保持面３ａから離れると、バネ２７に蓄えられていた弾性エネルギーにより拡張されていたバネ２７が自然長に戻り、これに伴って、板状ワークＷを非接触で吸引保持する吸引パッド２６が、支持プレート２３に近付くように＋Ｚ方向に移動する。   After the suction pad 26 sucks and holds the plate-like workpiece W in a non-contact manner, the suction holding of the plate-like workpiece W by the holding table 3 is released. Furthermore, as shown in FIG. 8, the plate-like workpiece W is unloaded from the holding table 3 by the transport unit 1 </ b> A as the arm portion 25 moves upward in the + Z direction. When the plate-like workpiece W moves away from the holding surface 3a of the holding table 3, the spring 27 that has been expanded by the elastic energy stored in the spring 27 returns to its natural length. The suction pad 26 that is sucked and held in the step moves in the + Z direction so as to approach the support plate 23.

なお、本発明に係る搬送ユニットは上記実施形態１及び実施形態２に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各実施形態の搬送ユニットの各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。   The transport unit according to the present invention is not limited to the first embodiment and the second embodiment, and the size and shape of each component of the transport unit of each embodiment illustrated in the accompanying drawings are also illustrated. However, the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention can be exhibited.

例えば、図９に示す本発明に係る搬送ユニット１Ｂは、図６に示す搬送ユニット１Ａの吸引保持手段２Ａの構成の一部であるバネ２７をバネ２４に変更しかつバネの配設箇所を変更した吸引保持手段２Ｂを備える装置である。バネ２７をバネ２４に変更した点及びバネの配設箇所の違い以外の構成については、搬送ユニット１Ａと搬送ユニット１Ｂとは同様に構成されている。バネ２４は、例えば、自然長より収縮して戻ろうとする方向、すなわち、吸引パッド２６を支持プレート２１に近づける方向に付勢されたバネであって、バネ２４の上端側を支持プレート２３の下面２３ｂに接着して固定し、さらにバネ２４の下端側を基板部２６４の上面２６４ｂに接着して固定することで、支持プレート２３と吸引パッド２６との間に、頭部２１が支持プレート２３と離間する方向に移動すると収縮するように配設される。   For example, the transport unit 1B according to the present invention shown in FIG. 9 changes the spring 27, which is a part of the structure of the suction holding means 2A of the transport unit 1A shown in FIG. This is a device provided with the suction holding means 2B. About the structure except the point which changed the spring 27 into the spring 24, and the difference in the arrangement | positioning location of a spring, 1 A of conveyance units and the conveyance unit 1B are comprised similarly. The spring 24 is, for example, a spring that is biased in a direction in which the spring 24 contracts and returns from the natural length, that is, a direction in which the suction pad 26 approaches the support plate 21, and the upper end side of the spring 24 is the lower surface of the support plate 23. 23 b is bonded and fixed, and the lower end side of the spring 24 is bonded and fixed to the upper surface 264 b of the substrate portion 264, so that the head 21 is connected to the support plate 23 between the support plate 23 and the suction pad 26. It is arranged so as to contract when it moves in the separating direction.

図９に示す吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触すると、板状ワークＷは吸引パッド２６から−Ｚ方向に押圧される。同時に、支持プレート２３に遊嵌しているガイド軸２１が、板状ワークＷから吸引パッド２６を介して作用する垂直抗力により、＋Ｚ方向に移動する。したがって、吸引パッド２６を支持するガイド軸２１の頭部２１１が支持プレート２３の上面２３ａから離間する＋Ｚ方向に移動する。ガイド軸２１の＋Ｚ方向への移動に伴って、自然長であるバネ２４は収縮する。本発明に係る搬送ユニット１Ｂにおいては、上記のように挙動するバネ２４により、吸引パッド２６の接触部２６１から板状ワークＷにバランスよく押圧する力がかかるようにし、吸引パッド２６の接触部２６１と板状ワークＷの裏面Ｗｂとの間に板状ワークＷの位置ずれを防止させるだけの摩擦力を発生させつつも、板状ワークＷの破損が発生する程の押圧力は吸引パッド２６から板状ワークＷにかからないようにすることが可能となる。   When the contact portion 261 of the suction pad 26 shown in FIG. 9 and the back surface Wb of the plate-like workpiece W come into contact with each other, the plate-like workpiece W is pressed from the suction pad 26 in the −Z direction. At the same time, the guide shaft 21 loosely fitted on the support plate 23 moves in the + Z direction by the vertical drag acting from the plate-like workpiece W via the suction pad 26. Therefore, the head 211 of the guide shaft 21 that supports the suction pad 26 moves in the + Z direction away from the upper surface 23 a of the support plate 23. As the guide shaft 21 moves in the + Z direction, the natural length spring 24 contracts. In the transport unit 1B according to the present invention, the spring 24 that behaves as described above applies a force that presses the plate-shaped workpiece W in a balanced manner from the contact portion 261 of the suction pad 26, so that the contact portion 261 of the suction pad 26 is applied. The pressing force from the suction pad 26 is such that the plate-like workpiece W is damaged while a frictional force is generated between the plate-like workpiece W and the back surface Wb of the plate-like workpiece W so as to prevent displacement of the plate-like workpiece W. It is possible to prevent the plate-shaped workpiece W from being applied.

１：搬送ユニット
２：吸引保持手段
２０：吸引パッド ２００：吸着部 ２００ａ：保持面 ２０１：枠体
２１：ガイド軸 ２１０：基軸部 ２１１：頭部 ２１１ｂ：頭部の下面
２３：支持プレート ２３０：貫通孔 ２３０ａ：バネ収容孔
２５：アーム部 ２５０：連結部材
２７：バネ
２９：吸引源 ２９０：連通路
４：移動手段
３：保持テーブル ３ａ：保持テーブルの保持面
Ｗ：板状ワーク
１Ａ：搬送ユニット ２Ａ：吸引保持手段
２６：ベルヌーイタイプの吸引パッド ２６０：吸引生成部 ２６０ｂ：エア供給路 ２６０ｃ：エア噴出口２６１：接触部 ２６４：基板部 ２８：エア供給源 ２８０：エア供給路
１Ｂ：搬送ユニット ２Ｂ：吸引保持手段 ２４：バネ 1: Transport unit 2: Suction holding means 20: Suction pad 200: Suction part 200a: Holding surface 201: Frame body 21: Guide shaft 210: Base shaft part 211: Head 211b: Lower surface 23 of the head 23: Support plate 230: Through Hole 230a: Spring accommodating hole 25: Arm portion 250: Connecting member 27: Spring 29: Suction source 290: Communication path 4: Moving means 3: Holding table 3a: Holding surface W of holding table: Plate-like work
1A: Transport unit 2A: Suction holding means
26: Bernoulli type suction pad 260: Suction generator 260b: Air supply path 260c: Air outlet 261: Contact section 264: Substrate section 28: Air supply source 280: Air supply path 1B: Transport unit 2B: Suction holding means 24 :Spring

Claims (4)

板状ワークを搬送する搬送ユニットであって、
板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、該吸引保持手段を移動させる移動手段とを備え、
該吸引保持手段は、板状ワークを吸引保持する吸引パッドと、該板状ワークに接近および離間する方向に移動可能に該吸引パッドを支持するガイド軸と、該ガイド軸が挿通される貫通孔を有し該ガイド軸を支持する支持プレートと、該ガイド軸が該吸引パッドを支持した状態を維持し該吸引パッドを該支持プレートに近づける方向に付勢するバネと、を備え、
該吸引パッドが板状ワークを保持するときに、該バネによって該吸引パッドが板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする搬送ユニット。 A transport unit for transporting a plate-shaped workpiece,
A suction holding means for sucking and holding the plate-like workpiece, and a moving means for moving the suction holding means;
The suction holding means includes a suction pad for sucking and holding a plate-shaped workpiece, a guide shaft that supports the suction pad so as to be movable in a direction approaching and separating from the plate-shaped workpiece, and a through hole through which the guide shaft is inserted. A support plate that supports the guide shaft, and a spring that biases the suction pad in a direction approaching the support plate while maintaining the state where the guide shaft supports the suction pad.
When the suction pad holds a plate-like workpiece, the conveying unit reduces the force with which the suction pad presses the plate-like workpiece by the spring. 前記ガイド軸は上端側に径方向外向きに延出される頭部を備え、
前記バネは、該頭部の下面と前記支持プレートとの間に該頭部が該支持プレートと離間する方向に移動すると拡張するように配設される請求項１記載の搬送ユニット。 The guide shaft has a head extending radially outward on the upper end side,
The transport unit according to claim 1, wherein the spring is disposed between the lower surface of the head and the support plate so as to expand when the head moves in a direction away from the support plate. 前記バネは、前記支持プレートと前記吸引パッドとの間に、該吸引パッドが該支持プレートから離間する方向に移動すると収縮するように配設される請求項１記載の搬送ユニット。   The transport unit according to claim 1, wherein the spring is disposed between the support plate and the suction pad so as to contract when the suction pad moves in a direction away from the support plate. 前記吸引パッドは、エア噴出口からエアを噴出することで負圧を生成し非接触で板状ワークを吸引する吸引生成部と、該吸引生成部により吸引される板状ワークの外周領域に接触して板状ワークが水平方向に移動することを制限する接触部と、を備え、
該吸引パッドで板状ワークを保持するときに、前記バネによって該吸引パッドの該接触部が板状ワークを押圧する力を弱めることを特徴とする請求項１から３に記載の搬送ユニット。 The suction pad is in contact with an outer peripheral area of the plate-like workpiece sucked by the suction generation unit that generates a negative pressure by ejecting air from the air outlet and sucks the plate-like workpiece without contact. And a contact part for restricting the plate-like workpiece from moving in the horizontal direction,
4. The transport unit according to claim 1, wherein when the plate-like workpiece is held by the suction pad, the force by which the contact portion of the suction pad presses the plate-like workpiece is weakened by the spring.
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